JPH02213741A - ガス分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明はガス分析装置に関する。さらに詳しくは、メ
ツキ溶融炉等の還元雰囲気中に含有される水分濃度や酸
素ガス濃度、又は純ガス中の不純物としての水素ガス濃
度を測定するガス分析装置に関する。

（ロ）従来の技術 メツキ鋼板を作る場合、鋼板の上に水分か付着すると仕
上がりが悪くなる。このため連続メツキ溶融炉は還元雰
囲気（水素ガスと窒素ガス）に保たれている。しかしこ
の雰囲気中に酸素ガスが洩れ込んだ場合還元雰囲気との
作用により水分が生ずるため、この還元雰囲気中の水分
濃度のみならず酸素ガス濃度についても監視する必要が
ある。

この目的のために従来から使用されている水分計や酸素
計としては以下のごときものがある。まず、水分計とし
て酸化アルミナの静電容量式水分計、五酸化リン電解式
水分計、光学露点式水分計等がある。また酸素計として
は、ジルコニア酸素計、電気化学セル方式酸素計、黄リ
ン発光方式酸素計等がある。

また一方線ガス中に不純物として存在する水素ガスを検
出する方法としては、水素ガスをいずれかの方法で酸素
と化合さ仕水とした後、適当な吸収剤に吸収させて定量
する方法が一般的である。

また物理的な方法としては、質量分析計、ガスクロマト
グラフィその地熱伝導度による測定があるが、質量分析
計は非常に高価であり、ガスクロマトグラフィでは連続
的測定ができない。また熱伝導度による方法では連続測
定ができるが選択性、感度の点で問題がある。

（ハ）発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来の水分計では還元雰囲気内での使用
において精度、寿命に大きな問題かあり、水分が発生す
る場所がメツキ浴の近くでは測定できない。また従来の
酸素計も上記と同様に還元雰囲気内での使用においては
寿命の点で問題があり、なかでもジルコニア酸素計では
酸素ガスが酸化し測定できない。またさらに従来のごと
き水素ガス測定方法においても、水素を酸素で酸化させ
ガス量の変化を測定したり、発生した水分を吸着剤に吸
着させてその重量により定量していたが、これらの方法
では連続測定できなく、また１回の測定に時間がかかる
等、種々の問題点かあった。

この発明はかかる状況に鑑みなされたものであり、還元
雰囲気に含有される微量の水分もしくは酸素ガス、また
は純ガス中に不純物として含有される微量の水素ガスを
、短時間でかつ連続的に測定しうるガス分析装置を提供
しようとするものである。

（ニ）課題を解決するための手段 かくしてこの発明によれば、（ａ）水素ガス及び酸素ガ
スからなる試料ガスの供給部から、試料ガス中の水分や
炭化水素のような不純物を除去するガス精製器を介して
流路切換手段に接続されるゼロガス供給流路と、（ｂ）
上記ガス精製器により精製された試料ガスを酸化部を介
して上記流路切換手段に接続される酸化流路と、（ｃ）
上記流路切換手段から水晶発振式湿度センサ内蔵水分測
定セルに接続される測定流路とを備え、ゼロガス供給流
路と酸化流路とを測定流路に切換接続する旨を指示する
指示手段と、ゼロガス供給流路からの試料ガス及び酸化
流路からの試料ガスのそれぞれの水分含量から、試料ガ
ス中の酸素ガス濃度又は水素ガス濃度を算出する算出手
段とからなる制御部を具備してなるガス分析装置が提供
される。

この発明において上記ガス分析装置の測定対象となる試
料ガスは、少なくとも水素ガス及び酸素ガスを含有する
ガスであり、水素ガスが微量で含有される場合は上記ガ
ス分析装置は微量水素計として機能し、酸素ガスが微量
で含有される場合は、微量酸素計として機能しうろこと
を特徴とする。

水素ガスを微量で含有しうる試料ガスとしては、純ガス
中に不純物として存在する水素ガスの濃度を測定する場
合の該純ガスが相当し、例えばアルゴン、ヘリウムのご
ときガスが挙げられる。また酸素ガスを微量で含有しう
る試料ガスとしては、例えばメツキ鋼板を作る場合のメ
ツキ熔融炉内の還元雰囲気のごとく、水素ガス及び窒素
ガスからなる還元雰囲気内に存在する酸素ガスの濃度を
測定する場合の該還元雰囲気等が挙げられる。

この発明の上記分析装置のゼロガス供給流路に用いられ
るガス精製器は、上記測定対象の試料ガス中から、水分
や炭化水素のような不純物を除去する目的で用いられる
ものであり、例えば、モレキュラーシーブス１３Ｘを充
填したカラム等を用いることができる。

上記ガス分析装置の酸化流路に用いられる酸化部は、測
定対象が試料ガス中の微量の水素ガスである場合この微
量水素ガスを該試料ガス中の酸素ガスにより完全酸化し
うろものであり、−力測定対象が微量の酸素ガスである
場合この微量酸素ガスを該試料ガス中の水素ガスを用い
て完全に水に変換しうるものであって、接触式燃焼炉が
好適に用いられる。この場合該燃焼路に用いられる酸化
触媒としては、白金、パラジウム、ロジウム、酸化コバ
ルト、酸化銅等が挙げられ、白金が好ましい。

上記分析装置の測定流路に用いられる水晶発振式湿度セ
ンサ内蔵水分測定セルは、当該分野で公知のものがその
まま用いられる。

上記分析装置に用いられる流路切換手段は、上記ゼロガ
ス供給流路と酸化流路とを上記測定流路に切換接続しう
る構成のものであれば、当該分野で公知のものをそのま
ま用いることができる。

なお、上記ゼロガス供給流路及び酸化流路には、水晶発
振式湿度センサに流れる試料ガスの流量を常に一定に保
持する必要から、マスフローコントローラを設けること
が好ましい。

上記分析装置の制御部は、上記流路切換手段の切換作動
を指示する指示手段と、切換作動に呼応してゼロガス供
給流路接続時に上記測定セルから得られる水分含量に基
づく信号値と酸化流路接続時に同じく上記測定セルから
得られる水分含量に基づく信号値とをそれぞれ記憶する
記憶部、これらの記憶信号値に基づいて試料ガス中に含
有されている酸素ガス濃度または水素ガス濃度を算出す
るよう予め設定された演算処理を行う演算処理部からな
る算出手段とを具備して構成される。上記演算処理部で
は、ゼロガスと比較した水分含量から、目的の酸素ガス
濃度または水素ガス濃度が換算される。詳しくは後述す
る実施例の記載が参照される。なお上記制御部には演算
結果を表示／プリントアウトしうる表示部が設けられて
いてもよい。

この発明はまた、上記の構成の分析装置に、さらに、試
料ガス供給部から流路切換手段に接続される試料ガス供
給流路を備えてなり、かつ制御部が、上記測定流路にゼ
ロガス供給流路、酸化流路および上記流路ガス供給流路
のいずれかを任意に切換接続する旨を指示する指示手段
と、ゼロガス供給流路からの試料ガス及び試料ガス供給
流路からの試料ガスのそれぞれの水分含量から試料ガス
中の水分濃度を算出する算出手段をも備えてなるガス分
析装置を提供するものである。

上記ガス分析装置においては、上記流路切換手段は、ゼ
ロガス供給流路、酸化流路及び試料ガス供給流路のいず
れかを任意に測定流路に切換接続できる構成のものが用
いられる。

なお、上記ゼロガス供給流路、酸化流路及び試料ガス供
給流路には、水晶発振式ａｔセンサに流れる試料ガスの
流量を常に一定に保持する必要から、マスフローコント
ローラを設けることが好ましい。

上記ガス分析装置における制御部は、基本的には前記分
析装置と同様な構成であるが、上記流路切換手段の切換
作動を指令する指示手段、及び該切換作動に呼応してゼ
ロガス供給ゐ路接続時に上記測定セルから得られる試料
ガスの水分含量に基づく信号値、酸化流路接続時に同じ
く上記測定セルから得られる試料ガスの水分含量に基づ
く信号値及び試料ガス供給流路から得られる試料ガスの
水分含量に基づく信号値をそれぞれ記憶する記憶部、こ
れらの記憶信号値に基づいて試料ガス中に含有されてい
る水分濃度及び酸素ガス濃度もしくは水素ガス濃度を算
出するよう予め設定された演算処理を行う演算処理部と
からなる算出手段を具備して構成される。上記演算処理
部では、ゼロガスと比較した水分量から、試料ガス中の
水分濃度及び目的の酸素ガス濃度もしくは水素ガス濃度
が換算される。詳しくは後述する実施例の記載が参照さ
れる。なお制御部にはこの演算結果を表示／プリントア
ウトする表示部が設けられていてもよい。

この発明はまたさらに、ｉｊＴｇ２分析装置において、
ゼロガス供給流路からの酸化流路の分岐構成を、試料ガ
ス供給部とガス精製器との間の流路で行うよう構成する
ことにより、還元雰囲気中の水分を該雰囲気中に含有さ
れる水素ガスもしくは酸素ガスに由来して生成する水分
と併せて測定しうる水分計として構成されるものであっ
てもよい。なおこのときら、上記ゼロガス供給流路及び
酸化流路には、水晶発振式湿度センサに流れる試料ガス
の流量を常に一定に保持する必要から、マスフローコン
トローラを設けることが好ましい。

（ホ）作用 この発明によれば、水素ガス及び酸素ガスからなる試料
ガスから、該試料ガス中の水分や炭化水素のような不純
物を予め除去したゼロガスと、このゼロガスを酸化条件
に付して得られるガスとを生成し、これらのガスを水晶
発振式湿度センサ内蔵測定セルに交互に切換導入した場
合、試料ガスにおける含有酸素ガスが含有水素ガスに比
べて微量なときは、この微量酸素ガスが全て上記酸化条
件に付したときの水素ガスを酸化する際に使用される。

この結果ゼロガス供給流路からの試料ガス及び酸化流路
からの試料ガスのそれぞれの水分含量の差に基づいて、
試料ガスに含有される微量酸素ガス量が測定されること
となる。

また上記試料ガスにおいて含有水素ガスが含有酸素ガス
に比べて微量なときは、同様にして試料ガスに含有され
る微量水素ガス量が測定されることとなる。

またさらに、上記試料ガスを直接上記測定セルに切換導
入することにより、この試料ガスについての該測定セル
から得られる測定結果と上記と同様にして得られるゼロ
ガスについての測定結果との比較に基づいて、試料ガス
に含有される水分含量ら測定されることとなる。

またこの発明によれば、ゼロガスが任意に測定セルに切
換導入されるので、該セルの慎帰が早くなり、流路切換
手段による切換作動により、試料ガスを断続して測定セ
ルに導入することができ、連続測定がなされることとな
る。

以下実施例によりこの発明の詳細な説明するが、これに
よりこの発明は限定されるものではない。

（以下余白） （へ）実施例 第１図はこの発明のガス分析装置の一実施例の構成説明
図、第２図はこの発明の他の実施例の構成説明図、第３
図はこの発明のさらに他の実施例の構成説明図である。

実施例１ 第１図に示すガス分析装置（１）は、ことに測定対象が
微量酸素計または微量水素計として好適なものである。

このガス分析装置（１）は、試料ガス供給部（２）から
ガス精製器（３）及びマスフローコントローラ（４）を
へて流路切換手段（５）に接続されるゼロガス供給流路
（ａ）と、該ゼロガス供給流路（ａ）のガス精製器（３
）とマスフローコントローラ（４）との間で分岐され、
酸化部（６）及びマスフローコントローラ（４１）を介
して流路切換手段（５）に接続される酸化流路（ｂ）と
、上記流路切換手段（５）から水晶発振式湿度センサ（
７）内蔵水分測定セル（８）に接続される測定流路（ｃ
）と、この分析装置（１）を予め設定されたタイミング
で駆動・測定制御する制御部（９）とから主として構成
されている。

上記ガス精製器（３）は、試料ガス中の水分及び炭化水
素成分を吸着除去する吸収剤を充填したカラムで構成さ
れている。上記吸収剤としてはモレキュラーシーブス１
３Ｘか使用されている。

上記流路切換手段（５）としては、三方電磁弁が使用さ
れている。

上記酸化部（６）としては、触媒式燃焼炉が使用されて
おり、触媒としては白金が用いられており、約５５０℃
に加熱されている。

制御部（９）は、ＣＰＵ（９１）と、該ＣＰｔＪに接続
される記憶部（９２）、比較演算処理部（９３）、クロ
ック（９４）から構成されており、上記流路切換手段（
５）の切換駆動及び測定セル（８）での測定を予め設定
されたシーフェンスに従って作動し、得られる信号出力
値を、予め設定された検量線から対応する濃度値として
出力する処理か行われる。

上記のごとく構成されたガス分析装置（１）の作動につ
いて説明する。

ｉ）まず、該装置が酸素計として機能する場合について
説明する。この場合試料ガス供給部（２）には、例えば
メツキ溶融炉に用いられている還元雰囲気（Ｈ，及びＮ
、）のごとき多量の水素ガスと極く微量の酸素ガスとを
含有するものが用いられる。

上記還元雰囲気をゼロガス供給流路（ａ）に供給すると
共に、流路切換手段（５）を所定の間隔で切換えると、
該供給流路（ａ）に供給された上記還元雰囲気は、ガス
精製器（３）において該雰囲気中に含有されている水分
及び炭化水素成分が除去され、ゼロガスとされる。次い
でこのゼロガスは該供給流路（ａ）の分岐部（イ）で分
岐され、一方はこのまま該供給流路（ａ）を移送され、
他方は酸化流路（ｂ）を移送されて、流路切換手段（５
）により所定時間間隔で交互に測定流路に導入されろ。

上記酸化流路（ｂ）を移送される精製ガスは、該酸化流
路（ｂ）の酸化部で加熱された白金触媒と接触するが、
このとき該精製ガス中に含有されている微量酸素ガスは
、共存する多量の水素ガスと反応して完全に水蒸気に変
換されウェットガスとなる。

上記流路切換手段（５）の切換作動によって供給流路（
ａ）からゼロガスと測定流路（ｂ）からのウェットガス
とがそれぞれ一定量で測定セル（８）に導入され、これ
らのガスの各水分量に基づく水晶発振式湿度センサ（７
）からの各出力値が制御部（９）で記憶され、次いでこ
れらの出力値差に基づいて演算処理されて、水分１度が
出力される。

上記出力される水分濃度は、上記ウェットガスにおける
水分濃度であるが、この水分は試料ガス供給部に供され
た元の還元雰囲気に含有されていた酸素ガスに由来する
ものである。従って次式二Ｈ１＋　１／２０　＊　　→
　ｌ）、０なる関係式を媒介として、上記水分濃度が酸
素ガス濃度に演算（すなわち１／２換算）されて出力さ
れることとなる。

なお、この分析装置を較正するには、既知濃度の水素ガ
スと空気の混合ガスを供給すれば、酸化流路で水分が発
生し、この発生水分によって較正ができることとなる。

ｉｉ）上記分析装置（１）が微量水素計として機能する
場合、試料ガスが下記するものを測定対象とする以外は
上記微量酸素計の場合と原理的に同様であるので作動の
詳細については省略する。すなわち試料ガス供給部（２
）には、極く微量の水素ガスと多量の酸素ガスとを含有
する雰囲気が用いられる。これは純ガス中に不純物とし
て水素ガスを含有する場合が挙げられるが、酸素ガスを
含有しない雰囲気に対しては、酸素ガスまたは空気を一
定量混合させ、同様に測定した後この希釈分を補正すれ
ばよい。

上記と同様の切換作動により、ゼロガス供給流路（ａ）
のガス精製器（３）を通過して精製されたゼロガスと、
酸化流路（ｂ）の酸化部（６）を通過して生成されたウ
ェットガスとのそれぞれの水分に対応して測定セル（８
）の水晶発振式湿度センサ（７）から出力される出力値
の差に基づいて、制御部（９）から水分濃度が出力され
る。この水分ＩＩｋ度はすなわち、上記試料ガス供給部
に供された雰囲気に含有されていた水素ガスのみに由来
するものである。従って次式：　Ｈｓ＋　１／２０　、
→　Ｈ，０なる関係式を媒介として、上記水分濃度がそ
のまま水素ガス濃度として（すなわちｔｉｔモル比から
）出力されることとなる。

なお、この分析装置の較正についても上記と同様に行う
ことができる。

実施例２ 次にこの発明のガス分析装置であって、水分と、酸素ガ
スもしくは水素ガスとが測定可能なガス分析装置の一実
施例について、第２図に示す構成説明図により説明する
。

該図におけるガス分析装置（１０）の基本的構成は上記
実施例１と同様であるので、実施例１と同一の構成につ
いては同番号で示しており、従ってこれらの説明は省略
し実施例１と異なる構成部について説明する。すなわち
、実施例１の装置にさらにゼロガス供給流路（ａ）のガ
ス精製器（３）の前段で分岐してマスフローコントロー
ラ（４２）ヲへて直接流路切換手段（５１）に接続され
る試料ガス供給流路（ｄ）が付設されており、上記流路
切換手段（５１）には、ゼロガス供給流路（ａ）、酸化
流路（ｂ）、試料ガス供給流路（ｄ）のいずれかを任意
に測定流路（ｃ）に切換接続できるものが使用されてお
り、具体的には三方電磁弁が３個用いられている。この
部分の構成の一例を第４図に示す。該図において（Ｖ、
）。

（ｖ、）　、　（ｖ３）は三方電磁弁、（ｅ）はバイパ
ス流路を示す。また制御ＩＥ　（９）には、上記流路切
換手段（５１）の切換えのシーフェンスプログラム、該
切換えシーフェンスに対応して出力される出力値を演算
処理する演算プログラム、濃度換算のための検量線等が
予め設定されている。

次に、上記ガス分析装置（１０）により水分及び酸素濃
度を測定する場合の作動について説明する。

この場合試料ガス供給部（２）には、例えばメツキ溶融
炉に用いられている還元雰囲気（Ｈ、及びＮ２）のごと
き多量の水素ガスと極く微量の水分及び酸素ガスとを含
有するものが用いられろ。

試料ガス供給部（２）に供された上記還元雰囲気は、ゼ
ロガス供給流路（ａ）の分岐部（ロ）で分岐されそのま
ま未処理で移送される試料ガスと、ゼロガス供給流路（
ａ）のガス精製器（３）において該雰囲気中に含有され
ている水分及び炭化水素成分が除去されて移送されるゼ
ロガスと、該供給流路（ａ）のガス精製器（３）後段の
分岐部（イ）で分岐され、酸化流路（ｂ）の酸化部（６
）で該ゼロ゛ガスに含有されている未反応酸素ガスから
変換された水蒸気を含有するウェットガスとの３種のガ
スが、予め設定されたシーフェンスプログラムに従って
作動される流路切換手段（５１）の切換作動により交互
に一定量で測定セル（８）に導入される。これらのガス
の各水分量に基づく水晶発振式湿度センサ（７）からの
各出力値が制御部（９）で記憶される。ここでゼロガス
と試料ガスとの出力差に基づいて演算処理されることに
より、試料ガス中の水分濃度が出力されることとなり、
一方ゼロガスとウェットガスとの出力値差に基づいて演
算処理されることにより、酸素ガス濃度が出力される。

なお、この酸素ガス濃度については上記実施例１と同様
の換算を経て出力される。

実施例３ 次にこの発明のガス分析装置の他の構成例について第３
図の構成説明図に基づいて説明する。なおこの構成例に
おいても実施例１と同番号のものは同様の構成であるこ
とを示す。該図においてガス分析装置（２０）は、試料
ガス供給部（２）からガス精製器（３）及びマスフロー
コントローラ（４）ヲへて流路切換手段（５）に接続さ
れるゼロガス供給と路（ａ）と、ゼロガス供給流路（ａ
）のガス精製器（３）の前段で分岐され、酸化部（６）
及びマスフローコントローラ（４３）を介して流路切換
手段（５）に接続される酸化流路（ｂｏ）と、上記流路
切換手段（５）から水晶発振式湿度センサ（７）内蔵水
分測定セル（８）に接続される測定流路（ｃ）と、この
分析装置（２０）の駆動・測定を制御する制御部（９）
とから主として構成されている。該制御部（９）には、
上記流路切換手段（５）の切換えのシーフェンスプログ
ラム、該切換えシーフェンスに対応して出力される出力
値を演算処理する演算プログラム、濃度演算のための検
量線等が予め設定されている。

次に、上記ガス分析装置（２０）により水分及び酸素濃
度を測定する場合の作動について説明する。

この場合試料ガス供給部（２）には、例えばメッキ溶融
炉に用いられている還元雰囲気（Ｈｌ及びＮ、）のごと
き多量の水素ガスと極く微量の水分及び酸素ガスとを含
有するものが用いられる。

試料ガス供給部（２）に供された上記還元雰囲気は、ゼ
ロガス供給流路（ａ）を移送され該供給流路のガス精製
器（３）を経ることにより該雰囲気中に含有されている
水分及び炭化水素成分が除去されたゼロガスと、上記ゼ
ロガス供給流路（ａ）の分岐部（ハ）で分岐され、酸化
流路（ｂ）の酸化部（６）通過により上記還元雰囲気の
未反応酸素ガスから変換された水分及び元の雰囲気中に
含有されていた水分とを含有するウェットガスとの２種
のガスが、予め設定されたシーフェンスプログラムに従
って作動される流路切換手段（５）の切換作動により交
互に一定量で測定セル（８）に導入される。これらのガ
スの各水分量に基づく水晶発振式湿度センサ（７）から
の各出力値が制御部（９）で記憶されろ。ここでゼロガ
スと試料ガスとの出力差に基づいて演算処理されること
により、試料ガス（上記還元雰囲気）中の水分濃度が出
力されることとなる。但しこの場合測定される水分濃度
は、還元雰囲気中に含有される水分のみならず同時に含
有される未反応酸素ガスに基づいて発生しうる水分まで
を含めた水分濃度である。すなわちこのガス分析装置に
よれば、試料ガスが発生しうる全水分量について測定で
きることとなる。

（ト）発明の効果 この発明によれば、水素ガスと酸素ガスとが共存する試
料ガス中に含有される水分、水素ガス、酸素ガスを測定
することができ、さらにこれらのガスの連続測定が可能
である。還元雰囲気中の微量酸素ガスを正確に測定する
ことができる。寿命、安定性共に良好なガス分析装置を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のガス分析装置の一実施例の構成説明
図、第２図はこの発明の他の実施例の構成説明図、第３
図はこの発明のさらに池の実施例の構成説明図、第４図
は第２図におけるゐ路切換手段の一例の構成説明図であ
る。 （２）・・・・・・試料ガス供給部、 （３）・・・・・・ガス精製器、 （４）、（４１）、（４２）、（４３）・・・・・・マ
スフローコントローラ、（５）、（５１）・・・・・・
流路切換手段、（６）・・・・・・酸化部、 （７）・・・・・・水晶発振式湿度センナ、（８）・・
・・・・測定セル、 （９）・・・・・・制御部、　　　（９１）・旧・・Ｃ
ＰＵ。 （９２）・・・・・・記憶部、　　　（９３）・・・・
・・比較演算処理部、（９４）・・・・・・クロック、 （ａ）・・・・・・ゼロガス供給流路、（ｂ）・・・・
・・酸化流路、　　（ｃ）・・・・・・測定流路、（ｄ
）・・・・・・試料ガス供給流路。 領　１　図 笥２　図 笛 図 つ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）水素ガス及び酸素ガスからなる試料ガスの供
   給部から、試料ガス中の水分や炭化水素のような不純物
   を除去するガス精製器を介して流路切換手段に接続され
   るゼロガス供給流路と、 （ｂ）上記ガス精製器により精製された試料ガスを酸化
   部を介して上記流路切換手段に接続される酸化流路と、 （ｃ）上記流路切換手段から水晶発振式湿度センサ内蔵
   水分測定セルに接続される測定流路とを備え、 ゼロガス供給流路と酸化流路とを測定流路に切換接続す
   る旨を指示する指示手段と、ゼロガス供給流路からの試
   料ガス及び酸化流路からの試料ガスのそれぞれの水分含
   量から、試料ガス中の酸素ガス濃度又は水素ガス濃度を
   算出する算出手段とからなる制御部を具備してなるガス
   分析装置。 ２、請求項１のガス分析装置にさらに、試料ガス供給部
   から流路切換手段に接続される試料ガス供給流路を備え
   てなり、かつ制御部が、上記測定流路にゼロガス供給流
   路、酸化流路および上記試料ガス供給流路のいずれかを
   任意に切換接続する旨を指示する指示手段と、ゼロガス
   供給流路からの試料ガス及び試料ガス供給流路からの試
   料ガスのそれぞれの水分含量から試料ガス中の水分濃度
   を算出する算出手段をも備えてなるガス分析装置。 ３、（ａ）水素ガスおよび酸素ガスからなる試料ガスの
   供給部から、試料ガス中の水分や炭化水素のような不純
   物を除去するガス精製器を介して流路切換手段に接続さ
   れるゼロガス供給流路と、 （ｂ）上記試料ガスの供給部から酸化部を介して上記流
   路切換手段に接続される酸化流路と、 （ｃ）上記流路切換手段から水晶発振式湿度センサ内蔵
   水分測定セルに接続される測定流路とを備え、 ゼロガス供給流路と酸化流路とを測定流路に切換接続す
   る旨を指示する指示手段と、ゼロガス供給流路からの試
   料ガス及び酸化流路からの試料ガスそれぞれの水分含量
   から、試料ガス中に含有される水分及び酸素ガスもしく
   は水素ガスに由来する水分に基づく水分濃度を算出する
   算出手段とからなる制御部を具備してなるガス分析装置
   。