JPH02250682A - 静電モーター - Google Patents
静電モーターInfo
- Publication number
- JPH02250682A JPH02250682A JP6873089A JP6873089A JPH02250682A JP H02250682 A JPH02250682 A JP H02250682A JP 6873089 A JP6873089 A JP 6873089A JP 6873089 A JP6873089 A JP 6873089A JP H02250682 A JPH02250682 A JP H02250682A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- channel
- gap
- movable body
- stator
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上利用分野〕
本発明は電荷間に働くクーロン力を利用したモーター、
すなわち静電モーターに関するものである。
すなわち静電モーターに関するものである。
こ・二でいう静電モーターは、回転型モーターリニアモ
ーター、アクチｄエーター等、電界変化意味する。
ーター、アクチｄエーター等、電界変化意味する。
本発明の静電モーターは、それぞれ電橋を有する可動体
と固定子とからなり、それぞれの電掻内の電荷間に働く
クーロン力を利用して駆動するものであって、それぞれ
の電極に印加する電圧の適切な方法によって効果的に可
動子を駆動する小型のモーターを提供することができる
。
と固定子とからなり、それぞれの電掻内の電荷間に働く
クーロン力を利用して駆動するものであって、それぞれ
の電極に印加する電圧の適切な方法によって効果的に可
動子を駆動する小型のモーターを提供することができる
。
従来のモーターはそのほとんどが磁気によって駆動され
る電磁モーターであるが、この電磁モーターは外部磁界
の変動によって影響を受ける欠点がある。たとえば電磁
モーターを搭載した時計では、ｔ Ｍ１調理器、リニア
モーターカー等の近くで外部磁界の変化によって計時精
度の低下をもたらしている。また電磁式サーボモーター
も外部磁界の変化によって角廣や応答速度等に悪影響を
受ける、また、電磁モーターはコイルを必要とするため
小型化できない欠点がある。たとえば、アナログ式電子
時計がより小型化、薄型化できない最大の理由はコイル
を小型化、薄型化できない点にある。
る電磁モーターであるが、この電磁モーターは外部磁界
の変動によって影響を受ける欠点がある。たとえば電磁
モーターを搭載した時計では、ｔ Ｍ１調理器、リニア
モーターカー等の近くで外部磁界の変化によって計時精
度の低下をもたらしている。また電磁式サーボモーター
も外部磁界の変化によって角廣や応答速度等に悪影響を
受ける、また、電磁モーターはコイルを必要とするため
小型化できない欠点がある。たとえば、アナログ式電子
時計がより小型化、薄型化できない最大の理由はコイル
を小型化、薄型化できない点にある。
本発明は上記問題点を解決しようとするものであり、外
部磁界に作用されず、かつ小型化を可能とし、効果的に
イ動体の電荷を活用して駆動するモーターを提供するこ
とを目的とする。
部磁界に作用されず、かつ小型化を可能とし、効果的に
イ動体の電荷を活用して駆動するモーターを提供するこ
とを目的とする。
ｒ問題点を解決するための手段〕
本発明の静電モーターは、それぞれ電極を有する可動体
と固定子とからなり、それぞれの電極内の電荷間に働く
クーロン力を利用して駆動する静電モーターにおいて、
前記可動体および固定子の電極の一方はその周囲から絶
縁されており、かつ、その内部を動（ことのできる電荷
を保有しており、可動体に凹凸を設ける。
と固定子とからなり、それぞれの電極内の電荷間に働く
クーロン力を利用して駆動する静電モーターにおいて、
前記可動体および固定子の電極の一方はその周囲から絶
縁されており、かつ、その内部を動（ことのできる電荷
を保有しており、可動体に凹凸を設ける。
（作用）
固定子および可動体の一方の電極が外部電源に接続され
ると、この電極端部にある［４は他方の電極内の電荷に
作用し、これを吟引あるいは反発させ、他方の電極内を
端部まで移動させる。１１１方の電極はその周囲から絶
縁されているため、電極端部まで移動させられた電荷は
それ以上この電極内を動くことができない、凹凸を設け
たＩＩＩＮ動体の凸部と固定子間の間隙の狭いところで
効果的にこの移動電荷と前記一方の電極端部にある電荷
とのクーロン力による作用を強くして可動体は動かされ
ることになる。その後、外部の電気的手段などによっ°
ζ電界をさらに変化させることにより可動体の動きを維
持することができる。さらに外部の電気的手段などによ
って、前記動作と反射となる電界を加え°ることにより
可動体の動きを妨げることができる。
ると、この電極端部にある［４は他方の電極内の電荷に
作用し、これを吟引あるいは反発させ、他方の電極内を
端部まで移動させる。１１１方の電極はその周囲から絶
縁されているため、電極端部まで移動させられた電荷は
それ以上この電極内を動くことができない、凹凸を設け
たＩＩＩＮ動体の凸部と固定子間の間隙の狭いところで
効果的にこの移動電荷と前記一方の電極端部にある電荷
とのクーロン力による作用を強くして可動体は動かされ
ることになる。その後、外部の電気的手段などによっ°
ζ電界をさらに変化させることにより可動体の動きを維
持することができる。さらに外部の電気的手段などによ
って、前記動作と反射となる電界を加え°ることにより
可動体の動きを妨げることができる。
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すものであり、回転型モ
ーターの回転軸長で方向に対しＣ輪を短く切る方向の断
面図である。１は可動体であり、回転体２とチャンネル
３および１転輪４とで構成する。−転体２は真性半導体
からなり、準結晶でも多結晶でも状態はなんでもよい、
チャンネル３は不純物半導体からなり、製法や状態に制
限されるものでなくなんでもよい０回転軸４は機姥的に
回転を担うものであれば材質はなんでもよいが、電荷が
流入しても流出しないものであればよい。
ーターの回転軸長で方向に対しＣ輪を短く切る方向の断
面図である。１は可動体であり、回転体２とチャンネル
３および１転輪４とで構成する。−転体２は真性半導体
からなり、準結晶でも多結晶でも状態はなんでもよい、
チャンネル３は不純物半導体からなり、製法や状態に制
限されるものでなくなんでもよい０回転軸４は機姥的に
回転を担うものであれば材質はなんでもよいが、電荷が
流入しても流出しないものであればよい。
５は固定子であり、真性半導体からなり電極６から電極
１３までの８極が４５度間隔で可動子ｌに近い方向に配
置して印刷で形成するかエツチングで残すなどで形成す
るものである。電極６．電極８゜電極１０．電極１２と
が回線１４で接続され、電極７゜電極９．電極１１．電
極１３とがｌ１ｍ１５で接続されて２回線を構成する。
１３までの８極が４５度間隔で可動子ｌに近い方向に配
置して印刷で形成するかエツチングで残すなどで形成す
るものである。電極６．電極８゜電極１０．電極１２と
が回線１４で接続され、電極７゜電極９．電極１１．電
極１３とがｌ１ｍ１５で接続されて２回線を構成する。
以−ヒの構造・構成において、回転体２と電極６との間
隙ａに対して、チャンネル３と電極７との間隙すが狭い
構造となる。可動子ｌの回転により、回転体２とチャン
ネル３に対して、電極６と電極７の他の電極においても
間隙ａに対し間隙すが狭い構造となる。このようにする
と、可動子ｌのチャンネル３内の＄数キャリアが効率よ
（各電極と太き（作用するものである、すなわち、ｉ１
Ｊ動子ｌを真円としない形状とすれば、固定子５に設け
た複数の電極からの電界に不均一に作用するため、効果
的に回転を可能とするものである。従って、ｕｌ動子ｌ
は第１図に示す形状のほかに、第２図や第３図のような
ものでもよいし、チャンネル３は４個でなく用途に応じ
て複数であればいくらでもよいし１個でもよい、また、
固定子５の電極６から電極１３までの３極は他の複数極
でもよく、前記複数の電極−ヒの可動子ｌに近い方に不
純物半導体を形成したものでもよい。
隙ａに対して、チャンネル３と電極７との間隙すが狭い
構造となる。可動子ｌの回転により、回転体２とチャン
ネル３に対して、電極６と電極７の他の電極においても
間隙ａに対し間隙すが狭い構造となる。このようにする
と、可動子ｌのチャンネル３内の＄数キャリアが効率よ
（各電極と太き（作用するものである、すなわち、ｉ１
Ｊ動子ｌを真円としない形状とすれば、固定子５に設け
た複数の電極からの電界に不均一に作用するため、効果
的に回転を可能とするものである。従って、ｕｌ動子ｌ
は第１図に示す形状のほかに、第２図や第３図のような
ものでもよいし、チャンネル３は４個でなく用途に応じ
て複数であればいくらでもよいし１個でもよい、また、
固定子５の電極６から電極１３までの３極は他の複数極
でもよく、前記複数の電極−ヒの可動子ｌに近い方に不
純物半導体を形成したものでもよい。
以上、回転型の静電モーターについて説明したが、リニ
アモーター、アクチエエータ−等、電界変化により静電
的に動くことができるすべてのものにおいても、まった
く同様の構成で同様な作用を効果的に得れるものである
。
アモーター、アクチエエータ−等、電界変化により静電
的に動くことができるすべてのものにおいても、まった
く同様の構成で同様な作用を効果的に得れるものである
。
本発明によれば、コイルを必要とせず、外部磁界に作用
されず、かつ材料構成がＣ−ＭＯＳ Ｉ Ｃと同じであ
るためｔＣ製造方法で高い駆動効率と高品質で超小型の
モーターを大量生産可能とするモーターを提供すること
ができる。
されず、かつ材料構成がＣ−ＭＯＳ Ｉ Ｃと同じであ
るためｔＣ製造方法で高い駆動効率と高品質で超小型の
モーターを大量生産可能とするモーターを提供すること
ができる。
第１図は本発明の実施例を承す概略配置図、第２図およ
び第３図は本発明による他の実施例を示す可動体の概略
平面図である。 １−−−−−・可動体 ２・・・・・・回転体 ３・・・・・・チャンネル ４・・・・・・回転軸 ５・・・・・・固定子 ６ 、７． ８． ９．１０．１１．１２．１３・−・
・・・電極１４、１５・・・・・・回線
び第３図は本発明による他の実施例を示す可動体の概略
平面図である。 １−−−−−・可動体 ２・・・・・・回転体 ３・・・・・・チャンネル ４・・・・・・回転軸 ５・・・・・・固定子 ６ 、７． ８． ９．１０．１１．１２．１３・−・
・・・電極１４、１５・・・・・・回線
Claims (1)
- 外部の電荷または電圧によって作用する電荷を保有する
可動体と、電圧によって作用する電荷を保有する固定子
からなる静電モーターにおいて、可動体と固定子間の間
隙において、前記間隙が可動体の不純物半導体部で狭く
真性半導体部で広いことを特徴とする静電モーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6873089A JPH02250682A (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 静電モーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6873089A JPH02250682A (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 静電モーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02250682A true JPH02250682A (ja) | 1990-10-08 |
Family
ID=13382202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6873089A Pending JPH02250682A (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 静電モーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02250682A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461604A (en) * | 1977-10-25 | 1979-05-18 | Citizen Watch Co Ltd | Electrostatic motor |
| JPS63161879A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 静電モ−タ |
-
1989
- 1989-03-20 JP JP6873089A patent/JPH02250682A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461604A (en) * | 1977-10-25 | 1979-05-18 | Citizen Watch Co Ltd | Electrostatic motor |
| JPS63161879A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 静電モ−タ |
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