JPH0224053A - ラッピング用砥石及びその製法 - Google Patents

ラッピング用砥石及びその製法

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JPH0224053A
JPH0224053A JP63172158A JP17215888A JPH0224053A JP H0224053 A JPH0224053 A JP H0224053A JP 63172158 A JP63172158 A JP 63172158A JP 17215888 A JP17215888 A JP 17215888A JP H0224053 A JPH0224053 A JP H0224053A
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JP
Japan
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lapping
porous body
abrasive grain
grain layer
holder
Prior art date
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Pending
Application number
JP63172158A
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English (en)
Inventor
Kazuyuki Mitani
三谷 和行
Tadashi Matsuoka
正 松岡
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SOUZOU KAGAKU KK
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SOUZOU KAGAKU KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 C産業上の利用分野〕 本発明はラッピング用砥石及びその製法に係わり、更に
詳しくは砥粒層を形成する砥粒間隙の目づまりを有効に
防止し、更にこの種砥石に於いては砥粒層の各砥粒がラ
ッピングすべきワークの表面に各部均一に接触すること
が要求されている所であるが、この要求を容易簡便に実
現できる発明に関する。
(従来の技術〕 周知の通りセラミックス、B硬金属、その他の金属等よ
り成るワーク表面の仕上方法の一つとしてラッピングが
多用されている。以前に於いては、ラッピング液に砥粒
を混入し、即ち*超砥粒を混入し、ワークの表面をラッ
ピング仕上していたが、この遊離砥粒を用いるラッピン
グによると、砥粒等が使い捨てになって省資源に反する
ものであった。加えてラッピング仕上でワークの表面を
相当深く研削する事は余計に砥粒を無駄とし作業コスト
がより大となると共に作業時間が大となることから、こ
のようにM超砥粒を用いる場合通常、他の手段でワーク
の表面を一次研削、研磨する事が行なわれ勝となり、こ
のようにすると研削条痕が残り、その状態でラッピング
するとワーク表面が微妙にうねる傾向があった。
そこで、所定のラッピング精度が要求されているワーク
のラッピングに於いては、上記の如く遊離砥粒を用いる
事なく、砥粒をホルダーに固着した形式のラッピング用
砥石が用いられるようになった。即ち従来のラッピング
用砥石の典形例は、ラッピングに用いる機械の回転出力
軸に着脱できるホルダーをカップ状と成し、周縁の端面
に砥粒を結着して砥粒層を形成し、ラッピング時カップ
状の中央部から液体を供給し、この液体を力、プ状の中
央部から周縁上の砥粒層に配流するようにしたものであ
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術によれば、遊離砥粒を用いた方式に比し、
砥粒等が無駄にならない等の利点があるものの、本出願
人が幾つかの検討を加えた結果法の不具合が見い出され
た。
即ち、そのlは、ラッピングの経過に伴ない砥粒層の各
砥粒間に目づまりが生じ易いという点である。何故なら
ば、ホルダーの中央の液体供給口から送給された液体は
各砥粒の間隙に直接供給されず、直接液体が供給される
のは中央の液体供給口に直接対向している部分の砥粒間
隙だけであり、それ以降の即ち周辺付近の砥粒間隙には
横隣りの砥粒間隙から液体が供給されるから各砥粒間隙
に液体が均一に供給される為には時間がかかり、その内
にラッピングの進行に伴ない砥粒間隙に目詰まりが生じ
易いものである。するとラッピング精度が低下するもの
である。
その2は、ホルダーの端面に砥粒層を形成するに当り、
従来はホルダーを加工した後そのまま、その端面に砥粒
を結着剤を用いて結着させていたものであるから、端面
の水平度、即ちワーク表面に対する端面の水平度がその
まま砥粒層の水平度となって表われていた。所でホルダ
一端面は各部その水平度が不均一である事が多く、この
ような場合砥粒層の水平度が各部下均一となり易い、す
ると、ラッピング時砥粒の各部がワークの表面に均一に
接触せずラッピング精度が低下するものであった。
〔目的〕
従って本発明の目的とする所は、ラッピング時砥粒層の
各砥粒間隙に目づまりが生じ難く、よりラッピング精度
を向上できる手段を提供するにある。
特に、上述したように砥粒層の各砥粒がラッピングすべ
きワークの表面に各部均一に接触するこ′とが要求され
ている所であるが、この要求を容易簡便に実現できる手
段を提供するにある。
〔課題を解決する為の手段〕
上記目的を達成する為に本発明は次の技術的手段を有す
る。即ち、本発明はラッピングに用いる機械の回転出力
軸に取着できるホルダーと、上記ホルダーの端面に形成
されて成る砥粒層より成るラッピング用砥石に於いて: 上記ホルダーの端面に連続孔組織の多孔質体が取着され
、この連続孔組織の多孔質体の一側端面に、砥粒層が形
成された網目状シートが、上記砥粒層部分を表面に向け
て一体的に接合されて成り、ラッピング時上記ホルダー
に形成された液体供給口から供給した液体を、上記連続
孔組織の多孔質体及び網目状シートを介して上記砥粒層
の各砥粒間隙へ流出可能にした事を特徴とするラッピン
グ用砥石である。そして、その製法発明はラッピングに
用いる機械の回転出力軸に取着できるホルダーの端面に
、砥粒を結着剤を用いて結着せしめ、砥粒層を形成して
成るラッピング用砥石の製法に於いて; 上記ホルダーの流体供給口に対向させて、その端面に連
続孔組織の多孔質体を取着し、この状態でいったん上記
連続孔組織の多孔質体の一側の端面を供試体表面に当接
して回転研削し、もってその水平度を出し、他方網目状
体に砥粒を結着剤を用いて結着し、網目状体の一面に砥
粒層を形成し、この砥粒層が形成された網目状体を、上
記砥粒層を表面に向けた状態で上記表面の水平出しが実
施された連続孔組織の多孔質体の一側の端面に、液体透
過可能な接着シートを介して一体的に接合して成る事を
特徴とするラッピング用砥石の製法である。
〔作用〕
上記構成に基づくと、ラッピング時、ホルダーの液体供
給口から供給された液体は連続孔組織の多孔質体を通る
。この多孔質体の孔の分布は各部均一であるから、流体
が各部均一に配流される。次いで網目状体を介して、各
部液体が砥粒層の各砥粒間隙に均一に、特に直接供給さ
れる。それ故各部に素早く供給される。故にラッピング
の進行に伴なう各砥粒間隙の目詰まりが可及的に防1ヒ
される。
更にホルダーに対して連続孔組織の多孔質体を取着した
後、この端面をいったん供試体表面に回転接触して研削
することによって水平に仕上げる。すると、仮にホルダ
ーに対する上記多孔質体の取付具合如何によって、当初
は多孔質体の表面が水平になっていなかったとしても、
直ちにその表面は各部均一に水平となる。この状態で網
目状体、即ち砥粒層が形成された網目状体を液体透過可
能な接着シートを用いて一体接着する。故に砥粒層の水
平度は良好に、且つ容易に出せる。従ってこの意味でも
ラッピング精度がよい。
〔実施例〕
次に添付図面に従い本発明の好適な実施例を詳述する。
添付図面第1図〜第4図はこの発明の実施例のラッピン
グ用砥石の製法の順序を示したものである。先ずホルダ
ー1に対して連続孔組織を有する多孔質体2を取着する
。即ちホルダーlは、ラッピングに用いる機械例えばラ
ッピング用専用機等の機械の回転出力軸に脱着できる部
分3を備え、本体部分4に凹部5が形成されている。こ
れにより周壁6が周りに形成されていると共に、上記部
分3には凹部5に開口する液体供給ロアが形成されてい
るものである。そして上記凹部5に連続孔組織を有する
多孔質体2が嵌合せしめられている。この場合、この多
孔質体2は図示せざるボルトにより周壁6側から固定さ
れていると共に、多孔質体2の端面8は周壁6の端面9
より先に臨んでいる。上記多孔質体2としては種々のも
のを考慮できるが、望ましくはセラミックス製連続気泡
発泡体がよい、場合によっては、プラスチック製連続孔
組織の多孔質体でもよく、金属製連続気泡組織の多孔質
体でもよい、この多孔質体2の特質としては、その互い
に連なる孔隙の分布が各部均一性を有しているという点
である。
さて、上記のように多孔質体2をホルダー1に取付ける
時に、当然多孔質体2の端面8の各部の水平度が完全に
出ている事が望ましい、然しながら、ホルダー1の製作
精度、多孔質体2の製作精度、特に多孔質体2のホルダ
ーlに対する嵌合取付精度には若干の狂いが生ずる場合
がある。
すると、第2図で意図的に強調した概念図のように、多
孔質体2の端面8が一点鎖線りのように斜めになる場合
があり、各部が水平でないという結果が生じ易い、そこ
で1本発明はこのように、いったん多孔質体2をホルダ
ー1に取付けた後、ラッピングに用いる機械の回転出力
軸に上記のホルダーlを着装し、上記多孔質体2の端面
8を供試体10に当て回転せしめ研削する。供試体lO
は、ワーク自体の表面である場合もあるが、予め水平度
が出ているものを選ぶ、このようにすると、第2図の実
線L′に示すように多孔質体2の端面8が回転研削され
て、その水平度がでる。
逆に言えば、本発明は、予めホルダーl、及びその凹部
5あるいは多孔質体2の端面8の製作9度を厳密にしな
くても、この工程を踏む事によっていつでも多孔質体2
の端面8の製作精度を良好に出すことができるようにし
たものである。
第3図は、このようにして水平度が出た多孔質体2を示
している。他方第4図に示す如く網目状シート10の一
面に砥粒11を結着させ、砥粒層】2を形成する0例え
ばこの例は特開昭62−188676号に示されている
如き手段を用いることができる。即ち、ガラス繊維、炭
素繊維、炭化珪素繊維、アルミナNh雄、ムライト繊維
などの無機質高張度繊維、あるいは芳香族ポリアミド繊
維、ナイロン繊維、ポリエステルI維、ビニロン繊維。
フェノール系繊維、レーヨン繊維などの有機質合成繊維
であって、目開きが0.4〜1.5mmで密度が10〜
30メツシユであるようなものである。そして砥粒11
は、ダイヤモンド等任意のものを用い、レジン系接着剤
で結着する。
特に液体の通過を可能にするように結着する。
且つ上記網目状シート10の他側には、液体透過可能な
接着シート、例えば通孔を有するガーゼの如き液体透過
可能な繊維に接着剤を含浸させ、即ち液体透過可能なよ
うに接着剤を含浸させ、両面接着シートのように仕上げ
た接着シート13の片面を上記、網目状シー)10に接
着する。
この後、上記多孔質体2の端面8に上記液体透過可能な
接着シート13を用いて、この網目状体10、即ち砥粒
層12を一体接合するものである。この時、砥粒層I2
の水平度は完全に出ているものである。
このような構成に基づきこの使用例を第5図。
第6図に従い説明する。即ちラッピングS時、液体は矢
示Pのように液体供給ロアを介して供給される。供給さ
れた液体は、多孔質体2の中に入り、各部等しく配流さ
れる。そして接着シート13、網目状シー)10を介し
て砥粒層11を構成する各砥粒11の各間隙に第6図Q
で示すように直接流出する。
故に、ラッピングの進行に伴ない砥粒の目づまりが可及
的に防止される。従ってワークWの表面のラッピング精
度がよい、とりわけ、砥粒層12を構成する各砥粒11
は各部等しくワークWの表面に接触しているので、この
意味でもラッピング精度が向上する。
而して上記の例では液体透過可能な接着シートとしてガ
ーゼの如きものを例として上げたが他の同効のものを用
いてもよいものである。
〔効果〕
以上詳述した如く、この発明によれば1 ラッピング時
、供給された液体は孔隙分布均一なる多孔質体によって
均等に配流され、砥粒層の各部へ等しく、特に各部へ直
接流出する。故にラッピングの進行に伴なう目詰まりが
ない。
特に、ホルダーに対して多孔質体を取付けた時、仮に多
孔質体の端面の水平度が出ていなくても、多孔質体の端
面をいったん供試体に当て回転させて平面研削する。故
にこの段階で水平度がでる。従って後工程で取付けられ
る砥粒層の水平度が簡単に出る。これによりワーク表面
のラッピング精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
添付図面は本発明の実施例を示し、第1図はホルダーに
対し連続孔組織の多孔質体を取付け、而も供試体表面に
多孔質体の端面を当てて、回転させ、もって端面を平面
研削する所を示した図。 第2図は端面の水平度が出る様子を示した図、第3図は
端面の水平度を出す所を示す図、第4図は網目状シート
に形成された砥粒層の図、第5図は砥粒層を有する網目
状シートを多孔質体の端面に液体透過可能な接着シート
を介して一体接合した所を示す図、第6図は動作説明図
であり、図中1はホルダー、2は連続孔組織の多孔質体
、7は液体供給口、8は多孔質体の端面、 10は網目
状シート、11は砥粒、12は砥粒層、13は液体透過
可能な接着シートを各々示している。 メ 石り メ 声 、ろり α

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ラッピングに用いる機械の回転出力軸に取着でき
    るホルダーと、上記ホルダーの端面に形成されて成る砥
    粒層より成るラッピング用砥石に於いて; 上記ホルダーの端面に連続孔組織の多孔質体が取着され
    、この連続孔組織の多孔質体の一側端面に、砥粒層が形
    成された網目状シートが、上記砥粒層部分を表面に向け
    て一体的に接合されて成り、ラッピング時上記ホルダー
    に形成された液体供給口から供給した液体を、上記連続
    孔組織の多孔質体及び網目状シートを介して上記砥粒層
    の各砥粒間隙へ流出可能にした事を特徴とするラッピン
    グ用砥石。
  2. (2)上記連続孔組織の多孔質体はセラミックス製の連
    続気泡組織体であることを特徴とする請求項第1項記載
    のラッピング用砥石。
  3. (3)上記連続気泡組織の多孔質体はプラスチック製の
    連続気泡組織体であることを特徴とする請求項第1項記
    載のラッピング用砥石。
  4. (4)上記連続気泡組織の多孔質体は連続気泡組織状の
    金属である事を特徴とする請求項第1項記載のラッピン
    グ用砥石。
  5. (5)ラッピングに用いる機械の回転出力軸に取着でき
    るホルダーの端面に、砥粒を結着剤を用いて結着せしめ
    、砥粒層を形成して成るラッピング用砥石の製法に於い
    て; 上記ホルダーの流体供給口に対向させて、その端面に連
    続孔組織の多孔質体を取着し、この状態でいったん上記
    連続孔組織の多孔質体の一側の端面を供試体表面に当接
    して回転研削し、もってその水平度を出し、他方網目状
    体に砥粒を結着剤を用いて結着し、網目状体の一面に砥
    粒層を形成し、この砥粒層が形成された網目状体を、上
    記砥粒層を表面に向けた状態で上記表面の水平出しが実
    施された連続孔組織の多孔質体の一側の端面に、液体透
    過可能な接着シートを介して一体的に接合して成る事を
    特徴とするラッピング用砥石の製法。
  6. (6)上記連続孔組織の多孔質体はセラミックス製の連
    続気泡組織体であることを特徴とする請求項第5項記載
    のラッピング用砥石の製法。
  7. (7)上記連続孔組織の多孔質体はプラスチック製の連
    続気泡組織体であることを特徴とする請求項第5項記載
    のラッピング用砥石の製法。
  8. (8)上記連続組織の多孔質体は連続気泡組織状の金属
    である事を特徴とする請求項第5項記載のラッピング用
    砥石の製法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60167521A (ja) * 1984-09-19 1985-08-30 Nec Corp 集積回路
JP2007118119A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Nanotemu:Kk 砥石
JP2008194797A (ja) * 2007-02-15 2008-08-28 Mezoteku Dia Kk 表面研磨方法と表面研磨装置と表面研磨板
JP2009269128A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Disco Abrasive Syst Ltd 研削装置及び研削方法

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