JPH02214033A - 光学的走査装置 - Google Patents

光学的走査装置

Info

Publication number
JPH02214033A
JPH02214033A JP1320706A JP32070689A JPH02214033A JP H02214033 A JPH02214033 A JP H02214033A JP 1320706 A JP1320706 A JP 1320706A JP 32070689 A JP32070689 A JP 32070689A JP H02214033 A JPH02214033 A JP H02214033A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radiation
scanning device
mirror
window
auxiliary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1320706A
Other languages
English (en)
Inventor
Willem G Opheij
ウィレム　ヘラルド　オプヘーイ
Josephus Johannes Maria Braat
ヨセフス　ヨハネス　マリア　ブラット
Jacobus Baalbergen Johannes
ヨハネス　ヤコブス　バルバエルヘン
Josephus Theodras Van Sambeeck Alexius
アレクシウス　ヨセフス　テオドラス　ファン　サンビーク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of JPH02214033A publication Critical patent/JPH02214033A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1381—Non-lens elements for altering the properties of the beam, e.g. knife edges, slits, filters or stops
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10L—SPEECH ANALYSIS TECHNIQUES OR SPEECH SYNTHESIS; SPEECH RECOGNITION; SPEECH OR VOICE PROCESSING TECHNIQUES; SPEECH OR AUDIO CODING OR DECODING
    • G10L19/00—Speech or audio signals analysis-synthesis techniques for redundancy reduction, e.g. in vocoders; Coding or decoding of speech or audio signals, using source filter models or psychoacoustic analysis
    • G10L19/04—Speech or audio signals analysis-synthesis techniques for redundancy reduction, e.g. in vocoders; Coding or decoding of speech or audio signals, using source filter models or psychoacoustic analysis using predictive techniques
    • G10L19/08—Determination or coding of the excitation function; Determination or coding of the long-term prediction parameters
    • G10L19/12—Determination or coding of the excitation function; Determination or coding of the long-term prediction parameters the excitation function being a code excitation, e.g. in code excited linear prediction [CELP] vocoders
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/10556—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers with provision for moving or switching or masking the transducers in or out of their operative position
    • G11B11/10558—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers with provision for moving or switching or masking the transducers in or out of their operative position in view of the loading or unloading of the carrier
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10595—Control of operating function
    • G11B11/10597—Adaptations for transducing various formats on the same or different carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
    • G11B17/02—Details
    • G11B17/04—Feeding or guiding single record carrier to or from transducer unit
    • G11B17/041—Feeding or guiding single record carrier to or from transducer unit specially adapted for discs contained within cartridges
    • G11B17/043—Direct insertion, i.e. without external loading means
    • G11B17/0434—Direct insertion, i.e. without external loading means with mechanism for subsequent vertical movement of the disc
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B19/00—Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
    • G11B19/02—Control of operating function, e.g. switching from recording to reproducing
    • G11B19/12—Control of operating function, e.g. switching from recording to reproducing by sensing distinguishing features of or on records, e.g. diameter end mark
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/02—Containers; Storing means both adapted to cooperate with the recording or reproducing means
    • G11B23/03—Containers for flat record carriers
    • G11B23/0301—Details
    • G11B23/0302—Auxiliary features
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B25/00—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus
    • G11B25/04—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card
    • G11B25/043—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card using rotating discs
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/12—Disposition of constructional parts in the apparatus, e.g. of power supply, of modules
    • G11B33/121—Disposition of constructional parts in the apparatus, e.g. of power supply, of modules the apparatus comprising a single recording/reproducing device
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
    • G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
    • G11B7/0909—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only by astigmatic methods
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
    • G11B7/0916—Foucault or knife-edge methods
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1353—Diffractive elements, e.g. holograms or gratings
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B7/1374—Objective lenses
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10L—SPEECH ANALYSIS TECHNIQUES OR SPEECH SYNTHESIS; SPEECH RECOGNITION; SPEECH OR VOICE PROCESSING TECHNIQUES; SPEECH OR AUDIO CODING OR DECODING
    • G10L19/00—Speech or audio signals analysis-synthesis techniques for redundancy reduction, e.g. in vocoders; Coding or decoding of speech or audio signals, using source filter models or psychoacoustic analysis
    • G10L2019/0001—Codebooks
    • G10L2019/0011—Long term prediction filters, i.e. pitch estimation
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10L—SPEECH ANALYSIS TECHNIQUES OR SPEECH SYNTHESIS; SPEECH RECOGNITION; SPEECH OR VOICE PROCESSING TECHNIQUES; SPEECH OR AUDIO CODING OR DECODING
    • G10L19/00—Speech or audio signals analysis-synthesis techniques for redundancy reduction, e.g. in vocoders; Coding or decoding of speech or audio signals, using source filter models or psychoacoustic analysis
    • G10L2019/0001—Codebooks
    • G10L2019/0012—Smoothing of parameters of the decoder interpolation
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13725—Catadioptric lenses, i.e. having at least one internal reflective surface

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Audiology, Speech & Language Pathology (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Computational Linguistics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は情報面を光学的に走査する走査装置に関するも
ので、その装置は走査ビームを供給する放射線源と情報
面内の走査点に前記ビームを焦点合わせする対物鏡とを
具えている。本発明はまたこの走査装置に用いるのに適
した対物鏡と、そのような装置を備えた書込み読取り装
置にも関連するものである。
情報面の走査は、先に記憶済みの情報面を読取るための
走査と、記録されるべき情報に従って強度変調された放
射線ビームによってこの面に情報を書込むための走査と
の両方を意味すると理解されるべきである。磁気光学的
記録担体が記録される場合には、放射線ビームは一定強
度をも有することができ、磁界がこの記録されるべき情
報に従って変調されることができる。情報面は光学的記
録担体の面であってもよいが、試験されるべき物体の表
面すなわち面であってもよく、その時は走査装置は、例
えば顕微鏡の一部を形成する。
（従来の技術） 光学的記録担体を読取ろうとする冒頭に記載したような
走査装置は、英国特許明細書Ｎｏ、　１５４１５９６か
ら既知である。この明細書は反射面が相互に対向する２
つの鏡を具えた対物鏡を含む光学的走査装置を記載して
いる。一方の鏡は凹面であり、その反射面が記録担体と
対向する。他方の鏡は非常に小さくて、凸面であり、そ
の反射面は放射線源に向いている。放射線源からの放射
線は、大きい凹面鏡中の通路を介して凸面鏡と到達する
。放射線はその後凹面鏡に向けて反射され、この鏡によ
って記録担体の情報面中の放射点へ焦点を合わされる。
（発明が解決しようとする課題） この既知の対物鏡は、記録担体に対する対物鏡の位置が
制御される磁気コイル中に全体の鏡システムが支持され
ている、二段階焦点合わせシステムの一部を形成する。
小さい方の鏡は圧電材料の小片上に取り付けられ、その
要求に従って情報面中に焦点はずれの小さい範囲が周期
的に発生するように上下に動かすことができ、その焦点
はずれが検出装置によって検出されて、それから続いて
磁気コイルによって対物鏡の位置を再調節するために用
いられる焦点誤差信号が得られる。
互いに密接した作業関係で２つの分離された鏡を使用す
ることにより、この既知の走査装置は多少複雑な構造を
有し、且つ機械的な動揺に敏感である。
対物鏡が球面収差について充分修正され、厳しすぎる精
度が必要でないから簡単に製造できる、小型で頑健な走
査装置を提供することが本発明の目的である。
（課題を解決するための手段） 本発明による走査装置は、対物鏡が放射線源と対向する
第１面と放射線源から離れた第２面とを有する透明体を
具え、前記第１面は該対物鏡の光学軸の囲りに対称に置
かれた第１放射線窓を有すると共に該窓を取り巻く第１
反射鏡を有し、前記第２面は前記光学軸の囲りに対称に
置かれている第２反射鏡と該第２反射鏡を取り巻く第２
放射線窓とを有し、該対物鏡を通過する放射線径路は前
記第１放射線窓を通過する通路、前記第２反射鏡での反
射、前記第１反射鏡での反射、及び前記第２放射線窓を
通過する通路を介して延在し、前記２つの放射線窓の少
なくとも一方は非球面を有することを特徴とする。
レンズシステム中の非球面は、基本形は球面であるが、
本当の形は球面を有するレンズ素子を使用した場合に生
じる筈の球面収差を修正するために、球面形から少しだ
け離れているレンズ素子面を意味すると理解される。球
面基本形は前記非球面が平らな基本形を有するような曲
率の無限に大きい半径をも有することもできる。
前記対物鏡を具えた走査装置は、この対物鏡中の放射線
径路が折り重ねられているから小型であるだけでなく、
この対物鏡は球面収差に対しても充分修正されている。
本発明によると、放射線窓を非球面形状にすることによ
ってこれが達成される。その利点は、非球面の形状の精
度が反射形の非球面に必要な形状の精度よりも、例えば
５〜６の倍率で大幅に小さくできる。これが対物鏡をま
た従って走査装置を合理的な低価格で製造する可能性を
提供する。
本発明による走査装置の好適な実施例は、第２放射線窓
が非球面を有することを特徴とする。
この実施例は、より大きい回折制限された影像フィール
ド（ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ−１ｉｍｉｔｅｄ　ｉｍａ
ｇｅ　ｆｉｅｌｄ）をこの第１実施例で得ることができ
るので、第１放射線窓が非球面を有する態様よりも好ま
しい。
第２放射線窓が非球面を有する走査装置の非常に有利な
実施例は、第２反射鏡が非球面を有することを特徴とす
る。
この実施例は第２放射線窓のみが非球面である態様より
も大幅に大きい、例えば５倍大きい影像フィールドを有
する。その上、第２面の伝達部分と反射部分との面状態
が同じであるから、この第２面は更に容易に且つより大
きい精度で作ることができる。この目的のために、必要
な輪郭を有する型が数値制御機械で作られて、この輪郭
が続いて既知の技術、特に米国特許Ｎｏ、　４６６８０
５６によって対物鏡へ転移される。
本発明による走査装置は、放射線透過性の情報面を走査
するために使用できる。然し乍ら、この発明の概念は、
対物鏡の放射線源と同じ側に配置されている放射線高感
度検出システム上に焦点を合わせるように情報面からの
放射線が対物鏡を横切る、放射線反射形情報面を走査す
る走査装置において最も有利に用いられる。この走査装
置は更に、対物鏡が放射線源により放射されたビームと
・情報面から反射され且つ対物鏡によって焦点を合わさ
れるビームとを空間的に分離するビーム分離素子を具え
ることを特徴とする。
このビーム分離素子は第１放射線窓上に配設された半透
明な鏡又は立方体であってもよい。
然し乍ら、ビーム分離素子を具えた走査装置はむしろ更
に、ビーム分離素子が回折素子であることを特徴とする
。この回折素子は対物鏡の面の一方上に比較的簡単に配
設してもよく、その上それが以下に説明する第２機能を
満足させ得る。
回折素子を備えた対物鏡を具える走査装置の好適な実施
例は、回折素子が反射的であり且つ第２反射鏡上に配設
されたことを特徴とする。
そのような走査装置の第２の好適な実施例は、回折素子
が放射線透過性であり且つ第１放射線窓上に配設された
ことを特徴とする。それとも回折素子をこの対物鏡の体
内に収容してもよい。この体は２つの部分を具えて、回
折素子がこの２つの部分の２つの対向する面のうちの一
方上に配設される。
回折素子は、ビームが適合された検出システムと同時に
焦点誤差検出に適した検出システム上に照射するような
方法で形成され得る。焦点誤差はこの対物鏡の焦点面と
情報面との間の逸脱を意味すると理解される。
焦点誤差検出に適合された回折素子を具える走査装置の
第１実施例は、回折素子が非点収差（ａ−ｓｔ　ｉｇｍ
ａｔ　ｉｓｍ）を導入する素子であり且つ放射線高感度
検出装置がこの回折素子により回折されたビームの主放
射線の囲りの４つの四分円に配設された４つの検出器を
具えることを特徴とする。
非点収差を導入する素子は、非平行なビーム中での位置
によって、このビーム内で成る大きさの非点収差を導入
する線形格子であってよい。検出システム上にこのビー
ムによって形成される放射点の形状は、情報面上への焦
点合わせの度合いにより決定される。
焦点はずれの場合には、焦点はずれ符号に応じて、２つ
の互いに垂直な非点収差方向とも呼ばれる方向に長袖が
位置する楕円点へ、この放射点が変形される。４つの検
出器の間を分離する筋が、この非点収差方向と約４５°
の角で延在する。
非点収差のより大きい範囲が必要な場合には、回折素子
がまっすぐな回折縞と線形の格子周期とを有する回折格
子であり得る。好適には、非点収差回折素子は曲った格
子縞と非線形の格子周期とを有するホログラフィックな
格子である。コマ（ｃｏｍａ）のような影像誤差は湾曲
を適応させることによって修正できる。
焦点誤差信号発生のための４クワドラント検出器（ｆｏ
ｕｒ−ｑｕａｄｒａｎｔ　ｄｅｔｅｃｔｏｒ）と組み合
わせた線形格子周期を有する格子の使用は、米国特許Ｎ
ｏ、　４３５８２００から本質的に知られる。然し乍ら
、この特許に記載された装置は対物鏡を具えていない。
温度感受性と制御の容易さに関する限り、非点収差方法
と呼ばれる前述の方法が好ましい第２焦点誤差検出の可
能性が、第１回折素子が２つの補助格子を具え且つ回折
された走査ビームを２つの補助ビームに分離する回折格
子であり、且つ合成検出システムが２つの検出器ペアを
具え、第１及び第２補助ビームがそれぞれ第１及び第２
検出器ペアと協働することを特徴とする実施例において
実現される。
この装置では、走査点が検出器ペア上に２つの放射点で
再映像される。各放射点は情報面に対する走査ビームの
焦点誤差に従って、関係する検出器の分離筋を横切って
動く。この変化が検出器の出力信号を比較することによ
り検出できる。この焦点誤差検出方法はダブルフーコー
法（ｄｏｕｂｌｅＦｏｕｃａｕｌｔ　ｍｅｔｈｏｄ）と
して既知である。
最後に述べた装置の好適な実施例は、補助格子が変化す
る格子周期を有し、かつ補助格子の格子縞がカーブして
いることを特徴とする。
変化する格子周期とカーブした格子縞とによって、この
合成格子はレンズ機能を有し、この格子を補助格子の境
界線の方向に移動することによって、特に対物鏡システ
ムの組立品と格子との映像距離がダイオードレーザ−と
検出器との間の光学軸方向における距離へ適応されるの
で、放射点のエネルギーの分布が関連する検出器ペアに
関して対称に与えられ得る。フォトダイオードの形での
検出器とダイオードレーザ−とが１つの要素に組み合わ
され、且つ相互間が固定されている場合に、このことが
特に重要である。変化する格子周期とカーブした格子縞
とを有する、ホログラムとも呼ばれる格子は、コナやま
っすぐな格子縞を有する格子を用いた場合に生じ得る非
点収差のような映像誤差を修正する可能性を提供する。
原理的に、フーコー焦点誤差検出方法が使用される走査
装置の２つの実施例が存在する。第１実施例は、一方の
補助格子の格子縞が他方の補助格子の格子縞と同じ主方
向を有し、両補助格子の平均格子周期が異なり、且つ検
出器ペアが補助格子間の境界線と平行な方向に並置され
たことを特徴とする。この実施例では、走査ビームの補
助ビームが同じ方向にではあるが異なる角で回折される
。
第２実施例は、両補助格子は同じ平均格子周期を有する
が、一方の補助格子の格子縞の主方向が２つの補助格子
の境界線と第１角で延在し、他方の補助格子の格子縞の
主方向が２つの補助格子の境界線と第２角で延在し、且
つ検出器ペアが前記境界線の方向を横切る方向に並置さ
れたことを特徴とする。このものでは、走査ビームの補
助ビームは同じ角ではあるが異なる方向に好適に回折さ
れる。この実施例はそれのより良い組み立て裕度と、調
節し易さ、及び安定性によって、種々の態様に好適であ
る。
走査装置における透明体を有する対物鏡の使用は、放射
線源と放射線高感度検出システムとの位置決めに関して
も更に利点を有する。
例えば、本発明による走査装置の一実施例は、放射線源
が第１放射線窓へ接続されたことを特徴とする。放射線
源は、例えば半導体レーザーであり、その半導体レーザ
ーの放射線発射面が放射線窓上に備えられるか、あるい
は放射線源が光ファイバー又はフィバ−の列を介して放
射線窓へ接続される。
更にその上、放射線高感度検出システムを備えた本発明
による走査装置は、情報面から反射され且つ対物鏡を縦
断した放射線の放射線径路中の第１放射線窓上に放射線
高感度検出システムが配設されたことを特徴とする。
放射線源と、光ファイバーあるいは放射線高感度検出シ
ステムは、例えば透明な接着剤によって第１放射線窓へ
固定・される。このようにして、走査装置の全体の光学
的部分を収容する単一の簡潔で頑健な集債された要素と
なる。
本発明による走査装置の種々の態様は、例えば単一半導
体レーザー、半導体レーザー列あるいは直接又は光ファ
イバーによって対物鏡へ接続できるその他の放射線源の
ような種々の形の放射線源を具えることができる。
（実施例） 以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施例を詳細
に説明する。
第１図は反射情報面１１を有する光学的記録担体１０の
断面図である。対物鏡３０と放射線源４０とを具えた走
査装置がこの記録担体に近付けて備えられている。放射
線源４０は、対物鏡３０により情報面１１内の走査点２
１へ焦点を合わされる走査ビーム２０を発射する。走査
装置と記録担体とは相互に動けるので、すなわち例えば
記録担体の面に垂直なく図示してない）軸の囲りを記録
担体が回転でき、走査装置がこの同じ軸に関する半径方
向に動けるので、全情報面が走査点により覆われ得る。
走査ビーム２０が対物鏡を横切り、このビームが第１放
射線窓３１を介して対物鏡の透明体へ入る。
続いてこの走査ビームが凸面反射鏡３２上で反射される
ので、この走査ビームは拡げられて凹面反射鏡３３のほ
とんど全面に入射する。この凹面反射鏡が、放射線窓３
４と記録担体１０の透面な部分とを介して情報面１１内
の走査点２１へ焦点を合わされる収束ビームとして、走
査ビームを反射する。
例えば、コンパクトディスクの名前で知られている光学
的に読取り可能なディジタルオーディオディスクが与え
られる反射情報面の場合には、走査点２１で反射された
ビームが再び対物鏡により受は取られ、その中の逆経路
を放射線窓３１へ通過する。反射されたビームは放射線
源へ入ることができ、放射線源として半導体レーザーを
使用している場合には、そのビームはそこで検出できる
。このいわゆる帰還読出しくｆｅｅｄｂａｃｋ　ｒｅａ
ｄ−ｏｕｔ）　は、例えばドイツ特許明細書Ｎｏ、　１
５８４６６４に記載されている。然し乍ら、好適にはビ
ーム分割素子、例えば、反射された放射線の一部分がそ
れを通って走査ビーム２０から分離され、放射線高感度
検出システム６０上へ投影される分割立方体５が、放出
された放射ビームと反射された放射ビームとの共通放射
線径路中に配設される。情報面１１から反射された放射
線は前記情報面に蓄積されて放射点により走査された情
報により変調されるから、情報流が別の処理に適する電
気信号に放射線高感度検出システム６０によって変換さ
れる。
対物鏡３０により焦点を合わされるビームは球面収差を
現す。特に米国特許Ｎｏ、　４６６８０５６から既知の
ように、非球面を使用することによりこの収差を修正す
ることが可能である。凹面反射鏡３３が比較的大きい回
折制限された影像フィールドを得るような非球面形状を
与えられている。然し乍ら本発明によれば、放射線窓３
１と３４との一方又は両方が非球面である。影像フィー
ルドがこのとき減少されるけれども、それはまだ回折制
限された点によって面を走査する期待される対象に対し
て充分に大きいことが見出された。放射線窓を非球面に
することの大きい利点は、非球面の形状の精度に課せら
れねばならぬ要求が、反射面に課せられねばならぬ要求
よりも大幅に緩和されることである。
伝達に用いられる非球面に対する形状裕度は反射に用い
られる非球面に対する形状裕度よりも大きい（ｎ＋　　
　１２）、／２ｎｏ　の率である。この場合ｎ１はレン
ズ材料の屈折率であり、ｎ２は取り巻く媒体の屈折率で
ある。
対物鏡の放射線窓３１と３４との一方又は両方に非球面
形状を与えるためには、普通のレンズの面に非球面形状
を与えるための米国特許Ｎｏ、　４６６８０５６に記載
された技術を使用できる。それにより、放射線窓の非球
面がこの放射線窓の球面上に設けられた透明な合成材料
層の非球面外側面によって構成された対物鏡が得られる
。この合成材料は重合化可能合成材料であってもよく、
例えばこの材料は液状で放射線窓に塗られて、型によっ
て必要な形状が与えられた材料が赤外線の影響のもとで
硬化される。
第１図の実施例においては、放射線窓３１が非球面３５
を有する。第２図は放射線窓３４が非球面である好適な
実施例を示す。第１図の実施例と比較して、この実施例
はより大きい回折制限された影像フィールドの利点を有
する。第１図の実施例と同様に、第２図の実施例は放射
線反射性の情報面を読取るのに適している。この面から
反射されて対物鏡３０により受は取゛られ且つ放射線ビ
ーム２０′に集光された放射線は、放射線窓３１上に配
設された回折素子３９によって、放射線源４０により発
射されたビーム２０から分離される。
第２図による対物鏡３０の第２面は、球面部分と非球面
部分とを有する。非球面部分を得るための複製技術が小
さい空洞（凸面反射鏡３２）を有する面上に実行されね
ばならないから、そのような非球面は製造するのが容易
ではない。
本発明の別の局面によって、レンズ機能のために用いら
れる対物鏡３０の第２面の全部分の輪郭、すなわち反射
鏡部と同様に非球面の伝達分部が、従って例えば、数値
制御機械による型内で１製造工程で好適に与えられる。
これにより反射鏡部分にも同様に非球面形状を与える非
常に有利な可能性を提供するので、対物鏡はさらに一層
よく且つ大きい影像フィールドを超えて修正され得る。
第２ａ図は非球面反射鏡３２′を有する対物鏡の小部分
を示す。この図はこの反射鏡の両側に位置して、非球面
３５を有する放射線窓３４の小部分のみをも示す。
この反射鏡３２′の面は非常に並みはずれた精度によっ
て製造されなければならないことは注目されねばならぬ
。この面の非球面性、すなわち球面基本形状からの最大
の逸脱は、例えば、±２００　ｎｍのオーダーの逸脱で
ある。この反射鏡３２′の面上に課せられる精度の要求
を軽減するために、この面が可能な限り多く必要形状を
近似し、且つ他の面が必要形状を有する試作対物鏡を作
ってもよい。
続いて、この対物鏡を測定し、この反射鏡３２′の面の
不正確さから主として生じる残存収差が、その後放射線
窓の非球面３５を適応させることによって補償され得る
。最終対物鏡はこうして得られた非球面３５の新しいパ
ラメーターを用いることにより、それから製造できる。
この対物鏡は影像フィールドに対して非常によく修正さ
れてふり、その影像フィールドは放射線窓３４のみが非
球面３５を有する対物鏡の例えば５倍の大きさを有する
。
回折素子は、例えばまっすぐな格子縞を有する回折格子
である。この回折格子はそれに入射するビームを、回折
されない零オーダーの補助ビームと、２つの回折された
第１オーダーの補助ビームと、多数の回折されたより高
いオーダーの補助ビームとに分離する。格子縞の幅と格
子縞の中間の幅との比のような格子パラメータ及び、位
相格子の場合には格子溝の形状と深さとが、回折格子３
９を通る最初の通過で形成される零オーダーの補助ビー
ムと、この回折格子を通る第２の通過で形成される第１
オーダーの補助ビームとの強度積が最大となるように選
択され得る。回折格子３９を通る最初の通過で形成され
る第１オーダーの補助ビームは、情報面１１による反射
の後にこれらのビームの放射線が検出システム６０へ到
達しないような角を通って回折されることが保証される
。
第２図の実施例においては、放射線源４０と放射線高感
度検出システム６０とが、放射線窓３１からいくらかの
距離を置いて配設されている。これによって回折素子と
してホログラフィック回折格子を使用した場合に、検出
システムに対してこの回折格子と共に対物鏡を動かすこ
とにより、繊細な制御がなお可能であるという利点を提
供する。
第３図の実施例においては、放射線源４０と検出システ
ム６０とが放射線窓３１上に配設されている。
放射線源４０と検出システム６０とのどちらかが光ファ
イバーを介してこの放射線窓３１へ接続されてもよい。
回折格子３０が今回は反射格子であり、凸面反射鏡３２
上に配設されている。
第４図は回折格子３９が対物鏡３０の体内に配設されて
いる走査装置の一実施例を示す。この体は原理的に同じ
材料から成る２つの部分３６と３７とに分割されており
、且つ回折格子は部分３６と３７との対向する面の一方
上に備えられる。
回折格子３９は、この格子から起こり且つ検出システム
６０と対向するビームが適用される検出システムと一緒
に焦点誤差信号を供給するのに適するような方法で形成
できる。関連する検出システムを有するそのような回折
格子の第１実施例を、第５図に図示的に示す。ビーム２
０′が回折格子３９の範囲でビームの断面によって示さ
れている。この回折格子３９は線４３によって互いに分
離された２つの補助格子４１と４２とを具えている。補
助格子の格子縞は異なる数４４と４５とでそれぞれ示し
である。
これらの格子縞は格子縞の中間４６と４７とにより分離
される。この実施例では両補助格子は同じ格子周期を有
するが、補助格子４１の好適にカーブした格子縞４４の
主方向が境界線４３と第１角で延在し、一方第２補助格
子４２０カーブした格子縞４５の主方向は、境界線と好
適には同じ大きさではあるが反対の角で延在する。補助
ビームは実質的に主方向を横切る方向に回折される。主
方向が異なっているので、補助ビーム２０′ａと２０′
ｂとはＹＺ平面内で異なる角で回折される。これは、検
出器の面すなわちＸＹ平面において放射点２２ａと２２
ｂとがＹ方向に互いに対して移動させられることを意味
する。この図およびその他の図において、Ｘ、　Ｙ及び
Ｚは原点０が半導体レーザーの放射線源４０の放射線発
射面の中心と一致する座標システムの軸である。
狭い筋５２と５３とで分離されたフォトダイオード４８
と４９及び５０と５１の形の放射線高感度検出器がそれ
ぞれ、各補助ビーム２０′ａと２０′ｂとに関連する。
これらの検出器は、情報面１１上にビーム２０が正しく
焦点を合わされている場合には、両補助ビーム２０′ａ
と２０′ｂとによって形成される放射点２２＆と２２ｂ
との強度分布が、それぞれ検出器４８と４９及び５０と
５１に対して対称であるような方法で位置決めされる。
焦点誤差が生じた場合には、放射点２２ａと２２ｂとは
非対称に大きくなり、各放射点の放射線分布の中心はそ
れぞれ関連する検出器ペアを分離している筋５２と５３
とを横切って移動する。
検出器４８．４９．５０及び５１の出力信号がそれぞれ
Ｓ　４Ｌ　　Ｓ　４９＋　　Ｓ　Ｓ。及び３５１で表さ
れる場合、焦点誤差信号Ｓ、は Ｓｒ　＝　（Ｓ４ａ＋、Ｓｓ＋）　　　（Ｓ４９＋３５
゜）によって与えられるようになる。読取られている信
号に比例する信号、すなわち情報信号Ｓ１　はＳ＋　＝
　５４１１＋　３４９＋　ＳＳＯ＋　３５１により与え
られる。
第５図の合成格子のみならず、第６図に示した回折格子
も焦点誤差信号を発生するために用いることができる。
この図では、走査ビーム２０と反射されたビーム２０′
　とが、格子の面にそれらの断面によって補助ビーム２
０′ａと２０′ｂと共に示しである。２つの補助格子４
１と４２との好適にカーブした格子縞の主方向は、今回
は境界線４３と同じ角で延在しているが、一方２つの補
助格子の平均格子周期が異なっている。従って、補助ビ
ーム２０′ａが回折される角が補助ビーム２０′ｂが回
折される角と異なっている。これは、検出器４８．４９
．５０及び５１の面内で、放射点２２ａと２２ｂとが境
界線の方向に互いに対して移動することを意味する。
補助格子４１と４２とはまっすぐな格子縞と一定の格子
周期とを持ってもよい。然し乍ら、好適にはホログラム
とも称される形の回折格子が用いられ、その回折格子は
変化する格子周期を有し、周期の変化は、例えば平均格
子周期の数パセントのオーダーである。その上、２つの
補助格子の格子縞は第５図及び第６に示したようにカー
ブしている。
従ってこれらの補助格子は可変レンズ機能を有する。変
化する格子周期によって、放射点２２ａと２２ｂとの位
置は回折格子３９をそれ自身の面内で移動することによ
り変化できる。境界線４３の方向と垂直な方向での収差
は格子縞の適当な曲率によって最小にできる。集積され
たレーザー・フォトダイオードユニットが用いられた場
合、すなわちダイオードレーザ−と光検出器とが一つの
支持体上に配設され、従って互いに対して固定され、そ
れ故Ｚ方向に固定された距離を有する要素である場合に
、放射点の位置を動かせる可能性は特に重要である。
この距離は製造裕度についての主題であり装置の組み立
ての間にＺ方向でのレーザーダイオードに対する移動に
よって修正できない。
まっすぐな格子縞を有する回折格子と比較した、カーブ
した格子縞を有する回折格子、すなわちホログラムの重
要な利点は、まっすぐな格子縞を有する回折格子を使用
した場合に生じ得るコマや非点収差のような光学的収差
が、このホログラフィック格子を製造する時にこれらの
収差を勘定に入れ、且つそれに応じて格子縞の曲率を適
応させることにより、カーブした格子縞を有する回折格
子では回避できる。
第７図は反射された走査ビーム２０′を非点収差ビーム
２０１′に変換する回折格子７０の一実施例を示す。こ
の回折格子はまっすぐな格子縞７１と線形に変化する格
子周期とを有する。この回折格子は、ビーム２０′が１
オーダーで、例えば第１オーダーで大きく回折されるよ
うに寸法法めされている。
第１オーダーのビーム２０１′はもはや１点に焦点を合
わされず、２つの互いに垂直な焦点線７５と７６に焦点
を合わされ、この線７５は格子が非点収差的でなかった
場合にビーム２０．′が焦点を合わされる位置に置かれ
る。焦点誤差が生じた場合に、焦点線７５と７６とは同
じ方向に且つ同じ距離だけ動かされる。いわゆる４クワ
ドラント検出器８０が、走査ビームが情報面上に鋭く焦
点を合わされた場合に非点収差焦点線によって占められ
る位置のほぼ中間の面に配置される。第８図に示したこ
の検出器は、回折されるビーム２０．′の主放射線の囲
りの４つの異なる四分円に配設された４つの検出器８１
、８２．８３及び８４を具える。走査ビームが情報面ｌ
ｌ上に鋭く焦点を合わされた場合には、この検出器の面
にビーム２０１′によって形成される放射点２２′は丸
く、第８図に実線の円によって図示されたごとくである
。焦点誤差が生じた場合には、放射点２２１′は第８図
に破線の楕円で示したように楕円に形成される。この楕
円の長袖は分離筋８５と８６とに４５°の角で延在し、
角の符号は焦点誤差の符号により決められる。検出器８
１．８２．８３及び８４の信号が５ＩＩＩ＋　　Ｓ８□
、Ｓ８．及び３８４で表される場合には、焦点誤差Ｓｆ
は Ｓｒ　＝　（Ｓｓ＋＋５ｓ３）　　　（Ｓａ□十８８４
）で与えられる。
回折格子７０もカーブした格子縞を存するホログラフィ
ックな格子の形であり得るから、前記調節と修正の可能
性を与える。
第９図はいわゆる磁気光学的記録担体に書込みと読取り
をするのに特に適する走査装置の一実施例を示す。その
ような記録担体と書込み及び読取り装置はそれに対して
特に、”Ｐｈ１ｌｉｐｓ　ＴｅｃｈｎｉｃａｌＲｅｖｉ
ｅｗ”のＶｏｌ、　４２　、　ｎｏ、　２．１９８５年
の３７〜４７頁の論文“消去可能な磁気光学的記録”に
記載されている。この論文に記載されているように、い
わゆる微分方法が磁気光学的記録担体を読取る場合に用
いられる。情報面により反射され、偏光の方向が読取ら
れた情報に従って時間変調されている放射線が、対物鏡
を通過した後に分割された検出器上に入射する２つの互
いに垂直に偏光された補助ビーム、に分割される。既知
の装置では、ビーム分離は偏光高感度ビーム分離器（ｐ
ｏｌａｒｉｓａｔｉｏｎ−ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　ｂｅａ
ｍ　５ｐｌｉｔｔｅｒ）によって実現される。
第９図の走査装置においては、回折格子３９が好適には
＋１゛オーダービームと一１オーダービームである２つ
の空間的に分離されたビーム２０１′　と２０□′とを
供給するので、そのようなビーム分離器はもはや必要で
ない。これらのビームが同じ強度を有することが保証で
きる。偏光子９０と９１とが検出器６０１　と６０２　
との間に、検出器６０．に入射するビーム２０．′が偏
光の第１方向を有し、検出器６０２に入射するビーム２
０２′が偏光の第１方向と垂直な偏光の第２方向を有す
るように配設される。
第９図においては回折格子３９が第１放射線窓３１上に
設けられている。然し乍ら、このとき走査装置が最も簡
潔な方法で構成できるので、この回折格子は第２放射線
窓３２上に好適には設けられる。
これは他の実施例にも適用する。
本発明は読取り装置での使用について説明したが、その
代わりに書込み装置あるいは記録の間に書込みビームの
焦点合わせやトラッキングが監視される書込み・読取り
組み合わせ装置にも使用できる。前述の焦点誤差および
トラッキング誤差検出システムは、情報面１１の空間的
特性を利用しない。この面が反射していることが単に必
要であり且つ充分である。従って本発明は種々の走査装
置に使用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第２ａ図、第３図及び第４図は走査装
置の種々の実施例を示し、 第５図及び第６図はその素子で２つの補助ビームが得ら
れるこの装置に使用される回折素子の２つの実施例を示
し、 第７図は非点収差ビームが得られる回折素子の一実施例
を示し、 第８図はこの回折素子に関する放射線高感度検出システ
ムを示し、 第９図は磁気光学的記録担体用走査装置を示す。 ５・・・分割立方体 １０・・・記録担体 １１・・・情報面 ２０．２０’　、２０’　ａ、　２０’　ｂ、　２０＋
’　、　２０２’　−ビーム２１・・・走査点 ２２ａ、　２２ｂ、　２２　＋　−放射点３０、・・・
対物鏡 ３１、３４・・・放射線窓 ３２・・・凸面反射鏡 ３３・・・凹面反射鏡 ３５・・・非球面 ３６、３７・・・部分 ３９、７０・・・回折格子 ４０・・・放射線源 ４１、４２・・・補助格子 ４３・・・境界線 ４４、４５．７１．７２・・・格子縞 ４６、４６・・・格子縞の中間 ４８、４９．５０．５１・・・放射線高感度検出器５２
、５３・・・狭い筋 ６０・・・放射線高感度検出システム ６０、、６０２．８１．８２．８３．８４・・・検出器
７５、７６・・・焦点線 ８０・・・４クワドラント検出器 ８５、８６・・・分離筋 ９０、９１・・・偏光子 ＦＩＧ）、　２ 〜 ＦＩＧ、５

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、走査ビームを供給する放射線源と情報面内の走査点
    に前記走査ビームを焦点合わせする対物鏡とを具えた情
    報面を光学的に走査する装置において、 前記対物鏡は前記放射線源と対向する第１ 面と前記放射線源から離れた第２面とを有する透明体を
    具え、前記第１面は該対物鏡の光学軸の囲りに対称に置
    かれた第１放射線窓を有すると共に該窓を取り巻く第１
    反射鏡を有し、前記第２面は前記光学軸の囲りに対称に
    置かれている第２反射鏡と該第２反射鏡を取り巻く第２
    放射線窓とを有し、該対物鏡を通過する放射線径路は前
    記第１放射線窓を通過する通路、前記第２反射鏡での反
    射、前記第１反射鏡での反射、及び前記第２放射線窓を
    通過する通路を介して延在し、前記２つの放射線窓の少
    なくとも一方は非球面を有することを特徴とする光学的
    走査装置。 ２、前記第２放射線窓が非球面を有することを特徴とす
    る請求項１記載の光学的走査装置。 ３、前記第２反射鏡が非球面を有することを特徴とする
    請求項２記載の光学的走査装置。４、前記対物鏡の放射
    線源と同じ側に配置されている放射線高感度検出システ
    ム上に焦点を合わせるように情報面からの放射線が前記
    対物鏡を横切る、放射線反射形情報面を走査する光学的
    走査装置において、 前記対物鏡が放射線源により放射されたビ ームと情報面から反射され且つ対物鏡によって焦点を合
    わされるビームとを空間的に分離するビーム分離素子を
    具えることを特徴とする請求項１、２又は３記載の光学
    的走査装置。 ５、前記ビーム分離素子が回折素子であることを特徴と
    する請求項４記載の光学的走査装置。 ６、前記回折素子が反射的であり且つ前記第２反射鏡上
    に配設されたことを特徴とする請求項５記載の光学的走
    査装置。 ７、前記回折素子が放射線透過性であり且つ前記第１放
    射線窓上に配設されたことを特徴とする請求項５記載の
    光学的走査装置。 ８、前記対物鏡の透明体が相互に向かい合って配置され
    た２つの部分を具えると共に、回折素子が放射線透過性
    であり且つ前記２つの部分の２つの対向する面の一方上
    に配設されたことを特徴とする請求項５記載の光学的走
    査装置。 ９、前記回折素子が非点収差を導入する素子であり且つ
    前記放射線高感度検出システムが前記回折素子により回
    折されたビームの主放射線の囲りの４つの四分円に配設
    された４つの検出器を具えることを特徴とする請求項５
    、６、７又は８記載の光学的走査装置。 １０、前記回折素子が２つの補助格子を具え且つ回折さ
    れたビームを２つの補助ビームに分離する回折格子であ
    り且つ前記放射線高感度検出システムが２つの検出器ペ
    アを具え、第１及び第２補助ビームがそれぞれ第１及び
    第２検出器ペアと協働することを特徴とする請求項５、
    ６、７又は８記載の光学的走査装置。 １１、前記補助格子が変化する格子周期を有し且つ前記
    補助格子の格子縞がカーブしていることを特徴とする請
    求項１０記載の光学的走査装置。 １２、前記一方の補助格子の格子縞が他方の補助格子の
    格子縞と同じ主方向を有し、両補助格子の平均格子周期
    が異なり、且つ検出器ペアが補助格子間の境界線と平行
    な方向に並置されたことを特徴とする請求項１０又は１
    １記載の光学的走査装置。 １３、前記両補助格子が同じ平均格子周期を有し、一方
    の補助格子の格子縞の主方向が２つの補助格子の境界線
    と第１角で延在し、他方の補助格子の格子縞の主方向が
    ２つの補助格子の境界線と第２角で延在し、且つ検出器
    ペアが前記境界線の方向を横切る方向に並置されたこと
    を特徴とする請求項１０又は１１記載の光学的走査装置
    。 １４、前記放射線源が前記第１放射線窓へ接続されたこ
    とを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項記載の光
    学的走査装置。 １５、情報面から反射され且つ対物鏡を縦断した放射線
    の放射線径路中の前記第１放射線窓上に前記放射線高感
    度検出システムが配設されたことを特徴とする請求項１
    〜１４のいずれか１項記載の光学的走査装置。 １６、物体側に第１面を有し映像側に第２面を有する透
    明体により構成された対物鏡であって、前記第１面にこ
    の対物鏡の光学軸の囲りに対称に配設された第１放射線
    窓と該窓を取り巻く第１反射鏡とを設け、前記第２面に
    前記光学軸の囲りに配設された第２反射鏡とこの第２反
    射鏡を取り巻く第２放射線窓とを設けた対物鏡において
    、 少なくとも２つの放射線窓のうちの一方が 非球面を有することを特徴とする対物鏡。 １７、前記第２放射線窓が非球面を有することを特徴と
    する請求項１６記載の対物鏡。 １８、前記第２反射鏡が非球面を有することを特徴とす
    る請求項１７記載の対物鏡。 １９、請求項１〜１８のうちいずれかに記載した走査装
    置を備えた、光学的書込み読取り装置。
JP1320706A 1988-12-13 1989-12-12 光学的走査装置 Pending JPH02214033A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8803048A NL8803048A (nl) 1988-12-13 1988-12-13 Optische aftastinrichting, spiegelobjektief geschikt voor toepassing daarin en optische inschrijf- en/of uitleesapparaat voorzien van de aftastinrichting.
NL8803048 1988-12-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02214033A true JPH02214033A (ja) 1990-08-27

Family

ID=19853370

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1320706A Pending JPH02214033A (ja) 1988-12-13 1989-12-12 光学的走査装置

Country Status (10)

Country Link
US (2) US4924082A (ja)
EP (1) EP0373700B1 (ja)
JP (1) JPH02214033A (ja)
CN (1) CN1026276C (ja)
AT (1) ATE129090T1 (ja)
CA (1) CA2004994A1 (ja)
DE (1) DE68924524T2 (ja)
ES (1) ES2080066T3 (ja)
HK (1) HK169396A (ja)
NL (1) NL8803048A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019515258A (ja) * 2016-05-19 2019-06-06 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． 小型レーザセンサ

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8803048A (nl) * 1988-12-13 1990-07-02 Philips Nv Optische aftastinrichting, spiegelobjektief geschikt voor toepassing daarin en optische inschrijf- en/of uitleesapparaat voorzien van de aftastinrichting.
US5161045A (en) * 1990-06-28 1992-11-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Large field of view light beam transceiver having small motion of optics
US5465247A (en) * 1992-05-14 1995-11-07 Olympus Optical Co., Ltd. Optical head
US5408547A (en) * 1993-02-19 1995-04-18 Motorola, Inc. Optical read/write head
ES2138009T3 (es) * 1993-06-03 2000-01-01 Thomson Multimedia Sa Sistema optico para reproduccion y/o registro de informacion.
JPH10501647A (ja) * 1995-03-29 1998-02-10 フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ 放射線源、検出器及び格子を有する光学ユニットと当該光学ユニットを有する走査装置
US5883745A (en) * 1997-06-30 1999-03-16 Polycom, Inc. Mirror assembly and method
DE19740243C1 (de) * 1997-09-12 1999-02-11 Stn Atlas Elektronik Gmbh Optischer Sender zum Aussenden von Lichtsignalen
RU2169400C2 (ru) * 1997-11-22 2001-06-20 Самсунг Электроникс Ко., Лтд. Катадиоптрическая оптическая система, оптическая воспроизводящая головка и накопитель на оптических дисках, использующие эту систему, и оптический диск
US6212153B1 (en) * 1998-07-06 2001-04-03 Read-Rite Corporation High NA solid catadioptric focusing device having a flat kinoform phase profile
KR100530170B1 (ko) * 1999-03-30 2005-11-22 삼성전자주식회사 니어필드를 이용한 광픽업시스템
KR100554071B1 (ko) * 1999-04-21 2006-02-22 삼성전자주식회사 니어필드를 발생하는 집속광학계
KR100644566B1 (ko) 1999-09-29 2006-11-13 삼성전자주식회사 고밀도 광집속을 위한 대물렌즈 및 이를 채용한 광픽업장치
TW476951B (en) * 1999-10-01 2002-02-21 Alps Electric Co Ltd Optic component and composite optic unit containing the same and optic pick-up device containing said unit
KR100657247B1 (ko) * 1999-11-30 2006-12-19 삼성전자주식회사 고밀도 광집속을 위한 대물렌즈 및 이를 채용한광픽업장치
KR100439373B1 (ko) * 2001-09-13 2004-07-09 엘지전자 주식회사 이종 기록매체 호환 광픽업 장치
JP2006155843A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ヘッド
US7619820B2 (en) 2005-02-09 2009-11-17 I Win Technology Co., Ltd. Dot matrix holograms with spatially varying period
CN111936937A (zh) * 2018-04-11 2020-11-13 Asml荷兰有限公司 水平传感器和光刻设备
CN114216657A (zh) * 2021-12-14 2022-03-22 合肥工业大学 一种凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58202421A (ja) * 1982-04-27 1983-11-25 フエランテイ・ピ−エルシ− 光学要素
JPS6356819A (ja) * 1986-08-27 1988-03-11 Nec Corp 光ヘツド装置
JPS63148429A (ja) * 1986-12-12 1988-06-21 Nec Corp 光ヘツド装置
JPS63201924A (ja) * 1987-02-18 1988-08-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光情報ピツクアツプ装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH541140A (de) * 1971-12-31 1973-08-31 Gretag Ag Beleuchtungsanordnung
FR2309888A1 (fr) * 1975-04-30 1976-11-26 Thomson Brandt Dispositif optique de projection et lecteur optique comportant un tel dispositif
DE3583039D1 (de) * 1985-12-17 1991-07-04 Ibm Deutschland Schreib/lesekopf fuer optische platten.
US4835380A (en) * 1987-06-11 1989-05-30 U. S. Philips Corporation Scanning device for an optical recording and/or reproducing apparatus
NL8701749A (nl) * 1987-07-24 1989-02-16 Philips Nv Inrichting voor het met optische straling aftasten van een informatievlak.
NL8702245A (nl) * 1987-09-21 1989-04-17 Philips Nv Inrichting voor het met optische straling aftasten van een stralingsreflekterend informatievlak.
NL8803048A (nl) * 1988-12-13 1990-07-02 Philips Nv Optische aftastinrichting, spiegelobjektief geschikt voor toepassing daarin en optische inschrijf- en/of uitleesapparaat voorzien van de aftastinrichting.

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58202421A (ja) * 1982-04-27 1983-11-25 フエランテイ・ピ−エルシ− 光学要素
JPS6356819A (ja) * 1986-08-27 1988-03-11 Nec Corp 光ヘツド装置
JPS63148429A (ja) * 1986-12-12 1988-06-21 Nec Corp 光ヘツド装置
JPS63201924A (ja) * 1987-02-18 1988-08-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光情報ピツクアツプ装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019515258A (ja) * 2016-05-19 2019-06-06 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． 小型レーザセンサ

Also Published As

Publication number Publication date
EP0373700B1 (en) 1995-10-11
NL8803048A (nl) 1990-07-02
US5029255A (en) 1991-07-02
CA2004994A1 (en) 1990-06-13
DE68924524D1 (de) 1995-11-16
US4924082A (en) 1990-05-08
ATE129090T1 (de) 1995-10-15
CN1043814A (zh) 1990-07-11
DE68924524T2 (de) 1996-05-15
EP0373700A1 (en) 1990-06-20
HK169396A (en) 1996-09-20
CN1026276C (zh) 1994-10-19
ES2080066T3 (es) 1996-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02214033A (ja) 光学的走査装置
EP0294902B1 (en) Optical scanning device, mirror objective suitable for use therein and an optical recording and/or reproducing apparatus provided therewith
US4850673A (en) Optical scanning apparatus which detects scanning spot focus error
CA1263183A (en) Apparatus for optically scanning an information plane
US5161139A (en) Focusing error detecting apparatus
US4986641A (en) Retrofocus objective lens and optical scanning device provided with such a lens
JPS6332730A (ja) 光記録担体用走査装置
US4940890A (en) Optical scanning device, mirror objective suitable for use in said device and optical write and/or read apparatus provided with said device
JP2528231B2 (ja) 光ピックアップ
EP0426248B1 (en) Grating objective and grating-beam shaper, and optical scanning device comprising at least one of said elements
KR100238737B1 (ko) 방사-반사정보면을 광학적으로 주사하는 장치
JPS59231736A (ja) フォーカスおよびトラッキング誤差検出装置
JPS598145A (ja) 光学式ピツクアツプ
JP2618957B2 (ja) 偏光光学素子
JPS6123575B2 (ja)
JPS63228428A (ja) 光学ヘツド
JPS63191328A (ja) 光ヘツド装置
JP2008516373A (ja) ホログラフィックシステム、ホログラフィックデータ記憶用のホログラフィックシステム
JPS63311631A (ja) 光ヘッド装置
JPS62293528A (ja) 光学式情報再生装置
JPH0194541A (ja) 光ヘッド装置
JPH0138561Y2 (ja)
JPH0323977B2 (ja)
JPH01319138A (ja) 光学ヘッド
JPH02276027A (ja) 光ヘッド及びこれを用いた焦点誤差検出装置