JPS6142268A - 送り装置 - Google Patents
送り装置Info
- Publication number
- JPS6142268A JPS6142268A JP16238384A JP16238384A JPS6142268A JP S6142268 A JPS6142268 A JP S6142268A JP 16238384 A JP16238384 A JP 16238384A JP 16238384 A JP16238384 A JP 16238384A JP S6142268 A JPS6142268 A JP S6142268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable element
- pole
- linear motor
- controlling
- piezo effect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は機械装置の位置制御、送り制御を行なう送り装
置に関する。
置に関する。
従来、固定子と可動子を軸方向に設りたリニアモータは
公知であるが、例えば、放電加工の位置制御送りに利用
するときなどに誤差を発生ずることは避【ブられない。
公知であるが、例えば、放電加工の位置制御送りに利用
するときなどに誤差を発生ずることは避【ブられない。
特に１ステップ送りｍが大きいと誤差量も大きくなる。
本発明はかかる点に鑑み、リニアモータととニジ効果素
子とを組合わせ、即ち、リニアモータの可動子の軸に直
結し軸方向にピエゾ効果を作用するピエゾ効果素子を設
け、リニアモータのステップ送り誤差をピエゾ効果素子
の駆動制御により補正するようにしたことを特徴とする
。
子とを組合わせ、即ち、リニアモータの可動子の軸に直
結し軸方向にピエゾ効果を作用するピエゾ効果素子を設
け、リニアモータのステップ送り誤差をピエゾ効果素子
の駆動制御により補正するようにしたことを特徴とする
。
以下図面の一実施例により本発明を説明づる。
１は輪状の可動子で、磁性材の軸に等間隔に複数個の円
板状の磁極１ａ、１ｂ １０・・・・・・・・・を設け
、その両側に摺動リング２を設けている。３は円筒状に
形成された固定子鉄心で、軸方向に２個設けられ、各々
軸方向に対をなす磁極３ａと３ｂ、３Ｃと３ｄを有する
。４ａ及び４ｂは励磁コイル、５は鉄心３間にＮＳ極が
対向するよに挿入した永久磁石、固定鉄心等で構成され
る固定子は外周をリング部材６を嵌合した外枠７に固定
する。８は駆動リング２に当接するローラベアリングで
、支持体９により固定子鉄心３に固定され、これにより
固定子磁極３ａ、３ｂ。
板状の磁極１ａ、１ｂ １０・・・・・・・・・を設け
、その両側に摺動リング２を設けている。３は円筒状に
形成された固定子鉄心で、軸方向に２個設けられ、各々
軸方向に対をなす磁極３ａと３ｂ、３Ｃと３ｄを有する
。４ａ及び４ｂは励磁コイル、５は鉄心３間にＮＳ極が
対向するよに挿入した永久磁石、固定鉄心等で構成され
る固定子は外周をリング部材６を嵌合した外枠７に固定
する。８は駆動リング２に当接するローラベアリングで
、支持体９により固定子鉄心３に固定され、これにより
固定子磁極３ａ、３ｂ。
３ｃ、３ｄと可動子磁極１ａ、ｌｂ、ｌｃ・・・・・・
・・・が同軸状に対向し、対向間隙を一定に保持される
。１０は可動子１の軸に直結し軸方向にピエゾ効果を作
用するピエゾ効果素子、１１は可動子１から突出する軸
１２の軸受である。
・・・が同軸状に対向し、対向間隙を一定に保持される
。１０は可動子１の軸に直結し軸方向にピエゾ効果を作
用するピエゾ効果素子、１１は可動子１から突出する軸
１２の軸受である。
尚、前記固定子側磁極３ａと３ｂ間、及び磁極３ｃと３
ｄ間の間隔は等しく、可動子１の各磁極１ａ、１ｂ、Ｉ
Ｃ・・・・・・・・・の相互間隔も相等しく、且つ磁極
３ａと３ｂ、及び３Ｃと３ｄの間隔は磁極１ａと１ｂ、
１ｂと１ｃ・・・・・・・・・の間隔の１．５倍に、又
、各鉄心３の間隔、即ち図に於ける磁極３ｂと３０の間
隔は可動子１の１１極間隔１ａと１ｂ、１ｂと１０・・
・・・・・・・の１．７５倍の間隔に設計しである。
ｄ間の間隔は等しく、可動子１の各磁極１ａ、１ｂ、Ｉ
Ｃ・・・・・・・・・の相互間隔も相等しく、且つ磁極
３ａと３ｂ、及び３Ｃと３ｄの間隔は磁極１ａと１ｂ、
１ｂと１ｃ・・・・・・・・・の間隔の１．５倍に、又
、各鉄心３の間隔、即ち図に於ける磁極３ｂと３０の間
隔は可動子１の１１極間隔１ａと１ｂ、１ｂと１０・・
・・・・・・・の１．７５倍の間隔に設計しである。
以上に於て、リニアモータの可動子１の駆動制御は、固
定子コイル４ａ、４ｂの励磁極性及び切換制御によって
行なわれる。令弟１ステップで図示の磁極１ａと３８が
一致対向する状態は、コイル４ａを端子Ａ 、Ｂに所定
磁性の通電をして磁極３ａがＮ、３ｂがＳ極になるよう
励磁すると、Ｓ極は永久磁石５のＮ極と逆向きで相殺さ
れ磁力を及ぼさないが、磁極３ａのＮ極は永久磁石５の
Ｎ極と同極で強め合い、このため磁極３ａに磁極１ａ吸
引移動して対向する状態となる。次に２ステツプで、端
子Ｃ、Ｄからコイル４ｂを励磁する。励磁極性は磁極３
ＣがＮ、３ｄがＳ極になるよう励磁し、磁極３ＣのＮ極
は永久磁石５のＳ極と逆向きで相殺され、磁力を及ぼさ
ないが、磁極３ｄのＳ極は永久磁石５のＳ極と同極性で
強め合い、これにより可動子磁極１ｆを吸引移動させる
。これにより可動子１は磁極３ｄと１ｒが対向一致づ−
るまで左方向にステップ移動する。３ステツプで、コイ
ル４ａを１ステツプと逆向きに励磁する。このときは磁
極３ｂがＮ極になり永久磁石５のＮ極と同極で強め合い
、磁極１Ｃを吸引移動し可動子１を左方向にステップ移
動させる。このように励磁コイル４ａと４ｂの励磁をス
テップ毎に切換え、且つ極性を反転する励磁制御を行な
うことによって可動子１をステラプリーに左方向、右方
向に移動させることができる。
定子コイル４ａ、４ｂの励磁極性及び切換制御によって
行なわれる。令弟１ステップで図示の磁極１ａと３８が
一致対向する状態は、コイル４ａを端子Ａ 、Ｂに所定
磁性の通電をして磁極３ａがＮ、３ｂがＳ極になるよう
励磁すると、Ｓ極は永久磁石５のＮ極と逆向きで相殺さ
れ磁力を及ぼさないが、磁極３ａのＮ極は永久磁石５の
Ｎ極と同極で強め合い、このため磁極３ａに磁極１ａ吸
引移動して対向する状態となる。次に２ステツプで、端
子Ｃ、Ｄからコイル４ｂを励磁する。励磁極性は磁極３
ＣがＮ、３ｄがＳ極になるよう励磁し、磁極３ＣのＮ極
は永久磁石５のＳ極と逆向きで相殺され、磁力を及ぼさ
ないが、磁極３ｄのＳ極は永久磁石５のＳ極と同極性で
強め合い、これにより可動子磁極１ｆを吸引移動させる
。これにより可動子１は磁極３ｄと１ｒが対向一致づ−
るまで左方向にステップ移動する。３ステツプで、コイ
ル４ａを１ステツプと逆向きに励磁する。このときは磁
極３ｂがＮ極になり永久磁石５のＮ極と同極で強め合い
、磁極１Ｃを吸引移動し可動子１を左方向にステップ移
動させる。このように励磁コイル４ａと４ｂの励磁をス
テップ毎に切換え、且つ極性を反転する励磁制御を行な
うことによって可動子１をステラプリーに左方向、右方
向に移動させることができる。
一方可動子１に直結したピエゾ効果素子１０は端子Ｅ
、Ｆ間に電圧を印加するとピエゾ効果により伸び或い
は縮む特性があり、且つ印加電圧によって伸縮寸法を微
細に制御することができる。
、Ｆ間に電圧を印加するとピエゾ効果により伸び或い
は縮む特性があり、且つ印加電圧によって伸縮寸法を微
細に制御することができる。
ピエゾ効果素子としては水晶、ＰＺＴ等の電歪材が利用
できるが、例えばＰＺＴは１ｏｏｏｖで１５〜３０μ程
度の寸法増大があり、３０Ｖで約１μ程度の変化を行な
わせることかできる。
できるが、例えばＰＺＴは１ｏｏｏｖで１５〜３０μ程
度の寸法増大があり、３０Ｖで約１μ程度の変化を行な
わせることかできる。
従って、このピエゾ効果素子と組合わせたりニアモータ
の１ステツプの送り量を３０μとした場合、ピエゾ効果
素子は印加電圧Ｏ〜１０００Ｖの電圧制御によってＯ〜
３０μの寸法変化制御ができるがら、モータのビッヂ送
り誤差を補正制御し、長い距離を正確に送ることかでき
る。
の１ステツプの送り量を３０μとした場合、ピエゾ効果
素子は印加電圧Ｏ〜１０００Ｖの電圧制御によってＯ〜
３０μの寸法変化制御ができるがら、モータのビッヂ送
り誤差を補正制御し、長い距離を正確に送ることかでき
る。
（効果）
リニアモータはその可動子のステップ移動を直接利用し
て、電極、被加工体の移動送り制御ができ、途中に歯車
８！！構等を介在させないので、応答性が向上し、ＶＩ
度が向上するが、そのためモータの誤差が被制御体の送
り量に直接用われる。このため、１ステツプを比較的長
い距離を送るようにすると、それだけ誤差も大きくなる
。そこで本発明はりニアモータの可動子に直結してピエ
ゾ効果素子を設け、これに印加する制ｆｉｌｌｉｐ圧の
変更制御によって任意の寸法の歪量制御を行ない、前記
リニアモータの誤差を補正するようにしたので、極めて
正確なリニアステップ送りを与えることかで
て、電極、被加工体の移動送り制御ができ、途中に歯車
８！！構等を介在させないので、応答性が向上し、ＶＩ
度が向上するが、そのためモータの誤差が被制御体の送
り量に直接用われる。このため、１ステツプを比較的長
い距離を送るようにすると、それだけ誤差も大きくなる
。そこで本発明はりニアモータの可動子に直結してピエ
ゾ効果素子を設け、これに印加する制ｆｉｌｌｉｐ圧の
変更制御によって任意の寸法の歪量制御を行ない、前記
リニアモータの誤差を補正するようにしたので、極めて
正確なリニアステップ送りを与えることかで
図面は本発明の一実施例構成図である。
１・・・・・・・・・可動子
１ａ、 ｌｂ、 １ｃ・・・・・・・・・磁極３・・・
・・・・・・固定子鉄心 ３ａ、３ｂ、３ｃ・・・・・・・・・磁極４ａ、４ｂ・
・・励磁コイル ５・・・・・・・・・永久磁石 ８・・・・・・・・・ベアリング １０・・・・・・・・・ピエゾ効果素子手続補正書 １・事件の人生 昭和５９年 特許願第１６２．３８３ 号２、
発明の名称 送り装置 ３、補正をする渚 昭和５９！１１．２７日 ５ 補正により増加する発明の数 「０」の誤差が被制
御体の送り量に直接用われる。このため、１ステツプを
比較的長い距離を送るようにすると、それだ（プ誤差も
大きくなる。そこで本発明はリニアモータの可動子に直
結してピエゾ効果素子を設け、これに印加する制御電圧
の変更制御によって任意の寸法の歪量制御を行ない、前
記リニアモータの誤差を補正するようにしたので、極め
て正確なリニアステップ送りを与えることができる。 ４、図面の簡単な説明 図面は本発明の一実施例構成図である。 １・・・・・・・・・可動子 Ｉａ、１ｂ、１ｃ・・・・・・・・・磁極３・・・・・
・・・・固定子鉄心 ３ａ、３ｂ、３ｃ・・・・・・・・・磁極４ａ、４ｂ・
・・励磁コイル ５・・・・・・・・・永久磁石
・・・・・・固定子鉄心 ３ａ、３ｂ、３ｃ・・・・・・・・・磁極４ａ、４ｂ・
・・励磁コイル ５・・・・・・・・・永久磁石 ８・・・・・・・・・ベアリング １０・・・・・・・・・ピエゾ効果素子手続補正書 １・事件の人生 昭和５９年 特許願第１６２．３８３ 号２、
発明の名称 送り装置 ３、補正をする渚 昭和５９！１１．２７日 ５ 補正により増加する発明の数 「０」の誤差が被制
御体の送り量に直接用われる。このため、１ステツプを
比較的長い距離を送るようにすると、それだ（プ誤差も
大きくなる。そこで本発明はリニアモータの可動子に直
結してピエゾ効果素子を設け、これに印加する制御電圧
の変更制御によって任意の寸法の歪量制御を行ない、前
記リニアモータの誤差を補正するようにしたので、極め
て正確なリニアステップ送りを与えることができる。 ４、図面の簡単な説明 図面は本発明の一実施例構成図である。 １・・・・・・・・・可動子 Ｉａ、１ｂ、１ｃ・・・・・・・・・磁極３・・・・・
・・・・固定子鉄心 ３ａ、３ｂ、３ｃ・・・・・・・・・磁極４ａ、４ｂ・
・・励磁コイル ５・・・・・・・・・永久磁石
Claims (1)
- 軸方向に複数個の磁極を有する可動子と該可動子の前記
磁極間隔と異なる間隔で軸方向に対をなす磁極と励磁コ
イルを設けた固定子とから成り前記励磁コイルを切換励
磁して可動子を軸方向に駆動するニリアモータと、前記
可動子の軸に直結し軸方向にピエゾ効果を作用するピエ
ゾ素子とを設け、前記リニアモータのステップ送り誤差
をピエゾ効果素子の駆動制御によつて補正するようにし
たことを特徴とする送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16238384A JPS6142268A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16238384A JPS6142268A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142268A true JPS6142268A (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=15753534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16238384A Pending JPS6142268A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142268A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4947077A (en) * | 1986-12-03 | 1990-08-07 | Jgc Corporation | Drive apparatus and motor unit using the same |
| US5302873A (en) * | 1991-12-24 | 1994-04-12 | Nippon Thompson Co., Ltd. | Linear pulse motor having a high resolution |
| WO1999010970A1 (fr) * | 1997-08-21 | 1999-03-04 | Nikon Corporation | Dispositif de positionnement, unite d'entrainement et aligneur equipe d'un tel dispositif |
| WO2020170624A1 (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-27 | 三菱重工業株式会社 | 電動アクチュエータ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910155A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-19 | Toshiba Corp | 液冷回転電機 |
| JPS5911767A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送装置 |
| JPS5934065A (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-24 | Honda Motor Co Ltd | 自動二輪車の伝動ケ−ス装置 |
| JPS5965499A (ja) * | 1982-10-06 | 1984-04-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 電磁波遮蔽用複合板 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16238384A patent/JPS6142268A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910155A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-19 | Toshiba Corp | 液冷回転電機 |
| JPS5911767A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送装置 |
| JPS5934065A (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-24 | Honda Motor Co Ltd | 自動二輪車の伝動ケ−ス装置 |
| JPS5965499A (ja) * | 1982-10-06 | 1984-04-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 電磁波遮蔽用複合板 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4947077A (en) * | 1986-12-03 | 1990-08-07 | Jgc Corporation | Drive apparatus and motor unit using the same |
| US5302873A (en) * | 1991-12-24 | 1994-04-12 | Nippon Thompson Co., Ltd. | Linear pulse motor having a high resolution |
| WO1999010970A1 (fr) * | 1997-08-21 | 1999-03-04 | Nikon Corporation | Dispositif de positionnement, unite d'entrainement et aligneur equipe d'un tel dispositif |
| EP1017155A1 (en) * | 1997-08-21 | 2000-07-05 | Nikon Corporation | Positioning device, driving unit, and aligner equipped with the device |
| US6259174B1 (en) | 1997-08-21 | 2001-07-10 | Nikon Corporation | Positioning apparatus, drive unit and exposure apparatus incorporating the positioning apparatus |
| EP1017155A4 (en) * | 1997-08-21 | 2007-05-02 | Nikon Corp | POSITIONING DEVICE, DRIVE UNIT, AND ALIGNMENT DEVICE WITH SUCH A POSITIONING DEVICE |
| WO2020170624A1 (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-27 | 三菱重工業株式会社 | 電動アクチュエータ |
| US11328849B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-05-10 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Electric actuator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100443590B1 (ko) | 리니어모터 및 그 제조방법 | |
| US6208065B1 (en) | Piezoelectric transducer and actuator using said piezoelectric transducer | |
| JP2009189091A (ja) | 直線型アクチュエータ | |
| KR20110107352A (ko) | 가동자 및 리니어 모터 | |
| JPWO2007116505A1 (ja) | リニアモータ | |
| TW201136107A (en) | Linear motor | |
| US3832610A (en) | Pulse operated surface motor | |
| US5134335A (en) | Linear actuator | |
| JPS6142268A (ja) | 送り装置 | |
| SG10201901951RA (en) | Stage driving apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
| JPS62118755A (ja) | 交流式直線移動型電動機 | |
| EP0630098A2 (en) | Composite magnet stepper/torquer motor | |
| JPWO2007116508A1 (ja) | リニアモータ | |
| JP2607560B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
| JPWO2007116506A1 (ja) | リニアモータ | |
| JPH01138975A (ja) | リニアアクチュエータの出力方法およびリニアアクチュエータ | |
| JPH0312056Y2 (ja) | ||
| US20160329800A1 (en) | Linear motor | |
| JPS61177155A (ja) | 駆動装置 | |
| KR910003670B1 (ko) | 선형작동기 | |
| JPH11262237A (ja) | 永久磁石可動形リニア直流モータ | |
| JPH11245135A (ja) | 微小移動装置 | |
| JP4335660B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH10257786A (ja) | 作動装置 | |
| JPH01160349A (ja) | リニアパルスモータ |