JPH02191314A - パターン検出装置 - Google Patents

パターン検出装置

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JPH02191314A
JPH02191314A JP1234596A JP23459689A JPH02191314A JP H02191314 A JPH02191314 A JP H02191314A JP 1234596 A JP1234596 A JP 1234596A JP 23459689 A JP23459689 A JP 23459689A JP H02191314 A JPH02191314 A JP H02191314A
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Japan
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light
laser beam
scanning
optical system
laser light
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JP1234596A
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Japanese (ja)
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Junji Hazama
間　潤治
Shoichi Tanimoto
昭一 谷元
Kinya Kato
欣也 加藤
Hisao Izawa
伊沢　久男
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
    • G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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