JPH04177104A - 音響光学素子を用いた光学装置 - Google Patents
音響光学素子を用いた光学装置Info
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- JPH04177104A JPH04177104A JP2306414A JP30641490A JPH04177104A JP H04177104 A JPH04177104 A JP H04177104A JP 2306414 A JP2306414 A JP 2306414A JP 30641490 A JP30641490 A JP 30641490A JP H04177104 A JPH04177104 A JP H04177104A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 1
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- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、２つのマークの位置合わせ装置に係わり、特
にパターン転写に用いられるマスクとウェハとのアライ
メント調整等のために、これらに設けられたマークを位
置合わせすることに好適な位置合わせ装置に関する。
にパターン転写に用いられるマスクとウェハとのアライ
メント調整等のために、これらに設けられたマークを位
置合わせすることに好適な位置合わせ装置に関する。
（従来の技術）
近年、ＬＳＩ等の半導体素子の回路パターンの微細化に
伴い、パターン転写手段として、高解像性能を有する光
学式投影露光装置が広く使用されている。この装置を用
いて転写を行う場合、露光に先立ってマスクとウェハと
を高精度で位置合わせ（アライメント）する必要がある
。
伴い、パターン転写手段として、高解像性能を有する光
学式投影露光装置が広く使用されている。この装置を用
いて転写を行う場合、露光に先立ってマスクとウェハと
を高精度で位置合わせ（アライメント）する必要がある
。
アライメントを行う方法としては、投影光学系とは異な
る他の光学系（ＯＦＦ−ＡＸＩＳ顕微鏡）を用いて、ウ
ェハ上に予め形成したマークを検出してウェハを位置決
めし、その後ウェハを投影光学系の視野内の所定の位置
に高精度に移動させて予め正確に位置決めされたマスク
との位置合わせを行う０ＦＦ−ＡＸＩＳ方式と、マスク
とウェハの双方に予め形成された位置合わせマークを投
影光学系を通して検出し、直接マスクとウェハを位置合
わせするＴＴＬ （Ｔｈｒｏｕｇｈ Ｔｈｅ Ｌｅｎｅ
）方式とがある。
る他の光学系（ＯＦＦ−ＡＸＩＳ顕微鏡）を用いて、ウ
ェハ上に予め形成したマークを検出してウェハを位置決
めし、その後ウェハを投影光学系の視野内の所定の位置
に高精度に移動させて予め正確に位置決めされたマスク
との位置合わせを行う０ＦＦ−ＡＸＩＳ方式と、マスク
とウェハの双方に予め形成された位置合わせマークを投
影光学系を通して検出し、直接マスクとウェハを位置合
わせするＴＴＬ （Ｔｈｒｏｕｇｈ Ｔｈｅ Ｌｅｎｅ
）方式とがある。
［ＩＦＦ−ＡＸＩＳ方式は、アライメントの回数が少な
いため、アライメントに要する時間が少なく、スルーブ
ツト（処理速度）が大きいと言う利点を持つ。
いため、アライメントに要する時間が少なく、スルーブ
ツト（処理速度）が大きいと言う利点を持つ。
しかし、位置合わせされたウェハを転写すべき位置まで
正確な距離だけ移動させる必要があり、他に絶対測長系
を設けなければならず、誤差要因が増加し、実際上高い
精度で位置合わせをすることが難しい。このような状況
から、最近では、より高精度なアライメントを行うため
に、ＴＴＬ方式のようにマスク及びウェハに設けられた
マークを投影光学系を通して検出し、直接アライメント
する方式がより優れていると認められている。
正確な距離だけ移動させる必要があり、他に絶対測長系
を設けなければならず、誤差要因が増加し、実際上高い
精度で位置合わせをすることが難しい。このような状況
から、最近では、より高精度なアライメントを行うため
に、ＴＴＬ方式のようにマスク及びウェハに設けられた
マークを投影光学系を通して検出し、直接アライメント
する方式がより優れていると認められている。
ＴＴＬ方式のアライメント方法の一つとして、２つのグ
レーティングマークを重ね合わせる方法（文献 Ｇ、Ｄ
ｕｂｒｏｅｕｃｑ、 １９８０． ＭＥ、 Ｗ、
ＲＴｒｕｔｎａ、Ｊｒ。
レーティングマークを重ね合わせる方法（文献 Ｇ、Ｄ
ｕｂｒｏｅｕｃｑ、 １９８０． ＭＥ、 Ｗ、
ＲＴｒｕｔｎａ、Ｊｒ。
１９８４、５ＰＩＥ等）がある。これは、第６図に示す
ように、レチクル１１１上に一次元グレーティングマー
ク１０１が設けられ、ウェハ１１２上に二次元グレーテ
ィングマーク１０２が設られる。アライメント光源１０
４からの光によりレチクル１１１上のマーク１０１を証
明し、透過回折光は投影レンズ１０３を通ってウェハ１
１２上のマーク１０２へ導かれる。マーク１０２による
反射回折光は再び投影レンズ１０３を通り、レチクル１
１１上のグレーティングマーク１０１で再度回折されで
光電検出器１０５に入る。そして、光電検出器１０５に
入射する回折光の強度を測定することにより、レチクル
１１１とウェハ１１２の相対位置を検出するという方法
である。
ように、レチクル１１１上に一次元グレーティングマー
ク１０１が設けられ、ウェハ１１２上に二次元グレーテ
ィングマーク１０２が設られる。アライメント光源１０
４からの光によりレチクル１１１上のマーク１０１を証
明し、透過回折光は投影レンズ１０３を通ってウェハ１
１２上のマーク１０２へ導かれる。マーク１０２による
反射回折光は再び投影レンズ１０３を通り、レチクル１
１１上のグレーティングマーク１０１で再度回折されで
光電検出器１０５に入る。そして、光電検出器１０５に
入射する回折光の強度を測定することにより、レチクル
１１１とウェハ１１２の相対位置を検出するという方法
である。
さらに、上記ＴＴＬ方式のアライメント方法においては
、周波数の僅かに異なる三光束の干渉を利用した光ヘテ
ロダイン方式が採用されている。
、周波数の僅かに異なる三光束の干渉を利用した光ヘテ
ロダイン方式が採用されている。
この光ヘテロダイン方式においては、第７図に示すよう
に、周波数の僅かに異なる三光束からなるアライメント
光（例えばＨｅ−Ｎｅレーザ光）を得るために、ＡＯＭ
すなわち音響光学素子１２０．１２２が一般的に用いら
れている。具体的には、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１０４か
ら出たレーザビームを三光束に分離し、それぞれを個々
の音響光学素子１２０．１２２に入れ数百ＫＨｚ程度の
周波数の差を持つ三光束をつくる。
に、周波数の僅かに異なる三光束からなるアライメント
光（例えばＨｅ−Ｎｅレーザ光）を得るために、ＡＯＭ
すなわち音響光学素子１２０．１２２が一般的に用いら
れている。具体的には、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１０４か
ら出たレーザビームを三光束に分離し、それぞれを個々
の音響光学素子１２０．１２２に入れ数百ＫＨｚ程度の
周波数の差を持つ三光束をつくる。
この三光束をレチクル１１１上のマーク１０１、投影レ
ンズ１０３、ウェハ１１２上のマーク１０２、そして再
び投影レンズ１０３を通して、検出信号として、この三
光束の干渉による検出ビート信号を光束検出器１０５に
よって検出している。ここで得られたビート信号は、レ
チクル１１１とウェハ１１２の相対位置が変わると、そ
れに応じて位相が変わる。そこで、光電検出器１０５に
よって得られる三光束のビート信号を、レチクル１１１
とウェハ１１２の相対位置情報を含まない位置から取り
出し、これを参照ビート信号とする。この参照ビート信
号と上記検出信号の位相差を読むことによって、レチク
ル１１１とウェハ１１２の相対位置の変化を検出する。
ンズ１０３、ウェハ１１２上のマーク１０２、そして再
び投影レンズ１０３を通して、検出信号として、この三
光束の干渉による検出ビート信号を光束検出器１０５に
よって検出している。ここで得られたビート信号は、レ
チクル１１１とウェハ１１２の相対位置が変わると、そ
れに応じて位相が変わる。そこで、光電検出器１０５に
よって得られる三光束のビート信号を、レチクル１１１
とウェハ１１２の相対位置情報を含まない位置から取り
出し、これを参照ビート信号とする。この参照ビート信
号と上記検出信号の位相差を読むことによって、レチク
ル１１１とウェハ１１２の相対位置の変化を検出する。
（発明が解決しようとする課題）
上述の音響光学素子１２０．１２２は、回折効率を最大
にするために、第７図に示すように、入射レーザ光の光
軸と、射出される一次回折光の光軸との間に、ブラッグ
回折角を満足する角度２αの角度ずれ（例えば、１５
ｍｒａｄ＝ ０．８５°）を生じさせなければならない
。従って、音響光学素子を含む光学系を組み込んだ装置
においては、音響光学素子の前方又は後方で、一定基準
面すなわち基準軸線、例えば光学系取付はベースの平面
や縁端に対し平行でもなく垂直でもない光軸を設立しな
ければならず、該装置の組み立てが困難であり、また高
精度の調整が非効率的になるという問題があった。
にするために、第７図に示すように、入射レーザ光の光
軸と、射出される一次回折光の光軸との間に、ブラッグ
回折角を満足する角度２αの角度ずれ（例えば、１５
ｍｒａｄ＝ ０．８５°）を生じさせなければならない
。従って、音響光学素子を含む光学系を組み込んだ装置
においては、音響光学素子の前方又は後方で、一定基準
面すなわち基準軸線、例えば光学系取付はベースの平面
や縁端に対し平行でもなく垂直でもない光軸を設立しな
ければならず、該装置の組み立てが困難であり、また高
精度の調整が非効率的になるという問題があった。
本発明は従来の音響光学素子に係るこのような問題を解
消し、音響光学素子を含む位置合わせ装置の大部分の光
軸を基準軸線に対し垂直又は平行として、該装置の効率
的で低コストな組み立て及び高精度な調整を可能とする
位置合わせ装置を提供することを目的とする。
消し、音響光学素子を含む位置合わせ装置の大部分の光
軸を基準軸線に対し垂直又は平行として、該装置の効率
的で低コストな組み立て及び高精度な調整を可能とする
位置合わせ装置を提供することを目的とする。
（発明の構成）
本発明は、光ヘテロダイン方式で使用する三光東を音響
光学素子で変調する光学装置において、音響光学素子を
基準軸線に対しブラッグ回折角αだけ傾斜させて配置し
たことを特徴とする音響光学素子を用いた光学装置であ
る。
光学素子で変調する光学装置において、音響光学素子を
基準軸線に対しブラッグ回折角αだけ傾斜させて配置し
たことを特徴とする音響光学素子を用いた光学装置であ
る。
（実施例）
以下、本発明の実施例の位置合わせ装置を組込んだ光学
式投影露光装置を図に基づいて説明する。
式投影露光装置を図に基づいて説明する。
第１実施例の光学式投影露光装置は、第１図に示すよう
に、ＴＴＬ方式位置合わせ装置を有する。
に、ＴＴＬ方式位置合わせ装置を有する。
すなわち、Ｈｅ−Ｎｅレーザー光源１の光軸０１上に反
射鏡３及びビームスプリッタ−２が配置される。
射鏡３及びビームスプリッタ−２が配置される。
ビームスプリッタ−２を透過した光軸０２上には第１音
響光学素子４が配置され、ビームスプリッタ−２で反射
されさらに反射鏡６で反射された光軸０．上には第２の
音響光学素子８が配置される。
響光学素子４が配置され、ビームスプリッタ−２で反射
されさらに反射鏡６で反射された光軸０．上には第２の
音響光学素子８が配置される。
第１及び第２音響光学素子４．８にはドライバー１１が
接続され、各音響光学素子４．８からはそれぞれ周波数
ｆ、、ｆ、の変調光が出力される。
接続され、各音響光学素子４．８からはそれぞれ周波数
ｆ、、ｆ、の変調光が出力される。
さらに詳しく説明すると、第２図に示すように、第１及
び第２音響光学素子４．８のブラッグ回折角をαとする
とき、反射鏡３で反射された光軸Ｏ１は、第１及び第２
音響光学素子４．８の射出光軸ｏｏ、ｏｏ２に対しそれ
ぞれ２α傾斜するように、反射鏡３、第１及び第２音響
光学素子４．８が配置されている。すなわち、第１音響
光学素子４の基準軸ｍｍ’の垂線を光軸０．に対してα
だけ傾斜させる。同様に、第２音響光学素子８の基準軸
ｎｎ’の垂線を光軸０３に対してαだけ傾斜させる。
び第２音響光学素子４．８のブラッグ回折角をαとする
とき、反射鏡３で反射された光軸Ｏ１は、第１及び第２
音響光学素子４．８の射出光軸ｏｏ、ｏｏ２に対しそれ
ぞれ２α傾斜するように、反射鏡３、第１及び第２音響
光学素子４．８が配置されている。すなわち、第１音響
光学素子４の基準軸ｍｍ’の垂線を光軸０．に対してα
だけ傾斜させる。同様に、第２音響光学素子８の基準軸
ｎｎ’の垂線を光軸０３に対してαだけ傾斜させる。
こうすることによって、第１および第２音響光学素子４
．８等を取付けた取付はベース９の縁端に対し射出光軸
Ｏ○１．００□を平行とすることにより、装置の多くの
部品を基準軸線に対して平行又は垂直とすることができ
る。
．８等を取付けた取付はベース９の縁端に対し射出光軸
Ｏ○１．００□を平行とすることにより、装置の多くの
部品を基準軸線に対して平行又は垂直とすることができ
る。
光軸０２．０３上の第１及び第２音響光学素子４．８の
前方には、それぞれビームスプリッタ−１０，１２が配
置される。ビームスプリッタ−１０，１２の反射光軸０
４、○、上には、第１及び第２光東変位光学系１４．１
６が配置される。
前方には、それぞれビームスプリッタ−１０，１２が配
置される。ビームスプリッタ−１０，１２の反射光軸０
４、○、上には、第１及び第２光東変位光学系１４．１
６が配置される。
第１及び第２光束変位光学系１４．１６は同一の光学系
であって、第３図に示すように、光軸０４（０５）上に
、偏角θｄ＝１°、プリズム頂角θ、＝約２°、屈折率
ｎ＝１．５１４６２（θｄ−（ｎ−１＞ ・０ｗ）の
楔形プリズム２個１０１．１０２を光軸０ 、 （Ｏｓ
）を中心に回転可能に配置し、さらにこの前方に２個の
ブレーンパラレル１０４．１０６を配置する。ブレーン
パラレル１０４は光軸０ ＝ （Ｏｓ＞と直交する水平
軸線ｘｘ′を中心に回転可能に保持され、ブレーンパラ
レル１０６は光軸０ 、 （０５）と直交する水平軸線
ＹＹ’を中心に回転可能に保持される。
であって、第３図に示すように、光軸０４（０５）上に
、偏角θｄ＝１°、プリズム頂角θ、＝約２°、屈折率
ｎ＝１．５１４６２（θｄ−（ｎ−１＞ ・０ｗ）の
楔形プリズム２個１０１．１０２を光軸０ 、 （Ｏｓ
）を中心に回転可能に配置し、さらにこの前方に２個の
ブレーンパラレル１０４．１０６を配置する。ブレーン
パラレル１０４は光軸０ ＝ （Ｏｓ＞と直交する水平
軸線ｘｘ′を中心に回転可能に保持され、ブレーンパラ
レル１０６は光軸０ 、 （０５）と直交する水平軸線
ＹＹ’を中心に回転可能に保持される。
光軸０４（Ｏ５）は、第１図に示すように、第１及び第
２光束変位光学系１４．１６を通過後、マスク２０上に
設けられたピッチＰ８の回折格子からなる第１位置合わ
せマーク２２に達する。ここでピッチＰｉは、第１及び
第２音響光学素子４．８の±１次回折光が第１位置合わ
せマーク２２に入射するように決定される。
２光束変位光学系１４．１６を通過後、マスク２０上に
設けられたピッチＰ８の回折格子からなる第１位置合わ
せマーク２２に達する。ここでピッチＰｉは、第１及び
第２音響光学素子４．８の±１次回折光が第１位置合わ
せマーク２２に入射するように決定される。
マスク２０の下方には縮小投影レンズ２４、及びマスク
２０を焼付けるべきウェハ２６が配置される。第１位置
合わせマーク２２を通過した光軸０４．０５は縮小投影
レンズ２４を通過して、ウェハ２６に設けられたピッチ
Ｐ、の回折格子からなる第２位置合わせマーク３０に達
する。ここで、ピッチＰ、は、光軸０４．０．にそって
入射した光束の第２位置合わせマーク３０による１次回
折光が縮小投影レンズ２４の垂直な光軸と合致するよう
に決定される。
２０を焼付けるべきウェハ２６が配置される。第１位置
合わせマーク２２を通過した光軸０４．０５は縮小投影
レンズ２４を通過して、ウェハ２６に設けられたピッチ
Ｐ、の回折格子からなる第２位置合わせマーク３０に達
する。ここで、ピッチＰ、は、光軸０４．０．にそって
入射した光束の第２位置合わせマーク３０による１次回
折光が縮小投影レンズ２４の垂直な光軸と合致するよう
に決定される。
レチクル２０と縮小投影レンズ２４との間であって、縮
小投影レンズ２４に関し第２位置合わせマーク２２と共
役な位置に、反射鏡４０が配置される。第２位置合わせ
マーク２２から反射鏡４０に至り反射鏡４０によって反
射される光軸０６上には、反射鏡４０の前方に位置合わ
せ信号検出器４２が配置される。
小投影レンズ２４に関し第２位置合わせマーク２２と共
役な位置に、反射鏡４０が配置される。第２位置合わせ
マーク２２から反射鏡４０に至り反射鏡４０によって反
射される光軸０６上には、反射鏡４０の前方に位置合わ
せ信号検出器４２が配置される。
さらに、光軸０゜上でビームスプリッタ−１０の前方に
はビームスプリッタ−６０が配置され、一方光軸０３上
でビームスプリッタ−１２の前方には反射鏡６１が配置
され、ビームスプリッタ−６０の反射光軸と透過光軸は
合致して光軸０７となる。光軸０７上でビームスプリッ
タ−６０の前方にはリファレンス信号検出器６２が配置
される。
はビームスプリッタ−６０が配置され、一方光軸０３上
でビームスプリッタ−１２の前方には反射鏡６１が配置
され、ビームスプリッタ−６０の反射光軸と透過光軸は
合致して光軸０７となる。光軸０７上でビームスプリッ
タ−６０の前方にはリファレンス信号検出器６２が配置
される。
上記構成において、位置合わせ信号検出器４２及びリフ
ァレンス信号検出器６２によって検出される信号は、周
波数差△ｆ＝１ｆ１−ｆ２１のビートを持つビート信号
である。例えば、ｆ、＝８０Ｍ）Ｉｚ 、 ｆ ２ ＝
７９．９ＭＨ２である場合△ｆ ＝ １８０ＭＨｚ −
７９，９ＭＨｚ １＝１００ ＫＨｚである。
ァレンス信号検出器６２によって検出される信号は、周
波数差△ｆ＝１ｆ１−ｆ２１のビートを持つビート信号
である。例えば、ｆ、＝８０Ｍ）Ｉｚ 、 ｆ ２ ＝
７９．９ＭＨ２である場合△ｆ ＝ １８０ＭＨｚ −
７９，９ＭＨｚ １＝１００ ＫＨｚである。
一方、第４図に示すように、位置合わせ信号検出器４２
によって検出されるビート信号の位相をφ５、リファレ
ンス信号検出器４２によって検出されるビート信号の位
相をφ、とする。位相φ１、φ、の位相差△φ＝φ、−
φ１から、光ヘテロダインにより第１位置合わせマーク
２２と第２位置合わせマーク３０の光学的相対位置を演
算することができる。
によって検出されるビート信号の位相をφ５、リファレ
ンス信号検出器４２によって検出されるビート信号の位
相をφ、とする。位相φ１、φ、の位相差△φ＝φ、−
φ１から、光ヘテロダインにより第１位置合わせマーク
２２と第２位置合わせマーク３０の光学的相対位置を演
算することができる。
ところで、上記位相φ５を高精度で検出するには、第１
及び第２音響光学素子４．６から射出された変調光を、
第１位置合わせマーク２２、縮小投影レンズ２４の入射
瞳（図示せず）、第２位置合わせマーク３０に正確に入
射させることにより第２位置合わせマーク３０による回
折光を適切に重ね合わせ、十分なレベルの位置合わせ信
号を得なければならない。
及び第２音響光学素子４．６から射出された変調光を、
第１位置合わせマーク２２、縮小投影レンズ２４の入射
瞳（図示せず）、第２位置合わせマーク３０に正確に入
射させることにより第２位置合わせマーク３０による回
折光を適切に重ね合わせ、十分なレベルの位置合わせ信
号を得なければならない。
すなわち、第５図に示すように、周波数ｆ１のレーザー
光束が入射角α１で第２位置合わせマーク３０のマーク
領域を過不足なく照射し、周波数ｆ２のレーザー光束が
入射角α２ （−α１）で、該第２位置合わせマーク３
０をマーク領域を過不足なく照射し、それぞれの反射回
折光束がウェハ２６と垂直をなす方向に反射され、十分
なレベルの位置合わせ信号が得られる。
光束が入射角α１で第２位置合わせマーク３０のマーク
領域を過不足なく照射し、周波数ｆ２のレーザー光束が
入射角α２ （−α１）で、該第２位置合わせマーク３
０をマーク領域を過不足なく照射し、それぞれの反射回
折光束がウェハ２６と垂直をなす方向に反射され、十分
なレベルの位置合わせ信号が得られる。
一方、周波数ｆ１のレーザー光束と周波数ｆ２のレーザ
ー光束が第２位置合わせマーク３０によって十分なレベ
ルの位置合わせ信号が得られない場合、楔形ブリスム１
０１．１０２を光軸○２．０５を中心に回転させること
によって光束を偏向させることができる。
ー光束が第２位置合わせマーク３０によって十分なレベ
ルの位置合わせ信号が得られない場合、楔形ブリスム１
０１．１０２を光軸○２．０５を中心に回転させること
によって光束を偏向させることができる。
すなわち、楔形プリズム１０１．１０２の頂角をＡ、そ
れぞれの偏角方向のなす角度を２０、屈折率をｎとする
。これら楔形プリズム１０１．１０２を光軸０４．０５
を通過するレーザー光束は、楔形プリスム１０１．１０
２を光軸０４．０５の偏角方向の中間方向に、 角度δ＝（ｎ＝１）・Ａ・２Ｓｌｎθ だけ偏向させられる。
れぞれの偏角方向のなす角度を２０、屈折率をｎとする
。これら楔形プリズム１０１．１０２を光軸０４．０５
を通過するレーザー光束は、楔形プリスム１０１．１０
２を光軸０４．０５の偏角方向の中間方向に、 角度δ＝（ｎ＝１）・Ａ・２Ｓｌｎθ だけ偏向させられる。
マタ、ブレーンパラレル１０４．１０６を軸線ｘｘ’
、ｙｙ’を中心に回転させることによって光束を平行移
動すなわちシフトさせることができる。例えば、ブレー
ンパラレルの回転角度をθ、厚さｔ１屈折率ｎとすると
きのシフト量りは、ｎ で求められる。
、ｙｙ’を中心に回転させることによって光束を平行移
動すなわちシフトさせることができる。例えば、ブレー
ンパラレルの回転角度をθ、厚さｔ１屈折率ｎとすると
きのシフト量りは、ｎ で求められる。
本発明の第２実施例は、第８図に第２図に対応する音響
光学素子付近の拡大図に示すが、第１実施例の構成に対
応する構成については第１実施例と同一の符号を付して
その説明を省略する。Ｈｅ−Ｎｅレーザー光源１から発
せられたレーザービームは、取付はベース９の縁端と平
行な光軸０．に沿って反射鏡３、ビームスプリッタ−２
、反射鏡２００を経て第１及び第２音響光学素子４．８
に入る。第１及び第２音響光学素子４．８の基準軸ｍｍ
’ 、ｎｎ’は、その入射光軸０□、０３に対してそれ
ぞれ２α傾斜して配置されている。従って、第１及び第
２音響光学素子４．８の射出光軸００１、○０２は、取
付はベース９の縁端に対し２αの傾斜をなす。射出光軸
００８．００□にはそれぞれ反射鏡２０２．２０４が配
置され、反射鏡２０２．２０４の反射光軸は、取付はベ
ース９の縁端と平行となる。
光学素子付近の拡大図に示すが、第１実施例の構成に対
応する構成については第１実施例と同一の符号を付して
その説明を省略する。Ｈｅ−Ｎｅレーザー光源１から発
せられたレーザービームは、取付はベース９の縁端と平
行な光軸０．に沿って反射鏡３、ビームスプリッタ−２
、反射鏡２００を経て第１及び第２音響光学素子４．８
に入る。第１及び第２音響光学素子４．８の基準軸ｍｍ
’ 、ｎｎ’は、その入射光軸０□、０３に対してそれ
ぞれ２α傾斜して配置されている。従って、第１及び第
２音響光学素子４．８の射出光軸００１、○０２は、取
付はベース９の縁端に対し２αの傾斜をなす。射出光軸
００８．００□にはそれぞれ反射鏡２０２．２０４が配
置され、反射鏡２０２．２０４の反射光軸は、取付はベ
ース９の縁端と平行となる。
（発明の効果）
本発明によれば、音響光学素子を含む位置合わせ装置の
大部分の光軸を一定基準面に対し垂直又は平行とするこ
とができ、該装置の効率的で低コストの組み立て及び高
精度の調整を可能とする。
大部分の光軸を一定基準面に対し垂直又は平行とするこ
とができ、該装置の効率的で低コストの組み立て及び高
精度の調整を可能とする。
第１図は本発明の第１実施例の位置合わせ装置を組込ん
だ光学式投影露光装置の光学斜視図、第２図は第１図の
装置の音響光学素子付近の拡大図、第３図は光束変位光
学系の光学斜視図、第４図は位置合わせ信号の位相差を
示す説明図、第５図はレーザー光束が第１位置合わせマ
ーク２２に入射する状況の側面説明図、第６図は従来の
位置合わせ光学装置の原理説明図、第７図は音響光学素
子の説明図、第８図は本発明の第２実施例の音響光学素
子付近の説明図である。 １・・・・・・レーザー光源 ４・・・−・・第１音響光学素子 ８・・・・・・第２音響光学素子 １０．１２・・・・・・ビームスプリッタ−１４・・・
・・・第１光束変位光学系 １６・・・・・・第２光束変位光学系 ２０・・・・・・レチクル ２２・・・・・・第１位置合わせマーク２４・・・・・
・微小投影レンズ ２６・・・−・・ウェハ ３０・・・・・・第２位置合わせマーク４２・・・・・
・位置合わせ信号検出器６２・・・・・・リファレンス
信号検出器１０１．１０２・・・・・・楔形プリズム１
０４．１０６・・・・・・プレーンパラレル第１図 第５図
だ光学式投影露光装置の光学斜視図、第２図は第１図の
装置の音響光学素子付近の拡大図、第３図は光束変位光
学系の光学斜視図、第４図は位置合わせ信号の位相差を
示す説明図、第５図はレーザー光束が第１位置合わせマ
ーク２２に入射する状況の側面説明図、第６図は従来の
位置合わせ光学装置の原理説明図、第７図は音響光学素
子の説明図、第８図は本発明の第２実施例の音響光学素
子付近の説明図である。 １・・・・・・レーザー光源 ４・・・−・・第１音響光学素子 ８・・・・・・第２音響光学素子 １０．１２・・・・・・ビームスプリッタ−１４・・・
・・・第１光束変位光学系 １６・・・・・・第２光束変位光学系 ２０・・・・・・レチクル ２２・・・・・・第１位置合わせマーク２４・・・・・
・微小投影レンズ ２６・・・−・・ウェハ ３０・・・・・・第２位置合わせマーク４２・・・・・
・位置合わせ信号検出器６２・・・・・・リファレンス
信号検出器１０１．１０２・・・・・・楔形プリズム１
０４．１０６・・・・・・プレーンパラレル第１図 第５図
Claims (5)
- （１）光ヘテロダイン方式で使用する二光束を音響光学
素子で変調する光学装置において、音響光学素子を基準
軸線に対しブラッグ回折角αだけ傾斜させて配置したこ
とを特徴とする音響光学素子を用いた光学装置。 - （２）上記音響光学素子に基準軸線に対し２αだけ傾斜
させて測定光束を入射させた請求項１記載の音響光学素
子を用いた光学装置。 - （３）上記音響光学素子に基準軸線と平行に測定光束を
入射させ、上記音響光学素子から射出光軸を基準軸線と
平行又は垂直に屈折させた請求項１記載の音響光学素子
。 - （４）上記音響光学素子が一対対称に配置されている請
求項１記載の音響光学素子。 - （５）上記測定光束が同一光源でつくられたＨｅ−Ｎｅ
レーザー光である請求項１記載の音響光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2306414A JP2947920B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 音響光学素子を用いた光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2306414A JP2947920B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 音響光学素子を用いた光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04177104A true JPH04177104A (ja) | 1992-06-24 |
| JP2947920B2 JP2947920B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=17956735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2306414A Expired - Lifetime JP2947920B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 音響光学素子を用いた光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2947920B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008053738A1 (fr) * | 2006-10-30 | 2008-05-08 | Osaka University | Système de portillonnage optique utilisant un phénomène de moiré |
| CN113219683A (zh) * | 2021-04-12 | 2021-08-06 | 华中科技大学 | 一种基于单个声光偏转的平行激光分束装置及调节方法 |
-
1990
- 1990-11-13 JP JP2306414A patent/JP2947920B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008053738A1 (fr) * | 2006-10-30 | 2008-05-08 | Osaka University | Système de portillonnage optique utilisant un phénomène de moiré |
| US7936512B2 (en) | 2006-10-30 | 2011-05-03 | Osaka University | Optical gating system using moiré effect |
| CN113219683A (zh) * | 2021-04-12 | 2021-08-06 | 华中科技大学 | 一种基于单个声光偏转的平行激光分束装置及调节方法 |
| CN113219683B (zh) * | 2021-04-12 | 2023-06-02 | 华中科技大学 | 一种基于单个声光偏转的平行激光分束装置及调节方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2947920B2 (ja) | 1999-09-13 |
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