JPH02187118A - 圧力スイング式ガス分離装置 - Google Patents

圧力スイング式ガス分離装置

Info

Publication number
JPH02187118A
JPH02187118A JP1007930A JP793089A JPH02187118A JP H02187118 A JPH02187118 A JP H02187118A JP 1007930 A JP1007930 A JP 1007930A JP 793089 A JP793089 A JP 793089A JP H02187118 A JPH02187118 A JP H02187118A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
adsorbent
adsorbed
adsorption
adsorption tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1007930A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2755407B2 (ja
Inventor
Shinji Mihashi
三橋 晋司
Toru Ito
徹 伊東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1007930A priority Critical patent/JP2755407B2/ja
Publication of JPH02187118A publication Critical patent/JPH02187118A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2755407B2 publication Critical patent/JP2755407B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は圧力スイング法によるガス分離装置に係り、例
えば、圧力スイング法により空気中の窒素ガスを分離濃
縮するのに好適な装置に関するものである。
[従来の技術] 圧力、スイング法によるガスの分離は、吸着剤を充填し
た2つの吸着槽に対して交互に加圧混合ガスの送入(吸
着工程)と減圧排気(脱着工程)とを行なって、吸着剤
に吸着されないガスの吸着槽からの取出しと、吸着剤に
吸着されたガスの脱着排気どを交互に行なうものである
。例えば、酸素を吸着する吸着剤を用い、混合ガスとし
て空気を用いれば、空気から窒素ガスを分離して取り出
すすことかできる。
圧力スイング法により吸着槽から取出された窒素ガスの
濃度をさらに高濃度化する方法として、取出された窒素
ガス内に残留するa素ガスに対して水素ガスを添加し、
触媒により化学反応させて酸素ガスを取り除く方法と、
金属化合物の酸化還元を利用し残留酸素を取り除く方法
とが一般的に知られている(昭和61年1月15日工業
技術会発行、用井利長編「圧力スイング吸着技術集成」
159頁〜174頁参照)。
上記の方法以外では特開昭57−106504号記載の
ように吸着槽を3槽並列に設け、製品ガスの濃度を高濃
度化しているものもある。尚、上記特開昭57−106
504号は圧力スイング法による酸素ガスの濃縮の場合
のものであるが、窒素ガスの濃縮についても同様な効果
を得ることができる。
[発明が解決しようとする課題] 従来技術の項で述べた窒素ガス内に残留している酸素ガ
スに対し水素ガスを添加する方法は、水素ガスという非
常に爆発性の高いガスを使用するため危険性があり、ま
た、窒素ガスの使用量の変化に伴なう窒素ガス濃度の変
化に対し非常に微妙な水素ガスの供給コントロールが必
要となり、高濃度の窒素ガスを得るためにはどうしても
水素ガスを過剰に供給することになり、結果的に窒素ガ
2に中に水素ガスが残留するという問題がある。
金属化合物の酸化還元を利用する方法は、水素ガスのよ
うな危険なガスは使用しないが、装置が非常に複雑でか
つ高価であるという問題があるため、−船釣には処理量
の少ない小形な設備に用いられているのが実情である。
一方、特開昭57−106504号のように吸着槽の数
を多くして、窒素ガスの濃度を高濃度化する方法は、高
価な吸着剤を多量に使用することになるとともに装置自
体も大きくなるので価格的には前者の方法に比べそれほ
ど安価にはならないし、吸着便の数を多くすることによ
って、装置の信頼性上域も重要となる開閉自在弁の数が
多くなるという問題がある。(例えば、吸着槽が2μの
場合には開閉自在弁の数が7個であるのに対し、吸着槽
が3基なると開閉自在弁の数は15個と倍以上となる。
) 本発明の目的は、上記のような従来の技術の問題点を解
決し、安価な手段で高濃度な目的ガスが得られる圧力ス
イング式ガス分離装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明は、同種類の吸着剤を充填した2J!の吸着槽に
対して交互に加圧混合ガス送入工程と減圧排気工程とを
その間に均圧工程を挾んで実施し、混合ガス送入工程に
ある吸着槽において前記吸着剤で吸着可能なガス(これ
を吸着ガスという)をその吸着槽内の吸着剤に吸着させ
ると共に前記吸着剤で吸収されないガス(これを非吸着
ガスという)を該吸着槽から取り出して配管系を介して
非吸着ガス貯槽へ送り、他方、減圧排気工程にある吸着
槽においてその吸着槽内の吸着剤に吸、とされた吸着ガ
スを脱着させて該吸着槽から排気するように構成した圧
力スイング式ガス分離装置において、前記両吸着槽と非
吸着ガス貯槽とを結ぶ前記配管系に、開閉弁と前記吸着
剤と同種類の吸着剤を充填した第3の吸着槽と非吸着ガ
ス貯槽へのガス流のみを通す第1の逆止弁との直列接続
からなる第1流路系、および上記第1の逆止弁とは流れ
方向が反対の第2の逆止弁とアスピレータとの直列接続
からなる第2流路系を並列に挿入し、該アスピレータと
前記第3の吸着槽とを抽気配管で接続し、該アスピレー
タはその中を前記第2流路系を通るガスが流れるときそ
の速度エネルギーを圧力エネルギーに変換することによ
り前記抽気配管を介して前記第3の吸着槽内を減圧する
ようにしたことを特徴とする。
[作   用] 本発明の構成において、圧力スイング法による運転がな
され、2つの吸着槽より交互に取出された非吸着ガスは
、あらかじめ開状態にある開閉弁を通り、第3の吸着槽
に入り、第3の吸着槽内の吸着剤により非吸着ガス中に
残留している少量の吸着ガスが吸着され、第1逆止弁を
通り非吸着ガス貯槽に送られる。それ故に、非吸着ガス
貯槽に送られた非吸着ガスの濃度は、第3の吸着槽を有
しない従来のものに比べ当然高濃度になる。
第3の吸着槽内の吸着剤に吸着された吸着ガスは次の様
に処理される。すなわち、2つの吸着槽の均圧工程後に
非吸着ガス貯槽と該吸着槽との圧力差により非吸着ガス
貯槽内の非吸着ガスが該吸着槽へと逆流するが、この逆
流する非吸着ガスは前記第3の吸着槽を含む第1流路系
に並列に設けである第2流路系に流れ、その時のアスピ
レータにおける速度エネルギーにより第3の吸着槽内を
減圧し、第3の吸着槽内の吸着剤に吸着している吸着ガ
スを脱着させ、該吸着剤の再生を行なう。
以上説明した動作が圧力スイング法による装置の運転サ
イクル毎に行なわれるから、第3の吸着槽内の吸着剤も
吸着ガスの吸着および脱着を繰返すことになるので、結
果的には高濃度の非吸着ガスを非吸着ガス貯槽内に得る
ことができ、従来技術での問題点を解決することになる
尚、第3の吸着槽内の吸着剤より肌着された吸着ガスは
2つの吸着槽内の吸着剤に一旦再吸着され、そこから最
終的に脱着されることになる。
[実 施 例] 以下に本発明の一実施例を第1図により説明する。本実
施例は空気から窒素ガスを製造する装置としての実施例
である。
第1図において、1は空気を圧縮する圧縮機、2はアフ
タークーラー 3は空気槽兼ドレンセパレータ、4Aお
よび4Bはカーボンモレキュラーシーブに代表される吸
着剤が詰め込まれている第1吸着槽および第2吸着層、
5および6は第1、第2吸着槽4A、4I3に圧縮機1
から上記要素2゜3を経た圧縮空気を送り込むための圧
縮空気供給弁、7.8および9は第1.第2吸七槽4A
4Bから窒素ガスを取り出すため窒素ガス取出し弁兼第
1、第2吸若槽4A、4Bの圧力を均圧するための均圧
弁、10および11は第1、第2吸着槽4A、4B内の
吸着剤に吸着されたガス(主に酸素ガス)を真空ポンプ
12により減圧肌着再生するための減圧排気弁であり、
これらの弁は全て電気信号等により開閉自在な弁である
。13は第1、第2吸着槽4A、4Bから取り出し・た
窒素ガスを貯留するための製品槽である。
14.15,16,17,18および19に示すものが
本発明に基づく構成部品である。14は電気信号等によ
り開閉自在な弁であり、15は第1、第2吸着槽4A、
4Bと同様にカーボンモレキュラーシーブに代表される
吸着剤が詰め込まれている第3の吸着槽であり、1Gは
逆止弁である。
上記弁14.第3吸着槽15および逆止弁16よりなる
流路系においては、第1、第2吸着槽4A。
4Bより取り出された窒素ガスはこの逆止弁16により
窒素ガス製品槽13の力へのみ流れるよう規制される。
一方、上記流路系14,15.16に対し並列に接続さ
れたアスピレータ17および逆止弁18よりなる流路系
においては、逆止弁18により窒素ガスが窒素ガス製品
枯13から第1、第2吸右槽4A、4L3の方へのみ流
れるよう規制される。第3吸着槽15とアスピレータ1
7の間は抽気配管工9により接続されている。アスピレ
ータ17は、窒素ガス製品槽13から第1゜第2吸着槽
4A、4I3へ窒素ガスが逆止弁18およびアスピレー
タ17を通って流れる際、その速度エネルギーを圧力エ
ネルギーに変化させ、その結果、油気配管19を介して
第3吸着槽15内を減圧させる機能を有するものであり
、その部分の詳細を第2図に示す。
第2図において14.15および1Gは、人々、第1図
で説明した開閉自在弁、第3吸着槽および逆圧弁であり
、これらよりなる流路系内での窒素ガスの流れは矢印2
0に示す方向のみに流れる。
アスピレータ17および逆止弁18は、上記流路系(1
4,15,16)に並列に設けられている流路系を成し
、この流路系内での窒素ガスの流れは矢印21に示す方
向のみに流れる。そして第3吸着槽15とアスピレータ
17との間を接続する第1図で説明した抽気配管19は
、アスピレータ17内で窒素ガスの流れの方向と同じ方
向に曲げられ、その先端近くでは窒素ガスの流れを増す
ためアスピレータ17の断面積を小さくしてアスピレー
タ機能を持たせるようにしである。
この構成により、アスピレータ17および逆止弁18よ
りなる流路系に窒素ガスが流れると、その速度エネルギ
ーにより抽気配管19を介し第3吸着槽15内は負圧に
なり第3吸着槽15内の吸着剤は減゛圧再生されるよう
になっている。
以上説明した構成において第1、第2吸着槽4A、4B
を含む圧力スイング装置を運転し、第1図に示した開閉
自在弁5,6,7,8,9゜10.11および14を例
えばシーケンサ−のような゛もので制御して第3図に示
すような工程で連続的に運転していくと、結果的には空
気中の窒素ガスが濃縮分離されて窒素ガス製品槽13に
蓄えられていくのであるが、その詳細は第3図によって
説明する。
第3図において、第1段階である取出し・再生工程では
、開閉自在弁6,8,9.10および14は開状態゛に
あり、開閉自在弁5,7および11は開状態にある。圧
縮機1より送られる圧縮空気は開状態にある弁6より第
2吸着槽4Bに供給され、第2吸着槽4B内に充填され
ている吸着剤によって空気中の大部分の酸素ガスが吸着
された残りの窒素ガスが第2吸着槽4Bから取り出され
、開状態にある弁8,9および14を通って第3吸着槽
15に供給される。ここで第2吸着槽4Bより取り出さ
れた窒素ガス内に残留している少量の酸素ガスを第3の
吸着槽15内の吸着剤に吸着させて取り除くことによっ
て窒素ガスの7a度を高濃度化し、これを逆止弁16を
介し窒素ガス製品槽13に貯留する。他方、この間第1
吸2僧4A内は開状態にある弁10を介し真空ポンプ1
2によって減圧されることにより、第1吸看槽4A内に
充填されている吸着剤の再生が行なわれている。
上記の窒素ガス取出し・吸着剤再生工程の時間は窒素ガ
スの取出し工程中にある側の吸着剤(今の場合第2吸着
槽4B内の吸着剤)の吸着能力が飽和近くになるまでの
時間であり、おおよそ150秒程度である。
第2段階である均圧工程では、弁7,8,10および1
1が開状態にあり、経弁5,6,9および14が閉状態
にある。この均圧工程は、窒素ガス取出し工程にあった
第2吸着槽4B内に残留している比較的窒素に富んだガ
スを吸着剤の再生が終わった第1吸着槽4A内に移す工
程であり、圧力スイング装置においては、この均圧工程
は窒の向上を図るための有効な手段であり、大切な工程
となっていて、この均圧工程の時間は約1.5秒程度で
ある。
次の第3段階である取出し・再生工程では、弁5.7,
9,11および14が開状態にあり、弁6.8および1
0が閉状態にあり、再び取出し・再生が行なわれるが、
この第3段階では第1段階の場合とは反対に第1吸若槽
4Aが窒素ガスの取出し工程となり、第2吸着槽4Bが
吸着剤の再生工程となる。その後、第4段階として、前
記と同様に、均圧工程を行う。
以上第1段階から第4段階までの各工程を繰返すことに
なるが、第2段階である均圧工程が完了した時点での第
1、第2吸着MJ4Aおよび4B内の圧力は窒素ガス製
品槽13内の圧力より約2kg7cm’ g程度低い状
態にあるので、第3段階である取出し・再生工程が始ま
ると、開かれた弁Oおよび7を通って窒素ガス製品槽1
3から窒素ガスが第1吸着槽4Aに逆流する期間が発生
する。この期間は約4秒程度と短いものであり、且つ圧
力差が大きいので逆流による速度エネルギーは非常に大
きい。
本発明では、この窒素ガスの逆流は、先に説明したよう
に、アスピレータ17および逆止弁18を有する流路系
で行なわれるので、その速度エネルギーはアスピレータ
17により圧力エネルギーに変換され、これにより、抽
気配管工9を介して第3の吸着槽15内は減圧され、結
果的に第3の吸着槽15内の吸着剤の再生が行なわれる
ことになる。尚、窒素ガスの逆流時間中は弁14は閉状
態にあるが、この逆流が完了し次第、開状態にされ、た
だちに、窒素ガスを取出して製品槽13に導く体制に入
ることはいうまでもないことであり、第3図中の弁14
の開閉状態に示す通りである。
以上説明したように、圧力スイング装置を構成する第1
吸着槽4Aおよび第2吸2槽4Bと窒素ガス製品槽13
との間に第3の吸着槽15を設け。
圧力スイング装置を第3図に示すような工程で繰返し運
転すると、第3の吸着槽15内の吸着剤は第1、第2吸
着槽4A、4B内の吸着剤と同様に酸素ガスの吸着およ
び脱着再生を繰返すので、結果として本発明によって製
品窒素ガス濃度を高濃度にすることが可能になる。
第3の吸着槽15に充填する吸着剤の址について述べる
と、第3の吸着槽15を備えていない従来方式のもので
は窒素ガスの回収率が約30%のとき製品窒素ガス濃度
99.9%が限度であるので。
本発明実施例において製品窒素ガス濃度を100%近く
にするには、第3の吸着槽15では約0.1%(100
%−’JE1.9%) (7)残留i**を取り除イテ
ヤれば良いことになり、第3の吸着槽15に充填する吸
着剤の量は第1.第2吸2槽4A、413に充填する吸
着剤量の約1/10程度で充分である。
なお、第3の吸fi4!15内の吸着剤から脱着された
酸素ガスは2つの吸、C槽4A、4B内の吸着剤に再吸
着され、最終的に減圧排気JT’l’0.11を経て真
空ポンプ12により大気に放出される。
以上は、製品として窒素ガスを得る窒素製造装置として
の実施例であるが、第1.第2および第3吸着槽4A、
4Bおよび15に充填する吸着剤を、窒素ガスは吸着す
るが酸素ガスは吸着しないような吸着剤(例えばモレキ
ュラーシーブゼオライト)とすることにより、高濃度の
m素ガスを製品槽13中に得る装置としても本発明は実
施可能である。同様の思想に基づき、空気からアルゴン
ガスや炭酸ガス等の分離を行う装置として、又は除湿や
除臭のための装置として、又は貴ガスや危険ガスの回収
のための装置として、本発明は実施し得るものである。
[発明の効果] 本発明によれば、第3の吸着槽内の吸着剤に対し吸着ガ
スの吸着および脱着を行なわせることができるので、結
果的には圧力スイング式ガス分離装置で得られた非吸着
ガス中に残留している吸着ガスを分離し排気することが
できるので、得られる非吸着ガスの濃度を高濃度化する
ことができる。
また本発明の装置構成も従来技術に比べ簡単で安価であ
り、結果的には単価の安い分離ガスを提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す系統図、第2図は第1図
の一部拡大断面図、第3図は同実施例の圧力スイング運
転工程に伴なう各開閉自在弁の開閉状態を示す図である
。 4A、4B・・・第1、第2吸着槽 13・・・窒素ガス製品槽 14・・・開閉自在弁15
・・・第3の吸着槽  16・・・逆止弁17・・・ア
スピレータ  18・・・逆止弁19・・・抽気配管 20.21・・・流れ方向を示す矢印 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 同種類の吸着剤を充填した2基の吸着槽に対して交
    互に加圧混合ガス送入工程と減圧排気工程とをその間に
    均圧工程を挾んで実施し、混合ガス送入工程にある吸着
    槽において前記吸着剤で吸着可能なガス(これを吸着ガ
    スという)をその吸着槽内の吸着剤に吸着させると共に
    前記吸着剤で吸収されないガス(これを非吸着ガスとい
    う)を該吸着槽から取り出して配管系を介して非吸着ガ
    ス貯槽へ送り、他方、減圧排気工程にある吸着槽におい
    てその吸着槽内の吸着剤に吸着された吸着ガスを脱着さ
    せて該吸着槽から排気するように構成した圧力スイング
    式ガス分離装置において、前記両吸着槽と非吸着ガス貯
    槽とを結ぶ前記配管系に、開閉弁と前記吸着剤と同種類
    の吸着剤を充填した第3の吸着槽と非吸着ガス貯槽への
    ガス流のみを通す第1の逆止弁との直列接続からなる第
    1流路系、および上記第1の逆止弁とは流れ方向が反対
    の第2の逆止弁とアスピレータとの直列接続からなる第
    2流路系を並列に挿入し、該アスピレータと前記第3の
    吸着槽とを抽気配管で接続し、該アスピレータはその中
    を前記第2流路系を通るガスが流れるときその速度エネ
    ルギーを圧力エネルギーに変換することにより前記抽気
    配管を介して前記第3の吸着槽内を減圧するようにした
    ことを特徴とする圧力スイング式ガス分離装置。
JP1007930A 1989-01-17 1989-01-17 圧力スイング式ガス分離装置 Expired - Fee Related JP2755407B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1007930A JP2755407B2 (ja) 1989-01-17 1989-01-17 圧力スイング式ガス分離装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1007930A JP2755407B2 (ja) 1989-01-17 1989-01-17 圧力スイング式ガス分離装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02187118A true JPH02187118A (ja) 1990-07-23
JP2755407B2 JP2755407B2 (ja) 1998-05-20

Family

ID=11679243

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1007930A Expired - Fee Related JP2755407B2 (ja) 1989-01-17 1989-01-17 圧力スイング式ガス分離装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2755407B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2755407B2 (ja) 1998-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4765804A (en) PSA process and apparatus employing gaseous diffusion barriers
JP2002191925A (ja) 原料ガス分離のための圧力スイング吸着方法
JP3050881B2 (ja) 空気から酸素を分離する方法
CA2054120A1 (en) Duplex adsorption process
JP3072129B2 (ja) 塩素ガスの濃縮方法
JPS6026571B2 (ja) 気体混合物中の成分気体の割合を増大させる方法および装置
WO2014148503A1 (ja) ガス精製方法
EP0266884A2 (en) Process and apparatus for pressure swing adsorption employing gaseous diffusion barriers
US11083990B2 (en) Gas separation and recovery method and facility
US6017382A (en) Method of processing semiconductor manufacturing exhaust gases
JPH0372566B2 (ja)
JP2994843B2 (ja) 低濃度二酸化炭素の回収方法
JPH10272332A (ja) ガス分離装置及びその運転方法
JPH02187118A (ja) 圧力スイング式ガス分離装置
JPS61230715A (ja) Psa装置を使つたガス濃縮回収方法
JPH0230607A (ja) 高純度窒素の製造方法
JP3121293B2 (ja) 圧力スイング吸着方式による混合ガス分離方法
JP2948402B2 (ja) 低濃度二酸化硫黄の回収方法
JPH02283608A (ja) 一酸化炭素の分離回収方法
JPH0312307A (ja) 空気分離方法
JP2587334B2 (ja) Ch4を含まないcoガスの分離方法
EP0055962A2 (en) Repressurisation for pressure swing adsorption system
JP2012110824A (ja) Psa装置
JPS61136419A (ja) 圧力スイング吸着の選択脱着方法
JP3073061B2 (ja) 気体分離装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees