JPH02223040A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH02223040A
JPH02223040A JP1119861A JP11986189A JPH02223040A JP H02223040 A JPH02223040 A JP H02223040A JP 1119861 A JP1119861 A JP 1119861A JP 11986189 A JP11986189 A JP 11986189A JP H02223040 A JPH02223040 A JP H02223040A
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magneto
optical recording
alloy
recording medium
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Takashi Yamada
隆 山田
Satoshi Matsubaguchi
敏 松葉口
Ryoichi Yamamoto
亮一 山本
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は光磁気記録媒体に関し特に反射層の改良によっ
て感度及び経時安定性を向上させた光磁気記録媒体℃関
する。
〔従来技術及びその問題点〕
近年、光磁気記録媒体は、レーザー光による書き込み読
み出し可能光磁気ディスクとして大容量データファイル
等に広く利用されている。
光磁気記録媒体の使用形態としては通常透明基板上に記
録層と保護層をスバ・ンタリング等の成膜法で設けた媒
体を単板で使用する場合と基板を外側に向けて接着層を
介して2枚貼り合わせた両面記録型の形態で使用する場
合とがある。
また、記録再生に際して光は基板側から入射されるが入
射光を有効に利用してC/Nを高め、また対称性の優れ
た記録ビット形状を得るために基板とは反対の最上層に
反射層を設けることが提案されており、上記の単板の光
磁気記録媒体においてもまた両面記録型の光磁気記録媒
体においても採用されている。(例えば、特開昭57−
120253号公報に開示されている。) 前記反射層は、通常反射率の高い金属の薄膜であり、例
えば、At、Au、Cu、PL、Ta及びTi等の単体
もしくは合金が使用され、中でも特にコストが安価であ
ること、反射率さらに熱伝導性が比較的良好であること
等の理由からAlCuが土に検討されている。
しかしながら、このAlやCuは比較的腐食され易く使
用したり保存しているうちに反射率が次第に低下すると
いう問題があった。
この問題を改良し反射層の耐腐食性を改良する為に合金
にする方法、反射層を表面処理する方法等が提案されて
いるがいまだ充分に解決されていない。特に、合金にす
る方法においてレヨ、A1とMg、Si、Mn等の金属
との合金にする方法が特開昭61−239349号公報
や特開昭62−295232号公報等に開示されている
が、未だ充分でなく、経時加速試験のために高温度高湿
度下に保存した比較的短時間内に反射層の表面に腐食痕
が発生してしまい、局部的に反射率が低下する結果、ド
ロップ・アウト(BER(ピットエラーレート))が増
加する等の問題があった。
〔発明が解決しようとする問題点] 本発明は、上記の従来技術の問題点に鑑がみなされたも
のであり、耐腐食性が改良された経時安定性の優れた反
射層を設けた光磁気記録媒体を提供することを目的とし
ている。
〔問題点を解決するための手段〕
上記本発明の目的は、基板上に少なくとも記録層及び反
射層を有する光磁気記録媒体において、が反射層がAl
(アルミニウム)とTa(タンタル)の合金よりなる薄
膜であることを特徴とする光磁気記録媒体により達成さ
れる。
本発明の光磁気記録媒体の一例を第1図で以下に説明す
る。
第1誘電体保護層l、記録層2、第2誘電体保護層3、
AlとTaの合金反射層4の薄膜がこの順で積層された
構成の光磁気記録層5が透明プラスチック、ガラス等よ
りなる基Vi6上に設けられている。そして、前記光磁
気記録層5全体を保護するために紫外線硬化樹脂等より
なるを機保護層7が最上層の前記AlとTaの合金反射
層4の上面前記光磁気記録層5の側面を覆うように設け
られている。記録用もしくは読み出し用の光ビーム8は
前記基板6側から入射される。前記光ビーム8は前記基
板6、前記第1誘電体保護層1を通過して前記記録層2
に至りそこで前記記録N2に対し光磁気効果を及ぼし更
に前記第2誘電体保護層3を透過し前記A1とTaの合
金反射層4で反射され再び前記記録層2に戻り光磁気効
果を及ぼす。
前記AlとTaの合金反射層があるとにより、前記記録
層2の表面での反射による偏光いわゆるカー効果だけで
はなく透過光の偏光によるいわゆるファラデー効果をも
記録層に作用されるようにしてもって、CN比を大きく
できるようにしたことにある。
以上本発明の光磁気記録媒体の構成を単板の媒体を例に
説明したが、この単板の光磁気記録媒体を前記基板6を
外側にして接着層を介して2枚貼り合わせて両面記録型
の媒体とすることもできる。
本発明の光磁気記録媒体においては上記の反射層を有す
る光磁気記録媒体の特徴に加えて更に反射層の耐腐食性
を向上させた結果経時劣化の点においても改善されてい
る。
すなわち、本発明の光磁気記録媒体の前記反射層のAl
とTaの合金はそれ自身でも耐腐食性が優れており外部
から侵入してくる酸素や水分の影響を受けにくく経時に
よる反射率の低下の結果特性が劣化する恐れが少ない、
前記有機保護層7でその表面が覆われ外気から遮断され
てはいても前記有機保護層7を透過してくる水分やまた
酸素によって前記反射層4の表面は局部的に侵されその
侵された部分での反射率が低下する。更に、BERが増
大する等の問題をおこすようになる。特に、高温度高湿
度下の使用条件でこれらの問題は顕著となる。
本発明の利点は、基板上の一方の面に記録層及び反射層
を有した2枚の媒体を、該基板の他方の面を外側に、向
けてホントメルト接着剤層を介して貼り合わせたいわゆ
る両面記録型光磁気記録媒体においてさらに生かすこと
ができる。
すなわち、両面記録型光磁気記録媒体にあっては、前述
の酸素や水分の影響の他にホットメルト接着剤層中の低
分子量成分、アルカリ金属等の腐食性の残存イオン等が
反射層の腐食を促進するからである。
前記ホットメルト接着剤層と反射層との間に有機樹脂保
護層が介在したとしても、前記の腐食性の成分の浸透を
防ぐには充分ではないので、本発明のようにA1とTa
の合金の薄膜を反射層とすることによって、との耐腐食
性を向上させもって、経時安定性の優れた両面記録型光
磁気記録媒体とすることができる。
本発明の光磁気記録媒体における前記AlとTaの合金
反射層4の組成はTaが1乃至10原子%であることが
望ましい、Taがあまり多いと反射率が低下し逆に余り
少ないと耐腐食性が充分でなくなる。
また前記A1とTaの合金反射層の厚さは200乃至6
00Aであることが望ましい。
前記AlとTaの合金反射層は、通常スパッタ法により
形成される。すなわち、AlとTaの合金のターゲット
もしくはA1の上にTaのチップを配したターゲットを
用いてRFスパッタ、DCスパッタを行って、第1図に
示した例で言えば前記第2誘電体保護層3の上に成膜で
きる。
前記光磁気記録層5を構成する他の層も前記AlとTa
の合金反射層4と同様スパッタ法で成膜することができ
る。
本発明の光磁気記録媒体における前記記録層2用の素材
としては、各種の酸化物及び金属の磁性体のyIW!4
が使用できる0例えば、MnB11MnAlCe、Mn
CuB1等の結晶性材料、Gd1G、B1SmErGa
1G  BtSmYbCoGelG、等の単結晶材料、
さらに、GdCo、GdFe、TbFe、DyFe、G
dFeB1.GdTbFe、GdFeCo、TbFeC
o、TbFeNi等の比晶譬材料を用いた薄膜である。
中でも感度、C/N等の点で希土類金属、遷移金属を主
体とする記録層が最も好ましく、単一層としてもまた遷
移金属からなる薄膜と希土類金属からなる薄膜とが交互
に積層した形態でも使用される。
本発明の光磁気記録媒体における前記記録層2の耐腐食
性を高めるために遷移金属薄膜、希土類金属薄膜の双方
もしくはいずれかにCr、 TiPt、Al等の金属を
添加することもできる。
前記記録層2の厚さは通常150乃至400Aである。
本発明の光磁気記録媒体においては前記記録層2の上下
に前記第1の誘電体保護層l及び前記第2の誘電体保護
層3を設けて耐久性や光磁気特性を高めることが望まし
い、該誘電体としてはAlN、Sin、SiOx、Si
Nx、5iAlON等が用いられ、中でも5LNx、5
iAlONが望ましい、この誘電体保護層の厚さとして
は通常300乃至1500Aである。
本発明の光磁気記録媒体で使用する前記基板6としては
、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリ
オレフィン、エポキシ、ガラス等を用いることができる
が、特に樹脂基板中でもポリカーボネートが望ましい。
また、さらに耐久性を向上させるための前記有機保護層
7としては、紫外線硬化樹脂やホントメルト樹脂が使用
される。
〔発明の効果) 反射層をAlとTaとの合金の薄膜とすることにより、
光磁気記録媒体のC/Nを大きくできるとともに、その
経時劣化を防止できもってBER(ピットエラーレート
)の増大等の問題を軽減できる。
以下の実施例によって、本発明の新規な効果を明確にす
る。
〔実施例−1〕 連続式スパッタリング装置を用いて、130φ、厚さ1
.2鴫のポリカーボネート基板上に以下のような順で各
薄膜を成膜して単板の光磁気記録媒体を得た。まず、第
1の誘電体保護層として5isN4薄膜を1000人の
厚さで成膜し、次にTbFeCoCrよりなる非晶質合
金薄膜の記録層を300人の厚さで前記第1の誘電体保
護層の上に成膜した。さらに、この記録層の上に第2の
誘電体保護層としてS i s Naの薄膜を500人
の厚さで成膜し、その上にAlとTaの合金反射層とし
て300人の厚さでAlとTaの合金の薄膜を成膜した
前記AlとTaの合金反射層の成膜は、純度99.99
%の8インチ径のAlツタ−ットの上に5論角のTaの
チップを配して行った。そして、そのAlツタ−ゲット
上配するTaのチップの数を変えることによって、前記
AlとTaの合金反射層のTaの組成比を1乃至20原
子%まで変化させた。
上記のようにして得られた前記AlとTaの合金反射層
のTaの含有量が異なる4種類の光磁気記録媒体の試料
A、B、C,Dを80 ”C90%RHの高温高湿度の
条件に設定された恒温槽中に1500時間放置した。
放置後の光磁気記録媒体につぎの反射率及び記録層のH
cを以下の方法で測定した。
反射率の測定:波長830nmの半導体レーザー光を光
磁気記録媒体サンプルの半径29−の位置の反射率を光
磁気ディスク評価機のビレクア7プを用いて測定した。
Heの測定:波長830nmの半導体レーザー光を用い
たカーヒステリシス装置で測定した。
その結果を第1表に示す。
〔比較例〕
A1とTaの合金のかわりにAl純金属を反射層の薄膜
の素材とした以外上記の実施例と同一の条件で光磁気記
録媒体の試料Eを作成した。
第1表 反射率、Hcともに高温高湿度下に放置する前の初期値
に対する相対値である。
〔実施例−2〕 連続式スパッタリング装置を用いて、130φ、厚さ1
.2閣のポリカーボネート基板一方の面上に以下のよう
な順で各薄膜を成膜して単板の光磁気記録媒体を得た。
まず、第1の誘電体保護層としてSiNx薄膜を100
0人の厚さで成膜し、次にTbFeCoCrよりなる非
晶質合金薄膜の記録層を300人の厚さで前記第1の誘
電体保護層の上に成膜した。さらに、この記録層の上に
第2の誘電体保護層としてSiNxの薄膜を500人の
厚さで成膜し、その上に、反射層として350人の厚さ
でA1とTaの合金の薄膜を成膜して、片面記録型の光
磁気記録媒体の試料F及びGを作成した。
前記A1とTaの合金反射層の成膜は、純度99.99
%の8インチ径のAlツタ−ットの上に5聴角のTaの
チップを配して行った。
前記片面記録型の光磁気記録媒体の試料2枚を前記ポリ
カーボネート基板の反射層及び記録層のない他方の面を
外側に向けて、2枚の媒体の外端部の8ケ所をクリップ
で固定して前記反射層の面を向かい合わせて密着させて
両面記録型光磁気記録媒体の試料を作成した。
試料F同士貼り合わせた両面記録型光磁気記録媒体は試
料Hとし、試料G同士貼り合わせたものは試料■とした
〔実施例−3〕 実施例−2で得られた試料02枚を前記ポリカーボネー
ト基板の反射層及び記録層のない他方の面を外側に向け
て前記反射層の面に先ず、大日本インキ■製の紫外線硬
化樹脂#SD−17を4μmWli布、次いで紫外線照
射による硬化を行い、さらに東亜合成化学■製ホットメ
ルト接着剤#XW−13を塗布して貼り合わせて、両面
記録型光磁気記録媒体の試料Jを作成した。
このときの前記ホットメルト接着副層の厚さは20tI
mであった。
〔比較例−2〕 試料F−Jにおける反射層を純度99.99%のAlに
かえた以外実施例−2及び実施例−3と同一の条件で光
磁気記録媒体の試料に、 M、及びPを作成した。
上記のようにして得られた前記光磁気記録媒体の試料F
−Pを80°C90%RHの高温高湿度の条件に設定さ
れた恒温槽中に1500時間放置した。
そして、各試料につき高温高湿度条件下に放置する前後
におけるBER(ピットエラーレート)の測定をした。
測定は、3.7MHx、1800rpmの条件で記録再
生したときの信号の欠落をみた。
また、光磁気記録媒体サンプルの半径29mmの位置の
反射率を光磁気ディスク評価機のピックアップを用いて
測定した。波長830nmの光を使用した。
得られた結果を、第2表に示す。
第2表 〔実施例−4] 反射層のTaの組成比を第3表のように変えた以外は、
実施例−2及び実施例−3と同一の条件で両面記録型光
磁気記録媒体の試料Q−Tを作成した。
各特性の測定結果を第3表に示す。
第3表 第1図
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光磁気記録媒体の層構成を示す図であ
る。 1− 第1誘電体保護層 2− 記録層 3− 第2誘電体保護層 4 −  AlとTaの合金反射層 5− 光磁気記録層 6− 基板 7− 有機保護層 8− 記録用、読み出し用光ビーム 特許出願人 富士写真フィルム株式会社手続補正書 事件の表示 発明の名称 補正をする者 事件との関係 平成 年特願第1/りrbi号 光磁気記録媒体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に少なくとも記録層及び反射層を有する光
    磁気記録媒体において、該反射層がAl(アルミニウム
    )とTa(タンタル)の合金よりなる薄膜であることを
    特徴とする光磁気記録媒体。
  2. (2)Taの組成比が1乃至10原子%であるAlとT
    aの合金よりなる薄膜を前記反射層とすることを特徴と
    する請求項1記載の光磁気記録媒体。
  3. (3)基板上の一方の面に記録層及び反射層を有した2
    枚の媒体を、該基板の他方の面を外側に、向けてホット
    メルト接着剤層を介して貼り合わせた両面記録型光磁気
    記録媒体において、該反射層がAl(アルミニウム)と
    Ta(タンタル)の合金よりなる薄膜であることを特徴
    とする両面記録型光磁気記録媒体。
JP1119861A 1988-11-04 1989-05-12 光磁気記録媒体 Pending JPH02223040A (ja)

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JP63-278594 1988-11-04

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