JPH0224233B2 - - Google Patents
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- JPH0224233B2 JPH0224233B2 JP56113661A JP11366181A JPH0224233B2 JP H0224233 B2 JPH0224233 B2 JP H0224233B2 JP 56113661 A JP56113661 A JP 56113661A JP 11366181 A JP11366181 A JP 11366181A JP H0224233 B2 JPH0224233 B2 JP H0224233B2
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Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はスクリーン印刷に用いるスクリーン版
に関するものである。
に関するものである。
最近、超高密度に配線したセラミツク基板の実
用化が急がれている。この基板には、導体層及び
絶縁層がそれぞれ20〜30層ある。この積層法とし
ては、厚さ1.6mmの１枚のグリーンシート上にス
クリーン印刷で導体と絶縁層を交互に印刷して積
層する印刷積層法と、厚さ0.2mmの非常に薄いグ
リーンシート20〜30枚に各層の導体パターンを印
刷した後、位置合せして積層するシート積層法と
がある。印刷積層法の場合、導体層毎に絶縁層の
印刷を２〜３回必要とするため、１枚の基板を製
作するためには、100〜150回の印刷が必要であ
る。また層間の導通に必要なスルーホール（穴径
0.15mmφ）の数は、１基板当り60万個と非常に多
く、このスルーホールを印刷で形成することは困
難である。このような理由から後者のシート積層
法の検討がさかんに進められている。
用化が急がれている。この基板には、導体層及び
絶縁層がそれぞれ20〜30層ある。この積層法とし
ては、厚さ1.6mmの１枚のグリーンシート上にス
クリーン印刷で導体と絶縁層を交互に印刷して積
層する印刷積層法と、厚さ0.2mmの非常に薄いグ
リーンシート20〜30枚に各層の導体パターンを印
刷した後、位置合せして積層するシート積層法と
がある。印刷積層法の場合、導体層毎に絶縁層の
印刷を２〜３回必要とするため、１枚の基板を製
作するためには、100〜150回の印刷が必要であ
る。また層間の導通に必要なスルーホール（穴径
0.15mmφ）の数は、１基板当り60万個と非常に多
く、このスルーホールを印刷で形成することは困
難である。このような理由から後者のシート積層
法の検討がさかんに進められている。
シート積層法では厚さ0.2mmの薄いグリーンシ
ート（生のセラミツクシート）を使用するが、こ
のシートは粘土を板にしたようなものであるた
め、腰がなく折れ易い性質をもつている。このよ
うに取扱いにくいシートを変形させない為と、積
層時の位置合せの精度を良くする為に、第１図に
示すような方法が検討されている。この方法は、
グリーンシート１を額縁状の枠２に接着剤で貼り
つけ、以後のスルーホール形成、印刷、積層は、
枠２の両端部に設けた位置決め用ガイド穴３を使
用して行う方法である。この方法で使用される枠
は、高寸法精度が要求されるため非常に高価であ
る。そのため枠を再生して使用する必要から、大
がかりな接着剤除去工程が必要である。また、除
去工程での枠のゆがみ、位置決めガイド穴に接着
剤が残るなど、再生して使用できる枠の歩留りが
悪いなどの欠点が多い。この問題を解決するため
に第２図の方法が検討されている。
ート（生のセラミツクシート）を使用するが、こ
のシートは粘土を板にしたようなものであるた
め、腰がなく折れ易い性質をもつている。このよ
うに取扱いにくいシートを変形させない為と、積
層時の位置合せの精度を良くする為に、第１図に
示すような方法が検討されている。この方法は、
グリーンシート１を額縁状の枠２に接着剤で貼り
つけ、以後のスルーホール形成、印刷、積層は、
枠２の両端部に設けた位置決め用ガイド穴３を使
用して行う方法である。この方法で使用される枠
は、高寸法精度が要求されるため非常に高価であ
る。そのため枠を再生して使用する必要から、大
がかりな接着剤除去工程が必要である。また、除
去工程での枠のゆがみ、位置決めガイド穴に接着
剤が残るなど、再生して使用できる枠の歩留りが
悪いなどの欠点が多い。この問題を解決するため
に第２図の方法が検討されている。
この方法では、グリーンシートを枠に固定する
場合、接着剤を使用せず、額縁状の２枚の枠２′，
２″の間にグリーンシート１を挾み、ねじ等で固
定する。この方法ではスルーホール４に導体ペー
ストを充填し易いスルーホール径の大きい側（ス
ルーホールは表裏で穴径が異る。）から印刷でき
る。また、細線印刷に適した面（グリーンシート
は表裏で表面アラサが異る）に印刷できる。更に
スルーホール穴明けで、穴明け不良が起りにくい
面から穴明けできるなどの利点が多い反面、現在
市販されているスクリーン版では印刷できない大
きな問題がある。
場合、接着剤を使用せず、額縁状の２枚の枠２′，
２″の間にグリーンシート１を挾み、ねじ等で固
定する。この方法ではスルーホール４に導体ペー
ストを充填し易いスルーホール径の大きい側（ス
ルーホールは表裏で穴径が異る。）から印刷でき
る。また、細線印刷に適した面（グリーンシート
は表裏で表面アラサが異る）に印刷できる。更に
スルーホール穴明けで、穴明け不良が起りにくい
面から穴明けできるなどの利点が多い反面、現在
市販されているスクリーン版では印刷できない大
きな問題がある。
第３図は、従来使用している市販のスクリーン
版を用いて印刷する場合の断面模式図である。第
３図は、真空吸引板８を設けた印刷ステージ７
に、第２図で説明した枠２′，２″にグリーンシー
ト１を固定してセツトした後、排気孔９より排気
して真空吸引し、スクリーン枠５にメツシユ（ス
クリーン）６を張設し印刷パターンを形成したス
クリーン版を固定した状態である。この状態で印
刷すると、第４図に示すように、グリーンシート
１を固定した枠２′，２″にスクリーンメツシユ６
が接触してグリーンシートの印刷面に印刷できな
い。この場合、無理にスキージ１０でメツシユ６
を押下げると、メツシユ６がＡの部分で破れた
り、印刷パターンが変形し、パターンの位置ずれ
が大きく印刷不良となる。
版を用いて印刷する場合の断面模式図である。第
３図は、真空吸引板８を設けた印刷ステージ７
に、第２図で説明した枠２′，２″にグリーンシー
ト１を固定してセツトした後、排気孔９より排気
して真空吸引し、スクリーン枠５にメツシユ（ス
クリーン）６を張設し印刷パターンを形成したス
クリーン版を固定した状態である。この状態で印
刷すると、第４図に示すように、グリーンシート
１を固定した枠２′，２″にスクリーンメツシユ６
が接触してグリーンシートの印刷面に印刷できな
い。この場合、無理にスキージ１０でメツシユ６
を押下げると、メツシユ６がＡの部分で破れた
り、印刷パターンが変形し、パターンの位置ずれ
が大きく印刷不良となる。
従来のスクリーン版を使用する為には、額縁状
の枠２′，２″の厚さを薄くするか、グリーンシー
トの大きくしなければならない。しかしながら、
枠２′，２″を薄くすると、ねじ止め、グリーンシ
ートの厚さのばらつき、取扱等でねじれ、変形が
起り、高精度位置合せ（±20μｍ）ができないば
かりでなく、繰返しの使用に耐えない。また、グ
リーンシート１は強度が弱く、大面積にすると自
重で変形し、中だるみが起り、高精度に印刷した
パターンが変形し、積層時に層間で位置ずれが起
る等実用の面で多くの問題がある。
の枠２′，２″の厚さを薄くするか、グリーンシー
トの大きくしなければならない。しかしながら、
枠２′，２″を薄くすると、ねじ止め、グリーンシ
ートの厚さのばらつき、取扱等でねじれ、変形が
起り、高精度位置合せ（±20μｍ）ができないば
かりでなく、繰返しの使用に耐えない。また、グ
リーンシート１は強度が弱く、大面積にすると自
重で変形し、中だるみが起り、高精度に印刷した
パターンが変形し、積層時に層間で位置ずれが起
る等実用の面で多くの問題がある。
一方、スクリーン版を小さくすることも考えら
れるが、実際には、スクリーン版の大きさに対し
て印刷パターンの占める割合が大きくなる為、印
刷しても版離れ性が悪く、配線パターンのシヨー
ト、位置ずれが多く発生する。また印刷パターン
全面をスキージできない場合もあるなど問題点が
多い。
れるが、実際には、スクリーン版の大きさに対し
て印刷パターンの占める割合が大きくなる為、印
刷しても版離れ性が悪く、配線パターンのシヨー
ト、位置ずれが多く発生する。また印刷パターン
全面をスキージできない場合もあるなど問題点が
多い。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、段差のある被印刷面に高精度に印刷できる
スクリーン版を提供するにある。
くし、段差のある被印刷面に高精度に印刷できる
スクリーン版を提供するにある。
本発明によるスクリーン版は、スクリーン版側
に突出する枠体にて固定された被印刷物を印刷す
る該被印刷物の広さより大きな広さのスクリーン
版において、印刷パターンを有するスクリーン部
を前記被印刷物の広さより僅かに小さい固定枠に
張設して被印刷物側に突出させ、スクリーン枠と
前記固定枠の間に印刷パターンのないスクリーン
を張設してあることを特徴とするスクリーン版で
ある。
に突出する枠体にて固定された被印刷物を印刷す
る該被印刷物の広さより大きな広さのスクリーン
版において、印刷パターンを有するスクリーン部
を前記被印刷物の広さより僅かに小さい固定枠に
張設して被印刷物側に突出させ、スクリーン枠と
前記固定枠の間に印刷パターンのないスクリーン
を張設してあることを特徴とするスクリーン版で
ある。
本発明によるスクリーン版の好ましい態様にお
いては、前記印刷パターンを有するスクリーンの
被印刷物に接する側の周縁に基準ギヤツプ厚のス
ペーサを設けてある。
いては、前記印刷パターンを有するスクリーンの
被印刷物に接する側の周縁に基準ギヤツプ厚のス
ペーサを設けてある。
本発明によるスクリーン版の他の好ましい態様
においては、前記固定枠の厚さが２〜20mmであ
る。
においては、前記固定枠の厚さが２〜20mmであ
る。
以下、本発明によるスクリーン版を実施例の図
面に基づいて詳述する。第５図は本発明によるス
クリーン版の実施例の断面模式図である。
面に基づいて詳述する。第５図は本発明によるス
クリーン版の実施例の断面模式図である。
このスクリーン版の製作方法は、先ず、大きさ
100×100mmの印刷パターンを形成した印刷パター
ン付スクリーン（メツシユ）（乳剤とメタルより
なる。）６を９〜15Kgのテンシヨンで伸張した後、
印刷パターンがその中央になるようにして、外径
150×150mm、内径130×130mm、厚さ２〜20mmのス
テンレス製固定枠１１に接着剤で固定する。次に
テトロン又はステンレス製のスクリーン（メツシ
ユ）（165〜250メツシユ）６′を12〜15Kgのテンシ
ヨンで伸長し、先にスクリーン６を接着した固定
枠１１の反対側に接着する。この時同時に、固定
枠１１に接着したスクリーン６′の反対側に補強
枠１２を接着剤で接着固定する。補強枠１２の接
着固定は、接着剤が溶剤に弱いので溶剤の滲込み
を防止する為と、接着した面はピール強度が低い
為、端面からの剥れを防止する為である。このこ
とは、固定枠１２に接着した印刷パターン付スク
リーン６にも云えるが、後述するスペーサ１３が
この役目も果す。
100×100mmの印刷パターンを形成した印刷パター
ン付スクリーン（メツシユ）（乳剤とメタルより
なる。）６を９〜15Kgのテンシヨンで伸張した後、
印刷パターンがその中央になるようにして、外径
150×150mm、内径130×130mm、厚さ２〜20mmのス
テンレス製固定枠１１に接着剤で固定する。次に
テトロン又はステンレス製のスクリーン（メツシ
ユ）（165〜250メツシユ）６′を12〜15Kgのテンシ
ヨンで伸長し、先にスクリーン６を接着した固定
枠１１の反対側に接着する。この時同時に、固定
枠１１に接着したスクリーン６′の反対側に補強
枠１２を接着剤で接着固定する。補強枠１２の接
着固定は、接着剤が溶剤に弱いので溶剤の滲込み
を防止する為と、接着した面はピール強度が低い
為、端面からの剥れを防止する為である。このこ
とは、固定枠１２に接着した印刷パターン付スク
リーン６にも云えるが、後述するスペーサ１３が
この役目も果す。
接着剤が硬化したら次に、固定枠１１内のスク
リーン６′と、固定枠１１外のスクリーン６を除
去した後、スクリーン６′のテンシヨンを12〜14
Kgに調整したのち、400×400mm大きさのスクリー
ン枠５に接着剤により接着又は固定具により固定
する。また、印刷パターン付スクリーン６の被印
刷物に接する側の周縁、即ち固定枠１１に接着し
た部分の反対側に基準ギヤツプ厚のスペーサ１３
を接着する。スクリーン印刷ではスクリーンと印
刷面とのギヤツプが非常に重要な条件である。し
かるに、このスクリーン版ではスクリーン面が枠
２′の内側に入りこむためギヤツプの調整ができ
ない。スペーサ１３はこの対策で、その厚さは基
準ギヤツプと同じくしてある。
リーン６′と、固定枠１１外のスクリーン６を除
去した後、スクリーン６′のテンシヨンを12〜14
Kgに調整したのち、400×400mm大きさのスクリー
ン枠５に接着剤により接着又は固定具により固定
する。また、印刷パターン付スクリーン６の被印
刷物に接する側の周縁、即ち固定枠１１に接着し
た部分の反対側に基準ギヤツプ厚のスペーサ１３
を接着する。スクリーン印刷ではスクリーンと印
刷面とのギヤツプが非常に重要な条件である。し
かるに、このスクリーン版ではスクリーン面が枠
２′の内側に入りこむためギヤツプの調整ができ
ない。スペーサ１３はこの対策で、その厚さは基
準ギヤツプと同じくしてある。
第６図は、実際の印刷に使用している状態での
スクリーン版の端部（第５図におけるＢ部）を拡
大した断面模式図である。図に示すように、グリ
ーンシート固定枠２′とグリーンシート１とに段
差があつても良好な印刷ができた。実際に印刷し
た場合スクリーン固定枠１１の厚さには限度があ
る。１mmより薄くなると固定枠なしと差はなく、
20mmより厚くなると急激に印刷パターン形状が悪
くなる。これは、スキージ移動と版離れ時に印刷
パターン部が動くためである。
スクリーン版の端部（第５図におけるＢ部）を拡
大した断面模式図である。図に示すように、グリ
ーンシート固定枠２′とグリーンシート１とに段
差があつても良好な印刷ができた。実際に印刷し
た場合スクリーン固定枠１１の厚さには限度があ
る。１mmより薄くなると固定枠なしと差はなく、
20mmより厚くなると急激に印刷パターン形状が悪
くなる。これは、スキージ移動と版離れ時に印刷
パターン部が動くためである。
本発明によるスクリーン版は以上の如く構成さ
れ且つ使用されるので、被印刷物の広さより大き
な広さのスクリーン版で、スクリーン版側に突出
する枠体で固定された被印刷物を印刷する場合で
も、本発明のスクリーン版を使用することによ
り、高精度で印刷することができ、このようにし
て印刷されたグリーンシートを積層することによ
りセラミツク多層配線基板の製作を可能とする。
れ且つ使用されるので、被印刷物の広さより大き
な広さのスクリーン版で、スクリーン版側に突出
する枠体で固定された被印刷物を印刷する場合で
も、本発明のスクリーン版を使用することによ
り、高精度で印刷することができ、このようにし
て印刷されたグリーンシートを積層することによ
りセラミツク多層配線基板の製作を可能とする。
第１図は従来の枠で固定されたグリーンシート
の斜視図、第２図は本発明のスクリーン版を用い
て印刷する対象となるグリーンシート及び固定枠
の一例の断面図、第３図及び第４図は第２図のグ
リーンシートに従来のスクリーン版を用いて印刷
する状態を示す断面模式図、第５図は本発明のス
クリーン版の実施例の断面図、第６図は第５図の
スクリーン版を用いて印刷する状態を示す部分断
面模式図である。 １…グリーンシート、２，２′，２″…グリーン
シート固定枠、５…スクリーン枠、６…印刷パタ
ーン付スクリーン（メツシユ）、６′…印刷パター
ンのないスクリーン（メツシユ）、７…印刷ステ
ージ、８…真空吸引板、１１…スクリーン固定
枠、１２…補強枠、１３…スペーサ。
の斜視図、第２図は本発明のスクリーン版を用い
て印刷する対象となるグリーンシート及び固定枠
の一例の断面図、第３図及び第４図は第２図のグ
リーンシートに従来のスクリーン版を用いて印刷
する状態を示す断面模式図、第５図は本発明のス
クリーン版の実施例の断面図、第６図は第５図の
スクリーン版を用いて印刷する状態を示す部分断
面模式図である。 １…グリーンシート、２，２′，２″…グリーン
シート固定枠、５…スクリーン枠、６…印刷パタ
ーン付スクリーン（メツシユ）、６′…印刷パター
ンのないスクリーン（メツシユ）、７…印刷ステ
ージ、８…真空吸引板、１１…スクリーン固定
枠、１２…補強枠、１３…スペーサ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ スクリーン版側に突出する枠体にて固定され
た被印刷物を印刷する該被印刷物の広さより大き
な広さのスクリーン版において、印刷パターンを
有するスクリーン部を前記被印刷物の広さより僅
かに小さい固定枠に張設して被印刷物側に突出さ
せ、スクリーン枠と前記固定枠の間に印刷パター
ンのないスクリーンを張設してあることを特徴と
するスクリーン版。 ２ 前記の印刷パターンを有するスクリーンの被
印刷物に接する側の周縁に基準ギヤツプ厚のスペ
ーサを設けてある特許請求の範囲第１項のスクリ
ーン版。 ３ 前記固定枠の厚さが２〜20mmである特許請求
の範囲第１項又は第２項のスクリーン版。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11366181A JPS5816590A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | スクリ−ン版 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11366181A JPS5816590A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | スクリ−ン版 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5816590A JPS5816590A (ja) | 1983-01-31 |
| JPH0224233B2 true JPH0224233B2 (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=14617939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11366181A Granted JPS5816590A (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | スクリ−ン版 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5816590A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6349933U (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-05 | ||
| JPS6388435U (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | ||
| JP2518185B2 (ja) * | 1990-01-31 | 1996-07-24 | 株式会社村田製作所 | スクリ―ン印刷方法及び印刷用アタッチメント |
| TWI353631B (en) | 2004-06-28 | 2011-12-01 | Kyocera Corp | Wafer heating device and semiconductor equipment |
| JP5009631B2 (ja) * | 2007-01-19 | 2012-08-22 | 日本碍子株式会社 | スクリーン印刷体の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141717A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-26 | Tokyo Shibaura Electric Co | Printing screen |
-
1981
- 1981-07-22 JP JP11366181A patent/JPS5816590A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52141717A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-26 | Tokyo Shibaura Electric Co | Printing screen |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5816590A (ja) | 1983-01-31 |
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