JPH0464806U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0464806U JPH0464806U JP10782590U JP10782590U JPH0464806U JP H0464806 U JPH0464806 U JP H0464806U JP 10782590 U JP10782590 U JP 10782590U JP 10782590 U JP10782590 U JP 10782590U JP H0464806 U JPH0464806 U JP H0464806U
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- JP
- Japan
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- metal film
- line including
- output line
- dielectric film
- film
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- Pending
Links
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例を示す平面図、第
１図ｂは第１図ａのＸ−Ｘ線断面図、第２図ａは
一実施例の変形を示す平面図、第２図ｂは第２図
ａのＸ−Ｘ線断面図、第３図は高周波分岐回路の
一例の回路図、第４図ａは従来例を示す平面図、
第４図ｂは第４図ａのＹ−Ｙ線断面図である。 １……基板、２，２−１，２−２……第１金属
膜、３……第１誘電体膜、４……第２金属膜、５
……第２誘電体膜、６，６−１，６−２……第３
金属膜、１１……入出力、１２……第１出力線、
１３……第２出力線、１４……パツド、１５……
誘電体膜、１６−１，１６−２……上層金属膜、
１７……Ｐ型拡散層、１８……Ｎ型半導体層。
１図ｂは第１図ａのＸ−Ｘ線断面図、第２図ａは
一実施例の変形を示す平面図、第２図ｂは第２図
ａのＸ−Ｘ線断面図、第３図は高周波分岐回路の
一例の回路図、第４図ａは従来例を示す平面図、
第４図ｂは第４図ａのＹ−Ｙ線断面図である。 １……基板、２，２−１，２−２……第１金属
膜、３……第１誘電体膜、４……第２金属膜、５
……第２誘電体膜、６，６−１，６−２……第３
金属膜、１１……入出力、１２……第１出力線、
１３……第２出力線、１４……パツド、１５……
誘電体膜、１６−１，１６−２……上層金属膜、
１７……Ｐ型拡散層、１８……Ｎ型半導体層。
Claims (1)
- 所定層次の第１金属膜を含む第１出力線と、前
記第１金属膜上に第１誘電体膜を介して設けられ
た第２金属膜を含む入力線と、前記第２金属膜上
に第２誘電体膜を介して設けられた第３金属膜を
含む第２出力線とからなることを特徴とする超高
周波分岐回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10782590U JPH0464806U (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10782590U JPH0464806U (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0464806U true JPH0464806U (ja) | 1992-06-04 |
Family
ID=31854516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10782590U Pending JPH0464806U (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0464806U (ja) |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP10782590U patent/JPH0464806U/ja active Pending