JPH0226166B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0226166B2
JPH0226166B2 JP55017840A JP1784080A JPH0226166B2 JP H0226166 B2 JPH0226166 B2 JP H0226166B2 JP 55017840 A JP55017840 A JP 55017840A JP 1784080 A JP1784080 A JP 1784080A JP H0226166 B2 JPH0226166 B2 JP H0226166B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection
magnetic
magnetoresistive element
parts
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP55017840A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56115912A (en
Inventor
Tadashi Takahashi
Hiroshi Hayashida
Kunio Myashita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1784080A priority Critical patent/JPS56115912A/ja
Publication of JPS56115912A publication Critical patent/JPS56115912A/ja
Publication of JPH0226166B2 publication Critical patent/JPH0226166B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気的に位置や速度を検出する装置
に関し、特に、移動する磁気媒体の磁極を磁気抵
抗効果素子で磁気的に検出し、位置や速度を検出
するものである。
〔従来の技術〕
従来、磁気的に位置、角度、あるいは速度を検
出するものとして、例えば、特開昭51−78357号
公報あるいは特開昭54−162556号公報に記報され
たものが知られている。そして、前者の公報に
は、複数の磁気抵抗部14および15の両端に、
これらの磁気抵抗部14および15とは別体の電
極11および12を配置した磁電変換回路装置が
記載されている。
又、後者の公報には、特に第5図で明らかなよ
うに、磁気抵抗効果素子6の両端に磁気抵抗効果
素子とは別体の導電体端子27,28を配した角
度検出器が記載されている。
〔本発明が解決しようとする問題点〕
このように前記二つの特許公開公報には、複数
の磁気抵抗効果素子の端部に導電体端子を接続
し、磁気抵抗効果素子に所定の定電圧を付与する
構成が示されているが、両公開公報の導電体端子
は磁気抵抗効果素子とはいずれも別体でなされて
いる。
そして、それぞれの磁気抵抗効果素子と導電体
端子とは、蒸着やボンデイングあるいは他の一般
的な手法により電気的に接続されるのであるが、
磁気抵抗効果素子と導電体端子とは他のものとは
無関係に行なわないものであり、電気的接続状態
も他のものと自ずと相違しているものである。
この種の検出装置は、高い検出精度が要求さ
れ、しかも磁気抵抗効果素子間において、検出精
度の均一化が望まれる分野であり、前記電気的接
続状態のバラツキが電気抵抗のバラツキを来たす
従来技術の充全なものとはいえないものである。
又、磁気抵抗効果素子間にバラツキが存在する
ことが予め判つている場合、あるいは検査によつ
てバラツキが確認された場合は、それぞれの磁気
抵抗効果素子のオフセツト電圧を調整し、それぞ
れの磁気抵抗効果素子の検出精度を合わせる必要
があるが、この調整作業は相当厄介であり、又、
総ての検出精度を一致させることも難かしいもの
である。又、温度ドリフトもバラツキ、均一な検
出が難かしいものである。
本発明は、前記した従来技術の問題点を除去
し、複数の磁気抵抗効果素子間の検出精度のバラ
ツキを除去し、非常に煩わしい検出部のオフセツ
ト電気調整作業を不要とし、又温度ドリフトもな
く、製作性の高い装置を提供することを目的とす
るものである。
〔問題点を解決するための手段〕
前記の目的を達成するために、本発明は、磁気
抵抗効果素子は、前記磁気媒体の移動方向に対し
て直角あるいはほぼ直角方向に延び、前記磁極の
磁界に感応して内部電気抵抗が変化する並列の複
数の検出部と、およびこれらの検出部の端部に接
続され、かつ検出部と同一材料で形成される共通
端子を具備し、これらの検出部および端子部を前
記のように同一材料で形成することに加え、両者
間に電気的接続部を有しないように一体に形成
し、更に、端子部の面積を検出部の面積より非常
に大きく形成したものである。
〔作用〕
前記のように本発明は、検出部および共通端子
を同一材料で形成することに加え、両者間に電気
的接続部を有しないように一体に形成したので、
端子部と検出部間の電気的抵抗は総ての検出部に
対して一定であり、バラツキは皆無かほとんどな
くなるものである。したがつてオフセツト調整の
作業も不要となる。
更に、検出部は相当の電流密度となり、発熱す
るが、検出部の熱は、一様に電流密度の非常に小
さい端子部に伝わり、効果的に放散され、冷却さ
れるので、検出部の温度上昇も少なく、それだけ
印加する電圧を高く出来るので、出力が向上す
る。
更に、又、端子部と検出部間には継目がなく一
体化されているので、温度変化があつても熱伝達
率にバラツキがないので、温度ドリフトも小さく
なるように作用する。
〔実施例〕
本発明が適用され得る一般的な回転検出手段と
しては、第1図に示す様に、回転体1のシヤフト
2に円板状の磁気記録媒体3を取付けるととも
に、磁気記録媒体3に対向接近させて回転検出用
磁気ヘツド4を設けたものがある。そして、これ
によれば回転体1と一緒に磁気記録媒体3が回転
すると、これに記憶された磁気信号に応じて回転
検出用磁気ヘツド4に加わる磁束が変化する。そ
して、この磁束の作用により回転検出用磁気ヘツ
ドの内部電気抵抗が変化するので、これを検出す
れば回転信号を取出すことができることが知られ
ている。
ところで、この回転検出等に適用される従来の
回転検出用磁気ヘツド4は、第2図に示す様に、
非磁性体の基板5上にパーマロイ等のような磁気
抵抗効果素子6を蒸着又はエツチング等で形成す
ることによつて構成されている。また、磁気抵抗
効果素子6は、全体としてジグザグ状になる様に
直列に接続された複数の検出部R1〜R6と、その
両端部に配置されたリード線取付用の端子部A,
Bとからなり、各検出部R1〜R6の間隔は、磁気
記録媒体3の記録信号のバラツキを緩和する目的
で、各記録信号の間隔と等しくなる様に設定され
ている。
磁気抵抗効果素子6は、磁界を加えることによ
りその抵抗値が変化することを利用してその内部
電気抵抗変化を検出し、磁界の変化を知るもので
ある。しかし、一般に磁気抵抗効果素子の磁界に
よる抵抗変化率は非常に小さな値であり、最大で
2%程度である。したがつて、この抵抗変化を取
り出すには、一般にバイアス電流として定電流を
流しておき、その端子電圧の変化として取り出し
ている。磁出抵抗効果素子6に電流を流すと発熱
が起こるが、第2図に示す様なパターンを有する
従来の磁気抵抗効果素子6では、端子部A,Bか
らは良好に放熱されるものの、特に中程の配置さ
れた検出部R2〜R5からは放熱され難く、そのた
め、電流密度を大きくできないという欠点があつ
た。
さらに、総ての検出部R1〜R6が直列に接続さ
れているため、各検出部R1〜R6の電流流通断面
積にバラツキがある場合には、一番小さな流通断
面積の所で電流が制限されることになり、この部
分に発熱が集中する。たがつて、電流値を十分大
きくすることが困難であつた。また。この構成で
は1個の検出部R1〜R6の抵抗値を大きくすると、
検出部全体の抵抗値が増大し、それに伴つてバイ
アス電源の電圧も高くしなければならない。しか
し、半導体ICは5Vの低電圧で動作するものが殆
どで、バイアス電圧を余り高くすると、半導体
IC回路とのインタフエースが問題になる欠点も
あつた。
以下、本発明の一実施例を第3図について詳細
に説明する。第3図において、第2図と同一符号
は同一物または相当物を示す。
この実施例では、リード線取付用の端子部A,
Bは、各検出部R1〜R6の両端部をそれぞれ接続
する様に、各検出部R1〜R6と直角な方向に延び
る幅広の帯状体として形成され、これにより各検
出部R1〜R6を並列に接続している。これらの検
出部R1〜R6は端子部A,Bと同一材料で一体に
形成してある。
したがつて、検出部R1〜R6と端子部A,B間
に接触部は存在しない。各検出部R1〜R6の間隔
は磁気記録媒体3の記録信号の間隔と等しくすれ
ば、磁気記録媒体3の回転に対して各検出部R1
〜R6の磁束変化が同時に起こるので、前記記録
信号と等しい周波数の出力信号が得られる。また
各検出部R1〜R6の間隔を前記記録信号の間隙λ
に対して1/2λにすれば、前記記録信号の2倍の 周波数の出力信号が得られる。ただし、この場合
には、前者に比べて出力信号の電流値が低下す
る。
この実施例によれば、面積の大きいリード線取
付端子部A,Bと、各検出部R1〜R6の両端部を
同一材料で一体に形成接続したので、各検出部
R1〜R6の放熱はその両端部からリード線取付用
端子部A,Bを介して各検出部R1〜R6間でバラ
ツキがなく良好に行なわれる。又、物理的な接続
部がないので熱伝達率も高い。また、各検出部
R1〜R6の電流の流通断面線にバラツキがあり、
例えば検出部R1の電流通断面積が小さく、その
抵抗値が大きい場合と考えると、両リード線取付
用端子部A,B間に電源を接続して本実施例の様
に互に並列に接続された各検出部R1〜R6に電流
を流した場合、検出部R1の抵抗値がその他の検
出部R2〜R6の抵抗値より大きいので、この検出
部R1を流れる電流の値がその他の検出部R2〜R6
を流れる電流の値より小さくなり、検出部R1
の電流集中を防ぐことができる。さらに、リード
線取付用端子部A,B間に接続される電源は、各
検出部R1〜R6が並列に接続されているため、そ
の電圧が低くてよく、かつ検出部の数が変つても
殆ど同じ電圧で使用できる。
また、第4図は本発明の他の実施例に係る回転
検出用磁気ヘツドを示すものである。
この実施例では、各検出部R1〜R6が2つのブ
ロツクに区分たれ、一方のブロツクに属する各検
出部R1〜R6は、その両端部がそれぞれ幅広の帯
状態に形成されたリード線取付用端子部A,Bに
より接続されて互いに接続されるとともに、他方
のブロツクに属する各検出部R1〜R6は、その両
端部がそれぞれリード線取付用端子部B,C(端
子部Cも端子部A,Bと同様に幅広の帯状体に形
成されている)により接続されて互いに並列に接
続され、さらに前記2つのブロツクは端子部Bに
より互いに直列に接続されており、端子部部A,
C間に電源を接続して電流を流し、端子部B,C
間により出力信号が得られる様になつている。ま
た、両ブロツクの互いに隣接する検出部R3とR4
の間隔は、磁気記録媒体3に記録されたS,N信
号の間隔λに対して、nを整数(n=0、1、
2、3、……)とするとき、(n+1/2)λに設定 されている。
この様にすると、一方のブロツクに属する各検
出部R1〜R3が磁界を受けているときは、他方の
ブロツクに属する各検出部R4〜R6が磁界を受け
ず、また他方のブロツクに属する各検出部R4
R6が磁界を受けているときは、一方のブロツク
に属する各検出部R1〜R6が磁界を受けていない
ので、記録信号の2倍の周波数の出力信号を取り
出すことができる。また、各検出部R1〜R6の放
熱が端子部A,B,Cから良好に行なわれること
は前記実施例と同様である。
なお、前記各実施例では、磁気記録媒体を回転
体に取付けた回転検出の場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、磁気記録媒体を直線的に
移動する物体に取付ければ、直線移動体の位置検
出にも適用することができる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、磁気抵抗効
果素子は、前記磁気媒体の移動方向に対して直角
あるいはほぼ直角方向に延び、前記磁極の磁界に
感応して内部電気抵抗が変化する並列の複数の検
出部と、およびこれらの検出部の端部に接続さ
れ、かつ検出部と同一の材料で形成される端子を
具備し、これらの検出部および端子部を前記のよ
うに同一の材料で形成することを加え、両者間に
電気的接続部を有しないように一体に形成し、更
に、端子部の面積を検出部の面積より非常に大き
く形成したので、特に、端子部と検出部間の電気
的抵抗は総ての検出部に対して一定であり、バラ
ツキは皆無かほとんどなくなり、オフセツト調整
の作業も不要となる。
更に、検出部は相当の電流密度となり、発熱す
るが、検出部の熱は、一様に電流密度の非常に小
さい端子部に伝わり、効果的に放散され、冷却さ
れるので、検出部の温度上昇も少なく、それだけ
印加する電圧を高く出来るので、出力が向上す
る。
更に、又、端子部と検出部間には継目がなく一
体化されているので、温度変化があつても熱伝達
率にバラツキがなく、温度ドリフトも小さくなる
という効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は回転検出装置の概略構成図、第2図は
従来における回転検出用磁気ヘツドの平面図、第
3図および第4図はそれぞれ異なる本発明の各実
施例を示す回転検出用磁気ヘツドの平面図であ
る。 5……基板、6……磁気抵抗効果素子、R1
R6……検出抵抗部、A,B,C……リード線取
付用の端子部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 非磁性の基板と、多数の磁極を有し、移動す
    る磁気媒体と対向する前記基板の表面に担持され
    た磁気抵抗効果素子を具備し、この磁気抵抗効果
    素子の内部電気抵抗の変化を検出して前記磁気媒
    体の磁極を検出するものにおいて、 前記磁気抵抗効果素子は、前記磁気媒体の移動
    方向に対して直角あるいはほぼ直角方向に延び、
    前記磁極の磁界に感応して内部電気抵抗が変化す
    る並列の複数の検出部と、およびこれらの検出部
    の端部に接続され、かつ検出部と同一の材料で形
    成される端子を具備し、これらの検出部および端
    子部を前記のように同一の材料で形成することに
    加え、両者間に電気的接続部を有しないように一
    体に形成し、更に、端子部の面積を検出部の面積
    より非常に大きく形成したものであることを特徴
    とする磁気的に位置や速度を検出する装置。
JP1784080A 1980-02-18 1980-02-18 Magnetic head for detecting movement Granted JPS56115912A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1784080A JPS56115912A (en) 1980-02-18 1980-02-18 Magnetic head for detecting movement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1784080A JPS56115912A (en) 1980-02-18 1980-02-18 Magnetic head for detecting movement

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS56115912A JPS56115912A (en) 1981-09-11
JPH0226166B2 true JPH0226166B2 (ja) 1990-06-07

Family

ID=11954865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1784080A Granted JPS56115912A (en) 1980-02-18 1980-02-18 Magnetic head for detecting movement

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS56115912A (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58139014A (ja) * 1982-02-15 1983-08-18 Hitachi Ltd ロ−タリ−エンコ−ダ
JPS6184518A (ja) * 1984-10-03 1986-04-30 Hitachi Ltd 位置検出用磁気センサ
JPS6234302A (ja) * 1985-08-08 1987-02-14 Canon Electronics Inc エンコ−ダ装置
JPS62135721A (ja) * 1985-12-10 1987-06-18 Akai Electric Co Ltd 磁気センサ
JPS62247214A (ja) * 1986-10-20 1987-10-28 Hitachi Ltd 磁気エンコーダ
JPS62247213A (ja) * 1986-10-20 1987-10-28 Hitachi Ltd 磁気エンコーダ
JPS62247212A (ja) * 1986-10-20 1987-10-28 Hitachi Ltd 磁気エンコーダ
JPS62162216A (ja) * 1986-10-20 1987-07-18 Hitachi Ltd 磁気ヘツド

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5178357A (ja) * 1974-12-28 1976-07-07 Denki Onkyo Co Ltd Jidenhenkankairosochi
JPS54162556A (en) * 1978-06-13 1979-12-24 Nec Corp Angle detector

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5178357A (ja) * 1974-12-28 1976-07-07 Denki Onkyo Co Ltd Jidenhenkankairosochi
JPS54162556A (en) * 1978-06-13 1979-12-24 Nec Corp Angle detector

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56115912A (en) 1981-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4523243A (en) Magnetoresistive transducer using an independent recessed electromagnetic bias
US5049809A (en) Sensing device utilizing magneto electric transducers
US7196506B2 (en) Surface-mounted integrated current sensor
EP0300635B1 (en) Current detecting device using ferromagnetic magnetoresistance element
US4385273A (en) Transducer for measuring a current-generated magnetic field
US5218279A (en) Method and apparatus for detection of physical quantities, servomotor system utilizing the method and apparatus and power steering apparatus using the servomotor system
JPH06216308A (ja) 樹脂封止型半導体装置
US4499515A (en) Integrated magnetostrictive-piezoresistive magnetic recording playback head
JPS61213781A (ja) 磁気抵抗感知装置
EP0021392A1 (en) Magnetic transducing head assemblies
JPH077196A (ja) 磁界センサ及び磁界検知方法
US4853631A (en) Magnetoresistive sensor having inter-leaved magnetoresistive elements for detecting encoded magnetic information
JPH0226166B2 (ja)
JPH05281319A (ja) 磁気センサ
US4438470A (en) Magnetic head of magnetic reluctance effect type and a method for making the same
GB1073235A (en) Travel sensing devices employing hall generators
JPH02238372A (ja) 電流検出器
JPS625284B2 (ja)
JPS5931150B2 (ja) 磁気バブルモジユ−ル
JP2712206B2 (ja) 電流検出装置
JPS58166527A (ja) 磁気抵抗効果ヘツド
JP2663460B2 (ja) 磁気方位センサ
JPS6326451B2 (ja)
JPH11211803A (ja) 磁気インピーダンス素子を具える磁気センサ
JPH0221152B2 (ja)