JPH02178548A - 空気調和装置および空気清浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造等の電子工業に使用される空気
調和装置に係り、特に装置配置領域および作業領域に適
性な清浄化された空気を通流する空気清浄化装置の改良
に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置等の製造においては、塵埃の混入や温度、湿
度の変化を極端に嫌う。特に、製品の高集積化に伴って
これまで以上に室内環境の高清浄度が要求されるように
なってきた。このためクリーンルームと呼ばれている作
業室は建屋内に設置される空気調和装置として構成され
ている。

一般に、クリーンルームは、トンネル構造と全面垂直層
流構造に大別され、使用目的によって選択される。

近時、省エネルギーの観点から構成される装置の特長や
稼働状況に応じた特定の装置域ごとの空調制御ができる
トンネル構造のものが注目されている。この種のクリー
ンルームとしては、例えば、特公昭５２−３１２５８号
公報に開示されたのが挙げられる。

空気調和装置は、各種の処理装置を配置する装置配置領
域と、作業者が移動する通路となると共に処理装置を操
作する作業領域と、前記内領域と隔壁を介して設けられ
、処理装置のメンテナンスを行う保全領域とに区画され
ている。

装置配置領域及び作業領域の各室の上部には超高性能フ
ィルタ（以下フィルタと称す）と７プンとから構成され
る空気Ｆｒ浄化装置が夫々独立して設けられ、ファンで
加圧した空気をフィルタにより清浄化した後、吹出口を
通して各室内に吹出すようになっている。

また、各空気清浄化装置は、建屋外又は保全領域に設置
される空気調和機にダク！・を介して接続されている。

〔発明か解決しようとする課題〕

従来の空気調和装置は、空気調和機で温度、湿度を制御
された空気（以下空調空気と称す）を空気調和機の送出
口に接続された主ダクトから各空気清浄化装置ごとに設
けられた汁岐ダクトを通して送っていた。このダクトは
空気清浄化装置を構成するケーシングと建屋天井との間
に配管されている。このような構造では、配管が複雑で
、作業性が悪く、しかも作業のために広い空間を必要と
する。本来配管のための作業空間は空気調和の制御対象
空間から見てプントスペースとなるので、広くすること
は建屋も大きくなり、ｔ！設ココスト高くなって好まし
くない、また空気清浄化装置は清浄化された空気を均一
に装置配置領域および作業領域に送らなければならない
。そのためファンから吹出される空気が流入するフィル
タ上流側の空間（グレナムチャンノりは、吹田空気が局
部的に偏らないように建屋天井方向に充分な幅をもたせ
る必要がある。特に、作業領域と装置配置領域を共通の
ファンで構成する場合には、吹出空気の偏りが大さな問
題となる。

この発明の目的は、作業室の高さを推持しつつ社屋の高
さを低くして室内を高無塵化状態で空気調和することが
できる空気調和装置を提供することにある。

この発明の他の目的は、ファンから吹出される空気を装
置配置領域と作業領域に対応したフィルタに偏りなく分
配することができる空気清浄化装置を提供することにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明は、装置配置領域と
該領域の装置を操作する作業領域を有し、前記内領域の
上部に設置された空気清浄化装置の建屋天井側に、該装
置のケーシングと上面が略面一の分散室を設け、この分
散室上面の覆い体にルーバを形成すると共に、前記分散
室をダクトを通して前記領域外に設けられた空気調和機
の送出口に接続し、該空気調和機から分散室に送られた
空調空気を、前記分散室のルーバから建屋天井と空気清
浄化装置との間に形成される空間を通して空気清浄化装
置の吸込側に通流する構成としたものである。

また、空気清浄化装置は作業領域の略中央にて分割され
て構成し、この両空気清浄化装置の接続部分に分散室が
設けられている。

更に、空気清浄化装置は装置配置領域と作業領域に空気
を送出するファンと、前記領域ごとに空気な清浄化する
フィルタが装設された第１および第２区画と、両区１１
−を仕切る隔壁に設けられたダンパと、ｅ記ファン側の
第１区画に、フィルタ側とファン吹出口、ダンパ側とを
仕切り、ファンから吹出される空気の通流口を形成した
仕切壁とから構成されている。

〔作用〕

空気調和機からの空調空気はダクトを通して分散室に送
られ、そこから空気清浄化装置と建屋天井との間に形成
された空間を通して空気？ｉ？浄化装置に流れる。この
ように、空調空気の流路として前記空間を利用している
ため、従来の施工法である各空気清浄化装置のファンま
での配管工事が不要となり、また配管工事のｌ：めの空
間の高さを確保する必要がなく、その分建屋の高さを低
くすることができる。また、空気清浄化装置は作業領域
の略中央にて公開され、該領域を含めて対向する一方の
装置配置領域と他方の装置配置領域を夫々分担するよう
に構成し、両装置の接続部分に分散室が設けられている
ため、分散室の構造が簡単となり、組立性が向上する。

更に、ファン側の第１区画に仕切壁を設けてフィルタと
の間にプレナムチャンバを形成し、このプレナムチャン
バに仕切壁の通流口を通してファンから吹出される加圧
空気が流入することにより、圧力分布に偏りがなくなり
、清ｔｐ化された空気を均一な吹田圧力で室内に吹出す
ことができる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図は、本発明の空気調和装置を半導体製造に応用した
模式的な断面図である。図において、ＡＩ！屋ｌ内に構
成しｔ；作業室、即ち空気調和装置２は、７オトリング
ラフイ装置、拡散炉、熱酸化炉等の各種の処理装置４を
配置する装置配置領域６と、作業者８が移動する通路と
なると共に処理装置１１を操作する作業領域ＩＯと、処
理装置４のメンテナンスを行う保全領域１２とに区画さ
れており、装置配置領域６との間は隔壁１４によって２
室に区分され、−刃装置配置領域６と作業領域１０とは
連続しｌ；室としてＮＲｔ、される。前記室の上部には
、空気清浄化装置１ｔ１８が設けられている。

一方、前記各領域６．ｌＯの下部には、床下排気室１５
を構成し、この床下排気室はダンパ２９を介して保全領
域１２の床下に連通されている。

空気調和機２１は、吸入口２１ａから吸引した屋外空気
を制御された温度、湿度の空気に調整して、送出口２１
ｂからダクト２３を通して後述の分散室に送る。

装置配置領域６と保全領域１２を区別する隔壁１４の下
部周囲には、開度調節機構を有する排気口２７を設け、
この排気口を通して装置配置領域と保全領域とを連通し
ている。また保全領域はダンパ２９を介して床下排気室
１５に通じており、装置配置領域および作業領域から排
出される空気（以下循環空気と称す）が流れる。そして
保全領域の室上部には空気清浄化装置に一体化された空
気混合調整装置ｆｆ１３１が設けられている。

空気清浄化装置１８は、ケーシング２０内部に装置配置
領域６と作業領域ｌＯの室上に位置してフィルタ２２．
２４が配設された第１区画２６゜第２区１１Ｊｉｉ２８
を有し、両区画の隔壁３０にはダンパ３２が設けられて
いる。第１区画２６のケーシング側面にはファン３４と
、空調空気と循環空気を混合調整した空気を上記ファン
３４に導くための空気混合調整装置３１が設けられてい
る。第２区画２８のケーシング２０には、第１図に示す
ように、作業領域ｌＯに沿う方向に断面り形の段部３６
が形成されている。そして、ケージング２０の底部には
、゛装置配置領域６と作業領域１０にＷｔ浄化された空
気を吹出す吹出口３８．４０が夫々設けられている。

空気ｌＳ浄化装置１８は、空気混合調整装ｇＩ！、３１
およびファン３４と共にユニット化されており、第２図
に示すように複数個のユニッ）　１８Ａ−１゜１８Ａ−
２，・・・　１８Ｂ−１，１８Ｂ−２，・・・を領域に
沿って接続し、両領域の上部を覆っている。作業領域の
上部では、両空気清浄化装置１８Ａ−１と１８Ｂ−１が
突き合されて接続される。そし°Ｃ１両ケーシングの段
部３６によって断面Ｕ字形の溝が形成され、この溝は開
口面を覆い体４４で覆って内部に形成される細長い空間
を空調空気の分散室４６として利用される。覆い体４４
は、第２図に示すようにルーバ４８が設けられている。

　尚、分散室４６は、第４図に示すように、第２区画２
８を形成するつ゛−シング側面全体で構成するようにし
ても良い。この場合、分散室底部は、各ケージングがら
延設された底板４２ａ、４２ｂを連結するか、あるいは
別の底板で塞いで構成することができる。

空気混合調整装置３１は各領域の床下排気室１５および
隔壁の排気口２７を通して保全領域に導かれた空気と、
天井裏に形成された流路を通し−Ｃ送られる空調空気と
を所定の割合に混合調整する。

ここでは空調空気入口に空調空気数人ダンパ５０を設け
て空調空気の取入れ量を調整するように構成されている
。

次に、上記構成の空気調和装置の作用を説明す机 空気調和！１３！２１からダクト２３を通して分散室４
６に送られた空調空気は、ルーバ４８を通って建屋ｌの
天井と空気清浄化装置１８の上面との間に形成される空
間（流路）１３を流れて空気混合調整装置３１の空調空
気取入ダンパ５０を介して取り込まれる。一方循環空気
は保全領域の室上部に開口する循環空気取込口３７から
取り込まれる。

この装置において空調空気と循環空気の混合調整した後
、ファン３４に吸い込まれる。ファン３４はケーシング
の第１区画２６に連通された吐出口３４ａから加圧空気
を第１区画２６に吹き出し、この第１区画からダンパ３
２を通して第２区画２８へと送られる。ここで、第１．
２区画は加圧空２が充満するプレナｌ、ナヤンバーを形
成する。各区画２６．２８ではフィルタ２２．２４によ
って塵埃を除去し、清浄化された空気が吹出口３８゜４
０から装置配置領域６と作業領域１０の室内に吹出され
る。内領域は床３３がすのこ状をしているため、室内を
通流する空気は適正な風速で天井から床に向かってダウ
ン７０−式に縦のＦ！Ｉ流となって流れ、室内を清浄化
する。各領域を流れＩ；空気は排気口２７から保全領域
に、一方すのこ状の床から床下排気室１５に排出される
。床下排気室１５に入った空気は、ダンパ２９を通って
保全領域１２のずのこ状の床３５から該領域に流れる。

そして、排気口２７からの空気と合流して室内を上昇し
、空気混合調整装置３１の循環空気取入ｌ１−Ｊ３７か
ら取り込まれる。調整された空気は、ファン３４、フィ
ルタ２２．２４を通って吹出口３８゜４０から室内婆こ
吹出される。

この実施例では、ダンパ２９，３２による流量を調節し
たり、ファンの加圧力を大にすることにより、装置配置
領域６の室内を流れる空気の空気圧を、作業領域１０や
保全領域１２の空気圧よりも陽圧（高い）状態にするこ
とができる。したがって、装置配置領域の空気が、差圧
によって作業領域や保全領域に流れることはあっても、
作業領域の空気が装置配置領域に流入することはない。

また装置配置領域には、空気清浄化装置１８によって清
浄化された空気が循環されて通流されるので、循環回数
の増大に伴ってフィルタ２２．２４を通る回数も増え、
その分清浄化が促進されて高清浄空気が通流されること
になる。

次に、第１区画２６の圧力分布の偏りを防止する構造を
採用した空気清浄化装置を説明する。

第５図は、ファンの吐出口３４ａ、ダンパ３２とフィル
タ２２との間に仕切壁５２を設け、この仕切壁に空気の
流入量を絞る通流口５４が形成されている。このように
、第１区画２６に仕切４！！５２を設けることによって
、仕切壁とフィルタとの間にファンからの吐出される空
気の圧力（動圧）に影響されない空間２６ａを作り出す
ことができる。なお、仕切壁は、多孔板とし、多数の小
孔によって通流口を構成してもよい。

この実施例によれば、作業領域用と装置配置領域用の空
気清浄化装置ｎを１つのファンで共用する場合、第１区
画内で局所的ｊこ高い圧力になることが防止でき、清浄
化された空気の吹出口から吹出し圧力分布が均一化され
る。

〔発明の効果〕

上述のとおり、本発明によれば、空気清浄化装置のファ
ンと空気調和機の送出口に接続された主ダクトからの分
岐ダクトにより行われていた個別の配管工事が不要とな
り、配管構造が簡略化されると共に、建屋天井と空気清
浄化装置との間に配管工事、保守用のための空間が不要
となるため、空間の高さを低くすることかでご、しかも
空間を空調空気の流路に利用できるので、建設費、維持
費の低減が図れる。

また、空気清浄化装置は、ファン側の第１区間に仕切壁
を設けたので、第１区画内のフィルタにファンの動圧が
ｒＦ用して圧力分布に偏りの生ずるのが防止でさ、清浄
化された空気の吹田圧力が均一化され、ＩＡ置領領域室
内に最適な環境を作りだすことができる。

更に、分散室を作業領域の略中央にて分別して構成した
空気清浄化装置の接続部分に設けた場合には分散室の構
造部分が少なく単純化される。

【図面の簡単な説明】

ｖｇ１図は本発明の一実施例を示す空気調和装置の模式
的な断面図、第２図は第１図Ａ−Ａから見た平面図、第
３図は分散室の拡大断面図、第１１図は空気清浄化装置
の第２実施例を示す断面図、第５図は空気清浄化装置の
第３実施例を示す断面図である。 １・・・建屋、２・・・空気調和装置、６・・・装置配
置領域、ＩＯ・・・作業領域、１２・・・保全領域、１
８・・・空気清浄化装置、４６・・・分散室、５２・・
・仕切壁代理人　弁理士　中　野　佳　直　　他Ｉ名第
２図 ノ２−−−イ泉全々貢ｊ袈

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）装置配置領域と該領域の装置を操作する作業領域
   を有し、前記両領域の上部に設置された空気清浄化装置
   の建屋天井側に、該装置のケーシングと上面が略面一の
   分散室を設け、この分散室上面の覆い体にルーバを形成
   すると共に、前記分散室をダクトを通して前記領域外に
   設けられた空気調和機の送出口に接続し、該空気調和機
   から分散室に送られた空調空気を、前記分散室のルーバ
   から建屋天井と空気清浄化装置との間に形成される空間
   を通して空気清浄化装置の吸込側に通流する構成とした
   ことを特徴とする空気調和装置。
2. （２）空気清浄化装置は作業領域の略中央にて分割され
   て構成し、この両空気清浄化装置の接続部分に分散室を
   設けたことを特徴とする請求項１記載の空気調和装置。
3. （３）装置配置領域と作業領域に空気を送出するファン
   と、前記領域ごとに空気を清浄化するフィルタが装設さ
   れた第１および第２区画と、両区画を仕切る隔壁に設け
   られたダンパと、前記ファン側の第１区画に、フィルタ
   側とファン吹出口、ダンパ側とを仕切る仕切壁とを備え
   、該仕切壁にファンから吹出される空気の通流口を形成
   したことを特徴とする空気調和装置に用いる空気清浄化
   装置。