JPH02190257A - 両面研磨装置用キャリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、両面研磨装置に用いるキャリアに係り、特に
加工終了時に上定盤を開放した際の、上定盤へのキャリ
アの付着防止に関するものである。

（従来の技術） 両面研磨装置は、第３図に示すように、下定盤ｌと上定
盤２の対向面にそれぞれ研磨布３，４を貼付け、これら
の研磨布３，４の間に、第４図に示すように、キャリア
５の孔６に被加工物７を嵌入して入れ、被加工物７を上
下定盤゛２，１の研磨布４，３で挾圧しつつ研磨剤供給
口８から研磨剤を供給し、キャリア５を太陽歯車９およ
びインターナル歯車１０によって自公転させつつ上下定
盤２１を回転させて、被加工物７の上下両面を研磨する
ようになっている。

（発明が解決しようとする課題） ところで、研磨終了時に上定盤２を図示しないシリンダ
などの昇降装置によって上降させると、キャリア５が研
磨剤の表面張力によって上定盤２の研磨布４側に付着し
て持ち上げられることがある。これは、キャリア５がエ
ポキシガラス等の比較的軽い材料で作られ、かつ薄く広
い面積を有しているためであり、下定盤１側に残るもの
と、上定盤２側に付着して持ち上げられるものの割合は
不定である。上定盤２側に付着して持ち上げられたキャ
リア５は、途中で落下して下にある被加工物７にダメー
ジを与え、また上定盤２からはがして下定盤１側にセッ
トし直す手間を要すると共に、キャリア５に対する被加
工物７の搬出入の自動化を困難にしているなどの問題が
あった。

本発明は、上定盤側に付着して持ち上げられることがな
く、確実に下定盤側に残すことのできる両面研磨装置用
キャリアを提供することを目的としている。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 前記の目的を達成するための本発明は、キャリアの上下
面を、上下定盤の研磨布に対する付着力が異なるように
形成したものである。

（作　用） キャリアを両面研磨装置にセットする際、研磨布に対す
る付着力が小さい方を上にするのみで、上定盤を開いた
とき、キャリアは上定盤に付着して持ち上げられること
がなくな抄、確実に下定盤側に残される。

（実施例） 以下本発明の一実施例につき第１図ないし第２図を参照
して説明する。１１はキャリアで、従来のキャリア５と
同様の被加工物嵌入用の貫通した孔１２を有している。

キャリア１１の上面°中央には、孔１２と若干間隔を保
って円形の凹所１３が形成され、この凹所１３の中心に
小径の貫通孔１４が明けられている。また、キャリア１
１の上面外周寄りには、同じく孔１２と若干間隔を保っ
て該孔１２の間にそれぞれ矩形の凹所１５が形成され、
これらの凹所１５内にも小径の貫通孔１６が明けられて
いる。

次いで本キャリア１１の作用について説明する。

キャリア１１は、第３図に示したキャリア５と同様に、
例えば被加工物７の厚さが２間程度の場合、１．５１１
ＩＩＩ程度と、被加工物７の厚さより若干薄い厚さに設
定されている。しかしながら、研磨布３゜４は若干弾性
を有するため、キャリア１１の下面はもとより上面も、
研磨布４に軽く接触するかもしくは非常にわずかなすき
間を置いて研磨布４に対向し、研磨布３，４とキャリア
１１の上下面との間には、薄い研磨剤の層が形成される
。

そこで、研磨終了時に上定盤２を上昇させると、前述し
たように研磨剤の表面張力によってキャリア１１を持ち
上げる力が作用する。しかしながら、本発明によるキャ
リア１１は、上面には凹所１３，１５を設け、研磨布３
，４にそれぞれ略密接する牛ヤリア１１の上下の表面積
に差を持たせ、上面のそれを下面のそれより小さくした
ため、前記表面張力による付着力は下面より上面の方が
小さくなり、キャリア１１は下定盤１側に残される。

本発明の効果を明確にするため、実験例を示すと、外径
が３８２　ｗｍ、厚さ１．５　ｍで、被加工物嵌入用の
直径が１３１■の孔１２を４個有するキャリア１１の上
面に、縦が７０朝、横が５０Ｗ１深さｌ）、５ｍｍの凹
所１５を４個設け、これらの凹所１５内に直径１５ｍ＋
の貫通孔１６を設けたところ、キャリア１１が上定盤２
側へ付着することは皆無となった。また、凹所１５（凹
所１３も同じ）の深さは、０．３　ｔｅａ程度あれば効
果を生ずる。そこで、凹所１３　、１５は、厚さが１ｍ
ｓ＋以下のキャリア１１にも設けることができる。

前述した実施例は、キャリア１１の上面に凹所１３．１
５を設けることにより、研磨剤の表面張力による付着力
が下面より上面の方が小さくなるようにした例を示した
が、本発明はこれに限らず、研磨剤に対する濡れ性が下
面より上面の方が小さくなるようにキャリア１１の上面
または下面に濡れ性の異なる材料のコートを施こすこと
などにより、研磨布３．４に対するキャリア１１の上下
面の付着力に差を持たせてもよい。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、上定盤を開いたとき
、キャリアを下定盤側に確実に残すことができ、このた
めキャリアの上昇・落下によって被加工物にダメージを
与えることがないと共に操作が容易になり、さらにキャ
リアに対する被加工物の搬出入の自動化が容易となる等
の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による両面研磨装置用キャリアの一実施
例を示す上面図、第２図は第１図の■■線による断面図
、第３図は従来から用いられている両面研磨装置の一例
を示す要部断面図、第４図は第３図の■−■線による断
面図である。 １・・・・・・下定盤、２・・・・・・上定盤、３，４
・・・・・・研磨布、７・・・・・・被加工物、８・・
・・・・研磨剤供給口、９・・・・・・太陽歯車、　１
ｏ・・・・・・インターナル歯車、１１・・・・・・キ
ャリア、　１２・・・・・・孔（被加工物嵌入用）、１
３　、１５・・・・・・凹所、１４　、１６・・・・・
・貫通孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対向面にそれぞれ研磨布を設けた上下定盤間にキャリア
   によつて保持された被加工物を挾圧し、研磨剤を供給し
   ながら前記上下定盤とキャリアを相対的に移動させる両
   面研磨装置用のキャリアにおいて、該キャリアの上下面
   を、前記上下定盤の研磨布に対する付着力が異なるよう
   に形成したことを特徴とする両面研磨装置用キャリア。