JP3144051B2 - 電流検出器 - Google Patents

電流検出器

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JP3144051B2 JP04132181A JP13218192A JP3144051B2 JP 3144051 B2 JP3144051 B2 JP 3144051B2 JP 04132181 A JP04132181 A JP 04132181A JP 13218192 A JP13218192 A JP 13218192A JP 3144051 B2 JP3144051 B2 JP 3144051B2
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    • G01R15/205Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using magneto-resistance devices, e.g. field plates

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回路に流れる交流及び直
流の電流量を磁気抵抗素子を用いて検出する電流検出器
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、電流検出器は電動機の回転やトル
クの制御をはじめとする電流値制御のための電流検出手
段として、また過電流保護回路などの電流スイッチに利
用する検出手段として広く利用されてきている。
【0003】以下に従来の電流検出器について説明す
る。従来、電流の検出は主に電流通路の一部に直列に取
り付けた抵抗により生じる電圧降下を利用して測定する
ことにより行われてきた。しかしこの方法では電流を測
定しようとする回路から直接信号を得るため、そのまま
では電流回路と検出回路との絶縁ができないことによ
り、特に電圧の高い回路などでは他に絶縁の手段が必要
になる。また回路中に抵抗を挿入するため、検出電流量
が大きくなるにつれ、その抵抗からの発熱が問題となっ
てきた。
【0004】このような絶縁性をもたせたり、入力抵抗
を低くすることを目的として利用されるようになってき
たのがホール素子を使った電流検出器である。図9はこ
の電流検出器の構造を示すものである。図9において、
1,1’は被測定電流の入力端子で、この入力端子1,
1’を通して測定しようとする電流を磁性体コア2に巻
いたコイル3に流す。前記磁性体コア2にはギャップ2
aを設けており、そのギャップ2a中にホール素子4を
取り付けている。このホール素子4は、2個の端子を電
源5に、他の2個の端子を差動増幅器6にそれぞれ接続
している。また、7は出力端子である。
【0005】以下その動作について説明する。まず、電
流Iを入力端子1,1’に入力し、磁性体コア2に巻か
れたコイル3に流すことによって、磁性体コア2とその
ギャップ2aには磁界が発生する。この時、磁性体コア
2の磁路長をl、その断面積をs、ギャップ長をl’、
また磁性体コアの透磁率をμ、空気の透磁率をμ0、コ
イル3の巻数をNとすると、ギャップ2aに発生する磁
束密度Bは次式(1)によって表される。
【0006】
【数1】
【0007】次にホール素子の出力についてみる。ホー
ル素子4に電源5から供給されるホール電流をIHとし
てホール電流に垂直な方向へ磁界Bを加えると、ホール
電流と磁界の双方に直角な方向にホール電圧VHが発生
する。発生するホール電圧は定数Kを使うと次式(2)
によって表される。
【0008】VH=K・IH・B……(2) したがって入力電流Iとホール電圧VHは次式(3)の
ような比例関係にあることが分かる。
【0009】
【数2】
【0010】このように発生したホール電圧は差動増幅
器6により増幅され、入力電流に比例した電圧として出
力端子7に出力され、その値から入力電流値を知ること
ができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
では、検出素子であるホール素子4の磁気感度が小さい
ため、被測定電流により発生する磁界を大きくする必要
がある。検出器の出力を考えたとき入力に必要な磁束の
大きさは最低10Oeである。例えば10Aの電流を検
出する場合に必要なコイル3の巻数は約6回であり、か
つコイル3に使用する銅線がφ1.5mm程度と太いこと
もあり、したがって磁性体コア2とコイル3の形状は大
きなものとなる。
【0012】このことは検出器の小型化に対する障害に
なるばかりでなく、コストアップの要因、さらには磁性
体コア2とコイル3のインピーダンスによる周波数特性
の低下を招くこととなる。また、磁性体コア2の透磁率
μやホール素子4の温度特性の影響およびホール素子4
の出力ばらつきを吸収するためにその調整回路や補償回
路などの付加回路を必要とする問題点を持っている。
【0013】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、構成を簡単化して小型化、低コスト化を図るととも
に、温度特性および出力バラツキの少ない電流検出器を
提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の電流検出器は、絶縁基板上に4個のエレメン
トを形成してなる磁気抵抗素子及びこの磁気抵抗素子の
エレメントを形成した面に対して平行に静磁界を印加す
る手段からなる磁気検出手段と、前記磁気抵抗素子のエ
レメントを形成した面に平行に配置されかつ前記静磁界
に沿った方向でかつ互いに逆向きに被測定電流が流れる
2本の第1,第2の電流通過導体とを有し、前記4個の
エレメントの第1と第2のエレメントは第1の電流通過
導体により生じる磁界の影響を強く受け、かつ第3と第
4のエレメントは第2の電流通過導体により生じる磁界
の影響を強く受けるように前記絶縁基板上に配置し、さ
らに前記4個のエレメントの第1と第3の組および第2
と第4の組はそれぞれエレメントを流れる電流の方向が
平行でかつ各組間ではその電流方向が互いに直交する角
をなし、第1と第2のエレメントとおよび第3と第4
のエレメントとはそれぞれ電流方向が直交する角度をな
すように構成したものである。
【0015】
【作用】この構成のように、低磁界で動作する磁気抵抗
素子を使うことにより、被測定電流を入力端子から電流
通過導体に流して発生する磁界の大きさが従来より小さ
な値においても検出器として使うことができる。従っ
て、従来のような大型の巻数の多いコイルや大型コアを
使用する必要がなくなり、電流検出器の形状の小型化を
図ることができる。また特性面では周波数特性の改善が
でき、より高い周波数の電流に対応できる。
【0016】さらに構造的にコイルが不要になるか、も
しくは簡単な組立構造を実現できることで、組立工数の
低減、すなわちコストの低減を図ることができる。
【0017】また、被測定電流により常に逆向きの2つ
の磁界を発生するとともに、磁気抵抗素子のエレメント
構成配置の最適化と、出力電圧を磁気抵抗素子の2つの
出力の差動電圧とすることにより外部磁界の影響を除
き、磁気抵抗素子の電源に定電流源を使うことによって
従来よりも優れた温度特性を有する電流検出器を得るこ
とができる。
【0018】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
【0019】(実施例1)図1は本発明の第1の実施例
における電流検出器の構造図である。図1において従来
例と同じ部分には同一の番号を付している。8は被測定
電流を流す電流通過導体、9はこの電流通過導体8に電
流を流すことにより発生した磁界を検出する磁気抵抗素
子、10は磁気抵抗素子9に静磁界を加えるために取り
付けた磁石、11は磁気抵抗素子9を動作させるための
定電流源である。前記磁気抵抗素子9は、アルミナ基板
上に数100〜2000ÅのNiFe薄膜を蒸着した
後、フォトリソ工程を経て幅が数10μmで折り返し状
のパターンを形成することにより構成する。すなわち、
図2のようにほぼ同じ抵抗値からなる4個のエレメント
13a〜13dを相互に接続したもので、各エレメント
13a〜13dの接続点から基板周辺の4個の電極12
に対して取り出し用の配線も同時に形成する。この4個
の電極12のうち、第1と第2のエレメント13a,1
3bの接続点および第3と第4のエレメント13c,1
3dの接続点につながる電極12は、磁気抵抗素子9の
出力端子であり、また残りの2つの接続点につながる電
極12は磁気抵抗素子9を駆動する定電流源11に接続
される。また、絶縁基板9aの裏面にはバイアス磁界を
印加するための磁石10を取り付ける。
【0020】ここで、各エレメント13a〜13dは、
第1のエレメント13aと第2のエレメント13bおよ
び第4のエレメント13dに流れる電流の方向は互いに
ほぼ90℃の角度すなわち直交する角度を持つととも
に、第1のエレメント13aとそれに接続される第3の
エレメント13cの電流方向は同じ向きで、かつ全ての
エレメントの電流方向がバイアスの静磁界に対しほぼ4
5°になるようにすなわち、第1と第2のエレメント1
3a,13bと、および第3と第4のエレメント13
c,13dとはそれぞれ電流方向が直交する角度に形成
している。また、バイアス用磁石は磁気抵抗素子9の全
てのエレメント13a〜13dにほぼ均等に加わるよう
に大きさを選んでいる。
【0021】また、電流通過導体8は、磁気抵抗素子9
の基板面に平行でかつ磁気抵抗素子9の第1のエレメン
ト13aと第2のエレメント13bのほぼ中央線a−
a’上と第3のエレメント13cと第4のエレメント1
3dのほぼ中央線b−b’上を通り、かつa−a’とb
−b’を流れる電流が互いに逆向きで、前記バイアス磁
界に沿った方向に電流が流れるように配設している。す
なわち、第1,第2のエレメント13a,13bは電流
通過導体8のa−a’上の部分において生じる磁界の影
響を強く受け、第3,第4のエレメント13c,13d
はb−b’上の部分において生じる磁界の影響を強く受
ける配置となっている。
【0022】以上のように構成した電流検出器の動作を
示す。図1の入力端子1,1’から電流通過導体8に被
測定電流Iを流すと、図3に示すように電流通過導体8
の回りに互いに逆向きの磁界14a,14bが発生す
る。磁気抵抗素子9の感磁面と電流通過導体8の中心と
の距離をrとすると磁気抵抗素子9の感磁面における被
測定電流Iによる発生磁界14aと14bの大きさは次
式(4)によって表される。
【0023】
【数3】
【0024】一方、磁気抵抗素子9のエレメント13a
〜13dの抵抗値は、エレメントに流れる電流により発
生したエレメントの磁化方向が被測定電流Iによる発生
磁界とバイアス磁界の合成磁界により受けた回転の角度
θによって決まり、次式(5)で表される。
【0025】R=R0−ΔR・SIN2θ……(5) ここでR0は磁化が回転を受けていないときのエレメン
トの抵抗値、ΔRは磁化が90°回転を受けたときの抵
抗値変化量である。
【0026】図4に示すように磁化の方向は被測定電流
Iによる発生磁界とバイアス磁界の合成磁界によって回
転する。バイアス磁界は一定であることから磁化の方向
は被測定電流Iによる発生磁界によって回転することに
なり、その結果エレメント13a〜13dの抵抗値が被
測定電流の大きさに従って変化することになる。
【0027】図2において、a−a’に被測定電流Iを
バイアス磁界の方向に流した場合、b−b’にはバイア
ス磁界に逆向きの被測定電流Iが流れるため、第1と第
4のエレメント13a,13dは抵抗値が減少し第2と
第3のエレメント13b,13cは抵抗値が増加する。
これにより第1と第2のエレメント13a,13bの接
続点の出力電圧は増加し、第3と第4のエレメント13
c,13dの接続点の出力電圧は減少する。被測定電流
Iに対する前記2つの接続点での出力電圧変化をそれぞ
れ表したのが図5である。このような2つの出力端子の
電圧の変化をその電位差の変化として検出することによ
り被測定電流Iの大きさを知ることができる。
【0028】また、上記のように構成した4個のエレメ
ント13a〜13dに一様な外部磁界が加わる場合は、
第1と第3のエレメント13a,13cと第2と第4の
エレメント13b,13dの抵抗値変化が同じになり、
第1と第2のエレメント13a,13bの接続点の出力
電圧と第3と第4のエレメント13c,13dの接続点
の出力電圧の変化は等しくなる。そのため上記接続点の
差動電圧は変化しない。すなわち、外部磁界の影響を除
くことができる。また、差動電圧を出力にすることから
エレメントの初期抵抗の持つ温度特性は互いに相殺さ
れ、温度特性の面でも優れた出力特性を得ることができ
る。さらに本実施例のように磁気抵抗素子9のエレメン
ト13a〜13dの抵抗値をほぼ同一な値に設定し、駆
動方式として定電流源を選ぶことによりエレメント13
a〜13dの初期抵抗の温度特性を相殺する効果が増し
出力電圧の温度特性は更に改善される。また、磁気抵抗
素子9の磁気に対する感度はホール素子と比較すると1
0倍から100倍近く良く、そのため本実施例のように
単に一本の電流通過導体8によって発生される磁界14
でも動作し十分な出力が得られることから大型のコアや
コイルも不要になり大幅に形状を小さくすることができ
る。
【0029】このように本実施例によれば、磁気抵抗素
子9の各エレメントと電流通過導体8とバイアス用静磁
界の組合せと配置を選ぶことにより構造の簡素化及び小
型化が可能となり、コストダウンが図れるとともに、電
流通過導体8の周囲に発生する磁界を磁気抵抗素子9を
使って感度良く検出することができ、出力の取り出し方
法によって外部磁場の影響を除くとともに温度特性の改
善が図れ、さらには電流通過導体における入力抵抗を下
げるとともに周波数特性の優れた電流検出器を得ること
ができる。
【0030】(実施例2)図6は本発明の第2の実施例
を示す構成図で、上記実施例1の検出部に磁性体ヨーク
20を付加した構造となっている。この磁性体ヨーク2
0は肉厚が1mmで長さが約5mm、またその2つの開口部
の間隔がそれぞれ磁気抵抗素子9のエレメント13a,
13bおよび13c,13dの形成される領域より広く
したE字形の軟フェライト材より構成している。この磁
性体ヨーク20は、その開口部側が磁気抵抗素子9のエ
レメント13a〜13dを形成した面に当接するように
取り付けられ、そしてこの磁性体ヨーク20と磁気抵抗
素子9とにより形成されるトンネル状の穴に電流通過導
体8が貫通している。
【0031】このとき磁性体ヨーク20は、この開口部
の電流通過導体8に沿った方向が電流通過導体8に平行
となるように調整し、2つの開口部の間隔部分に磁気抵
抗素子9のエレメント13a,13bおよび13c,1
3dがそれぞれ納まるようにして接着している。これに
より、被測定電流Iによって発生した磁界の多くは磁性
体ヨーク20により集束され、磁気抵抗素子9の表面に
導かれることになる。従って磁性体ヨーク20を使用し
ない場合に比べ磁気抵抗素子9表面上で3〜10倍の磁
界強度を得ることができるため、被測定電流Iの小さな
領域に対しても入力抵抗を大きくすることなく、すなわ
ち電流通過導体8の巻数を多くすることなく電流検出器
を構成することができる。
【0032】また従来例で示したコアのように電流通過
導体8をコアに巻き付ける構造ではないため、形状を小
型化することができ、またコアへ電流通過導体8を巻き
付けるといった作業が不要であるため組立工数を大幅に
削減できる。電流検出器の動作は実施例1と同じである
ため省略する。
【0033】以上のように本実施例によれば被測定電流
Iを流す電流通過導体8を挟みその開口部が磁気抵抗素
子9に向くように配置した磁性体ヨーク20を付けるこ
とによって小さな被測定電流Iにも対応できる小形で出
力特性の安定した電流検出器を低コストで得ることがで
きる。
【0034】(実施例3)図7は本発明の第3の実施例
を示す構造図である。この第3の実施例のものは、第1
の実施例で示した電流検出器及び磁気抵抗素子9を駆動
する定電流源と磁気抵抗素子9の2つの出力電圧の電位
差を増幅する差動増幅器6を含む回路部23を同一の基
板24上に組立てた電流検出器である。なお、8は電流
通過導体、9は磁気抵抗素子、10は基板24の裏面に
取り付けたバイアス磁石、25は出力及び電源の接続端
子である。前記基板24にはガラスエポキシ基板を使用
した。また、電流通過導体8は磁気抵抗素子9を跨ぐよ
うにして基板24にはんだ付けにより取り付けている。
【0035】ここで、回路の一例を図8に示す。磁気抵
抗素子9にはツェナーダイオード27の電圧と検出抵抗
28によって決まる電流が供給される。本実施例では約
10mAである。磁気抵抗素子9の2つの出力は第1の
抵抗29と第2の抵抗30を通り差動増幅器6の入力に
接続され、ここでその電位差を検出する。この差動増幅
器6における回路の増幅度は、第1の抵抗29と第3の
抵抗32および可変抵抗34a,34bからなる調整部
34の抵抗値の比によって決定される。また可変抵抗3
5a,35bからなる調整部35における抵抗値の比を
変えることにより出力の零点を調整することができる。
【0036】これらの抵抗値の調整は検出器の製造時に
レーザートリマなどを使用する機能修正により行われ
る。これにより無調整のまま電流検出器を使用できる。
また出力特性のバラツキを低減することができる。さら
に電流検出器と周辺の回路部23をひとつの基板24に
作ることにより磁気抵抗素子9の出力配線を短くできる
ため耐ノイズ性の向上を図ることができる。なお第1と
第2の抵抗29,30と第3と第4の抵抗32,33は
それぞれほぼ等しい抵抗値を有する。なお、図8におい
て、36は差動増幅器、37は抵抗であり、差動増幅器
36及び抵抗37はツェナーダイオード27とともに定
電流源11を構成している。
【0037】以上のように電流検出器と周辺の回路部2
3をひとつの基板24に作ることにより耐ノイズ性の向
上を図ることができ、検出器の組立時点での調整により
電流検出器として出力特性のバラツキなどをさらに低減
することができ、高精度な電流検出器を提供することが
できる。
【0038】なお第1の実施例では基板にアルミナを使
用したが、他にガラス基板を用いてもよい。また磁性体
膜には他にNiCoなどが使用できる。また第2の実施
例では磁性体ヨークに軟フェライトを使用したが、これ
はNiFeのような金属を使用してもよい。また第3の
実施例においてガラスエポキシ基板を使用しているがこ
れはアルミナなどの絶縁基板に導体および抵抗体などを
印加形成したものでもよいことは言うまでもない。
【0039】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気抵抗
素子の使用とエレメント構成により簡単な構造で電流通
過導体部に大型なコアやコイルを使わないことにより小
型化が図れるとともに、電流通過導体における入力抵抗
を下げ、かつ周波数特性の改善を図ることができる。ま
た、外部磁場の影響を除き、小さな被測定電流にも対応
でき、しかも定電流駆動と差動増幅による耐ノイズ性の
向上および出力特性のバラツキおよび温度特性を改善し
た高精度な電流検出器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による電流検出器を示す
構成図
【図2】第1の実施例による磁気抵抗素子の磁気検出パ
ターンを示す平面図
【図3】第1の実施例における磁界の発生を示す断面図
【図4】発生磁界による磁化の回転を説明するベクトル
【図5】本発明の磁気抵抗素子の出力変化を示す特性図
【図6】本発明の第2の実施例による電流検出部の構成
【図7】本発明の第3の実施例による電流検出器を示す
構成図
【図8】本発明の電流検出器の具体的回路を示す回路図
【図9】従来の電流検出器を示す構成図
【符号の説明】
6 差動増幅器 8 電流通過導体 9 磁気抵抗素子 9a 絶縁基板 11 定電流源 13a,13b,13c,13d エレメント 20,21 磁性体ヨーク

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁基板上に4個のエレメントを形成し
    てなる磁気抵抗素子及びこの磁気抵抗素子のエレメント
    を形成した面に対して平行に静磁界を印加する手段から
    なる磁気検出手段と、前記磁気抵抗素子のエレメントを
    形成した面に平行に配置されかつ前記静磁界に沿った方
    向でかつ互いに逆向きに被測定電流が流れる2本の第
    1,第2の電流通過導体とを有し、前記4個のエレメン
    トの第1と第2のエレメントは第1の電流通過導体によ
    り生じる磁界の影響を強く受け、かつ第3と第4のエレ
    メントは第2の電流通過導体により生じる磁界の影響を
    強く受けるように前記絶縁基板上に配置し、さらに前記
    4個のエレメントの第1と第3の組および第2と第4の
    組はそれぞれエレメントを流れる電流の方向が平行でか
    つ各組間ではその電流方向が互いに直交する角度をな
    し、第1と第2のエレメントとおよび第3と第4のエレ
    メントとはそれぞれ電流方向が直交する角度をなすよう
    に構成したことを特徴とする電流検出器。
  2. 【請求項2】E字形状の磁性体ヨークをその磁性体ヨー
    クの開口部側が磁気抵抗素子のエレメントを形成した面
    に当接するように配置し、かつ前記磁性体ヨークと前記
    磁気抵抗素子とにより形成される2個のトンネル状の穴
    内に2本の電流通過導体を貫通させたことを特徴とする
    請求項1記載の電流検出器。
  3. 【請求項3】磁気抵抗素子に一定の電流を供給する定電
    流源と、前記磁気抵抗素子の2つの出力端子の電位差を
    検出し増幅するための差動増幅器を設けた請求項1記載
    の電流検出器。
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JP2003315376A (ja) * 2002-04-18 2003-11-06 Aichi Micro Intelligent Corp 電流センサ
JP4298691B2 (ja) 2005-09-30 2009-07-22 Tdk株式会社 電流センサおよびその製造方法
JP4415923B2 (ja) 2005-09-30 2010-02-17 Tdk株式会社 電流センサ
JP6019373B2 (ja) * 2012-08-22 2016-11-02 アルプス・グリーンデバイス株式会社 電流センサ

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