JPH02266135A - 三次元免震・除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、地震から常時微動までの広い範囲の振動を低
減して、上載設備を振動から守る三次元免震・除振装置
に関するものである。

［従来の技術］ 地震その他の突発的な原因による振動が正常な機器の作
動や作業員の作業に悪影響を及ぼすことは明らかてあり
、又近年ては、半導体しサ一応用なとの超精密製造設備
などにおいて、特に数１（ｚ〜ｌ００１１ｚ稈度の振動
数で数ミクロンの振幅をもつ微振動が嫌われる為、こう
した地震の免震と微振動までの種々の振動の除振を、同
時に達成できる装置が要求されるようになって来ている
。

第２図は従来の三次元免震・除振装置の一例を示すもの
で、ゴム板１と金属板２とを交互に積層した積層ゴム体
３を、建屋床４にその下端を固定して立設し、該積層ゴ
ム体３上部に設けた空気ばね５を介して免震床６を支持
するようにしである。図中７は該空気ばね５を位置固定
するよう免震床６側に設けられた位置決め筒材を示して
いる。

［発明か解決しようとする課題］ しかしながら、上記第２図に示す従来構造では、積層ゴ
ム体３を用いる為、建屋床４に対する免震床６高さが高
くなってしまう欠点があり、それによって前部免震床６
の他の支持構造か全て大型化してしまう問題かあった。

又、前記積層ゴム体３は設置コストか高いことに加え免
震床６の−１−載荷重が小さいと水平方向の変形性能が
発揮されない欠点かあった。

本発明は」二連の実情に鑑みて成したもので、従来より
高さ寸法が小さく且つ低コスー・で、免震床の上載荷重
か小さくても確実に作用する三次元免震・除振装置を提
供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明は建屋床に固定したベースプレー１・上に、所要
の摩擦抵抗を有して水平方向に摺動可能なスライディン
グプレートを載置し、該スライディングプレート上にそ
の下端を固定し且つその上端を免震床に取付けた空気ば
ねで免震床を支持したことを特徴とする三次元免震・除
振装置にかかるものである。

［作　　　用］ 従って、本発明によれば、微振動を含む通常の小さな振
動は空気はねによって効果的に除振され、且つ地震発生
時の」１下方向の大きな地震力は前記空気はねによって
、主たる水平方向の大きな地震力はスライプインクプレ
ー１・がベースプレー１・」二を相対的に摺動すること
によって免震される。

［実　施　例コ 以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。

第１図は本発明の一実施例であり、図示する如く建屋床
４」−の所要位置に、」二面に金属メツキ等を施したベ
ースプレート８を固定し、該ベースプレート８上に樹脂
材、鋳造材、又は撓結材等から成るスライディングプレ
ート９を水平方向に摺動可能に載置する。該スライディ
ングプレ−１・９Ｊ：部には、その外周部に蛇腹形状を
有したヘロース型の空気はね１０の下端を固定し、且つ
該空気はね１０の上端を取付金具１］を介して免震床６
下面に取付は免震床６を支持させる。

図中、１３は前記空気はねＩＯ外周部に蛇腹形状を形成
せしめるリンク祠を示す。

又、建屋床４にその一端を固定し旧っ他端をスライディ
ングプレート９に取イ・１けた変位抑制用コイルばね１
２を前記スライディングプレ−１・９を囲むように放射
状に配設し、該各変位抑制用コイルばねＩ２の半径方向
の引き力のバランスによって前記スライディングプレー
ト９はその水平方向の変位を抑制された状態となってい
る。

」１記構成において、外部からの或いは内部の機器等に
よって生じる微振動及び比較的小さな振動は、空気ばね
１０によって効果的に除振される。

又、地震のような大きなエネルギーの変動か発生した場
合は、上下方向の地震力は前記空気ばね１０によって免
震され、主たる水平方向の地震力はヘースプレート８上
をスライディングプレート９か水平方向に相対的に摺動
して逃げることによって免震される。又、この時の水平
方向の地震力は、スライディングプレート９とへ一スプ
レート８との摺動抵抗により摺動する度に減衰され、免
震床６と建屋床４との水平方向の過大な相対変位の発生
か抑制される。

尚、スライディングプレート９は前述した９ｕく変位抑
制用コイルはね１２により水平方向の変位を抑制されて
いるのでベースプレー１・８幅以」二に摺動してしまう
ことはない。

従って上記によれば、微振動の除振から地震の免震まで
を効果的に達成することかできると共に、水平方向の地
震力を、高さ寸法の小さなベースプレー１−８及びスラ
イディングプレ−１・９の摺動によって免震できるので
、積層ゴム体（第２図参照）を用いた従来装置と比較し
て大幅に高さ寸法か低減され、免震床６高さを低くする
ことかできる。

更に」−記により図示しない免震床６の他の支持構造を
著しくコンパクト化することができる。

又、空気ばね１０が非常に安価である上、ベープレート
８及びスライディングプレート９の製作コストが低いの
で、従来の三次元免震・除振装置と比較して大幅なコス
トダウンを図ることができる。

又、本発明はベースプレー１・８とスライディンクプレ
ー！・９との摺動によるスライト力式であるので、免震
床６の上載６：Ｉ重か小さくても確実に水平方向の地震
力を免震することかてきる。

尚、変位抑制用コイルはね１２は、スライディングプレ
−１・９をベースプレー１・８幅以上に摺動させないよ
うに配設したストッパ部Ｈに換えでも良く、ヘースプレ
ート８幅か十分にあれは無くても良い。

又、本発明の三次元免震・除振装置は、」二連の実施例
にのみ限定されるものではなく、空気ばねはベローズ型
以外にダイヤフラム型や、浮き袋型、又はこれらの組み
合わせ等種々の形状を採用し得ること、その池水発明の
要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得るこ
とは勿論である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の三次元免震・除振装置に
よれは、下記の如き種々の優れた効果を奏し得る。

＜Ｉ＞　　微振動の除振から地震の免震までを効果的に
達成することかてき、」−載機器及び作業者の安全性を
向上させ得る。

（ｎ）　　水平方向の地震力を高さ寸法の小さなベープ
レート及びスライディングプレートの摺動によって免震
てきるので、従来より大幅に高さ寸法が低減され、免震
床高さを低くてき、よって免震床の他の支持構造を著し
くコンパクト化することができる。

■　安価な空気ばねと製作コストの低いベースプレート
及びスライディングプレートとで構成されるので、従来
より大幅にコストを削減し得る。

［有］　ベースプレートとスライディングプレーＩ・と
の摺動により水平方向の地震力を免震するので、免震床
の」−載荷重が小さくても確実に免震できる。

（７）水平方向の地震力は、ベースプレートとスライデ
ィングプレートとの摺動抵抗により摺動する度に減衰さ
れ、免震床と建屋床との水平方向の過大な相対変位の発
生が抑制できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は従来例を
示す断面図である。 図中、４は建屋床、６は免震床、８はベースプレー１・
、９はスライディングプレート、１０は空気ばねを示す
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）建屋床に固定したベースプレート上に、所要の摩擦
   抵抗を有して水平方向に摺動可能なスライディングプレ
   ートを載置し、該スライディングプレート上にその下端
   を固定し且つその上端を免震床に取付けた空気ばねで免
   震床を支持したことを特徴とする三次元免震・除振装置
   。