JPH02236471A - 特殊試験機能回路を備える半導体装置 - Google Patents
特殊試験機能回路を備える半導体装置Info
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- JPH02236471A JPH02236471A JP1058614A JP5861489A JPH02236471A JP H02236471 A JPH02236471 A JP H02236471A JP 1058614 A JP1058614 A JP 1058614A JP 5861489 A JP5861489 A JP 5861489A JP H02236471 A JPH02236471 A JP H02236471A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 241000750042 Vini Species 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の概要]
半導体装置内部に特殊試験機能回路を設けられた半導体
装置に関し、 ノイズによる特殊試験機能の誤作動を防止することを目
的とし、 半導体装置の複数の外部端子にそれぞれ接続された高電
圧検出回路と、これらの高電圧検出回路の出力を受ける
論理ゲートを備え、これら複数の外部端子に同時に高電
圧が印加されるとき前記論理ゲートの出力により特殊試
験機能回路を作動させるよう構成する。
装置に関し、 ノイズによる特殊試験機能の誤作動を防止することを目
的とし、 半導体装置の複数の外部端子にそれぞれ接続された高電
圧検出回路と、これらの高電圧検出回路の出力を受ける
論理ゲートを備え、これら複数の外部端子に同時に高電
圧が印加されるとき前記論理ゲートの出力により特殊試
験機能回路を作動させるよう構成する。
本発明は、半導体装置内部に特殊試験機能回路を設けら
れた半導体装置に関する。
れた半導体装置に関する。
近年、メモリやロジック等の■、Slは容量や性能が飛
躍的に向上しているため、従来と同じ方法では信軌性の
高い試験や評価を充分に行うことができない。このため
、最近のこの種の半導体装置は特殊な試験を行う機能を
内蔵し、これを特定の外部端子に高電圧を印加して作動
させ得るようにしてある。
躍的に向上しているため、従来と同じ方法では信軌性の
高い試験や評価を充分に行うことができない。このため
、最近のこの種の半導体装置は特殊な試験を行う機能を
内蔵し、これを特定の外部端子に高電圧を印加して作動
させ得るようにしてある。
(従来の技術〕
第4図は従来の特殊試験システムの一例で、11はある
特定の外部端子、21は高電圧検出回路、31は特殊試
験機能回路である。外部端子1lはアドレス端子やチッ
プイネーブル(CE)、出力イネーブル(OE)等の制
御端子を転用しており、ここに通常動作モードより高い
電圧を印加したとき高電圧検出回路21が出力■8をH
(ハイ)にして特殊試験機能回路31を作動させるよう
になっている。
特定の外部端子、21は高電圧検出回路、31は特殊試
験機能回路である。外部端子1lはアドレス端子やチッ
プイネーブル(CE)、出力イネーブル(OE)等の制
御端子を転用しており、ここに通常動作モードより高い
電圧を印加したとき高電圧検出回路21が出力■8をH
(ハイ)にして特殊試験機能回路31を作動させるよう
になっている。
第4図はこの説明図で、VINは外部端子11に印加さ
れる入力電圧である。この入力電圧VINはアドレスや
制御信号等の通常の信号では低レベルVILと高レベル
Vl}Iの間で変化する。従って、■.より高い動作電
圧を有する高電圧検出回路21の出力■イはL(ロー)
のままである。これに対し、高電圧検出回路21の動作
電圧を越える高電圧を外部端子11に印加すると、出力
V0がI4になって特殊試験機能回路31が作動する。
れる入力電圧である。この入力電圧VINはアドレスや
制御信号等の通常の信号では低レベルVILと高レベル
Vl}Iの間で変化する。従って、■.より高い動作電
圧を有する高電圧検出回路21の出力■イはL(ロー)
のままである。これに対し、高電圧検出回路21の動作
電圧を越える高電圧を外部端子11に印加すると、出力
V0がI4になって特殊試験機能回路31が作動する。
この特殊試験機能回路31は、、例えば全ワード線の同
時選択又は同時非選沢という通常動作ではあり得ない特
殊動作を行う。EPROMを例にすると、書込みは読出
し等で使用する電圧■。Cより高い電圧VPFを使用す
るためセルにとってストレスとなるが、このストレスに
耐えるか否かを全セルについて試験する必要がある。こ
の場合、通常の如くワード線とビット線の選択でセルを
1つずつ選択していては多大なセルを試験するのに膨大
な時間がかかる。そこで、全ワード線、全ビット線を同
時選択し、当該ワード線、ビット線に属する全セルの耐
圧を同時に試験するという特殊な試験を行なう。なおフ
ローティングゲートFGとコントロールゲートCGを備
えるεFROMでは、CGとFGとの間の絶縁層、FG
と基板との間の絶縁層を試験する必要があり、ワード線
全選択は前者でまたビット線全選択は後者で行なう。
時選択又は同時非選沢という通常動作ではあり得ない特
殊動作を行う。EPROMを例にすると、書込みは読出
し等で使用する電圧■。Cより高い電圧VPFを使用す
るためセルにとってストレスとなるが、このストレスに
耐えるか否かを全セルについて試験する必要がある。こ
の場合、通常の如くワード線とビット線の選択でセルを
1つずつ選択していては多大なセルを試験するのに膨大
な時間がかかる。そこで、全ワード線、全ビット線を同
時選択し、当該ワード線、ビット線に属する全セルの耐
圧を同時に試験するという特殊な試験を行なう。なおフ
ローティングゲートFGとコントロールゲートCGを備
えるεFROMでは、CGとFGとの間の絶縁層、FG
と基板との間の絶縁層を試験する必要があり、ワード線
全選択は前者でまたビット線全選択は後者で行なう。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、第4図のシステム構成では外部端子l1に第
6図のようなスパイクノイズがのると、それで特殊試験
機能回路31が誤作動してしまうことがある。一般に外
部端子11に入力電圧■1.4を印加する外部のドライ
バは、それ自体がスパイクノイズを発生し易い特性を有
するため、か\るドライバ出力を受ける端子を前記端子
1lとしても使用すると、通常動作時に特殊試験機能回
路を動作させるという異常自体が発生する。
6図のようなスパイクノイズがのると、それで特殊試験
機能回路31が誤作動してしまうことがある。一般に外
部端子11に入力電圧■1.4を印加する外部のドライ
バは、それ自体がスパイクノイズを発生し易い特性を有
するため、か\るドライバ出力を受ける端子を前記端子
1lとしても使用すると、通常動作時に特殊試験機能回
路を動作させるという異常自体が発生する。
本発明は、複数の外部端子に同時に高電圧が印加された
ときだけ特殊試験機能を作動させるようにすることで、
ノイズによる特殊試験機能の誤作動を防止することを目
的としている。
ときだけ特殊試験機能を作動させるようにすることで、
ノイズによる特殊試験機能の誤作動を防止することを目
的としている。
(課題を解決するための手段〕
第1図は本発明の原理図で、11.12は複数の外部端
子、21.22は各外部端子の電圧を検出する高電圧検
出回路、31は特殊試験機能回路である。41は高電圧
検出回路21.22の出力■イl+VH2が共に高電圧
を検出したレベルになったときだけ出力■.。を生じる
論理ゲート(例えばアンドゲート)である。
子、21.22は各外部端子の電圧を検出する高電圧検
出回路、31は特殊試験機能回路である。41は高電圧
検出回路21.22の出力■イl+VH2が共に高電圧
を検出したレベルになったときだけ出力■.。を生じる
論理ゲート(例えばアンドゲート)である。
第1図(a)では論理ゲー1−41の出力■、。は特殊
試験機能回路31のイ不一ブル信号になるが、第1図(
b)ではこれはラッチ回路61〜6mのデータ取込み信
号になりまた論理ゲート71〜7mの開放信号になる。
試験機能回路31のイ不一ブル信号になるが、第1図(
b)ではこれはラッチ回路61〜6mのデータ取込み信
号になりまた論理ゲート71〜7mの開放信号になる。
この第1図(b)では他の外部端子(これもアドレス、
CE,ORなどの端子)に加える選択信号のデコーダ5
lが設けられ、ラッチ61〜6mはこのデコーダ51の
1つの出力を取込む。特殊試験機能回路は複数個ある場
合があり、31〜3mはその各々を示す。
CE,ORなどの端子)に加える選択信号のデコーダ5
lが設けられ、ラッチ61〜6mはこのデコーダ51の
1つの出力を取込む。特殊試験機能回路は複数個ある場
合があり、31〜3mはその各々を示す。
?作用〕
本発明では複数のく3以上でもよい)外部端子1.1.
12に同時に高電圧が印加されたときだけ論理回路41
の出力■■。がHになって、第1図(a)では特殊試験
機能回路31を作動させ、第1図[有])では端子13
〜Inに加えられた信号をデコードするデコーダ51の
出力をラッチ61〜6mの該当する1つに取込ませ、ア
ンドゲート71〜7mの該当する1つを開いて(出力さ
せて)、特殊試験機能回路31〜3mの該当する1つを
イネーブルにする。従って、一部の外部端子に第5図の
ようなスパイクノイズが入力しても、残りの外部端子の
電圧が低ければ特殊試験機能回路31.31〜3mの1
つ、は誤作動しない。
12に同時に高電圧が印加されたときだけ論理回路41
の出力■■。がHになって、第1図(a)では特殊試験
機能回路31を作動させ、第1図[有])では端子13
〜Inに加えられた信号をデコードするデコーダ51の
出力をラッチ61〜6mの該当する1つに取込ませ、ア
ンドゲート71〜7mの該当する1つを開いて(出力さ
せて)、特殊試験機能回路31〜3mの該当する1つを
イネーブルにする。従って、一部の外部端子に第5図の
ようなスパイクノイズが入力しても、残りの外部端子の
電圧が低ければ特殊試験機能回路31.31〜3mの1
つ、は誤作動しない。
[実施例]
外部端子11.12は共にアドレス端子または制御端子
でもよいが、第2図、第3図に示すように一方の外部端
子12をEPROM特有の■1端子にすると、該端子に
接続される外部電源の出力は安定化されているためノイ
ズがのりにく\誤動作しにくい利点かある。但し、この
vpr端子だけを用いると、通常の書込み時に該端子に
高電圧VPPが印加され、高電圧検出回路が出力を生じ
て特殊試験機能回路3lが誤作動してしまうため、やは
り他の外部端子を組合せる必要がある。
でもよいが、第2図、第3図に示すように一方の外部端
子12をEPROM特有の■1端子にすると、該端子に
接続される外部電源の出力は安定化されているためノイ
ズがのりにく\誤動作しにくい利点かある。但し、この
vpr端子だけを用いると、通常の書込み時に該端子に
高電圧VPPが印加され、高電圧検出回路が出力を生じ
て特殊試験機能回路3lが誤作動してしまうため、やは
り他の外部端子を組合せる必要がある。
第3図では複数の特殊試験機能回路31〜3mがある場
合、その1つを他の外部端子13〜Inに人力する信号
Vl)Iff〜■、。の組合せで選択できるようにして
いる。この外部端子13〜1nに与える信号V +N3
”’ V INnは通常のレヘルで、そのH/Lの組
合せをデコーダ51でデコードし、デコード出力V D
+ ”!” V Daの1つだけを11にする。
合、その1つを他の外部端子13〜Inに人力する信号
Vl)Iff〜■、。の組合せで選択できるようにして
いる。この外部端子13〜1nに与える信号V +N3
”’ V INnは通常のレヘルで、そのH/Lの組
合せをデコーダ51でデコードし、デコード出力V D
+ ”!” V Daの1つだけを11にする。
全てのデコード出力■。1〜VDnはそれぞれラッチ回
路61〜6mに人力し、アンドゲート41の出力■、。
路61〜6mに人力し、アンドゲート41の出力■、。
がLから日になるタイミングでラッチされる。このラッ
チ回路61〜6mの出力VLI〜■、はアンドゲート4
1の出力■エ。がHのときだけ、つまり外部端子11.
12に共に高電圧が印加されたときだけアンドゲート7
1〜7mを通過する。
チ回路61〜6mの出力VLI〜■、はアンドゲート4
1の出力■エ。がHのときだけ、つまり外部端子11.
12に共に高電圧が印加されたときだけアンドゲート7
1〜7mを通過する。
?の結果、ゲート出力VDOI〜VDO*の1つがHに
なると、対応する特殊試験機能回路31〜3mの1つだ
けが動作する。
なると、対応する特殊試験機能回路31〜3mの1つだ
けが動作する。
このようにすることで、第2図と同様の耐ノイズ性を有
すると共に、複数の特殊試験機能回路毎に高電圧検出回
路21.22を設けずに済む。またラッチ回路61〜6
mを設けてあるため、ゲート41の出力V.。が立上っ
てデコーダ出力をラッチ回路に取込ませた後は外部端子
13〜1nの入力VINI〜■1■を変更しても構わな
いので、試験中はこれらの外部端子13〜inを本来の
用途(例えばアドレス端子)に使用できる。
すると共に、複数の特殊試験機能回路毎に高電圧検出回
路21.22を設けずに済む。またラッチ回路61〜6
mを設けてあるため、ゲート41の出力V.。が立上っ
てデコーダ出力をラッチ回路に取込ませた後は外部端子
13〜1nの入力VINI〜■1■を変更しても構わな
いので、試験中はこれらの外部端子13〜inを本来の
用途(例えばアドレス端子)に使用できる。
第2図および第3図は本発明の実施例の構成図、第4図
は従来の特殊試験システムの構成図、第5図は第3図の
動作特性図、 第6図は第3図の誤動作の説明薗である。
は従来の特殊試験システムの構成図、第5図は第3図の
動作特性図、 第6図は第3図の誤動作の説明薗である。
第1図で11〜1nは外部端子、11.12は高電圧検
出回路、4lは論理ゲート、31〜3mは特殊試験機能
回路である。
出回路、4lは論理ゲート、31〜3mは特殊試験機能
回路である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体装置の複数の外部端子(11、12)にそれ
ぞれ接続された高電圧検出回路(21、22)と、これ
らの高電圧検出回路の出力を受ける論理ゲート(41)
を備え、 これら複数の外部端子(11、12)に同時に高電圧が
印加されるとき前記論理ゲートの出力により特殊試験機
能回路(31)を作動させるようにしてなることを特徴
とする特殊試験機能回路を備える半導体装置。 2、半導体装置の複数の外部端子(11、12)にそれ
ぞれ接続された高電圧検出回路(21、22)と、これ
らの高電圧検出回路の出力を受ける論理ゲート(41)
と、 半導体装置の他の複数の外部端子に接続されて、これら
の端子に加えられる信号をデコードするデコーダ(51
)と、 前記論理ゲートの出力とデコーダの出力を受けて、前記
複数の外部端子に同時に高電圧が印加されるとき、前記
他の複数の外部端子に加えられた信号により指定される
特殊試験機能回路(31〜3mの1つ)を作動させるよ
うにしてなることを特徴とする特殊試験機能回路を備え
る半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058614A JP2741887B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 特殊試験機能回路を備える半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058614A JP2741887B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 特殊試験機能回路を備える半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02236471A true JPH02236471A (ja) | 1990-09-19 |
JP2741887B2 JP2741887B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=13089424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1058614A Expired - Fee Related JP2741887B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 特殊試験機能回路を備える半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2741887B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04254777A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-10 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 半導体集積回路 |
US6525967B1 (en) | 1995-02-10 | 2003-02-25 | Micron Technology, Inc. | Fast-sensing amplifier for flash memory |
US6578124B1 (en) | 1995-02-10 | 2003-06-10 | Micron Technology, Inc. | Serial command port method, circuit, and system including main and command clock generators to filter signals of less than a predetermined duration |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP1058614A patent/JP2741887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04254777A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-09-10 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 半導体集積回路 |
US6525967B1 (en) | 1995-02-10 | 2003-02-25 | Micron Technology, Inc. | Fast-sensing amplifier for flash memory |
US6578124B1 (en) | 1995-02-10 | 2003-06-10 | Micron Technology, Inc. | Serial command port method, circuit, and system including main and command clock generators to filter signals of less than a predetermined duration |
US6581146B1 (en) | 1995-02-10 | 2003-06-17 | Micron Technology, Inc. | Serial command port method, circuit, and system including main and command clock generators to filter signals of less than a predetermined duration |
US6744673B2 (en) | 1995-02-10 | 2004-06-01 | Micron Technology, Inc. | Feedback biasing integrated circuit |
US6914822B2 (en) | 1995-02-10 | 2005-07-05 | Micron Technology Inc. | Read-biasing and amplifying system |
US6996010B2 (en) | 1995-02-10 | 2006-02-07 | Micron Technology, Inc. | Fast-sensing amplifier for flash memory |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2741887B2 (ja) | 1998-04-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |