JP2007118119A - 砥石 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この砥石10は砥粒、結合材および気孔を有する多孔質体により形成されており、内部には流体流路17,18が形成されている。砥石10は加工面11から所定の厚みの部分は研磨層15となっており、それよりも基端面12側の部分は砥石基部16となっており、砥石基部16には流体流路17,18が形成されている。砥石基部16に形成された給排口19を介して流体流路17,18内に加圧ポンプ29からの研磨液等の流体を供給したり、真空ポンプ25を作動させて流体流路17,18内を負圧状態とすると、加工面11と被加工物Wの被加工面との間には、流体の流れが生成される。
【選択図】図2
Description
11 加工面
12 基端面
15 研磨層
16 砥石基部
17,18 流体流路
19 給排口
20 砥石ホルダー
22 砥石回転シャフト
25 真空ポンプ
29 加圧ポンプ
31 真空チャック
W 被加工物
Claims (6)
- 被加工物の被加工面を研磨加工する砥石であって、
砥粒、結合材および気孔を有する多孔質体により形成され前記被加工面を研磨加工する加工面が設けられた研磨層と、
前記研磨層の気孔を介して前記加工面に連通する流体通路が形成され、砥粒、結合材および気孔を有する多孔質体により前記研磨層と一体に形成される砥石基部とを有し、
前記砥石基部に形成され前記流体通路に連通する給排口からの加圧流体の供給ないし負圧流体の排出により前記被加工面と前記加工面との間に流体の流れを生成するようにしたことを特徴とする砥石。 - 請求項1記載の砥石において、前記研磨層を前記加工面が平坦となったディスク形状とし、前記研磨層と一体に形成される前記砥石基部をディスク形状とすることを特徴とする砥石。
- 請求項1または2記載の砥石において、遊離砥粒を有する研磨液、化学研磨剤を有するスラリー、またはこれらの混合物を前記流体通路および気孔を介して前記被加工物と前記加工面との間に供給することを特徴とする砥石。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の砥石において、気孔が連通した開気孔構造の多孔質体により前記研磨層を形成し、気孔が閉じられた閉気孔構造の多孔質体により前記砥石基部を形成することを特徴とする砥石。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の砥石において、前記加工面以外の砥石外面に封孔処理層または気孔が閉じられた閉気孔構造の多孔質体からなる閉気孔体層を形成することを特徴とする砥石。
- 請求項1〜5のいずれ1項に記載の砥石において、前記砥粒をダイヤモンドとCBNのいずれかの単体またはこれらの混合体とすることを特徴とする砥石。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015056409A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社ナノテム | 薄板基板の研削加工方法およびそれに用いる研削加工装置 |
CN104736300A (zh) * | 2012-10-20 | 2015-06-24 | 纳腾股份有限公司 | 磨具以及使用了该磨具的磨削抛光装置 |
TWI583499B (zh) * | 2015-10-22 | 2017-05-21 | China Grinding Wheel Corp | A disc with internal supply of fluid structure |
WO2019039419A1 (ja) * | 2017-08-21 | 2019-02-28 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置および基板研磨装置における研磨液吐出方法 |
CN114302789A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-04-08 | 株式会社荏原制作所 | 研磨装置及研磨方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6285355U (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-30 | ||
JPH01164546A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-28 | Hitachi Zosen Corp | 研削加工方法 |
JPH01193174A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-08-03 | Toshiba Corp | 研摩砥石 |
JPH0224053A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-26 | Souzou Kagaku:Kk | ラッピング用砥石及びその製法 |
JPH0683257U (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-29 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 通液型研削砥石 |
JP2002187062A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-02 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面研磨装置、平面研磨方法及びそれに使用される砥石 |
-
2005
- 2005-10-27 JP JP2005312334A patent/JP4292179B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6285355U (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-30 | ||
JPH01164546A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-28 | Hitachi Zosen Corp | 研削加工方法 |
JPH01193174A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-08-03 | Toshiba Corp | 研摩砥石 |
JPH0224053A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-26 | Souzou Kagaku:Kk | ラッピング用砥石及びその製法 |
JPH0683257U (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-29 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 通液型研削砥石 |
JP2002187062A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-02 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面研磨装置、平面研磨方法及びそれに使用される砥石 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104736300A (zh) * | 2012-10-20 | 2015-06-24 | 纳腾股份有限公司 | 磨具以及使用了该磨具的磨削抛光装置 |
JP2015056409A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社ナノテム | 薄板基板の研削加工方法およびそれに用いる研削加工装置 |
TWI583499B (zh) * | 2015-10-22 | 2017-05-21 | China Grinding Wheel Corp | A disc with internal supply of fluid structure |
WO2019039419A1 (ja) * | 2017-08-21 | 2019-02-28 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置および基板研磨装置における研磨液吐出方法 |
JP2019034387A (ja) * | 2017-08-21 | 2019-03-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置および基板研磨装置における研磨液吐出方法 |
TWI757536B (zh) * | 2017-08-21 | 2022-03-11 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 基板研磨裝置及基板研磨裝置之研磨液吐出方法 |
US11648638B2 (en) | 2017-08-21 | 2023-05-16 | Ebara Corporation | Substrate polishing apparatus and polishing liquid discharge method in substrate polishing apparatus |
CN114302789A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-04-08 | 株式会社荏原制作所 | 研磨装置及研磨方法 |
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Publication number | Publication date |
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