JPH02252633A - 光ファイバ母材製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材製造装置Info
- Publication number
- JPH02252633A JPH02252633A JP7177989A JP7177989A JPH02252633A JP H02252633 A JPH02252633 A JP H02252633A JP 7177989 A JP7177989 A JP 7177989A JP 7177989 A JP7177989 A JP 7177989A JP H02252633 A JPH02252633 A JP H02252633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- side wall
- pipe
- side walls
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004071 soot Substances 0.000 abstract 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、外付は法による光ファイバ母材製造装置に
関するものである。
関するものである。
(従来の技術)
VAD法等により予めコア用の透明ガラスロッドを得、
これを出発部材としてその周りに外付は法によりクラッ
ド用ガラス微粒子を層状に堆積させ光ファイバ母材とす
る方法がある。この外付は法に用いられる装置としては
、例えば第2図に示すものが知られている1図において
、1は全体としてコの字型をしたチャンバで、2はこの
チャンバlの対向する第1の側壁で、後述する第2の側
壁の一方に延びるU字型間口3を備えている。4は第1
の側壁と直交する第2の側壁で、その対向壁は全面的に
開放されて前記開口3と連通ずる開口端5を形成してい
る。6はこの開口端5に対峙するバーナ、7は前記側壁
4に形成された排気目在になされるとともに、その軸方
向に添ってトラバースされるようになされている。9は
バーナ6粒子の堆積量の制御はバーナに送る原料ガスや
燃料ガスの流量制御およびチャンバからの排気量制御に
よっている。そしてこのような光ファイバ母材製造装置
を収容する部屋は高いクリーン度が要求されるため室内
にクリーンエアを流し陽圧に保っている。
これを出発部材としてその周りに外付は法によりクラッ
ド用ガラス微粒子を層状に堆積させ光ファイバ母材とす
る方法がある。この外付は法に用いられる装置としては
、例えば第2図に示すものが知られている1図において
、1は全体としてコの字型をしたチャンバで、2はこの
チャンバlの対向する第1の側壁で、後述する第2の側
壁の一方に延びるU字型間口3を備えている。4は第1
の側壁と直交する第2の側壁で、その対向壁は全面的に
開放されて前記開口3と連通ずる開口端5を形成してい
る。6はこの開口端5に対峙するバーナ、7は前記側壁
4に形成された排気目在になされるとともに、その軸方
向に添ってトラバースされるようになされている。9は
バーナ6粒子の堆積量の制御はバーナに送る原料ガスや
燃料ガスの流量制御およびチャンバからの排気量制御に
よっている。そしてこのような光ファイバ母材製造装置
を収容する部屋は高いクリーン度が要求されるため室内
にクリーンエアを流し陽圧に保っている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記装置においてはチャンバの出発部材
挿通口からチャンバ内にクリーンエアが侵入するため、
バーナの炎がばたつく所や排気量に対してクリーンエア
の占める割合いの変化する所ができる。そのため原料ガ
スや燃料ガスの流量制御およびチャンバからの排気量制
御ににリガラス微粒子の堆積量を制御するといった従来
方式によるのでは母材の長さ方向の均一性を制御しえな
いという問題があった。また、バーナによって生成され
たガラス微粒子のうち出発部材に付着しないものは排気
口から吸引するのであるが、クリーンエアの影響でチャ
ンバ外に漏れ部屋内を錆びさせる原因となっていた。
挿通口からチャンバ内にクリーンエアが侵入するため、
バーナの炎がばたつく所や排気量に対してクリーンエア
の占める割合いの変化する所ができる。そのため原料ガ
スや燃料ガスの流量制御およびチャンバからの排気量制
御ににリガラス微粒子の堆積量を制御するといった従来
方式によるのでは母材の長さ方向の均一性を制御しえな
いという問題があった。また、バーナによって生成され
たガラス微粒子のうち出発部材に付着しないものは排気
口から吸引するのであるが、クリーンエアの影響でチャ
ンバ外に漏れ部屋内を錆びさせる原因となっていた。
(課題を解決するための手段)
この発明は、以上の観点からチャンバ内へのクリーンエ
アの侵入を阻止した光ファイバ製造装置を提供するもの
で、その特徴とするところは光ファイバ母材製造用のチ
ャンバであって、第1の対向する両側壁には出発部材挿
通口が形成され、この第1の側壁と直交する第2の両側
壁の一方は開放されてガラス微粒子生成バーナと対峙す
るとともに他方の側壁には排気口が形成されてなるチャ
ンバと、前記第1の対向する両側壁に前記出発部−ルガ
スを供給する配管とを具備してなることにある。
アの侵入を阻止した光ファイバ製造装置を提供するもの
で、その特徴とするところは光ファイバ母材製造用のチ
ャンバであって、第1の対向する両側壁には出発部材挿
通口が形成され、この第1の側壁と直交する第2の両側
壁の一方は開放されてガラス微粒子生成バーナと対峙す
るとともに他方の側壁には排気口が形成されてなるチャ
ンバと、前記第1の対向する両側壁に前記出発部−ルガ
スを供給する配管とを具備してなることにある。
(作用)
パイプ内に配管を介してシールガスを供給することによ
り、パイプ内壁に設けられた孔からその半径方向内方に
向かってシールガスが噴出してガスカーテンを形成し、
クリ・−ンエアがチャンバ内に侵入するのを抑制するの
でガラス微粒子のイ」着堆積皿の制御を従来方法と同様
にしてもその長さ方向の均一性が損なわれることがない
。
り、パイプ内壁に設けられた孔からその半径方向内方に
向かってシールガスが噴出してガスカーテンを形成し、
クリ・−ンエアがチャンバ内に侵入するのを抑制するの
でガラス微粒子のイ」着堆積皿の制御を従来方法と同様
にしてもその長さ方向の均一性が損なわれることがない
。
(実施例)
第1図は、この発明の光ファイバ母材製造装置の側断面
図を示しており、第2図に示したものと同一部分には同
一符合が付しである。10はチャンバ1の第1の側壁2
に適宜手段(図示せず)により取付けられたリング状の
パイプで、その内周面には多数の孔12が形成されてい
る。14はパイプに取付けられた配管で、例えばドライ
N。等のシールガスが供給される。
図を示しており、第2図に示したものと同一部分には同
一符合が付しである。10はチャンバ1の第1の側壁2
に適宜手段(図示せず)により取付けられたリング状の
パイプで、その内周面には多数の孔12が形成されてい
る。14はパイプに取付けられた配管で、例えばドライ
N。等のシールガスが供給される。
以上の構成において、シールガスを配管14を介してパ
イプlO内に供給すると、孔12からシールガスがその
半径方向中心に向かって噴出してガスカーテンを作る。
イプlO内に供給すると、孔12からシールガスがその
半径方向中心に向かって噴出してガスカーテンを作る。
従って装置を収容している部屋全体に流されているクリ
ーンガスのチャンバl内への侵入を阻止する。こうして
おいて出発部材8、例えばコア用ロッドなその軸の周り
に回転させつつ、その軸方向にトラバースさせるととも
に、バーナ6を用いて火炎加水分解反応および熱酸化反
応によりクラッド用ガラス微粒子を生成させ、これをコ
ア用ロッド8上にクラッド層9として堆積させ、光ファ
イバ母材とする。なお、クリーンガスはバーナが対峙す
る開放端5からチャンバl内に侵入するがコア用ロッド
8と直交する側からであるので母材形成に悪影響はない
。
ーンガスのチャンバl内への侵入を阻止する。こうして
おいて出発部材8、例えばコア用ロッドなその軸の周り
に回転させつつ、その軸方向にトラバースさせるととも
に、バーナ6を用いて火炎加水分解反応および熱酸化反
応によりクラッド用ガラス微粒子を生成させ、これをコ
ア用ロッド8上にクラッド層9として堆積させ、光ファ
イバ母材とする。なお、クリーンガスはバーナが対峙す
る開放端5からチャンバl内に侵入するがコア用ロッド
8と直交する側からであるので母材形成に悪影響はない
。
(発明の効果)
この発明は、以上のようにチャンバ内に出発部材挿通口
からクリーンガスが侵入するのをガスカーテンを設けて
阻止するようにしたので、バーナの炎の乱れが防止され
、以って長さ方向に均一な光ファイバ母材を得ることが
できるとともに、ガラス微粒子のチャンバ外への漏れを
防いで装置収容部屋の錆びを抑制できる。
からクリーンガスが侵入するのをガスカーテンを設けて
阻止するようにしたので、バーナの炎の乱れが防止され
、以って長さ方向に均一な光ファイバ母材を得ることが
できるとともに、ガラス微粒子のチャンバ外への漏れを
防いで装置収容部屋の錆びを抑制できる。
第1図は、この発明の光ファイバ母材製造装置の側断面
図、第2図は、従来の光ファイバ母材製造装置の斜視図
である。 図において、1:チャンバ、2:第1の側壁、3:開口
、4:第2の側壁、5:開口端、6:バーナ、7:排気
用ダクト、8:コア用ロッド、9:クラッド層、lO:
パイプ、12:孔、14:配管。
図、第2図は、従来の光ファイバ母材製造装置の斜視図
である。 図において、1:チャンバ、2:第1の側壁、3:開口
、4:第2の側壁、5:開口端、6:バーナ、7:排気
用ダクト、8:コア用ロッド、9:クラッド層、lO:
パイプ、12:孔、14:配管。
Claims (1)
- 光ファイバ母材製造用のチャンバであって、第1の対向
する両側壁には出発部材挿通口が形成され、この第1の
側壁と直交する第2の両側壁の一方は開放されてガラス
微粒子生成バーナと対峙するとともに他方の側壁には排
気口が形成されてなるチャンバと、前記第1の対向する
両側壁に前記出発部材挿通口を取囲んで取付けられ、そ
の内周面に適宜間隔をおいて多数の孔が形成されてなる
リング状のパイプと、このパイプにシールガスを供給す
る配管とを具備してなることを特徴とする光ファイバ母
材製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7177989A JPH02252633A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 光ファイバ母材製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7177989A JPH02252633A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 光ファイバ母材製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02252633A true JPH02252633A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13470396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7177989A Pending JPH02252633A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 光ファイバ母材製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02252633A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10308541B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-06-04 | Gerresheimer Glas Gmbh | Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7177989A patent/JPH02252633A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10308541B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-06-04 | Gerresheimer Glas Gmbh | Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100414668B1 (ko) | 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치 | |
EP0231022B1 (en) | Apparatus for the production of porous preform of optical fiber | |
JPH02252633A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
US4203553A (en) | Ribbon burner | |
JP2002193633A (ja) | 多孔質光ファイバ母材の製造装置 | |
JPS6251902B2 (ja) | ||
US6449986B2 (en) | Method of production of porous glass base material for optical fiber with cleaning of the burner with gas at 25 m/s or faster | |
JP4460062B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH07300332A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
JP6916023B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 | |
JP4096684B2 (ja) | 排気フード装置及び排気方法並びにガラス母材の製造方法 | |
JPH11268926A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JP3485697B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造装置 | |
JPH11271553A (ja) | 光導波路用ガラス膜の形成方法及びその装置 | |
JPH1072229A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
JPH02283632A (ja) | ガラス微粒子堆積装置 | |
JPH02221135A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
JP2006264995A (ja) | 光ファイバ用母材製造装置及び製造方法 | |
JPS61272918A (ja) | ガス流分布を改良したcvd装置 | |
JPH0725631A (ja) | ガラス薄膜の製造装置 | |
JPH03237037A (ja) | 光ファイバのハーメチックコート装置 | |
JPH0322257Y2 (ja) | ||
JPH01242434A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JP3710020B2 (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
JPH0660023B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |