JPH02214043A - 記録ディスクの表面欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、記録ディスクの表面に検査光を照射して記録
ディスク表面の欠陥°部を検出するようにした記録ディ
スクの表面欠陥検査装置に関する。

［従来の技術］ 光ディスクなどの情報記録媒体あるいはこの情報記録媒
体の記録原盤さらには情報記録媒体製造用のスタンバ−
などの各種記録ディスクに対しては１表面欠陥検査装置
による表面検査工程が一般に施されている０表面欠陥検
査装置としては、レーザービームなどの検査光を記録デ
ィスクの表面部に照射して表面部に存在する欠陥部を検
出するようにしたものが広く知られている。

このような記録ディスクの表面欠陥検査装置の一般構成
を第３図により説明する。光ｇ１から発せられたレーザ
ー検査光は対物レンズ２により１〜数十μｍに程度に収
束されて被検査物としての記録ディスク３の表面上に照
射されるとともに、記録ディスク３の表面からの反射光
はフォトダイオードなどの受光素子４で受けられ、さら
にこの受光索子４からの出力信号であるＲＦ倍信号がコ
ンパレーター５に入力される。

コンパレーター５では、上記ＲＦ倍信号が所定の基準電
圧Ｃと比較され、その比較結果がディジタル化された信
号Ｂとしてカウンター６に出力される。この状態が第４
図（、）および（ｂ）に示されている。また上記カウン
ター６においては前記ディジタル信号Ｂの波形幅が数値
化されて欠陥部の大きさとされている。これにより検出
された欠陥部の大きさを表わすデータと欠陥部の位置を
表わすデータとはＣＰＵ７に格納され記憶される。

このような検出動作は記録ディスク３の全面にわたって
行なわれ、くれにより記録ディスク３の全面の欠陥デー
タが得られるようになっている。なお上記レーザー検査
光は１例えば特開昭５７−１６１６４０号公報に記載さ
れているように記録ディスク上をスパイラル状に走査さ
れる。

【発明が解決しようとする課Ｍｎ］ ところが上記記録ディスクに対しては所定のプリフォー
マット部があらかじめ記入されることが通常行なわれて
おり、記録ディスクの盤上にはプリフォーマットビット
の塊が点在している。このため記録ディスクの盤上を光
ビームで走査する場合に、プリフォーマットビットの形
成部分で散乱現象が発生し、光ビームの反射光量は第５
図に示されるように大きな変動を生じてしまう、上記プ
リフォーマットビットによる反射光量の変化は反射率で
２０〜６０％もあり、しかも急激な変動になっている。

そしてこのようなプリフォーマット部の情報を含む反射
光からそのまま表面検知信号を得、その表面検知信号に
基づいて欠陥部の検出を行なうこととすると、上記プリ
フォーマットビットによる反射光量の変化がそのまま欠
陥部として誤判定されてしまい、欠陥部の検査工程を正
確に行なわせることができなくなる。

このような問題を解消するため、トラッキング動作を正
確に行なってプリフォーマット部を読み取ることが考え
られる。しかしトラッキング機構自体が複雑な構成を有
するとともに、記録ディスクの偏心を除去する機構など
も同時に設にしなければならず、装置の複雑化は否めな
い、また記録ディスクのピッチ（一般には１．５〜１．
６μｍ）に合わせて測定を行なっていかねばならず、測
定時間が長大化されるという問題も招来することとなる
。

そこで本発明は、複雑な機構および回路を設けることな
く比較的簡易な構成でしかも効率的に。

プリフォーマット部の存在にかかわらず記録ディスク表
面の欠陥検出動作を正確に行なわせることができるよう
にした記録ディスクの表面欠陥検査装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決すべき手段］ 上記目的を達成するため本発明は、所定のプリフォーマ
ット部が記入されている被検査物としての記録ディスク
の表面に対し検査光を照射するとともに、上記記録ディ
スクの表面部からの反射光を受光素子で受け、この受光
素子から出゛力される表面検知信号に基づいて記録ディ
スクの表面に存在する欠陥部を検出するようにした記録
ディスクの表面欠陥検査装置において、前記表面検知信
号に含まれているプリフォーマット部の情報信号を表面
検知信号から除去する手段と、プリフォーマット部の情
報信号が除去された後の表面検知信号に基づいて記録デ
ィスクの表面に存在する欠陥部を検出する手段とを備え
る構成を有している。

〔作　　用］ このような構成を備える装置においては、記録ディスク
の表面に記入されているプリフォーマット部の情報信号
が表面検知信号から除去された上で欠陥部の検出動作が
実行されることとなり、最終の検出動作に用いられる信
号中には記録ディスクの表面に存在する欠陥部を表わす
情報信号のみが含まれるようになっている。

［実　施　例］ 以下１本発明の実施例を図面に基づいて詳細′に説明す
る。

第１図に示される実施例における回路は１表面検知信号
としてのＲＦ倍信号の処理部を表わしたものであって、
ＲＦ倍信号を得るための光学検出系および処理後の信号
Ｂに基づくデータを読み取り・格納する数値処理系は第
３図に示される従来の装置と同様である。なお本実施例
における光学検出系の検査光としてはＮｏ　−Ｈｅレー
ザー６６２８人が用いられているとともに、この検査光
ビームが対物レンズによって２〜数十μｍに程度に絞ら
れて被検査物としての記録ディスクの表面上に照射され
るようになっている。さらにその反射光を受ける受光素
子としては４分割フォトダイオードが採用されており、
この４分割フォトダイオードの各出力の和信号が上記Ｒ
Ｆ倍信号として用いられるとともに、差信号はフォーカ
ス制御信号として用いられている。

第１図に示されるように、図示を省略した受光素子から
の出力信号であるＲＦ信信号上２つの信号に分割され、
一方の信号はそのままのＲＦ信信号上してコンパレータ
ー１５に入力されているとともに、他方の信号は欠陥部
の大きさに相当する例えば１〜数ｋ　ｌｋのローパスフ
ィルター１６に通されている。上記ＲＦ倍信号は例えば
第２図（ａ）に示されるような波形になされており、そ
の波形中には欠陥部を表わす高周波情報信号のほかにプ
リフォーマット部を表わす低周波情報信号が図示のよう
に含まれている。したがってこのＲＦ信信号上上記ロー
パスフィルター１６に通されることによって該ＲＦ倍信
Ａ中から高周波情報信号が除去されると、ローパスフィ
ルター１６の通過後の信号Ｃには、第２図（ｂ）に示さ
れるようにプリフォーマット部を表わす低周波情報信号
のみが含まれることとなる。

第１図に戻って、上記プリフォーマット部を表わす低周
波情報信号のみが含まれる信号Ｃは電圧降下回路１７に
よって所定の電圧まで下げられるようになっている。こ
れにより得られる信号りは例えば第２図（ｃ）に示され
るように振幅が小さくなされることとなる。この信号り
は基準信号として前記コンパレーター１５に入力されて
おり、上記ＲＦ倍信号と基準信号りとがコンパレーター
１５で比較されている。その比較結果はディジタル化さ
れた信号Ｂとして図示を省略したカウンターに出力され
ている。

上記ディジタル信号Ｂは例えば第２図（ｄ）に示されて
いる。すなわちとのディジタル信号Ｂ中にはプリフォー
マット部を表わす情報信号は含まれておらず、欠陥部を
表わす情報信号のみが含まれている。このようなディジ
タル信号Ｂは、図示を省略したカウンターにおいて波形
幅が数値化されており、それが欠陥部の大きさとされる
。これにより検出された欠陥部の大きさを表わすデータ
と欠陥部の位置を表わすデータとは図示を省略したＣＰ
Ｕに格納され記憶される。このような検出動作は記録デ
ィスクの全面にわたって行なわれ、これにより記録ディ
スクの全面の欠陥データが得られるようになっている。

このように上記実施例においては、記録ディスクの表面
に記入されているプリフォーマット部を表わす情報信号
が表面検知信号としてのＲＦ倍信号ら除去された上で欠
陥検出動作が行なわれるようになっており、欠陥検出動
作に用いられる最終的な表面検出信号中には記録ディス
クの表面に存在する欠陥部を表わす情報信号のみが含ま
れるようになっている。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明は、欠陥検出動作に用いられる
表面検出信号中に、記録ディスクの表面に存在する欠陥
部を表わす情報信号のみが含まれるように、記録ディス
クの表面に記入されているプリフォーマット部の情報信
号を前記表面検知信号から除去して欠陥部を検出する手
段を備えることとしたから、複雑な回路を設けることな
く比較的簡易な構成でプリフォーマット部の情報信号を
除去した上で欠陥検出動作を行なわせることができ、表
面検知動作を効率的かつ正確に行なわせることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における欠陥検出回路の要部
を表わしたブロック線図、第２図は本発明にかかる欠陥
検出回路における各段階の出力信号を表わした線図、第
３図は一般の欠陥検出装置の全体を表わした構成説明図
、第４図は従来の欠陥検出過程を表わした信号線図、第
５図は光ビームの反射光量変動を表わした線図である。 １５・・・コンパレーター　１６・・・ローパスフィル
ター ち 心？ もＤ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 所定のプリフォーマット部が記入されている被検査物と
   しての記録ディスクの表面に対し検査光を照射するとと
   もに、上記記録ディスクの表面部からの反射光を受光素
   子で受け、この受光素子から出力される表面検知信号に
   基づいて記録ディスクの表面に存在する欠陥部を検出す
   るようにした記録ディスクの表面欠陥検査装置において
   、前記表面検知信号に含まれているプリフォーマット部
   の情報信号を表面検知信号から除去する手段と、 プリフォーマット部の情報信号が除去された後の表面検
   知信号に基づいて記録ディスクの表面に存在する欠陥部
   を検出する手段と、 を備えてなることを特徴とする記録ディスクの表面欠陥
   検査装置。