JPH02222181A - 希土類元素添加光結合導波路 - Google Patents
希土類元素添加光結合導波路Info
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- JPH02222181A JPH02222181A JP4250889A JP4250889A JPH02222181A JP H02222181 A JPH02222181 A JP H02222181A JP 4250889 A JP4250889 A JP 4250889A JP 4250889 A JP4250889 A JP 4250889A JP H02222181 A JPH02222181 A JP H02222181A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は希土類を添加した光結合導波路に関する。
［従来の技術］
近年、光ファイバのコアに希土類元素を添加した光フア
イバレーザーの研究が活発化し、各種レーザー光源用、
光増幅媒質用として注目されるようになってきた。
イバレーザーの研究が活発化し、各種レーザー光源用、
光増幅媒質用として注目されるようになってきた。
第６図は従来の光フアイバレーザーの構成例を示したも
のである（木材、中沢：光ファイバレサーの発振特性と
その光通信への応用、レーザ学会研究会、ＰＴＭ−８７
−１６，ＰＰ、３１〜３７．１９８８年１月）。これは
光ファイバのコアに希土類元素を添加した光ファイバの
両端面をレーザーミラーに直に接触させるか、光ファイ
バの両端面に誘電体多層膜を蒸着させて光共振器を構成
したものである。励起光源にはＡｒイオンレーザ−（波
長５１４．５ｎ川）、色素レーサー（波長６５０ｎｍ）
、半導体レーサー（波長８３０ ｎｍ）等を用いて端面
励起か行われる。また光増幅器の例として第７図に示す
構成か上記両氏により提案されている。すなわち、希土
類を添加した光フアイバ内に信号光を伝搬させ、励起光
は光フアイバカップラを用いて合成させ、また光フアイ
バカップラで分離さぜる４７．ｊ成である。
のである（木材、中沢：光ファイバレサーの発振特性と
その光通信への応用、レーザ学会研究会、ＰＴＭ−８７
−１６，ＰＰ、３１〜３７．１９８８年１月）。これは
光ファイバのコアに希土類元素を添加した光ファイバの
両端面をレーザーミラーに直に接触させるか、光ファイ
バの両端面に誘電体多層膜を蒸着させて光共振器を構成
したものである。励起光源にはＡｒイオンレーザ−（波
長５１４．５ｎ川）、色素レーサー（波長６５０ｎｍ）
、半導体レーサー（波長８３０ ｎｍ）等を用いて端面
励起か行われる。また光増幅器の例として第７図に示す
構成か上記両氏により提案されている。すなわち、希土
類を添加した光フアイバ内に信号光を伝搬させ、励起光
は光フアイバカップラを用いて合成させ、また光フアイ
バカップラで分離さぜる４７．ｊ成である。
［発明か解決しようとする課題］
前述した光フアイバレーサーおよび光フアイバ増幅器は
、 ■ 光ファイバのコア径が細径であるため励起パワー密
度が大きくなり、励起効率を」−げられること ■ 相互作用長を長くとれること ■ 特に石英系ファイバの場合、低損失であること ■ 可撓性があること 等の特徴がある。しかしながら、他の光部品、例えば光
源、受光器、光変調器、光カプラ、光合分波器、光フィ
ルタ、光スィッチなとと糾合せていわゆる多機能光集積
回路を実現しようとすると、実装が複雑になり、低コス
ト化か難しく、また小形化、高性能化も容易でないとい
った問題点かあった。
、 ■ 光ファイバのコア径が細径であるため励起パワー密
度が大きくなり、励起効率を」−げられること ■ 相互作用長を長くとれること ■ 特に石英系ファイバの場合、低損失であること ■ 可撓性があること 等の特徴がある。しかしながら、他の光部品、例えば光
源、受光器、光変調器、光カプラ、光合分波器、光フィ
ルタ、光スィッチなとと糾合せていわゆる多機能光集積
回路を実現しようとすると、実装が複雑になり、低コス
ト化か難しく、また小形化、高性能化も容易でないとい
った問題点かあった。
本発明の目的は、前記した従来技術の問題点を解決する
ことにあり、多機能光集積回路の実現か容易な光結合導
波路を提供することにある。
ことにあり、多機能光集積回路の実現か容易な光結合導
波路を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
すなわち、本発明は、低屈折率（屈折率ｎ ｃ１）のク
ラッドを介して少なくとも２つのコア導波路（屈折率ｎ
ｃ 、 ｎｃ ＞ｎｃ１）を並列に配置させた光結合
導波路において、該コアおよびクラッドに希」二類元素
を添加した光結合導波路を用いることにより、上記「１
的を達成させるようにしたものである。
ラッドを介して少なくとも２つのコア導波路（屈折率ｎ
ｃ 、 ｎｃ ＞ｎｃ１）を並列に配置させた光結合
導波路において、該コアおよびクラッドに希」二類元素
を添加した光結合導波路を用いることにより、上記「１
的を達成させるようにしたものである。
「作用］
」〕記光結合等波路においては光信号は２つのコア導波
路間を移り変わりなから干渉し合って伝搬し、ある結合
長の時には一方のコア導波路から他方のコア導波路へ完
全に光が移り、また別の長さの結合長の時にはお互いに
光信号を分は合って伝搬する。それゆえにコア導波路は
かりでなく、クラッド部にも希土類元素を添加しておけ
は、コア導波路間のクラッド部もレーザー機能および増
幅機能に大きく寄与させることかでき、より効率的なレ
ーザーおよび増幅器を実現さぜることかてきる。さらに
、上記光結合導波路にミラー、反射膜などの形成や、半
導体レーザー、受光素子などの能動光素子を実装すれば
、多機能光集積回路を実現することか可能である。
路間を移り変わりなから干渉し合って伝搬し、ある結合
長の時には一方のコア導波路から他方のコア導波路へ完
全に光が移り、また別の長さの結合長の時にはお互いに
光信号を分は合って伝搬する。それゆえにコア導波路は
かりでなく、クラッド部にも希土類元素を添加しておけ
は、コア導波路間のクラッド部もレーザー機能および増
幅機能に大きく寄与させることかでき、より効率的なレ
ーザーおよび増幅器を実現さぜることかてきる。さらに
、上記光結合導波路にミラー、反射膜などの形成や、半
導体レーザー、受光素子などの能動光素子を実装すれば
、多機能光集積回路を実現することか可能である。
［実施例］
第１図に本発明の光結合導波路の実施例を示す。
同図（ａ）は平面図、（ｂ）はその側面図を示したもの
である。半導体、ガラス、強誘電体、磁性体なとよりな
る基板１」二に屈折率かｎｂのバッファ層２を設け、そ
の上に屈折率かｎｃ（ｎｃ＞ｎｂ）で略断面矩形状のコ
ア導波路３−１および３−２を形成させ、そしてその上
全体を屈折率かｎｃｌ （ｎｃｌ＜ ｎｃ ）のクラッ
ド４で覆った構造である。希土類元素はコア導波路３−
１．３−２およびクラッド４に添加されている。２つの
コア導波路３−１および３−２は近接して配置された結
合部５を有しており、その結合長Ωを完全結合長Ｌ（コ
ア導波路３−１へ入射した光信号６がコア導波路３−２
へ完全に移り変わるのに要する長さ）に対して、 ｎ Ω −（ｎ＝１． ３． ５・・・） ・・・ （１
）のように選ぶと３ｄ１３のカプラとして動作する。ま
たコア導波路３−１へ入射した波長λ１．λ２の光信号
を７−１へ波長λ１を７−２へ波長λ２をそれぞれ分波
させるには、波長λ１およびλ２に対する完全結合長を
それぞれＬ（λ１）およびＬ（λ２）とすると、 のように選べばよい。
である。半導体、ガラス、強誘電体、磁性体なとよりな
る基板１」二に屈折率かｎｂのバッファ層２を設け、そ
の上に屈折率かｎｃ（ｎｃ＞ｎｂ）で略断面矩形状のコ
ア導波路３−１および３−２を形成させ、そしてその上
全体を屈折率かｎｃｌ （ｎｃｌ＜ ｎｃ ）のクラッ
ド４で覆った構造である。希土類元素はコア導波路３−
１．３−２およびクラッド４に添加されている。２つの
コア導波路３−１および３−２は近接して配置された結
合部５を有しており、その結合長Ωを完全結合長Ｌ（コ
ア導波路３−１へ入射した光信号６がコア導波路３−２
へ完全に移り変わるのに要する長さ）に対して、 ｎ Ω −（ｎ＝１． ３． ５・・・） ・・・ （１
）のように選ぶと３ｄ１３のカプラとして動作する。ま
たコア導波路３−１へ入射した波長λ１．λ２の光信号
を７−１へ波長λ１を７−２へ波長λ２をそれぞれ分波
させるには、波長λ１およびλ２に対する完全結合長を
それぞれＬ（λ１）およびＬ（λ２）とすると、 のように選べばよい。
ここで、クラッド４内に希土類元素か添加されていない
と、結合部５のクラッド４内を伝搬する光信号のレーサ
ー発振、あるいは増幅作用が促進されない。これに対し
て、クラッド４に希土類元索か添加してあれば、」二記
作用が促進され、非常に効率の良いレーザー発振、ある
いは増幅作用を実現させることができる。すなイっち、
活性導波路長を等価的に長くさせる効果がある。
と、結合部５のクラッド４内を伝搬する光信号のレーサ
ー発振、あるいは増幅作用が促進されない。これに対し
て、クラッド４に希土類元索か添加してあれば、」二記
作用が促進され、非常に効率の良いレーザー発振、ある
いは増幅作用を実現させることができる。すなイっち、
活性導波路長を等価的に長くさせる効果がある。
第２図から第６図までは本発明の種々の光結合導波路の
結合部の断面図を示したものである。
結合部の断面図を示したものである。
第２図は３つのコア導波路３−１．３−２ ３３を並設
させた場合である。例えば、コア導波路３−１へ入射し
た光信号をコア導波路３−２３−３へ分岐、あるいは分
波させるような場合に用いることかできる。
させた場合である。例えば、コア導波路３−１へ入射し
た光信号をコア導波路３−２３−３へ分岐、あるいは分
波させるような場合に用いることかできる。
第３図も３つのコア導波路３−１．３−４．３５を並設
させた実施例である。これはコア導波路３−コに対して
３−４．３−５の構造寸法、屈折率なとを異ならせるこ
とによって、光分岐器、光合分波器、光共振器などを構
成するのに好適な構成である。
させた実施例である。これはコア導波路３−コに対して
３−４．３−５の構造寸法、屈折率なとを異ならせるこ
とによって、光分岐器、光合分波器、光共振器などを構
成するのに好適な構成である。
第４図も同様にしてコア導波路３−１に対して、コア導
波路３−４の構造寸法、屈折率なとを異ならせることに
よって、光フィルタ、光共振器、光合分波器なとを実現
さぜることかできる。
波路３−４の構造寸法、屈折率なとを異ならせることに
よって、光フィルタ、光共振器、光合分波器なとを実現
さぜることかできる。
第５図は、今迄述べた埋込み型光結合導波路とは異なり
、リッジ型光結合導波路の例を示したものである。ずな
わち、クラッド８は今までのクラッド４に比し、薄い膜
で構成されている。
、リッジ型光結合導波路の例を示したものである。ずな
わち、クラッド８は今までのクラッド４に比し、薄い膜
で構成されている。
第６図はバッファ層２かない場合の実施例である。この
場合には基板１がバッファ層２の役目をし、その屈折率
はｎｓに選ばれる。
場合には基板１がバッファ層２の役目をし、その屈折率
はｎｓに選ばれる。
」二記第１図から第６図の実施例において、例えば基板
１にはＳｉまたは５１０２か用いられ、バッファ層２に
は５ｉＯｚの屈折率と等しくなるようにＳ ｉ０２ Ｐ
２０！１−Ｂ２０〕系のガラスが用いられる。コア導波
路３には、５ｉ０２Ｔ ｉ ０２系ガラスに、Ｅｒ、Ｎ
ｄ、Ｃｅなどの希土類元素が少なくとも１つ添加された
ものを用いる。クラッドには５ｉ０２−Ｐ、２０５８２
０３系のガラスにＥｒ、Ｎｄ、Ｃｅなどの希土類元素か
添加されたものを用いる。また、導波路寸法としては、
コア内を伝搬させる信号光およびレーザ発振した場合の
発振信号光が単〜モート伝送するように選ぶ。例えば、
信号光およびレーザー発振信号光が１．５μｍ帯の場合
、先導波路の人。
１にはＳｉまたは５１０２か用いられ、バッファ層２に
は５ｉＯｚの屈折率と等しくなるようにＳ ｉ０２ Ｐ
２０！１−Ｂ２０〕系のガラスが用いられる。コア導波
路３には、５ｉ０２Ｔ ｉ ０２系ガラスに、Ｅｒ、Ｎ
ｄ、Ｃｅなどの希土類元素が少なくとも１つ添加された
ものを用いる。クラッドには５ｉ０２−Ｐ、２０５８２
０３系のガラスにＥｒ、Ｎｄ、Ｃｅなどの希土類元素か
添加されたものを用いる。また、導波路寸法としては、
コア内を伝搬させる信号光およびレーザ発振した場合の
発振信号光が単〜モート伝送するように選ぶ。例えば、
信号光およびレーザー発振信号光が１．５μｍ帯の場合
、先導波路の人。
出力端に接続する単一モート光ファイバとの整合性を考
えて、コア導波路の幅および厚みは約１０μｍ１コア導
波路とクラッドとの屈折率差は約０．４％、バッファ層
の厚みは約１０μｍ１クラツドの厚みは約３０μｍとな
る。
えて、コア導波路の幅および厚みは約１０μｍ１コア導
波路とクラッドとの屈折率差は約０．４％、バッファ層
の厚みは約１０μｍ１クラツドの厚みは約３０μｍとな
る。
第７図は本発明のリング型共振器の実施例を示したもの
である。本実施例では、矢印１２−１の方向からコア導
波路９−１に入射した励起光源（波長λｐ）に対して、
入射側には反射率９９２６のミラー１３を設け、出射側
には反射率９８％のミラー１４を設けることによって、
波長λ０１からλＯｎにわたって連続発振光を生じさせ
るようにしている。ここで、リング状の導波路１０は結
合部１１−１および１１−２により、コア導波路９１お
よび９−２と結合されている。そして、このリング状の
導波路は上記波長λ０からλｎの中から所望の波長（例
えばλ（１３）の光信号に結合を生じさせ、矢印１２−
３のように光信号をとりたすようにしたものである。尚
、本実施例の別の利用方法としては、矢印１２−１方向
より入射した波長λｓｌからλｓｎの信号光および波長
λｐの励起光に対して、コア導波路９−１内を伝搬する
ことによって」二記信号光を増幅させ、その信号光のう
ちある波長（例えばλｓ２）をリング状導波路１０に結
合させ、矢印１２−３方向へその波長λＳ２の信号光を
とり…ずようにする、いイつゆる光分波器としての使い
方も可能である。
である。本実施例では、矢印１２−１の方向からコア導
波路９−１に入射した励起光源（波長λｐ）に対して、
入射側には反射率９９２６のミラー１３を設け、出射側
には反射率９８％のミラー１４を設けることによって、
波長λ０１からλＯｎにわたって連続発振光を生じさせ
るようにしている。ここで、リング状の導波路１０は結
合部１１−１および１１−２により、コア導波路９１お
よび９−２と結合されている。そして、このリング状の
導波路は上記波長λ０からλｎの中から所望の波長（例
えばλ（１３）の光信号に結合を生じさせ、矢印１２−
３のように光信号をとりたすようにしたものである。尚
、本実施例の別の利用方法としては、矢印１２−１方向
より入射した波長λｓｌからλｓｎの信号光および波長
λｐの励起光に対して、コア導波路９−１内を伝搬する
ことによって」二記信号光を増幅させ、その信号光のう
ちある波長（例えばλｓ２）をリング状導波路１０に結
合させ、矢印１２−３方向へその波長λＳ２の信号光を
とり…ずようにする、いイつゆる光分波器としての使い
方も可能である。
第８図は本発明の光結合導波路を用いて多機能光集積回
路とした実施例を示したもので、ここでは励起光源とし
て用いる半導体レーザ１５の波長安定化をはかるように
した例を示している。。すなわち、半導体レーザ１５の
光信号をミラー１３を通してコア導波路９−１内へ入射
させ、発振した波長の光信号をミラー１４を通して矢印
１２２に出射させる際に、半導体レーザ１５の光信号の
一部をリング状導波路１０を通してコア導波路９−２内
へ導びき、矢印１２−３方向へ伝搬させて受光素子１６
で受光させ、電気受信回路１８を通して電気駆動回路１
７ヘフイードバツクさせることにより、半導体レーサー
１５の波長を安定化させる。そして結果的に矢印１２−
２方向へ出射させる発振光の波長安定化を行なわせるこ
とか可能となる。
路とした実施例を示したもので、ここでは励起光源とし
て用いる半導体レーザ１５の波長安定化をはかるように
した例を示している。。すなわち、半導体レーザ１５の
光信号をミラー１３を通してコア導波路９−１内へ入射
させ、発振した波長の光信号をミラー１４を通して矢印
１２２に出射させる際に、半導体レーザ１５の光信号の
一部をリング状導波路１０を通してコア導波路９−２内
へ導びき、矢印１２−３方向へ伝搬させて受光素子１６
で受光させ、電気受信回路１８を通して電気駆動回路１
７ヘフイードバツクさせることにより、半導体レーサー
１５の波長を安定化させる。そして結果的に矢印１２−
２方向へ出射させる発振光の波長安定化を行なわせるこ
とか可能となる。
尚、本発明は上記実施例に限定されない。まず、コア導
波路、クラッドのガラス組成は５ＩＯ２にＢ、Ｐ、Ｔｉ
、Ｇｅ、Ｆなどの添加物を少なくとも一つ含んだものに
希土類元素を添加したもの、あるいはＳｉＯ２にアルカ
リ金属、アルカリ土類金属などの添加物やＢ、Ｐ、Ｔｉ
、Ｇｅ、Ｆなどの添加物を少なくとも一つ含んだものに
希土類元素を添加したものを用いることかできる。また
、バッファ層には５ｉ０２あるいは５ｉ０２にＢ。
波路、クラッドのガラス組成は５ＩＯ２にＢ、Ｐ、Ｔｉ
、Ｇｅ、Ｆなどの添加物を少なくとも一つ含んだものに
希土類元素を添加したもの、あるいはＳｉＯ２にアルカ
リ金属、アルカリ土類金属などの添加物やＢ、Ｐ、Ｔｉ
、Ｇｅ、Ｆなどの添加物を少なくとも一つ含んだものに
希土類元素を添加したものを用いることかできる。また
、バッファ層には５ｉ０２あるいは５ｉ０２にＢ。
Ｐ、Ｔｉ、Ｇｅ、Ｆ、アルカリ金属、アルカリ土類金属
などの添加物の少なくとも一つ含んたものを用いること
ができる。
などの添加物の少なくとも一つ含んたものを用いること
ができる。
［発明の効果コ
以上述べたように、本発明はプレーす構造の光結合導波
路のコア導波路およびクラッドに希土類元素を添加する
ことにより、結合部におけるクラッド内を伝搬する光信
号のレーザー発振、あるいは増幅作用を促進させること
ができ、非常に効率の良いレーザー発振、あるいは増幅
作用を実現させることができる。しかも光能動素子やミ
ラ反射膜なとを容易に実装できるので、小形で多機能な
光集積回路を実現することか可能となる。
路のコア導波路およびクラッドに希土類元素を添加する
ことにより、結合部におけるクラッド内を伝搬する光信
号のレーザー発振、あるいは増幅作用を促進させること
ができ、非常に効率の良いレーザー発振、あるいは増幅
作用を実現させることができる。しかも光能動素子やミ
ラ反射膜なとを容易に実装できるので、小形で多機能な
光集積回路を実現することか可能となる。
第１図および第７図は本発明の光結合導波路の実施例を
示したもので、第２図から第６図は本発明の光結合導波
路の種々の実施例の断面図を示したものである。第８図
は本発明の光結合導波路を用いて多機能光集積回路とし
た実施例を示したものである。第９図は従来の光フアイ
バレーザーの構成例を、第１０図は従来の光フアイバ増
幅器の構成例をそれぞれ示したものである。 １、基板、 ２、バッファ層、 ３−１．３−２．３−３． ３−４゜ ９−１．！Ｊ−２：コア導波路、 ８・クラッド、 ：結合部、 ０：リング状導波路、 ３．１４：ミラ ５：半導体レーザ、 ６：受光素子。 第 閉 （ｂ） ７Ｃ 潴 肥 第 圀 第 図 一電ニ了・− フ、７ド ４ 第 閏 笥
示したもので、第２図から第６図は本発明の光結合導波
路の種々の実施例の断面図を示したものである。第８図
は本発明の光結合導波路を用いて多機能光集積回路とし
た実施例を示したものである。第９図は従来の光フアイ
バレーザーの構成例を、第１０図は従来の光フアイバ増
幅器の構成例をそれぞれ示したものである。 １、基板、 ２、バッファ層、 ３−１．３−２．３−３． ３−４゜ ９−１．！Ｊ−２：コア導波路、 ８・クラッド、 ：結合部、 ０：リング状導波路、 ３．１４：ミラ ５：半導体レーザ、 ６：受光素子。 第 閉 （ｂ） ７Ｃ 潴 肥 第 圀 第 図 一電ニ了・− フ、７ド ４ 第 閏 笥
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、低屈折率（屈折率ｎｃ１）のクラッドを介して少な
くとも２つのコア導波路（屈折率ｎｃ、ｎｃ＞ｎｃ１）
を並列に配置させた光結合導波路において、該コア導波
路およびクラッドに希土類元素を添加したことを特徴と
する光結合導波路。 ２、第１項記載の光結合導波路において、導波路構造と
して、埋込み型、あるいはリッジ型を用いたことを特徴
とする光結合導波路。 ３、第１項記載の光結合導波路において、光結合導波路
として、方向性結合器、あるいはリング共振器を用いた
ことを特徴とする光結合導波路。 ４、第１〜第３項記載の光結合導波路において、その入
出力端もしくは導波路の途中にミラー、反射膜や、半導
体レーザ、受光素子などの能動光素子、電子回路を実装
した光結合導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042508A JP2730954B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 希土類元素添加光結合導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042508A JP2730954B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 希土類元素添加光結合導波路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222181A true JPH02222181A (ja) | 1990-09-04 |
| JP2730954B2 JP2730954B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=12638006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1042508A Expired - Fee Related JP2730954B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 希土類元素添加光結合導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730954B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075667A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-12 | Agilent Technol Inc | 柱状集積回路および柱状集積回路の製造方法 |
| US6693736B1 (en) | 1992-09-10 | 2004-02-17 | Fujitsu Limited | Optical circuit system and components of same |
| WO2010024263A1 (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | セントラル硝子株式会社 | 干渉型光ファイバジャイロ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329986A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Hoya Corp | 光導波形レ−ザ− |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP1042508A patent/JP2730954B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329986A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Hoya Corp | 光導波形レ−ザ− |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6693736B1 (en) | 1992-09-10 | 2004-02-17 | Fujitsu Limited | Optical circuit system and components of same |
| JP2003075667A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-12 | Agilent Technol Inc | 柱状集積回路および柱状集積回路の製造方法 |
| WO2010024263A1 (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | セントラル硝子株式会社 | 干渉型光ファイバジャイロ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2730954B2 (ja) | 1998-03-25 |
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