JP2014177963A - 空気ばね装置及び防振装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本構成を有さない場合と比較して、簡易な構造でより効果的に三次元方向の揺れを防止する空気ばね装置及び防振装置を提供する。
【解決手段】空気ばね装置１６は、筒状部を備える枠体４２と、この枠体４２の内部に少なくとも一部が収容されるピストン部材４４と、枠体４２とピストン部材４４との間に空気室５０を形成するとともに、これら枠体４２とピストン部材４４とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体４６と、を有し、枠体４２とピストン部材４４との垂直方向に対する距離が大きくなる場合に、これら枠体４２とピストン部材４４との水平方向に対する距離が大きくなる。
【選択図】図４

Description

本発明は、空気ばね装置及び防振装置に関する。

三次元方向の揺れに対応するように、水平方向の揺れを防止する手段と垂直方向の揺れを防止する手段とを備える防振装置がある。

特許文献１には、積層ゴムからなる水平免震手段と空気ばねからなる垂直免震手段とを直列に連結して、空気ばねは空気室を画成し外周を外筒の内周面に密着状態で覆われたベローズを備え、積層ゴムとしては鉛プラグ入り積層ゴムまたは高減衰積層ゴムが用いられ、ベローズ内に画成された空気室と作動体の内部に形成された補助タンクとがオリフィスを介して連通される３次元免震装置が開示されている。

特開２００５−０１６６３３号公報

空気ばね装置は、主に垂直方向の揺れを防止することに用いられ、水平方向の揺れを防止する機能については十分ではなかった。このため、空気ばね装置は、三次元方向の揺れに対応しにくいという問題があった。

本発明は、本構成を有さない場合と比較して、より効果的に三次元方向の揺れを防止する空気ばね装置及び防振装置を提供することを目的とする。

本発明の一つの態様における空気ばね装置は、筒状部を備える第一の部材と、前記第一の部材の内部に少なくとも一部が収容される第二の部材と、前記第一の部材と前記第二の部材との間に空気室を形成するとともに、該第一の部材と該第二の部材とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体と、を有し、前記第一の部材と前記第二の部材との垂直方向に対する距離が大きくなる場合に、該第一の部材と該第二の部材との水平方向に対する距離が大きくなる。
これにより、本構成を有さない場合と比較して、簡易な構造でより効果的に三次元方向の揺れを防止する空気ばね装置を提供することができる。

好適には、前記第二の部材は、前記第一の部材側が小径となっていて、該第一の部材の反対側に向けて徐々に径が大きくなるテーパー状に形成されている。
これにより、本構成を有さない場合と比較して、構造をより簡略化することができる。

好適には、テーパー角度が3 〜 10度である。
これにより、本構成を有さない場合と比較して、垂直方向の揺れに対してより効果的に対応することができる。

本発明の他の態様における防振装置は、対象物を載置する載置台と、前記載置台に載置される対象物への振動を防止する空気ばね装置と、を有し、前記空気ばね装置は、筒状部を備える第一の部材と、前記第一の部材の内部に少なくとも一部が収容される第二の部材と、前記第一の部材と前記第二の部材との間に空気室を形成するとともに、該第一の部材と該第二の部材とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体と、を有し、前記第一の部材と前記第二の部材との垂直方向に対する距離が大きくなる場合に、該第一の部材と該第二の部材との水平方向に対する距離が大きくなる。
これにより、本構成を有さない場合と比較して、簡易な構造でより効果的に三次元方向の揺れを防止する防振装置を提供することができる。

好適には、前記空気ばね装置に支持され、該空気ばね装置が防止する水平方向の振動よりも大きい震動に対応する水平方向免震機構、をさらに有する。
これにより、より大きな揺れに対しても対応することができる。

好適には、前記水平方向免震機構は、前記載置台を支持する基台と、前記載置台と前記基台との間に設けられ、該載置台及び該基台よりも滑り性が高い滑り性部材と、を有し、前記滑り性部材を介して、前記基台と前記載置台とを相互に滑らせるようにして震動に対応する。
これにより、本構成を有さない場合と比較して、より効果的に大きな揺れに対しても対応することができる。

本発明によれば、本構成を有さない場合と比較して、簡易な構造でより効果的に三次元方向の揺れを防止することができる。

本発明の一実施形態に用いられる防振装置の上面図である。 本発明の一実施形態に用いられる防振装置の正面図である。 本発明の一実施形態に用いられる免震機構の中心部分周辺の拡大正面図である。 第一の実施形態にかかる空気ばね装置周辺の概略図である。 第一の実施形態にかかる空気ばね装置の動作を説明する説明図である。 ピストン部材の形状について説明する説明図である。 第二の実施形態にかかる空気ばね装置周辺の概略図である。 第三の実施形態にかかる空気ばね装置周辺の概略図である。 第四の実施形態にかかる空気ばね装置周辺の概略図である。

［第一の実施形態］
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、防振装置１０の上面図を示す。
図２は、防振装置１０の正面図を示す。
図３は、免震機構１４の中心部分周辺の拡大正面図を示す。

防振装置１０は、テーブルや床などの設置面に設置され、この防振装置１０に載置された対象物への振動を防止するようになっている。防振装置１０には、対象物として例えば、精密機器や骨とう品等が載置される。

防振装置１０は、対象物を載置する載置台１２と、水平方向の免震として機能する免震機構１４と、載置台１２に載置された対象物への振動を防止する複数の空気ばね装置１６と、これら空気ばね装置１６の周囲を囲うようにして設けられたカバー１８とを有する。載置台１２の下方に免震機構１４が配設され、この免震機構１４が複数（本実施形態においては四つ）の空気ばね装置１６により支持されている。
載置台１２は、例えば、アルミやスチール、非磁性のステンレス等からなるハニカムベンチにより構成される。

カバー１８には、空気ばね装置１６に空気を供給する供給口２０と、複数（本実施形態においては四つ）の固定部材２２とが設けられている。
固定部材２２は、例えばＬアングルであり、カバー１８と接触する面２２ａと、設置面に接触する面２２ｂとを備える。固定部材２２の面２２ａは、カバー１８に対してねじ等により取り付けられるようになっている。固定部材２２の面２２ｂには、両面テープ等からなる接着部材２４が設けられている。接着部材２４により固定部材２２と設置面とを接着することで、この設置面に与える影響を抑制して（穴などをあけることなく）防振装置１０が設置面に対して固定される。

免震機構１４は、空気ばね装置１６が防止する水平方向の振動よりも大きい震動に対応する。免震機構１４は、比較的大きい地震（例えば、震度４以上）が発生した場合に動作する。
ここで「振動」とは、例えば、歩行や建造物の揺れ等、日常の行為や現象に起因する揺れを示し、防振装置が防振の対象として通常想定する揺れを意味する。また、「震動」とは、地震等に起因する揺れを示し、「振動」よりも大きな揺れを意味する。

免震機構１４は、ストッパ部材３０と、載置台１２の下面に設けられた板状の滑り性部材３２と、載置台１２の下方に配置されこの載置台１２を支持する基台３４とを備える。
ストッパ部材３０は、水平方向に対する衝撃を緩衝する部材であり、例えばウレタンモールドベアリング等が用いられる。ストッパ部３０は、表面が柔軟な素材からなり、垂直方向を軸として回転自在となっている。滑り性部材３２は、載置台１２及び基台３４よりも高い滑り性を有する部材であり、例えばランナーステンレス等が用いられる。基台３４の略中央にはこの基台３４を貫通するように開口部３６が形成されている。基台３４の開口部３６に対応するようにして、載置台１２のストッパ部３０が配置されている。
免震機構１４は、滑り性部材３２を介して、基台３４と載置台１２とを相互に滑らせるようにして震動に対応する。載置台１２及び基台３４が水平方向に対して予め定められた距離を相対的に移動すると、ストッパ部３０が開口部３６の内壁３６ａに衝撃を緩衝するようにして接触する。このため、衝撃を緩和しつつ、載置台１２及び基台３４が予め定められた距離以上離れることが防止される。

免震機構１４によれば、本構成を有さない場合と比較して、高さ方向に対して省スペース化される。

次に、空気ばね装置１６の詳細について説明する。
図４は、空気ばね装置１６周辺の概略図を示す。

空気ばね装置１６は、水平方向に対しては、「振動」及び比較的小さい地震（例えば、震度３以下）による「震動」に対応し、垂直方向に対しては、「振動」及び比較的小さい地震から比較的大きい地震による「震動」に対応する。
防振装置１０は、「振動」及び比較的小さい地震による「震動」に対しては空気ばね装置１６で対応し、比較的大きい「震動」に対しては空気ばね装置１６及び免震機構１４で対応するようになっている。このように、防振装置１０は、防振に加え、免震としても機能する。

空気ばね装置１６は、筒状部を備える第一の部材としての枠体４２と、第二の部材としてのピストン部材４４と、これら枠体４２とピストン部材４４とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体（横隔膜状部材）４６とを備える。

枠体４２は、上面が開口し側面及び底面が囲われた筒状に形成されている。枠体４２は、下部が設置面と接触するようになっている。枠体４２の内壁は、垂直方向に対して略平行となっている。
枠体４２の内部の底面には、例えば低反発スポンジ等からなり衝撃を緩衝する緩衝部材４８が設けられている。

空気ばね本体４６は、枠体４２の上面を覆うようにして設けられている。空気ばね本体４６は弾性体からなり横隔膜状に形成されている。空気ばね本体４６は、外縁が枠体４２に挟み込まれている。

本実施形態においては、空気ばね本体４６と枠体４２とで囲まれる空間に空気室５０が形成される。空気室５０には、枠体４２に設けられた空気導通路（オリフィス）５２を介して空気タンク５４から空気が吸入・吸出するようになっている。

ピストン部材４４は、枠体４２の上方に空気ばね本体４６を介して設けられ、少なくともその一部が枠体４２の内部に収容されるようになっている。
ピストン部材４４の下面に、空気ばね本体４６及びリテーナ５５がねじ５６によって取り付けられている。水平方向においてピストン部材４４と枠体４２とで挟まれた箇所に、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａが形成される。

ピストン部材４４は、載置台１２及び免震機構１４を支持している。
ピストン部材４４の上面には凸部４４ａが形成されており、この凸部４４ａは基台３４の下面に形成された凹部３４ａに嵌るようになっている。ピストン部材４４の凸部４４ａと基台３４の凹部３４ａとが嵌り合うことで、これらが位置合わせされる。凸部４４ａは例えば、ねじ頭などにより構成するようにしてもよい。

このように、空気ばね本体４６によって、枠体４２とピストン部材４４との間に空気室５０が形成されるとともに、これら枠体４２とピストン部材４４とが相対的に移動自在に接続されている。

ピストン部材４４は、枠体４２側（下方側）が小径となっていて、この枠体４２の反対側（上方側）に向けて徐々に径が大きくなるテーパー状に形成されている。
ピストン部材４４の側面は略面一（つらいち）に形成され、上面から下面に向けて直線状に傾斜している。ピストン部材４４の水平方向の長さ（幅）は、上方から下方に向けて直線的に減少するようになっている。

空気ばね装置１６は、可動範囲（ストロークの長さ）が下降方向よりも上昇方向に長くなっている。例えば、空気ばね装置１６は、ストロークの長さが−10 〜 ＋25 mmとなっている。すなわち、空気ばね装置１６においては、ピストン部材４４は、通常の状態において枠体４２の内部の底面から10 mm上昇するようにして配置されている。空気ばね装置１６は、本構成を有さない場合と比較して、上昇方向への変位が大きくなっている。
通常の防振装置に用いられる空気ばね装置においては、ストロークの長さは例えば±10 mm程度である。このため、本実施形態における空気ばね装置１６は、通常想定される振動よりも大きな震動についても、対応するようになっている。

次に、空気ばね装置１６の垂直方向の動作について説明する。
図５は、空気ばね装置１６の動作を説明する説明図を示す。
図５（ａ）は、ピストン部材４４が枠体４２に対して最も離間（上昇）している状態（以下、「上昇状態」と称す）を示し、図５（ｂ）は、通常の状態（以下、「通常状態」と称す）を示し、図５（ｃ）は、ピストン部材４４が枠体に対して最も接近（下降）している状態（以下、「下降状態」と称す）を示す。

図５（ｂ）に示すように、通常状態においてピストン部材４４は、上昇及び下降自在に配置されている。
この際、水平方向に対して、ピストン部材４４と枠体４２とが最も近づく位置の距離（最近接距離）は「X2」（例えば5 mm程度）となり、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａの間の幅は「Y2」（例えば4 mm程度）となる。
空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａの幅は、枠体４２の特定の位置（高さ）において対向する空気ばね本体４６の距離として求められる。この基準点において水平方向について折り返し部分４６ａが対向しない場合（図５（ａ））は、ピストン部材４４の側面の下限と接触する空気ばね本体４６の位置を垂直に下した線Ｌまでの距離として求めるようにすればよい。

図５（ａ）に示すように、上昇状態においては、ピストン部材４４と枠体４２との垂直方向に対する距離が最も大きくなっている。
この際、水平方向に対して、ピストン部材４４と枠体４２との最近接距離は「X3」（例えば9 mm程度）となり、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａの間の幅は「Y3」（例えば7 mm程度）となる。

図５（ｃ）に示すように、下降状態においては、ピストン部材４４と枠体４２との垂直方向に対する距離が最も小さくなっている。
この際、水平方向に対して、ピストン部材４４と枠体４２との最近接距離は「X1」（例えば4 mm程度）となり、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａの間の幅は「Y1」（例えば3 mm程度）となる。
この際、垂直方向に対してピストン部材４４の９割程度が枠体４２の内部に収容された状態となる。

下降状態においては、ピストン部材４４の下部は、緩衝部材４８を介して枠体４２と接触する。このため、ピストン部材４４が下降した際に、枠体４２と接触する衝撃が緩衝される。

このように、ピストン部材４４と枠体４２との最近接距離は小さい順に、下降状態における「X1」、通常状態における「X2」、上昇状態における「X3」となる。また、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａの間の幅は小さい順に、下降状態における「Y1」、通常状態における「Y2」、上昇状態における「Y3」となる。

比較的大きな震動は、下から突き上げるような揺れを含むものが多い。一般的に、震動が下から突き上げるような揺れを含む場合、震度が大きくなり易く、水平方向に対する揺れも大きくなり易い。このため、ピストン部材４４が下降する場合と比較して、このピストン部材４４が上昇する場合ほど、水平方向の揺れに対応する必要性が増す。
空気ばね装置１６は、枠体４２とピストン部材４４との垂直方向に対する距離が大きくなるほど、これら枠体４２とピストン部材４４との水平方向に対する距離が大きくなるようになっている。このため、ピストン部材４４が上昇するほどこのピストン部材４４と枠体４２との距離が大きくなり、この部分における空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａの幅が大きくなる。
空気ばね装置１６は、垂直方向の揺れの防止に加え、本構成を有さない場合と比較して、より効果的に水平方向に対する揺れを防止する。

次に、ピストン部材４４の形状と、その垂直方向への移動に与える影響について説明する。
図６は、ピストン部材４４の形状について説明する説明図を示す。

ピストン部材４４のテーパー角度θは3 〜 10度であることが好ましく、5 〜 8度であることがより好ましい。ピストン部材４４のテーパー角度がこの範囲にある場合、この範囲外である場合と比較して、垂直方向への移動が阻害されにくい。
「テーパー角度θ」は、ピストン部材４４の側面と空気室５０の内壁とのなす角度を示す。

図６（ａ）に示すように、ピストン部材４４のテーパー角度が3 〜 10度である場合、このピストン部材４４を浮上（上昇）させたとき、空気ばね本体４６が座屈しにくく、空気室５０からの圧力がピストン部材４４に加わり易い。このため、ピストン部材４４の垂直方向への移動が阻害されにくい。

図６（ｂ）に示すように、テーパーが形成されていないピストン部材５７を用いた場合、あるいは、テーパー角度が小さいピストン部材５７を用いた場合（テーパー角度が3度未満である場合）、このピストン部材５７を浮上させたとき、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａが座屈することがあり、空気室５０からの圧力がピストン部材５７に加わりにくくなる。このため、ピストン部材５７の垂直方向への移動が阻害され易い。

図６（ｃ）に示すように、テーパー角度が大きいピストン部材５８を用いた場合（テーパー角度が１０度を超える場合）、空気ばね本体４６の浮上力が弱く空気室５０からの圧力がピストン部材５８に加わりにくくなることがある。また、空気室５０内の圧力を上げると、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａが膨らむことがある。

［第二の実施形態］
次に、第二の実施形態について説明する。
第一の実施形態においては、筒状部を備える枠体４２の上方にピストン部材４４が配置された空気ばね装置１６を用いていたのに対し、第二の実施形態においては空気ばね装置６０を用いている点で、両者は異なる。実質的に同一の部材については、説明を省略する。
図７は、第二の実施形態における空気ばね装置６０周辺の概略図を示す。

第二の実施形態における空気ばね装置６０は、筒状部を備える第一の部材としての枠体６２と、第二の部材としてのピストン部材６４と、これら枠体６２とピストン部材６４とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体４６とを備える。

枠体６２は、下面が開口し側面及び底面が囲われた筒状に形成されている。枠体６２の内壁は、垂直方向に対して略平行となっている。
枠体６２の内部の下面には、緩衝部材４８が設けられている。

第二の実施形態においては、枠体６２が、載置台１２及び免震機構１４を支持している。
枠体６２の上面には凸部６２ａが形成されており、この凸部６２ａは基台３４の下面に形成された凹部３４ａに嵌るようになっている。枠体６２の凸部６２ａと基台３４の凹部３４ａとが嵌り合うことで、これらが位置合わせされる。凸部６２ａは例えば、ねじ頭などにより構成するようにしてもよい。

空気ばね本体４６は、枠体４２の下面を覆うようにして設けられている。
第二の実施形態においては、空気ばね本体４６と枠体６２とで囲まれる空間に空気室５０が形成される。

ピストン部材６４は、下部が設置面と接触するようになっている。ピストン部材６４は、枠体６２の下方に空気ばね本体４６を介して設けられ、少なくともその一部が枠体６２の内部に収容されるようになっている。
ピストン部材６４の上面に、空気ばね本体４６及びリテーナ５５がねじ５６によって取り付けられている。水平方向においてピストン部材６４と枠体６２とで挟まれた箇所に、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａが形成される。

このように、空気ばね本体４６によって、枠体６２とピストン部材６４との間に空気室５０が形成されるとともに、これら枠体６２とピストン部材６４とが相対的に移動自在に接続されている。

ピストン部材６４は、枠体６２側（上方側）が小径となるテーパー状に形成されている。

［第三の実施形態］
次に、第三の実施形態について説明する。
第一の実施形態においては、筒状部を備える枠体４２の上方にテーパー状に形成されたピストン部材４４が配置された空気ばね装置１６を用いていたのに対し、第三の実施形態においては空気ばね装置７０を用いている点で、両者は異なる。実質的に同一の部材については、説明を省略する。
図８は、第三の実施形態における空気ばね装置７０周辺の概略図を示す。

第三の実施形態における空気ばね装置７０は、筒状部を備える第一の部材としての枠体７２と、第二の部材としてのピストン部材７４と、これら枠体７２とピストン部材７４とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体４６とを備える。

枠体７２は、上面が開口し側面及び底面が囲われた筒状に形成されている。枠体４２は、下部が設置面と接触するようになっている。枠体７２の内壁は、設置面側が小径となるテーパー状に形成されている。
枠体７２の内部の底面には、緩衝部材４８が設けられている。

空気ばね本体４６は、枠体７２の上面を覆うようにして設けられている。
本実施形態においては、空気ばね本体４６と枠体７２とで囲まれる空間に空気室５０が形成される。

ピストン部材７４は、枠体７２の上方に空気ばね本体４６を介して設けられ、少なくともその一部が枠体７２の内部に収容されるようになっている。ピストン部材７４の側面は、通常状態において、垂直方向に対して略平行となっている。
ピストン部材７４の下面に、空気ばね本体４６及びリテーナ５５がねじ５６によって取り付けられている。水平方向においてピストン部材７４と枠体７２とで挟まれた箇所に、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａが形成される。

第三の実施形態においては、ピストン部材７４が、載置台１２及び免震機構１４を支持している。
ピストン部材７４の上面には凸部７４ａが形成されており、この凸部７４ａは基台３４の下面に形成された凹部３４ａに嵌るようになっている。ピストン部材７４の凸部７４ａと基台３４の凹部３４ａとが嵌り合うことで、これらが位置合わせされる。凸部７４ａは例えば、ねじ頭などにより構成するようにしてもよい。

このように、空気ばね本体４６によって、枠体７２とピストン部材７４との間に空気室５０が形成されるとともに、これら枠体７２とピストン部材７４とが相対的に移動自在に接続されている。

［第四の実施形態］
次に、第四の実施形態について説明する。
第一の実施形態においては、筒状部を備える枠体４２の上方にテーパー状に形成されたピストン部材４４が配置された空気ばね装置１６を用いていたのに対し、第四の実施形態においては空気ばね装置８０を用いている点で、両者は異なる。実質的に同一の部材については、説明を省略する。
図９は、第四の実施形態における空気ばね装置８０周辺の概略図を示す。

第四の実施形態における空気ばね装置８０は、筒状部を備える第一の部材としての枠体８２と、第二の部材としてのピストン部材８４と、これら枠体８２とピストン部材８４とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体４６とを備える。

枠体８２は、下面が開口し側面及び底面が囲われた筒状に形成されている。枠体８２の内部の下面には、緩衝部材４８が設けられている。枠体８２の内壁は、下方側が小径となるテーパー状に形成されている。

第四の実施形態においては、枠体８２が、載置台１２及び免震機構１４を支持している。
枠体８２の上面には凸部８２ａが形成されており、この凸部８２ａは基台３４の下面に形成された凹部３４ａに嵌るようになっている。枠体８２の凸部８２ａと基台３４の凹部３４ａとが嵌り合うことで、これらが位置合わせされる。凸部８２ａは例えば、ねじ頭などにより構成するようにしてもよい。

空気ばね本体４６は、枠体８２の下面を覆うようにして設けられている。
第四の実施形態においては、空気ばね本体４６と枠体８２とで囲まれる空間に空気室５０が形成される。

ピストン部材８４は、下部が設置面と接触するようになっている。ピストン部材８４の側面は、垂直方向に対して略平行となっている。
ピストン部材８４は、枠体８２の下方に空気ばね本体４６を介して設けられ、少なくともその一部が枠体８２の内部に収容されるようになっている。
ピストン部材８４の上面に、空気ばね本体４６及びリテーナ５５がねじ５６によって取り付けられている。水平方向においてピストン部材８４と枠体８２とで挟まれた箇所に、空気ばね本体４６の折り返し部分４６ａが形成される。

このように、空気ばね本体４６によって、枠体８２とピストン部材８４との間に空気室５０が形成されるとともに、これら枠体８２とピストン部材８４とが相対的に移動自在に接続されている。

上記第一〜第四の実施形態においては、枠体及びピストン部材いずれか一方をテーパー状に形成する構成について説明したが、これに限らず、両方をテーパー状に形成するようにしてもよい。

上記実施形態においては、通常想定される振動を超える震動として地震を想定した場合について説明したが、これに限らず、設置箇所への衝突による突発的な振動等についても適用される。

防振装置を床として設置するようにしてもよい。
また、防振装置に、対象物としてガスボンベ等を設置するようにしてもよい。ガスボンベのように筒状のものは転倒した場合、転がって周囲の装置や機器等を破損させることがある。このため、ガスボンベ等は特に転倒を抑制することが好ましい。ボンベチェーンやボンベスタンドを防振装置と併用することで、さらにガスボンベが転倒しにくくなる。

１０ 防振装置
１２ 載置台
１４ 免震機構
１６ 空気ばね装置
３０ ストッパ部
３４ 基台
４２ 枠体
４４ ピストン部材
４６ 空気ばね本体
４６ａ 折り返し部分
４８ 緩衝部材
５０ 空気室

Claims (6)

1. 筒状部を備える第一の部材と、
   前記第一の部材の内部に少なくとも一部が収容される第二の部材と、
   前記第一の部材と前記第二の部材との間に空気室を形成するとともに、該第一の部材と該第二の部材とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体と、
   を有し、
   前記第一の部材と前記第二の部材との垂直方向に対する距離が大きくなる場合に、該第一の部材と該第二の部材との水平方向に対する距離が大きくなる空気ばね装置。
2. 前記第二の部材は、前記第一の部材側が小径となっていて、該第一の部材の反対側に向けて徐々に径が大きくなるテーパー状に形成されている請求項１記載の空気ばね装置。
3. テーパー角度が3 〜 10度である請求項２記載の空気ばね装置。
4. 対象物を載置する載置台と、
   前記載置台に載置される対象物への振動を防止する空気ばね装置と、
   を有し、
   前記空気ばね装置は、
   筒状部を備える第一の部材と、
   前記第一の部材の内部に少なくとも一部が収容される第二の部材と、
   前記第一の部材と前記第二の部材との間に空気室を形成するとともに、該第一の部材と該第二の部材とを相対的に移動自在に接続する空気ばね本体と、
   を有し、
   前記第一の部材と前記第二の部材との垂直方向に対する距離が大きくなる場合に、該第一の部材と該第二の部材との水平方向に対する距離が大きくなる防振装置。
5. 前記空気ばね装置に支持され、該空気ばね装置が防止する水平方向の振動よりも大きい震動に対応する水平方向免震機構、
   をさらに有する請求項４記載の防振装置。
6. 前記水平方向免震機構は、
   前記載置台を支持する基台と、
   前記載置台と前記基台との間に設けられ、該載置台及び該基台よりも滑り性が高い滑り性部材と、
   を有し、
   前記滑り性部材を介して、前記基台と前記載置台とを相互に滑らせるようにして震動に対応する請求項５記載の防振装置。

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