JPH02200388A - レーザ結合装置 - Google Patents

レーザ結合装置

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JPH02200388A
JPH02200388A JP1324175A JP32417589A JPH02200388A JP H02200388 A JPH02200388 A JP H02200388A JP 1324175 A JP1324175 A JP 1324175A JP 32417589 A JP32417589 A JP 32417589A JP H02200388 A JPH02200388 A JP H02200388A
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JP
Japan
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optical fiber
workpiece
housing
laser
coupling device
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JP1324175A
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Herman A Nied
ハーマン・アーサー・ニエド
Marshall G Jones
マーシャル・ゴードン・ジョーンズ
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General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 この発明は全般的に点溶接、ろう付け又ははんだ付け等
によって材料を結合する装置、更に具体的に云えばレー
ザービームを用いて材料を結合する装置に関する。
点溶接、ろう付け又ははんだ付けの様な材料を結合する
方法は周知であり、電気部品を含めて部品を結合する為
に広い範囲で用いられているが、小形のマイクロエレク
トロニクス部品を結合する為に、マイクロエレクトロニ
クス業界にこの様な結合方法を応用することは困難であ
った。１つの理由は、部品に加えるエネルギを精密に制
御するのと、部品を傷めずに又はその近辺にある他の材
料或いは部品を損傷せずに、部品が結合される様に、部
品の局部的な領域に加熱作用を局限するのが困難であっ
たことである。
普通のろう付け及びはんだ付け方法は、抵抗加熱した電
極を部品と機械的に接触させ、伝導によって結合を行な
うのに十分な熱が伝達される位に長い間、部品と接触し
た状態に保つことを必要としていた。加熱電極を用いる
と、局部的な区域に加熱作用を局限すること、又は電極
の近辺にある部品に伝達される熱量を制御することが非
常に困難である。結合される部品が制限された区域内に
ある時、特にそうである。抵抗点溶接方法では、互いに
機械的に接触した状態に保つ２つの部品に電流を通す為
に、銅等で作られた分割電極を使う場合が多い。この電
流が抵抗加熱をし、部品を結合する。ろう付け及びはん
だ付けでもそうであるが、点溶接方法では、損傷を避け
る位に、加熱量を精密に制御すること又は部品の熱の作
用を受ける区域を局限することが困難である。
レーザ・ビームを用いた装置は、切削、穿孔、溶接、ろ
う付け、けがき又は局部的な熱処理の様な種々の材料処
理方法を実施するのに知られている。その典型的な装置
が、米国特許節４．５６４゜７３６号、同第４，６７６
．５８６号及び同第４゜６８１．３９６号に記載されて
おり、遠隔の源から工作物の処理領域にレーザ・ビーム
を伝達する為に光ファイバが使われている。こう云う装
置では、光ファイバの出力端を工作物に隣接した出力カ
ップラ内に支持する。出力カップラが、光ファイバの端
から放出された発散するレーザ・ビームを工作物上の小
さなスポットに集束するレンズ装置を持っている。出力
カップラは工作物に接触せず、レーザ・エネルギを工作
物に集束する為に使われるだけである。この為、これら
の米国特許に記載された装置及び方法は非接触形であり
、レーザ溶接の様な他の公知のレーザ材料方法でも一般
的にそうである。レーザ方法は、大きなエネルギを所望
の通り局部的に加える様に精密に制御することが出来る
が、レーザ番ビームを供給する工具と工作物の間に機械
的な接触が存在しないことは、結合しようとする２つの
工作物を機械的に接触した状態に保つ為に外部の位置ぎ
め装置又は治具を使うことを必要とするから、レーザ溶
接の様なレーザ結合方法では不利である。この為、結合
方法を自動化することが困難となり、不便になることが
ある。更に、例えば局限された場所にある部品を結合す
る必要がある場合等の様なある用途では、部品を一緒に
抑えておく為に外部の位置ぎめ装置又は治具を用いるこ
とが出来ないことがあり、その為にレーザ方法を用いて
部品を結合することが出来なくなることがある。
公知のレーザ結合装置の上記並びにその他の問題を避け
、部品又はその近辺にある他の部品を損傷せずに、マイ
クロエレクトロニクス部品を確実に速やかに結合するこ
とが容易に出来る様にする光フアイバーレーザ結合装置
を提供することが望ましい。この発明が対象とするのは
こう云う目的である。
発明の要約 この発明は、部品又はその近辺にある他の部品或いは材
料のどれをも損傷せずに、マイクロエレクトロニクス部
品の様な小さな又は微小な寸法の部品を確実に速やかに
結合することが出来る非常に有利なレーザ結合装置を提
供する。この発明は、工作物に対するレーザ・ビームを
伝える光ファイバの出力端上に、工作物と接触する工具
を提供する点で特に有利である。この工具は自動化結合
方法にも適応し得るし、或いは手で持つ工具としても役
に立ち、結合しようとする工作物が、結合過程の間、接
触した状態に保たれる様に、工作物に機械的な圧力を加
えることが出来る。従って、この発明は、結合する２つ
の部品を機械的に接触した状態に保つことを必要とする
点溶接、ろう付け又ははんだ付け過程に役立つ。これに
よって、結合しようとする工作物を保持する為に治具又
はその他の外部の位置ぎめ装置を必要としないのが有利
であり、局限された場所にある工作物を結合することが
出来るのも有利である。この発明は、工作物に加えるエ
ネルギ量を精密に制御して、小さい局部的な領域に局限
することが出来、こうして工作物又は周囲の材料の何れ
に対する損傷をも避ける。
簡単に云うと、この発明の一面では、レーザ結合装置が
、レーザ・ビームを伝達する光ファイバと、レーザ・ビ
ームを光ファイバの入力端に注入する手段とを有する。
ファイバの出力端には細長いハウジングが配置され、こ
れは別の部品に結合しようとする部品の様な工作物に係
合して、それに圧力を加える手段を持っている。ハウジ
ングの、工作物と係合する端に開口があり、光ファイバ
の出力端が、光ファイバから放出されるレーザ・ビーム
が開口を介して工作物に投射される様に、ハウジングの
中で開口に対して支持される。
前に述べた他の公知のレーザ材料処理装置、例えば前に
引用した米国特許とは対照的に、この発明は、ファイバ
の出力端から放出された発散するレーザ・ビームを集束
する為に、光ファイバの出力端にレンズ装置を用いない
。その代りに、発散するレーザ・ビーム自体が工作物に
投射され、その加熱の為に工作物に光エネルギを加える
為に直接的に使われる。これがこの発明の工作物と係合
する工具を著しく簡単にし、極く細いものにすることが
出来るので、局限された場所にある部品にアクセスする
ことが出来る。
光ファイバの出力端は、ファイバがハウジングの縦軸線
並びに工作物に対して平行となる様に、そしてファイバ
の心の頂部がハウジングの端にある開口に隣接して、工
作物から予定の距離の所に位置ぎめされる様に、工具の
ハウジング内に支持することが出来る。ハウジングの開
口が、ファイバの頂部並びに開口の間に配置された例え
ば石英の保護窓によって部分的に限定されたハウジング
内の室と連通して、結合過程の間に生ずる材料の跳返り
等からファイバの頂部を保護する。ハウジング内の通路
が室と連通して、不活性ガスの様な処理ガスが室を通っ
て、石英窓を通越す様にすることが出来る。処理ガスが
、ハウジングの開口を介して、室に対して露出される工
作物の領域を包込む様に作用する。これが工作物の内、
開口内にある部分に対して不活性雰囲気を作り、室の中
のガスの流れが、溶接過程の揮発生成物を運び去ること
が出来る様にする。これは石英窓を綺麗に保つのを助け
ると共に、毛羽立ちを下げ、こうしてレーザ・ビームと
工作物の間の結合効率を改善する。
この発明はマイクロエレクトロニクス部品の様な工作物
を点溶接方法で結合するのに特に適しており、その場合
について説明する。然し、後で判るが、これはこの発明
の１つの用途に過ぎない。
第１図はこの発明の光ファイバ・レーザ結合装置１０を
図式的に示す。図示の様に、装置がレーザ１２を持って
いる。これは固体パルス形又は連続波形のネオジミウム
：　ＹＡＧレーザ等（例えば可視又は赤外線の源）であ
ってよい。レーザの出力ビームが、ビームを工具１８に
伝達する為に、カップラ１６によって光ファイバ１４に
結合される。工具１８は光ファイバに対する保持体とし
て作用すると共に、これから説明する様に、工作物に力
を加える装置としても作用する。
光ファイバ１４は、石英の心２０をシリコーン又は硝子
の様な披８ｉ２２で覆って構成される１本の細い（０，
１乃至１．５龍の直径の）光ファイバであってよく、ナ
イロン等で作られた外側保護ジャケット又はさや２４を
有する。カップラ１６は前に引用した米国特許に記載さ
れるカップラと同様であってよく、光ファイバの入力端
に対する保持体と、入力端で石英の心にレーザ・ビーム
を集束するレンズとで構成することが出来る。前に引用
した米国特許に記載されているが、レーザ・ビームをフ
ァイバの心上の小さなスポットに集束して、スポットの
直径が心の直径より小さくなる様にすると共に、集束さ
れたビームの内角がファイバの開口値より小さくなる様
にして、レーザ・ビームを光ファイバに注入することが
出来る。レーザ・ビームが光ファイバの中を伝達し、発
散するビーム３２（図面には破線で示しである）として
、ファイバの出力端で、ファイバの心の底３０から放出
される。
図面に示す様に、工具１８は全体的に円筒形の細長い外
側ハウジング４０と、軸方向の中孔４４を持つ円筒形の
内側支持部材４２とで構成することが出来る。ハウジン
グ４０は金属、プラスチック又は高温セラミックで形成
することが出来る。
部材４２は石英又はプラスチックの様な非金属材料にす
るのが好ましい。軸方向の中孔が光ファイバ１４の出力
端を受入れ、光ファイバを中孔の中に固定する為にクラ
ンプ等の様な手段（図面に示してない）を設けることが
出来る。外側ハウジングの下端（第１図で見て）領域は
、４６に示す様に、平坦な端４８までテーバをつけるこ
とが出来る。端４８が第１の工作物５０と係合する様に
なっている。ハウジングの平坦な端４８は、ハウジング
の縦軸線に対して略法線方向であるが、工作物５０を例
えば第２の工作物５２に圧接する時、工作物５０に圧力
を加えることが出来る様にする。
頂部に溝孔を設けた環状ブッシング５６が通抜けの開口
５８を持っているが、このブッシングをハウジングの平
坦な端４８の中にブレスばめにして、開口５８が工具の
内側支持部材４２の中孔４４と同軸になる様にすること
が出来る。ブッシングの溝孔を設けた頂部は、第３図に
一番よく示されている様に、半径方向に伸びる支持部分
６０を設け、それが図示の様に、部材４２の下端にある
対応する切欠きの中で、石英等で作られた保護窓６２を
支持し且つ保持することが出来る。保護窓及びブッシン
グの開口５８が、工作物５０の面に隣接した工具の下端
の中に室を構成する。この室が、ブッシングの頂部にあ
る半径方向に伸びる支持部分６０の間にある開口区域と
部材４２の端にある扇形流路６６を介して、ハウジング
と支持部Ｉ４４２の間にハウジング４０の内面に形成さ
れた縦方向に伸びる複数個の弓形通路７０（第２図及び
第３図に一番よく示されている）と連通ずることが出来
る。各々の通路７０は、縦軸線と、対応する４つの流路
６６どに対して、対称的に配置されている。
１つ又は更に多くの通路７０を第１図に示す様に不活性
ガスの様なガスの源７２に接続することが出来る。源７
２からのガスが矢印で示す様に、通路及び流路を流れ、
それを使って溶接、ろう付け又ははんだ付け過程の間、
ブッシング内の室のパージを行なうことが出来るが、こ
れは後で更に詳しく説明する。
第１図に示すように、光ファイバ１４の出力端が部材４
２の中孔４４の中で、ハウジング４０と同軸になる様に
、且つファイバが保持体の平坦な端４８に対して法線方
向になる様に支持されている。光ファイバの端領域は、
例えば前に引用した米国特許箱４，５６４，７３６号に
記載されている様に、ファイバの端から被５１２２及び
ジャケット２４を剥がして、予定の長さのファイバの心
２２を露出し、大体同じ予定量だけ、被１１１２２から
ジャケットを更に剥がすことにより、損失を減らす様に
準備することが出来る。ファイバの心の先端３０を平坦
に切断並びに研磨して、切断して研磨した面が、ファイ
バの縦軸線に対して法線方向になる様にすることが好ま
しい。ファイバの先端を図面に示す様に、保護窓６２と
接触させるか或いは若干の距離だけ隔てる。ジャケット
が中孔の面と接触する状態で、ファイバを内側部材４２
の中孔４４の中に支持することが出来る。部材４２は、
レーザ・ビームの漏れがファイバを介して部材に伝達す
るのに避ける為に、ファイバの心２゜と接触しないこと
が望ましい。
レーザ・ビームが光ファイバの底３ｏから出て来る時、
第１図の破線３２で示す様に拡散し、ブッシングの開口
５８を介して工作物５０の面に投射される。工作物の面
に入射する光エネルギが、工作物を溶融させ、図示め様
に溶融した溶着ブール８０を形成する。工作物の加熱の
程度は、工作物に加えられる光エネルギのエネルギ密度
の関数であり、これはいろいろな異なる方法で制御する
ことが出来る。取分け、エネルギ密度はレーザ・エネル
ギ並びに工作物に投射されるレーザ・ビームのスポット
寸法の関数である。光ファイバから放出されるレーザ・
ビームが発散するから、そのエネルギ密度は、工作物か
らの光ファイバの距離と共に変化する。従って、エネル
ギ密度を制御する１つの方法は、工具のハウジングの端
４８に対する光ファイバの先端３０の場所を変えること
であり、工具１８は中孔の中でのファイバの場所の調節
が出来る様に構成することが出来る。ファイバの先端を
工作物に対して物理的に位置ぎめすることによって、エ
ネルギ密度を制御することが出来るが、これはエネルギ
密度を制御する便利な方法ではない。工作物と光ファイ
バの底の間に妥当な作業距離を保つことが望ましく、エ
ネルギ密度を精密に制御する便利な方法でありながらも
、工作物の面上でのエネルギ密度を最大にする為に、こ
の距離を小さく抑えることが望ましい。
１９８７年１２月２１日に出願された係属中の米国特許
出願通し番号箱１３６，０７１号には、光ファイバ・レ
ーザ材料処理装置に対するレンズを用いない非接触形出
力カップラが記載されている。この米国特許出願では、
光ファイバの出力端からのレーザービームの発散部分は
、出口円錐角が、光ファイバの入力端に注入されたレー
ザ・ビームの入口円錐角と大体等しいことが述べられて
いる。エネルギ密度が投射されるビームのスポット寸法
の関数であり、このスポット寸法がレーザ・ビームの発
散度又は出口円錐角の関数であるから、カップラエ６に
よって光ファイバにレーザ・ビームを注入する人口円錐
角を制御すると共に、光ファイバに注入されるレーザ・
ビームのエネルギを制御することによって、エネルギ密
度を制御することが出来る。更に、希望によっては、光
ファイバの心の底３０を整形して、ファイバから放出さ
れるレーザービームを集束する為の凸レンズ効果を持た
せることが出来る。ファイバから放出されるレーザ・ビ
ームを集束する為に、工具１８にレンズ装置を用いても
よいが、こうすると構造が複雑になる。
動作について説明すると、工具１８を用いて、第１図に
示す様に、結合しようとする工作物の一方と係合させ、
結合の為に所望の圧力を加える。
２つの工作物を点溶接するには、その接触面における熱
抵抗を減らす為に、２つの工作物の間に十分な圧縮圧力
を加えることが必要である。この工具はレーザ・ビーム
を工作物上の所望の場所に差向け、工作物を結合する場
所を精密に制御することが出来る。この工具は抵抗加熱
電極とある点で似ているが、周囲の部品を加熱すると云
うこう云う電極の欠点がない。工具を用いて圧力を加え
ながら、レーザ１２をパルス駆動して、光ファイバにカ
ップラ１６を介してエネルギを注入することが出来る。
レーザ・ビームが光ファイバの中を出力端まで伝達され
て行く。ファイバの先端からの発散ビームが、ブッシン
グの開口５８を介して工作物に投射される。
源７２からのパージ・ガスが通路７０及び開口５８の上
方にあるブッシングの室を通る。このガスの流れを比較
的高速にして、工具の冷却の助けにすると共に（工作物
との接触によって加熱作用が起ることがある）、結合過
程の間に生ずる揮発生成物を除去することによって、光
学部品を保護することが好ましい。こう云う生成物は、
そうしないと、保護窓６２に沈積し、レーザ・エネルギ
を減衰させる。このガスの流れは、毛羽立ちを下げ、良
好な結合効率を持たせる点でも有利である。
工作物に加えるエネルギは、今述べた様に、レーザのパ
ルス速度を含めて、光ファイバに注入されるエネルギを
制御することによって制御することが出来る。パルスの
合間で、工作物の面から放出される赤外線を感知して、
その温度を決定することが出来る。こうすると、工作物
に加える二ネルギ量、従って工作物の溶融又は加熱の程
度を制御するのが容易になる。赤外線は異なる方法で感
知することが出来る。例えば、赤外線は赤外線検出器又
はカメラ（図面に示してない）の様・なセンサにより、
工作物５２の下側（第１図で）から感知することが出来
る。更に工具１８に、工作物の面上での開口１８内の投
射されたビーム・スポットを観察する第２の光ファイバ
を設けて、赤外線エネルギを遠隔センサに伝達してもよ
い。
以上の説明から判る様に、工具１８は光ファイバの出力
端に対する保持体として作用し、これによってレーザ・
ビームを工作物上の所望の場所に割合精密に方向ぎめす
ることか出来ると共に、レーザ・エネルギを加えるのと
同時に、結合しようとする工作物に機械的な圧力を加え
る道具として作用する。従って、これは普通の点溶接電
極と同様に作用する。云うまでもないが、工具１８は、
手持ち工具としてだけでなく、ロボット溶接機等の様な
自動化装置内で工作物を結合する為にも用いることが出
来る。この工具は光ファイバの出力端に集束用の光学系
を必要としないから、この工具のハウジングを極く細く
して、局限された場所にある部品に接近し易くすること
が出来る。従来の抵抗形点溶接装置に較べて、この発明
は結合を行なうのに十分な界面加重を工作物に加えなが
ら、従来の点溶接電極に較べて、工具の疲労を最小にす
ることが出来る。
この発明の好ましい実施例を図面に示して説明したが、
当業者であれば、特許請求の範囲によって定められたこ
の発明の範囲内で、種々の変更を加えることが出来るこ
とが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の光ファイバ・レーザ結合装置の略図
、 第２図は第１図の装置の工作物と係合する工具を大体線
２−２で切った断面図、 第３図は第１図の工具を大体線３−３で切った断面図で
ある。 主な符号の説明 １４：光ファイバ １６：出力カップラ− １８：工具 ３０二出力端 ４０：ハウジング ５０．５２：工作物 ５８：開口 ７０元７１

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、レーザ・ビームを伝達する光ファイバで構成された
    点溶接、ろう付け又ははんだ付け用のレーザ結合装置に
    於て、その中を伝達する様にレーザ・ビームを光ファイ
    バの入力端に注入する手段と、工作物に係合して圧力を
    加える手段を持っていて、該係合する手段が開口を有す
    る様な細長いハウジングと、該ハウジングの中にあって
    、光ファイバから放出されるレーザ・ビームの発散部分
    が前記開口を介して工作物に投射される様に、前記開口
    に対して光ファイバの出力端を支持する手段とを有する
    レーザ結合装置。 ２、係合する手段が、ハウジングの縦軸線に対して略法
    線方向に配置されたハウジング平坦な端と、前記工作物
    と係合する様に該平坦な端の中に配置されたブッシング
    とで構成されており、前記開口が該ブッシングに形成さ
    れている請求項１記載のレーザ結合装置。 ３、光ファイバの端とブッシングの間に窓が配置されて
    おり、該窓及び前記ブッシングの開口の間に、工作物の
    面に隣接した室が構成される請求項２記載のレーザ結合
    装置。 ４、前記室にガスを通す手段を有する請求項３記載のレ
    ーザ結合装置。 ５、前記ブッシングが溝孔を設けた部分を有し、該部分
    が前記窓と接触し、前記ガスを通す手段が、前記ブッシ
    ングの溝孔を設けた部分を介して前記室と連通する様に
    、前記ハウジング内に形成された通路で構成される請求
    項４記載のレーザ結合装置。 ６、前記通路がハウジングの内面と光ファイバを支持す
    る部材の間に形成された、縦方向に伸びる複数個の弓形
    通路と、少なくとも１つの通路に接続された不活性ガス
    源とで構成されている請求項５記載のレーザ結合装置。 ７、前記支持する手段が、縦方向の中孔を持つと共に、
    該中孔がハウジングの縦軸線と同軸になる様にハウジン
    グの中に配置された細長い支持部材で構成されており、
    光ファイバの出力端が前記中孔に入込んで支持される請
    求項６記載のレーザ結合装置。 ８、前記窓が、光ファイバの出力端に隣接して、光ファ
    イバの支持部材の切欠きの中でブッシングの溝孔を設け
    た部分によって支持されている請求項７記載のレーザ結
    合装置。 ９、光ファイバが被覆によって覆われた心及び該被覆の
    周りの外側ジャケットを有し、光ファイバの出力端にあ
    る第１の部分を剥いで心を露出すると共に、該第１の部
    分に隣接した第２の部分を剥いで被覆を露出した請求項
    ７記載のレーザ結合装置。 １０、ファイバの心は、そこからレーザ・ビームを放出
    する先端を有し、底は平坦に研磨され、前記窓に隣接し
    て配置される請求項９記載のレーザ結合装置。 １１、注入する手段が、光ファイバの出力端から放出さ
    れたレーザ・ビームのエネルギ密度を制御する手段を有
    する請求項１記載のレーザ結合装置。 １２、その中でレーザ・ビームを伝達する為に入力端及
    び出力端を持つ光ファイバと、該光ファイバの出力端に
    配置された工具とを有し、該工具は、第１の工作物と係
    合して、それに圧力を加えて、該第１の工作物を第２の
    工作物と接触した状態に保持する平坦な端を有する細長
    いハウジングを有し、前記平坦な端の中に開口があり、
    更に、ファイバの出力端が前記開口に隣接して、第１の
    工作物から予定の距離の所に位置ぎめされる様に、前記
    ハウジングの中に光ファイバを支持する手段を有し、こ
    の為、光ファイバの出力端から放出されたレーザ・ビー
    ムの発散する部分が前記開口を介して工作物に対してビ
    ーム・スポットを投射する様にしたレーザ結合装置。 １３、ハウジングが前記開口と連通する室を持っていて
    、該室は前記開口及び光ファイバの出力端の間に配置さ
    れており、前記室にガスを通す手段を設けた請求項１２
    記載のレーザ結合装置。 １４、前記室がハウジングの平坦な端の中に配置された
    環状ブッシングに形成されており、該ブッシングは溝孔
    を設けた部分を有し、該部分がハウジングの中に形成さ
    れたガス通路と連通している請求項１３記載のレーザ結
    合装置。 １５、ブッシングの溝孔を設けた部分が、前記端及び室
    の間で、光ファイバの端に隣接して保護窓を支持してい
    る請求項１４記載のレーザ結合装置。 １６、光ファイバを支持する手段が、ハウジングの中に
    配置されていて縦方向の中孔を持つ細長い支持部材を持
    ち、該中孔はハウジングの縦軸線と同軸であり、前記通
    路はハウジングの内面と支持部材の外面との間に形成さ
    れ、前記窓が、支持部材に切欠きを形成して、ブッシン
    グの溝孔を設けた部分の上に支持されている請求項１５
    記載のレーザ結合装置。 １７、支持部材及び窓が石英及びプラスチックからなる
    群から選ばれた材料で形成されている請求項１６記載の
    レーザ結合装置。 １８、ガスを通す手段が、揮発生成物を除去する位の速
    度で、前記室にガスの流れを供給する手段で構成される
    請求項１３記載のレーザ結合装置。 １９、前記ガスが不活性ガスである請求項１３記載のレ
    ーザ結合装置。 ２０、レーザ・ビームを伝達する光ファイバと、その中
    を伝達する様に、前記レーザ・ビームを光ファイバの入
    力端に注入する手段と、工作物に係合して圧力を加える
    手段を持っていて、該係合する手段の中に開口を設けた
    細長いハウジングと、該ハウジングの中にあゥて、光フ
    ァイバから放出されたレーザ・ビームの発散部分が前記
    開口を介して工作物に投射されて、工作物を処理温度ま
    で加熱する様に、開口に対して光ファイバの出力端を支
    持する手段と、レーザのパルス動作及び赤外線感知を同
    期させることによって、工作物の温度の大きさを赤外線
    感知する手段とを有するパルス形レーザ処理装置。
JP1324175A 1988-12-22 1989-12-15 レーザ結合装置 Pending JPH02200388A (ja)

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