JPH0426537U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0426537U JPH0426537U JP6811490U JP6811490U JPH0426537U JP H0426537 U JPH0426537 U JP H0426537U JP 6811490 U JP6811490 U JP 6811490U JP 6811490 U JP6811490 U JP 6811490U JP H0426537 U JPH0426537 U JP H0426537U
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- JP
- Japan
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- position detection
- aluminum
- electrode
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- electrodes
- Prior art date
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- Pending
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の第１実施例の位置検出用ア
ルミ電極２とバンプ電極１の部分を拡大した縦断
面図、第２図はこの考案の第１実施例の半導体素
子上での位置検出用アルミ電極２の位置を示す平
面図、第３図はこの考案の第２実施例の位置検出
用アルミ電極２ａ，２ｂとバンプ電極１の部分を
拡大した縦断面図、第４図はおよび第５図は従来
のパンプ電極付半導体素子の平面図および拡大縦
断面図である。 １……バンプ電極、２，２ａ，２ｂ……位置検
出用アルミ電極、３……絶縁膜、４……酸化膜、
５……拡散層、６……ウエーハ、７……アルミ、
ａ……バンプ電極の有効平面寸法、ｂ……位置検
出用アルミ電極の寸法。
ルミ電極２とバンプ電極１の部分を拡大した縦断
面図、第２図はこの考案の第１実施例の半導体素
子上での位置検出用アルミ電極２の位置を示す平
面図、第３図はこの考案の第２実施例の位置検出
用アルミ電極２ａ，２ｂとバンプ電極１の部分を
拡大した縦断面図、第４図はおよび第５図は従来
のパンプ電極付半導体素子の平面図および拡大縦
断面図である。 １……バンプ電極、２，２ａ，２ｂ……位置検
出用アルミ電極、３……絶縁膜、４……酸化膜、
５……拡散層、６……ウエーハ、７……アルミ、
ａ……バンプ電極の有効平面寸法、ｂ……位置検
出用アルミ電極の寸法。
Claims (1)
- 位置検出用アルミ電極を有するバンプ電極付半
導体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6811490U JPH0426537U (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6811490U JPH0426537U (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426537U true JPH0426537U (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=31602275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6811490U Pending JPH0426537U (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0426537U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000044041A1 (en) * | 1999-01-22 | 2000-07-27 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor integrated circuit and manufacture thereof |
-
1990
- 1990-06-27 JP JP6811490U patent/JPH0426537U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000044041A1 (en) * | 1999-01-22 | 2000-07-27 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor integrated circuit and manufacture thereof |