JPH03101557U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03101557U JPH03101557U JP986690U JP986690U JPH03101557U JP H03101557 U JPH03101557 U JP H03101557U JP 986690 U JP986690 U JP 986690U JP 986690 U JP986690 U JP 986690U JP H03101557 U JPH03101557 U JP H03101557U
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- JP
- Japan
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- metal
- electrode
- type semiconductor
- thin film
- semiconductor layer
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 6
Landscapes
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第１図は、本考案の薄膜トランジスタの一実施
例を示す断面図、第２図は、従来の薄膜トランジ
スタを示す断面図である。 １１……基板、１２……ゲート電極、１３……
ゲート絶縁膜、１４……ｉ型半導体層、１５……
ｎ型半導体層、１６……ソース・ドレイン電極。
例を示す断面図、第２図は、従来の薄膜トランジ
スタを示す断面図である。 １１……基板、１２……ゲート電極、１３……
ゲート絶縁膜、１４……ｉ型半導体層、１５……
ｎ型半導体層、１６……ソース・ドレイン電極。
Claims (1)
- 絶縁性基板上に形成され、ゲート電極、ゲート
絶縁膜、ｉ型半導体層、ｎ型半導体層およびソー
ス・ドレイン電極より構成される薄膜トランジス
タにおいて、前記基板上に形成される上記ゲート
電極あるいはソース・ドレイン電極を第１および
第２の金属の２層構造の金属で構成し、且つ上記
第１の金属表面に凹凸部を形成し、この第１の金
属の凹凸部上に上記第２の金属を形成するように
したことを特徴とする薄膜トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP986690U JPH083022Y2 (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 薄膜トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP986690U JPH083022Y2 (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 薄膜トランジスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03101557U true JPH03101557U (ja) | 1991-10-23 |
| JPH083022Y2 JPH083022Y2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=31513452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP986690U Expired - Lifetime JPH083022Y2 (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | 薄膜トランジスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083022Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-02-05 JP JP986690U patent/JPH083022Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH083022Y2 (ja) | 1996-01-29 |