JPH0217458A - 直流バイアス印加装置 - Google Patents
直流バイアス印加装置Info
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- JPH0217458A JPH0217458A JP63167910A JP16791088A JPH0217458A JP H0217458 A JPH0217458 A JP H0217458A JP 63167910 A JP63167910 A JP 63167910A JP 16791088 A JP16791088 A JP 16791088A JP H0217458 A JPH0217458 A JP H0217458A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2611—Measuring inductance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、インピーダンス測定における直流バイアスの
印加装置に係り、特にインダクタンス測定における直流
バイアス電流の印加装置に関する。
印加装置に係り、特にインダクタンス測定における直流
バイアス電流の印加装置に関する。
インダクタは、磁心の飽和などの原因により直流バイア
ス電流によってそのインダクタンス値を異にする。した
がって、その素子の実際の使用状態と同様の条件でイン
ダクタンスを測定したい場合、通常のインダクタンス・
メータと共に直流バイアス電源を使用している。このよ
うな測定における問題点は、被測定素子と並列に接続さ
れた直流バイアス電源に交流測定信号が流れるためイン
ピーダンス測定に誤差がＢＥしてしまうことである。
ス電流によってそのインダクタンス値を異にする。した
がって、その素子の実際の使用状態と同様の条件でイン
ダクタンスを測定したい場合、通常のインダクタンス・
メータと共に直流バイアス電源を使用している。このよ
うな測定における問題点は、被測定素子と並列に接続さ
れた直流バイアス電源に交流測定信号が流れるためイン
ピーダンス測定に誤差がＢＥしてしまうことである。
そこで、直流バイアス下のインダクタンスを測定する従
来方法について、図面を参照しながら説明する。まず従
来例の一つは、第７図（ａ）に示すように、被測定素子
と比較してインダクタンスの充分大きいインダクタ７４
をバイアス電源と被測定素子との間に接続することであ
る。インピーダンス測定器７Ｉは、端子Ｈｃ、Ｌｃから
被測定素子７２に交流電流をかけ、端子ＨＰ、ＨＬで交
流電圧を測りそのベクトル比を求めることによって被測
定素子の値を決定する一般的な測定器である。いま、端
子Ｈｃからの電流１ａＣは、端子Ｈ６おいて、被測定素
子７２を流れる電流ｉ４とバイアス電源側に流れる電流
ｉ、に分かれる。このときの分流比は、主として被測定
素子７２とインダクタ７４の比によって決定される。電
流ｉ、はキャパシタＣおよび電圧源Ｅを通ってインピー
ダンス測定器のＬＣ端子に流れ込む。測定器７１では、
（ｉ、＋ｉｅ）という電流が被測定素子７２を流れたも
のとして処理するため、測定値に誤差が生じる。この誤
差を少なくするためには、１１を少なくすればよく、そ
のためにはインダクタ７４のインダクタンスは、被測定
素子に対して非常に大きくする必要がある。例えば、測
定周波数１００ Ｈｚにおいて被測定素子の真のインピ
ーダンスが１にΩ（約１．６ Ｈ）の場合、誤差１０％
以内で測定を行いたいとすると、インダクタ７４は、そ
のおよそ１０倍の１６Ｈ以上が必要となる。さらにこの
インダクタ７４には被測定素子７２に印加したい直流電
流と同じ値の電流が流れるわけであるから、例えばバイ
アス電流がＩＯＡのときに、上記のような大きなインダ
クタンス値を有するインダクタ７４は物理的にも巨大な
ものとなってしまう欠点があった。
来方法について、図面を参照しながら説明する。まず従
来例の一つは、第７図（ａ）に示すように、被測定素子
と比較してインダクタンスの充分大きいインダクタ７４
をバイアス電源と被測定素子との間に接続することであ
る。インピーダンス測定器７Ｉは、端子Ｈｃ、Ｌｃから
被測定素子７２に交流電流をかけ、端子ＨＰ、ＨＬで交
流電圧を測りそのベクトル比を求めることによって被測
定素子の値を決定する一般的な測定器である。いま、端
子Ｈｃからの電流１ａＣは、端子Ｈ６おいて、被測定素
子７２を流れる電流ｉ４とバイアス電源側に流れる電流
ｉ、に分かれる。このときの分流比は、主として被測定
素子７２とインダクタ７４の比によって決定される。電
流ｉ、はキャパシタＣおよび電圧源Ｅを通ってインピー
ダンス測定器のＬＣ端子に流れ込む。測定器７１では、
（ｉ、＋ｉｅ）という電流が被測定素子７２を流れたも
のとして処理するため、測定値に誤差が生じる。この誤
差を少なくするためには、１１を少なくすればよく、そ
のためにはインダクタ７４のインダクタンスは、被測定
素子に対して非常に大きくする必要がある。例えば、測
定周波数１００ Ｈｚにおいて被測定素子の真のインピ
ーダンスが１にΩ（約１．６ Ｈ）の場合、誤差１０％
以内で測定を行いたいとすると、インダクタ７４は、そ
のおよそ１０倍の１６Ｈ以上が必要となる。さらにこの
インダクタ７４には被測定素子７２に印加したい直流電
流と同じ値の電流が流れるわけであるから、例えばバイ
アス電流がＩＯＡのときに、上記のような大きなインダ
クタンス値を有するインダクタ７４は物理的にも巨大な
ものとなってしまう欠点があった。
他の方法として、第７図（ロ）に示すように、インダク
タ７４の代わりに並列共振回路７６を設けることが考え
られる。共振周波数においてはＨｃ、Ｈｐ端子と被測定
素子との接続点から直流バイアス源を見たインピーダン
スは極めて大きくなるので、高確度の測定を行うことが
できるが、測定周波数が共振周波数に限定されるため汎
用性に欠けるという欠点があった。
タ７４の代わりに並列共振回路７６を設けることが考え
られる。共振周波数においてはＨｃ、Ｈｐ端子と被測定
素子との接続点から直流バイアス源を見たインピーダン
スは極めて大きくなるので、高確度の測定を行うことが
できるが、測定周波数が共振周波数に限定されるため汎
用性に欠けるという欠点があった。
ところで、直流バイアスの印加方法にはもう一つの問題
がある。第８図（ａ）は、システムの外観を示している
。該システム８１はインダクタンス測定ユニット８１と
直流バイアス電源ユニット８２とを有しており、被測定
素子は電源ユニット８２に直接またはその近傍に取り付
けられた測定端子８４に接続され、測定されるようにな
っている。
がある。第８図（ａ）は、システムの外観を示している
。該システム８１はインダクタンス測定ユニット８１と
直流バイアス電源ユニット８２とを有しており、被測定
素子は電源ユニット８２に直接またはその近傍に取り付
けられた測定端子８４に接続され、測定されるようにな
っている。
しかし、測定環境によっては、作業性を良くするため、
第８図（ｂ）のようにケーブルでプローバ８５を延長接
続することが望ましい。ところが、延長ケーブルに起因
する新たな問題を生じる。バイアス電流は矢印１１に示
すように電源８３から流れ出てバイアス・ケーブル８８
Ａを流れ、プローバ８５の被測定素子８６を通り、矢印
Ｉ２に示すようにバイアス・ケーブル８８Ｂを流れて再
び電源８３に帰る。
第８図（ｂ）のようにケーブルでプローバ８５を延長接
続することが望ましい。ところが、延長ケーブルに起因
する新たな問題を生じる。バイアス電流は矢印１１に示
すように電源８３から流れ出てバイアス・ケーブル８８
Ａを流れ、プローバ８５の被測定素子８６を通り、矢印
Ｉ２に示すようにバイアス・ケーブル８８Ｂを流れて再
び電源８３に帰る。
このため、この構成では２つの問題を生じる。第１の問
題点は、バイアス・ケーブル８８Ａ、８８Ｂ間に容量（
キャパシタンス）が形成されることである。仮にこの２
木の接続ケーブルを第９図（ａ）に示すような平行導体
であると考えると、導体間の容量、すなわちバイアス・
ケーブル間の容量Ｃは、はぼ次式で表される。
題点は、バイアス・ケーブル８８Ａ、８８Ｂ間に容量（
キャパシタンス）が形成されることである。仮にこの２
木の接続ケーブルを第９図（ａ）に示すような平行導体
であると考えると、導体間の容量、すなわちバイアス・
ケーブル間の容量Ｃは、はぼ次式で表される。
らず、作業性を悪くする。
第２の問題点は、バイアス電流１．、Ｉ２が発生させる
磁界である。バイアス・ケーブルから距離ａの点に生じ
る磁界は、次のように表される。
磁界である。バイアス・ケーブルから距離ａの点に生じ
る磁界は、次のように表される。
εｏ ＝８．８５４ ｘｌＯ−１２（Ｆ ／ ｍ
）この容ＭＣを通じて、インダクタンス・メータの測定
信号は、結合（ＡＣカップリング）し、測定誤差をより
拡大する。例えば、１ 〔ｍ〕のバイアス・ケーブル８
８Ａ、８８Ｂをぴったりと寄り合わせた場合（Ｄ′、２
ｒ）のケーブル間容量は、例えば約４０ｐＦとなり、測
定周波数Ｉ ＭＨｚで１にΩのインピーダンスを測定す
る際には、約４にΩの浮遊インピーダンスが並列に付加
されたことになるため２０％程度の測定誤差を生じる。
）この容ＭＣを通じて、インダクタンス・メータの測定
信号は、結合（ＡＣカップリング）し、測定誤差をより
拡大する。例えば、１ 〔ｍ〕のバイアス・ケーブル８
８Ａ、８８Ｂをぴったりと寄り合わせた場合（Ｄ′、２
ｒ）のケーブル間容量は、例えば約４０ｐＦとなり、測
定周波数Ｉ ＭＨｚで１にΩのインピーダンスを測定す
る際には、約４にΩの浮遊インピーダンスが並列に付加
されたことになるため２０％程度の測定誤差を生じる。
また、この容量はケーブル間の距離に大きく依存するた
め、測定再現性を向上させようとすると２本のケーブル
８８Ａ、８８Ｂを何らかの態様で固定しなければなμｏ
＝４ｚＸ１０−’ （Ｈ／ｍ）これが、他の機器を
誤動作させるなどの理由により製品規格を満足しないこ
とがある。例えば、２０（Ａ）のバイアス電流を供給し
ている際、ケーブルから距ＨＩ Ｃ１の点にできる磁界
はケーブル−本につきＢ ＝ ４ Ｘｌ０−’ （Ｗｂ
／ｍ” ）すなわち４ガウスになる。さらに第９図に示
す点Ｐにおいてはケーブル−本の場合に２倍、すなわち
８ガウスの磁界ができる。
め、測定再現性を向上させようとすると２本のケーブル
８８Ａ、８８Ｂを何らかの態様で固定しなければなμｏ
＝４ｚＸ１０−’ （Ｈ／ｍ）これが、他の機器を
誤動作させるなどの理由により製品規格を満足しないこ
とがある。例えば、２０（Ａ）のバイアス電流を供給し
ている際、ケーブルから距ＨＩ Ｃ１の点にできる磁界
はケーブル−本につきＢ ＝ ４ Ｘｌ０−’ （Ｗｂ
／ｍ” ）すなわち４ガウスになる。さらに第９図に示
す点Ｐにおいてはケーブル−本の場合に２倍、すなわち
８ガウスの磁界ができる。
上記問題点に対し、第９図（ロ）に示すように、各ケー
ブル８８Ａ、８８Ｂをシールド９Ｉによりシールドすれ
ば、ケーブル間容量の発生を防止するこ・とができるが
、磁界の発生については防止することができないという
欠点があった。
ブル８８Ａ、８８Ｂをシールド９Ｉによりシールドすれ
ば、ケーブル間容量の発生を防止するこ・とができるが
、磁界の発生については防止することができないという
欠点があった。
また第９図（Ｃ）に示すように、同軸ケーブル９３を使
用すれば、バイアス電流は心線９３ａおよび外被９３ｂ
をそれぞれ反対方向に流れるのでケーブルの外側に磁界
は発生しない。しかし、逆に心線９３ａおよび外被９３
ｂ間の容量が大きくなってしまうという欠点があった。
用すれば、バイアス電流は心線９３ａおよび外被９３ｂ
をそれぞれ反対方向に流れるのでケーブルの外側に磁界
は発生しない。しかし、逆に心線９３ａおよび外被９３
ｂ間の容量が大きくなってしまうという欠点があった。
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされ
たものであって、その目的とするところは、直流バイア
ス下のインピーダンス測定、とりわけインダクタンス測
定において、交流カット用の大きなインダクタンスを使
用する必要をなくし、これによって装置の小型化および
コストダウンを図り、測定精度を飛躍的に向上させるこ
とである。
たものであって、その目的とするところは、直流バイア
ス下のインピーダンス測定、とりわけインダクタンス測
定において、交流カット用の大きなインダクタンスを使
用する必要をなくし、これによって装置の小型化および
コストダウンを図り、測定精度を飛躍的に向上させるこ
とである。
また他の目的は、測定周波数に依存せず、全ての周波数
に渡って高い測定精度を維持することを可能にすること
である。さらに他の目的は、測定精度を低下させずに、
インピーダンス測定装置および直流バイアス電源からフ
ィクスチュアまでケーブルを用いて延長することを可能
にすることである。また他の目的は、大きな直流バイア
ス電流により発生する磁束を防止することである。さら
に他の目的は、通常のインピーダンス測定器を使用して
、とりわけ、接続方法として優れた４端子対法を使用す
ることが可能なインピーダンス測定器を使用することが
できるようにすることである。
に渡って高い測定精度を維持することを可能にすること
である。さらに他の目的は、測定精度を低下させずに、
インピーダンス測定装置および直流バイアス電源からフ
ィクスチュアまでケーブルを用いて延長することを可能
にすることである。また他の目的は、大きな直流バイア
ス電流により発生する磁束を防止することである。さら
に他の目的は、通常のインピーダンス測定器を使用して
、とりわけ、接続方法として優れた４端子対法を使用す
ることが可能なインピーダンス測定器を使用することが
できるようにすることである。
また他の目的はインピーダンス測定器に一切の変更を加
えないで測定システムを構成できるようにすることであ
る。
えないで測定システムを構成できるようにすることであ
る。
要するに本発明（第Ｉ発明）は、
インピーダンスを測定する被測定素子に対して直流バイ
アスを印加する装置において、 前記被測定素子の一方の端子と接続点との間に接続され
た少なくとも一つのインピーダンス性装置と、前記接続
点と前記被測定素子の他の一方の端子との間に接続され
た少なくとも一つのインピーダンス性装置とを具備して
おり、 且つ前記インピーダンス性装置の少なくとも一つは直流
バイアス電源であり、 前記接続点は、ガード線、シールド線等の前記被測定素
子以外を流れる交流測定電流のインピーダンス測定に対
する影響を除去するための接続線に接続されていること
を特徴とするものである。
アスを印加する装置において、 前記被測定素子の一方の端子と接続点との間に接続され
た少なくとも一つのインピーダンス性装置と、前記接続
点と前記被測定素子の他の一方の端子との間に接続され
た少なくとも一つのインピーダンス性装置とを具備して
おり、 且つ前記インピーダンス性装置の少なくとも一つは直流
バイアス電源であり、 前記接続点は、ガード線、シールド線等の前記被測定素
子以外を流れる交流測定電流のインピーダンス測定に対
する影響を除去するための接続線に接続されていること
を特徴とするものである。
また、本発明（第２発明）は、
インピーダンスを測定する被測定素子に対して直流バイ
アスを印加する装置において、 第１の往復線路の第１の端部に接続された第１のインピ
ーダンス性装置と、第２の往復線路の第１の端部に接続
された第２のインピーダンス性装置とを備え、 前記第１のインピーダンス性装置および前記第２のイン
ピーダンス性装置のうち少なくとも一方は直流バイアス
電源であり、 前記第１の往復線路の一方の線路の第２の端部は前記被
測定素子の一方の端子に接続されており、前記第２の往
復線路の一方の線路の第２の端部は前記被測定素子の他
の一方の端子に接続されており、 前記第１の往復線路の他の一方の線路の第２の端部と前
記第２の往復線路の他の一方の線路の第２の端部とは互
いに接続されており、且つガード線、シールド線等の前
記被測定素子以外を流れる交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線に接続され
ていることを特徴とするものである。
アスを印加する装置において、 第１の往復線路の第１の端部に接続された第１のインピ
ーダンス性装置と、第２の往復線路の第１の端部に接続
された第２のインピーダンス性装置とを備え、 前記第１のインピーダンス性装置および前記第２のイン
ピーダンス性装置のうち少なくとも一方は直流バイアス
電源であり、 前記第１の往復線路の一方の線路の第２の端部は前記被
測定素子の一方の端子に接続されており、前記第２の往
復線路の一方の線路の第２の端部は前記被測定素子の他
の一方の端子に接続されており、 前記第１の往復線路の他の一方の線路の第２の端部と前
記第２の往復線路の他の一方の線路の第２の端部とは互
いに接続されており、且つガード線、シールド線等の前
記被測定素子以外を流れる交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線に接続され
ていることを特徴とするものである。
また、本発明（第３発明）は、
前記第２発明において、前記第１の往復線路および前記
第２の往復線路を、同軸ケーブルにしたことを特徴とす
るものである。
第２の往復線路を、同軸ケーブルにしたことを特徴とす
るものである。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
まず、第４図の回路図をもとにして本発明の詳細な説明
する。インピーダンス測定器４１は、第７図の従来例に
おいて説明したインピーダンス測定器７１と同様の物で
ある。被測定素子たるインダクタ４２には、インピーダ
ンス性装置の一例たる２個の直流バイアス電源４３Ａ、
４３Ｂが接続されており、それら直流バイアス電源４３
Ａ、４３Ｂによって直流バイアス電流ＩＤＣが供給され
る。一方、インピーダンス測定器のＨｃ端子からの測定
信号電流１０は、端子Ｈ，において、被測定素子４２の
インピーダンスと電源４３Ａ、４３Ｂのインピーダンス
（主にインダクタＬ１のインピーダンス）との比によっ
て分流され、被測定素子には電流ｉａが流れ、電源側に
は電流ｉｂが流れる。次にｉｂはキャパシタＣ１または
電圧源Ｅ１を通り、接続点Ｇにおいて、ガード線４５に
流れ込む電流ｉｂＩと電源４３Ｂ側へ流れる電流へ２と
に分流される。このｉｂｚは、第７図の従来例と同様に
測定値の誤差を生じさせる原因となるが、ここで１１と
ｉｂｔとの分流比に注目すると、この分流比はほぼガー
ド４５のインピーダンスＺ、とインダクタＬ２のインピ
ーダンスとの比で決まっており、ＺＧは実際の装置にお
いて実質上はとんど０Ωに近い値にすることができるた
め、！ ｂｚ／ ｉｂｔ 、０ （すなわちｉｂｚ’
；Ｏ）とすることが可能である。したがって、Ｌｃに流
れ込む電流は、（Ｌ ＋ ｆｉｚ）’＝ ｌａとなり、
極めて誤差の少ないバイアス印加が実現できる。例えば
、測定周波数において被測定素子のインピーダンスが１
にΩ、Ｌ、Ｌ、のインピーダンスがともに１００Ωであ
る場合、仮にガードインピーダンスＺｃ、−１０ｍΩあ
ったとしても！ ｂｚ／ ！ ｂ、”ｉ ｌ Ｏ程度で
あるため、直流バイアス電源による誤差は０．１％とな
る。さらに、ガードインピーダンスＺＧは、周波数に依
存しないため、広い周波数領域にわたって（ｉゎ、／ｉ
ｂ、）Ｌ＝、０となる。
する。インピーダンス測定器４１は、第７図の従来例に
おいて説明したインピーダンス測定器７１と同様の物で
ある。被測定素子たるインダクタ４２には、インピーダ
ンス性装置の一例たる２個の直流バイアス電源４３Ａ、
４３Ｂが接続されており、それら直流バイアス電源４３
Ａ、４３Ｂによって直流バイアス電流ＩＤＣが供給され
る。一方、インピーダンス測定器のＨｃ端子からの測定
信号電流１０は、端子Ｈ，において、被測定素子４２の
インピーダンスと電源４３Ａ、４３Ｂのインピーダンス
（主にインダクタＬ１のインピーダンス）との比によっ
て分流され、被測定素子には電流ｉａが流れ、電源側に
は電流ｉｂが流れる。次にｉｂはキャパシタＣ１または
電圧源Ｅ１を通り、接続点Ｇにおいて、ガード線４５に
流れ込む電流ｉｂＩと電源４３Ｂ側へ流れる電流へ２と
に分流される。このｉｂｚは、第７図の従来例と同様に
測定値の誤差を生じさせる原因となるが、ここで１１と
ｉｂｔとの分流比に注目すると、この分流比はほぼガー
ド４５のインピーダンスＺ、とインダクタＬ２のインピ
ーダンスとの比で決まっており、ＺＧは実際の装置にお
いて実質上はとんど０Ωに近い値にすることができるた
め、！ ｂｚ／ ｉｂｔ 、０ （すなわちｉｂｚ’
；Ｏ）とすることが可能である。したがって、Ｌｃに流
れ込む電流は、（Ｌ ＋ ｆｉｚ）’＝ ｌａとなり、
極めて誤差の少ないバイアス印加が実現できる。例えば
、測定周波数において被測定素子のインピーダンスが１
にΩ、Ｌ、Ｌ、のインピーダンスがともに１００Ωであ
る場合、仮にガードインピーダンスＺｃ、−１０ｍΩあ
ったとしても！ ｂｚ／ ！ ｂ、”ｉ ｌ Ｏ程度で
あるため、直流バイアス電源による誤差は０．１％とな
る。さらに、ガードインピーダンスＺＧは、周波数に依
存しないため、広い周波数領域にわたって（ｉゎ、／ｉ
ｂ、）Ｌ＝、０となる。
なお、第４図による原理の説明において、バイアス電源
回路は、図示のようにインダクタ、キャパシタ、電圧源
によって構成されるものとして説明したが、もちろんこ
れに限定されるものではない。例えば、インダクタの代
わりに抵抗器を使用する、電圧源の代わりに電流源を使
用する、あるいはキャパシタを使用しない、あるいは電
流源のみを使用するというような構成が代替例として考
えられる。
回路は、図示のようにインダクタ、キャパシタ、電圧源
によって構成されるものとして説明したが、もちろんこ
れに限定されるものではない。例えば、インダクタの代
わりに抵抗器を使用する、電圧源の代わりに電流源を使
用する、あるいはキャパシタを使用しない、あるいは電
流源のみを使用するというような構成が代替例として考
えられる。
さらに、第４図においては、２つのバイアス電源回路が
直列に接続されているものとして説明したが、これに限
定されるものでなく、２つのインピーダンス性装置のう
ち少なくとも一方がパイアスミ源回路であればよい。例
えば、端子４８ａ、４８ｂへ、バイアス電源４３Ａの代
わりに、インダクタや抵抗器のみを接続してもよい。あ
るいは、電圧源Ｅ１またはＥ２の電圧がＯ（Ｖ）である
場合を考えてもよい。重要なことは、互いに直列に接続
されており且つ少なくとも一方が直流バイアス電源であ
る複数のインピーダンス装置の間の、ガードが接続され
る共通接続点において、充分大きな分流比が得られるよ
うにすることであり、種々の変形が可能であることは当
業者には明らかであろう。
直列に接続されているものとして説明したが、これに限
定されるものでなく、２つのインピーダンス性装置のう
ち少なくとも一方がパイアスミ源回路であればよい。例
えば、端子４８ａ、４８ｂへ、バイアス電源４３Ａの代
わりに、インダクタや抵抗器のみを接続してもよい。あ
るいは、電圧源Ｅ１またはＥ２の電圧がＯ（Ｖ）である
場合を考えてもよい。重要なことは、互いに直列に接続
されており且つ少なくとも一方が直流バイアス電源であ
る複数のインピーダンス装置の間の、ガードが接続され
る共通接続点において、充分大きな分流比が得られるよ
うにすることであり、種々の変形が可能であることは当
業者には明らかであろう。
但し、出願人が、最良であると考えるのは、電流源を直
列に接続したものなので、以下の実施例においては、電
流源を図示するものとする。
列に接続したものなので、以下の実施例においては、電
流源を図示するものとする。
なおここで、添付図面に使用する記号について付言する
。これらの記号で表現された構成要素は、必ずしも理想
的なもの、例えば電流源においてはインピーダンスωの
電流源を意味するものではなく、実際のデバイスを図示
の都合上簡略化して表現したものである。同様に、添付
図面における導線は、等価回路表現における抵抗Ｏを意
味する部分と、実際の電線・ケーブルのシンボルとして
僅かなインピーダンスを有するものであることを意味す
る部分とを含む。これらの区別は、本明細書の全趣旨か
ら当業者には容易に理解できるものと思われる。
。これらの記号で表現された構成要素は、必ずしも理想
的なもの、例えば電流源においてはインピーダンスωの
電流源を意味するものではなく、実際のデバイスを図示
の都合上簡略化して表現したものである。同様に、添付
図面における導線は、等価回路表現における抵抗Ｏを意
味する部分と、実際の電線・ケーブルのシンボルとして
僅かなインピーダンスを有するものであることを意味す
る部分とを含む。これらの区別は、本明細書の全趣旨か
ら当業者には容易に理解できるものと思われる。
次に、第５図の実施例を参照しながら、本発明の特徴に
ついてより詳細に説明する。図面には、いわゆる５端子
法により接続されたインピーダンス測定器５１及び被測
定素子５２が示されている。被測定素子５２に電流を供
給する電線、被測定素子５２の電圧を測定するための電
線はそれぞれシールド（ガード）５７Ａ乃至５７Ｄによ
ってガードされており、浮遊容量による電流はこれらガ
ードを流れるので測定値に影響しないため、高インピー
ダンスの測定に有効である。２個のバイアス電流源５３
Ａ。
ついてより詳細に説明する。図面には、いわゆる５端子
法により接続されたインピーダンス測定器５１及び被測
定素子５２が示されている。被測定素子５２に電流を供
給する電線、被測定素子５２の電圧を測定するための電
線はそれぞれシールド（ガード）５７Ａ乃至５７Ｄによ
ってガードされており、浮遊容量による電流はこれらガ
ードを流れるので測定値に影響しないため、高インピー
ダンスの測定に有効である。２個のバイアス電流源５３
Ａ。
５３Ｂは、同軸ケーブル５４Ａ、５４Ｂによって、被測
定素子５２に接続される。同軸ケーブル５４Ａおよび５
４Ｂの外部導体は、導線５５によってそれぞれ互いに接
続されており、さらにそれらは導線５８によってガード
５７に接続されている。直流バイアス電流１１）Ｃは、
バイアス電流源５３Ａから順に、同軸ケーブル５４Ａの
心線、被測定素子５２、同軸ケーブル５４Ｂの心線、バ
イアス電流源５３Ｂ、同軸ケーブル５４Ｂの外被線、導
線５５、同軸ケーブル５４Ａの外被線、バイアス電流源
５３Ａ、という経路を通る。
定素子５２に接続される。同軸ケーブル５４Ａおよび５
４Ｂの外部導体は、導線５５によってそれぞれ互いに接
続されており、さらにそれらは導線５８によってガード
５７に接続されている。直流バイアス電流１１）Ｃは、
バイアス電流源５３Ａから順に、同軸ケーブル５４Ａの
心線、被測定素子５２、同軸ケーブル５４Ｂの心線、バ
イアス電流源５３Ｂ、同軸ケーブル５４Ｂの外被線、導
線５５、同軸ケーブル５４Ａの外被線、バイアス電流源
５３Ａ、という経路を通る。
一方、交流測定信号ｔａｃは、端子Ｈ４でＬとｉｄとに
分流され、１＋、はさらに導線５８を通ってガード５７
側に流れる電流ｉｂ＋と、電源５３Ｂ側に流れる電流１
１とに分流される。上記の説明と同様この分流比は、回
路のインピーダンス比によって決まるので、ｉｂｚζ０
となり、ｉｂはほとんど全てガード５７に流れるので、
インピーダンス測定器５１の電流検出部には被測定素子
５２を流れた電流ｉ４のみが検出される。ここで、注目
すべきことは、同軸ケーブル５４Ａ、５４Ｂの外被線と
ガード５７との間の接続の距離を短くすることができる
、即ち導線５８の長さを短くすることができるので、ｉ
ｂＩとｉｂｚとの分流比を極めて大きくすることができ
るということである。
分流され、１＋、はさらに導線５８を通ってガード５７
側に流れる電流ｉｂ＋と、電源５３Ｂ側に流れる電流１
１とに分流される。上記の説明と同様この分流比は、回
路のインピーダンス比によって決まるので、ｉｂｚζ０
となり、ｉｂはほとんど全てガード５７に流れるので、
インピーダンス測定器５１の電流検出部には被測定素子
５２を流れた電流ｉ４のみが検出される。ここで、注目
すべきことは、同軸ケーブル５４Ａ、５４Ｂの外被線と
ガード５７との間の接続の距離を短くすることができる
、即ち導線５８の長さを短くすることができるので、ｉ
ｂＩとｉｂｚとの分流比を極めて大きくすることができ
るということである。
次に、本願出願人が最良のものであると考える実施例の
一つを説明する。第１図は、本発明を、４端子対法によ
るインピーダンス測定において適用したものを示す。測
定電流は、交流電源１１から同軸ケーブル６Ａの中心導
体を通って被測定素子（ＯＵＴ）２に流れ、電流計１３
を通る。同軸ケーブル６Ｄ及び同軸ケーブル６Ａの外部
導体は、この電流の帰路を形成する。往路・帰路の電流
のバランスがとれていれば、同軸ケーブルの中心導体と
外部導体とによって生じる磁束は互いに打ち消しあい、
したがって同軸ケーブル間の相互インダクタンスによっ
て生じる測定誤差が避けられる。
一つを説明する。第１図は、本発明を、４端子対法によ
るインピーダンス測定において適用したものを示す。測
定電流は、交流電源１１から同軸ケーブル６Ａの中心導
体を通って被測定素子（ＯＵＴ）２に流れ、電流計１３
を通る。同軸ケーブル６Ｄ及び同軸ケーブル６Ａの外部
導体は、この電流の帰路を形成する。往路・帰路の電流
のバランスがとれていれば、同軸ケーブルの中心導体と
外部導体とによって生じる磁束は互いに打ち消しあい、
したがって同軸ケーブル間の相互インダクタンスによっ
て生じる測定誤差が避けられる。
前記バランスが崩れると、被測定素子２の端子Ｌ４に接
続された零電位検出増幅器１５に誤差電流が流れ、増幅
された誤差電流が０になるまで、電流計１３側にフィー
ドバックされる。これにより端子Ｌ４と同軸ケーブル６
Ｇ、６Ｂの外部導体との間の電位差はＯになるので、電
圧計１２は、端子り、と端子Ｈ４との間の電圧を測定す
ることになる。直流バイアス電源３Ａ、３Ｂと被測定素
子２との接続は、第５図の実施例とほぼ同様となってい
る。但し、注意すべきことは、第５図における５７はシ
ールド線として使用されるものであって、導線５日はこ
のシールドに対する接続をおこなうものであるのに対し
て、第１図における同軸ケーブル６Ａは中心導体・外部
導体にそれぞれ逆方向の同一電流を流すためのものであ
って、導線８は中心導体から流れ出た電流を外部導体に
還流させるためのものであるという点において相違する
ことである。
続された零電位検出増幅器１５に誤差電流が流れ、増幅
された誤差電流が０になるまで、電流計１３側にフィー
ドバックされる。これにより端子Ｌ４と同軸ケーブル６
Ｇ、６Ｂの外部導体との間の電位差はＯになるので、電
圧計１２は、端子り、と端子Ｈ４との間の電圧を測定す
ることになる。直流バイアス電源３Ａ、３Ｂと被測定素
子２との接続は、第５図の実施例とほぼ同様となってい
る。但し、注意すべきことは、第５図における５７はシ
ールド線として使用されるものであって、導線５日はこ
のシールドに対する接続をおこなうものであるのに対し
て、第１図における同軸ケーブル６Ａは中心導体・外部
導体にそれぞれ逆方向の同一電流を流すためのものであ
って、導線８は中心導体から流れ出た電流を外部導体に
還流させるためのものであるという点において相違する
ことである。
第２図は、第１図の実施例を適用したシステムの外観を
示す。テストフィクスチュア１６は、端子Ｈ４用コンタ
クト１６Ｈと端子ＨＬ用のコンタクト１６Ｌとを備えて
おり、それぞれ直流カット用コンデンサを介してケーブ
ル６Ａ乃至６Ｄの中心導体に接続されている。また、導
線８による同軸ケーブル４Ａと同軸ケーブル６Ａとの接
続も、テストフィクスチュア１６内でなされている。
示す。テストフィクスチュア１６は、端子Ｈ４用コンタ
クト１６Ｈと端子ＨＬ用のコンタクト１６Ｌとを備えて
おり、それぞれ直流カット用コンデンサを介してケーブ
ル６Ａ乃至６Ｄの中心導体に接続されている。また、導
線８による同軸ケーブル４Ａと同軸ケーブル６Ａとの接
続も、テストフィクスチュア１６内でなされている。
第３図に電流源３Ａ、３Ｂを構成する電源装置の終段の
回路図を示す、３１Ａ、３１Ｂは、パワーＭＯ３ＦＥＴ
である。制御電圧入力端子３２Ａ。
回路図を示す、３１Ａ、３１Ｂは、パワーＭＯ３ＦＥＴ
である。制御電圧入力端子３２Ａ。
３２Ｂには、絶対値が等しく互いに逆極性の制御電圧が
、従来技術によって構成することができる制御電圧発生
回路（図示せず）によって印加される。 直流バイアス
電流の大きさは、 ■。ｃ ＝ Ｖ＋／Ｒ−、、□ のようになる。
、従来技術によって構成することができる制御電圧発生
回路（図示せず）によって印加される。 直流バイアス
電流の大きさは、 ■。ｃ ＝ Ｖ＋／Ｒ−、、□ のようになる。
次に、第１図および第２図の実施例の動作を説明する。
直流バイアス電流は、電流源３Ａから順に、ケーブル４
Ａの中心導体→被測定素子２→ケーブル４Ｂの中心導体
→電流源３Ｂ→ケーブル４Ｂの外部導体→導線５→ケー
ブル４Ａの外部導体→電流源３Ａの経路を流れる。同軸
ケーブル４Ａ及び４Ｂの、それぞれ中心導体及び外部導
体を流れる電流の大きさは等しいので、ケーブル外部に
磁束は生じない。
Ａの中心導体→被測定素子２→ケーブル４Ｂの中心導体
→電流源３Ｂ→ケーブル４Ｂの外部導体→導線５→ケー
ブル４Ａの外部導体→電流源３Ａの経路を流れる。同軸
ケーブル４Ａ及び４Ｂの、それぞれ中心導体及び外部導
体を流れる電流の大きさは等しいので、ケーブル外部に
磁束は生じない。
電源１１からの交流測定信号は、端子Ｈ４で一部が電流
ｉｃとして分流され、ケーブル４Ａの中心導体へと流れ
る。ケーブル４Ａの中心導体・外部導体間の容量などの
りアクタンスを介してケーブル４Ａの外部導体を戻って
きた電流は、導線８の電流ｉｃ＋と導線５の電流ｉｃｚ
とに分流される。しかし、分流点から見た導線５例のイ
ンピーダンスは導線８側に比較して極めて大きい。すな
わち、導線５は電流源３Ｂに接続されているのに対して
、導線８はケーブル６Ａの外部導体に直接接続されてお
り、しかもフィクスチュア１６内で接続されているため
導線８自体極めて短い、これにより１ｃｚ＝Ｏ Ｉ Ｃ，＝ｌ Ｃ となる。
ｉｃとして分流され、ケーブル４Ａの中心導体へと流れ
る。ケーブル４Ａの中心導体・外部導体間の容量などの
りアクタンスを介してケーブル４Ａの外部導体を戻って
きた電流は、導線８の電流ｉｃ＋と導線５の電流ｉｃｚ
とに分流される。しかし、分流点から見た導線５例のイ
ンピーダンスは導線８側に比較して極めて大きい。すな
わち、導線５は電流源３Ｂに接続されているのに対して
、導線８はケーブル６Ａの外部導体に直接接続されてお
り、しかもフィクスチュア１６内で接続されているため
導線８自体極めて短い、これにより１ｃｚ＝Ｏ Ｉ Ｃ，＝ｌ Ｃ となる。
電流計１３は、被測定素子２に流れる交流測定信号ｉ４
のみを測定するので、ｉｃの影響を全く受けず精確な測
定が可能である。
のみを測定するので、ｉｃの影響を全く受けず精確な測
定が可能である。
上記実施例においては、２対の往復線路を介して直列接
続された２つの電流源間の共通接続点とガードとの接続
が、被測定素子の近傍で行われるものとして説明したが
、かならずしもこれに限定されるものではなく、２つの
バイアス電源間の共通接続点から比較的長く延長するこ
ともできる。
続された２つの電流源間の共通接続点とガードとの接続
が、被測定素子の近傍で行われるものとして説明したが
、かならずしもこれに限定されるものではなく、２つの
バイアス電源間の共通接続点から比較的長く延長するこ
ともできる。
また、直流バイアス供給用ケーブルは必ずしも同軸ケー
ブルを使用しなくてもよく、磁界の発生が問題にならな
い場合には、単線や平行電線を使用してもよい。また、
上記実施例においてインピーダンス測定器と、被測定素
子の両端子との間には、直流遮断用コンデンサが設けら
れている。このコンデンサの位置は、第１図のように被
測定素子の近傍のフィクスチュアの内でもよく、第４図
のようにインピーダンス測定器４１の外部且つその近傍
でもよい。また第５図のように直流遮断用コンデンサ５
６Ａ乃至５６Ｄを具備したインピーダンス測定器５１で
はそれを利用できる。但し、直流遮断用コンデンサは本
発明の実施例に必要不可欠なものではない。
ブルを使用しなくてもよく、磁界の発生が問題にならな
い場合には、単線や平行電線を使用してもよい。また、
上記実施例においてインピーダンス測定器と、被測定素
子の両端子との間には、直流遮断用コンデンサが設けら
れている。このコンデンサの位置は、第１図のように被
測定素子の近傍のフィクスチュアの内でもよく、第４図
のようにインピーダンス測定器４１の外部且つその近傍
でもよい。また第５図のように直流遮断用コンデンサ５
６Ａ乃至５６Ｄを具備したインピーダンス測定器５１で
はそれを利用できる。但し、直流遮断用コンデンサは本
発明の実施例に必要不可欠なものではない。
さらに、第６図に別実施例を示す。第１図の実施例と同
一の構成部分には同一の符号を付し、詳細な説明は省略
する。本実施例は、第１図の実施例に加えて保護回路６
０を備えている。直流バイアス電源３Ａ、３Ｂの電流の
大きさに一時的に差異が生じると装置に過度の負担がか
かり、測定器等を破損・劣化させる恐れがある。保護回
路６０は、端子Ｈ４へ流入する直流電流と端子Ｌ４から
吸い込む直流電流とを等しくするためのものであって、
いわゆるアクティブ・インダクタンス回路からなる。６
３は、制？Ｉｌ電源である。この回路図を第６図［有］
）に示す。これにより端子り、の直流電位に対応して、
端子Ｌ４から吸い込む電流を増減するようになっている
。
一の構成部分には同一の符号を付し、詳細な説明は省略
する。本実施例は、第１図の実施例に加えて保護回路６
０を備えている。直流バイアス電源３Ａ、３Ｂの電流の
大きさに一時的に差異が生じると装置に過度の負担がか
かり、測定器等を破損・劣化させる恐れがある。保護回
路６０は、端子Ｈ４へ流入する直流電流と端子Ｌ４から
吸い込む直流電流とを等しくするためのものであって、
いわゆるアクティブ・インダクタンス回路からなる。６
３は、制？Ｉｌ電源である。この回路図を第６図［有］
）に示す。これにより端子り、の直流電位に対応して、
端子Ｌ４から吸い込む電流を増減するようになっている
。
以上のように、本発明の詳細な説明したが、本発明は直
流バイアス電源から被測定素子までケーブルで延長する
場合にのみ適用されるものではないことは言うまでもな
い。例えば、第８図（ａ）のようなシステムに適用して
も、多大な効果を発揮することは容易に理解されるもの
と思われる。
流バイアス電源から被測定素子までケーブルで延長する
場合にのみ適用されるものではないことは言うまでもな
い。例えば、第８図（ａ）のようなシステムに適用して
も、多大な効果を発揮することは容易に理解されるもの
と思われる。
本発明は、上記のように構成され、作用するものである
から、直流バイアス下のインピーダンス測定、とりわけ
インダクタンス測定において、交流遮断用の大きなイン
ダクタを使用する必要がなくなり、これによって装置が
小型化し、測定精度が飛躍的に向上するという効果が得
られる。また、測定周波数に依存せず、全ての周波数に
わたって高い測定精度を維持することが可能になるとい
う効果を奏する。さらに、測定精度を低下させずに、イ
ンピーダンス測定装置および直流バイアス電源からフィ
クスチュアまでケーブルを用いて延長することが可能と
なる効果が得られる。また、直流バイアス電流が供給さ
れるケーブルからの磁束の発生が防止されるという効果
が得られる。また、４端子対法によるインピーダンス測
定における、直流バイアス電流の印加にも適用すること
ができるという効果が得られる。さらにインピーダンス
測定器に一切の変更を加えずに測定システムが提供でき
るという効果が得られる。
から、直流バイアス下のインピーダンス測定、とりわけ
インダクタンス測定において、交流遮断用の大きなイン
ダクタを使用する必要がなくなり、これによって装置が
小型化し、測定精度が飛躍的に向上するという効果が得
られる。また、測定周波数に依存せず、全ての周波数に
わたって高い測定精度を維持することが可能になるとい
う効果を奏する。さらに、測定精度を低下させずに、イ
ンピーダンス測定装置および直流バイアス電源からフィ
クスチュアまでケーブルを用いて延長することが可能と
なる効果が得られる。また、直流バイアス電流が供給さ
れるケーブルからの磁束の発生が防止されるという効果
が得られる。また、４端子対法によるインピーダンス測
定における、直流バイアス電流の印加にも適用すること
ができるという効果が得られる。さらにインピーダンス
測定器に一切の変更を加えずに測定システムが提供でき
るという効果が得られる。
第１図乃至第６図は本発明の実施例に係り、第１図は第
１実施例に係る直流バイアス印加装置を示す電気回路図
、第２図は第１実施例の外観を示す斜視図、第３図は第
１実施例の直流バイアス電流源の終段部の電気回路図、
第４図は本発明の詳細な説明するための電気回路図、第
５図は第２実施例に係る電気回路図、第６図は第３実施
例に係る電気回路図、第７図は従来の測定方法を示す電
気回路図、第８図は第７図の従来例の外観を示す斜視図
、第９図は従来例の問題点を説明するためのケーブルの
斜視図である。 ２、４２．５２：被測定素子、 Ｈｄ：被測定素子の一方の端子、Ｇ：接続点、Ｌｄ：被
測定素子の他の一方の端子、 ３Ａ、 ３ Ｂ、 ４３Ａ、 ４３Ｂ、 ５３Ａ、
５３Ｂ ：インピーダンス性装置の一例たる直流バイア
ス電源、４５．５７ ：交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線の一例たる
ガード線（シールド線）、 ６Ａ、６Ｂ、６Ｃ，６Ｄ：交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線たる、４＠
子対接続法における外部導体を有する同軸ケーブル、 ４Ａ、５４Ａ：第１の往復線路たる同軸ケーブル、４Ｂ
、５４Ｂ：第２の往復線路たる同軸ケーブル。 出願人 横河・ヒユーレット・パッカード株式会社代理
人 弁理士 長 谷 川 次 男ＤｕＴへ ＩＧ 手 続 補 正 書 （方ヱ０ 昭和６３年１り月／乙日 ■。 事件の表示 昭１ｕ６３年 特許願 第１６７９１０号 ２、発明の名称 直流バイアス印加装置 ３゜ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 へチオウジ シ タカクラ 住所 東京都 八王子型 高倉町 ９番 １号コゴ１
７ 名称横河・ヒユーレット・パッカード株式会社９１
才会 ケシ ゾウ 代表者 取締役社長 笹 岡 健 三５゜ 補正命令の日付 昭和６３年０９月２７日 （全送日） ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、８（ｂ） 手 続 主型 正 書 昭和６３年１り月／ｂ口 １、事件の表示 昭和６３年 特許側 第１６７９１０号 ２、発明の名称 直流バイアス印加装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ハチオウジ ン タカクラ 住所 東京都 へ王子市 高倉町 ９番 １号ヨゴガ
ソ 名称横河・ヒユーレット・パッカード株式会社１サ
才力 クン ゾウ 代表者 取締役社長 笹 岡 健 三５、補正命令の
日付 昭和 年 月 日 （自発） 「ＩＯ２ （ａ） （訂正） ｌ）
１実施例に係る直流バイアス印加装置を示す電気回路図
、第２図は第１実施例の外観を示す斜視図、第３図は第
１実施例の直流バイアス電流源の終段部の電気回路図、
第４図は本発明の詳細な説明するための電気回路図、第
５図は第２実施例に係る電気回路図、第６図は第３実施
例に係る電気回路図、第７図は従来の測定方法を示す電
気回路図、第８図は第７図の従来例の外観を示す斜視図
、第９図は従来例の問題点を説明するためのケーブルの
斜視図である。 ２、４２．５２：被測定素子、 Ｈｄ：被測定素子の一方の端子、Ｇ：接続点、Ｌｄ：被
測定素子の他の一方の端子、 ３Ａ、 ３ Ｂ、 ４３Ａ、 ４３Ｂ、 ５３Ａ、
５３Ｂ ：インピーダンス性装置の一例たる直流バイア
ス電源、４５．５７ ：交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線の一例たる
ガード線（シールド線）、 ６Ａ、６Ｂ、６Ｃ，６Ｄ：交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線たる、４＠
子対接続法における外部導体を有する同軸ケーブル、 ４Ａ、５４Ａ：第１の往復線路たる同軸ケーブル、４Ｂ
、５４Ｂ：第２の往復線路たる同軸ケーブル。 出願人 横河・ヒユーレット・パッカード株式会社代理
人 弁理士 長 谷 川 次 男ＤｕＴへ ＩＧ 手 続 補 正 書 （方ヱ０ 昭和６３年１り月／乙日 ■。 事件の表示 昭１ｕ６３年 特許願 第１６７９１０号 ２、発明の名称 直流バイアス印加装置 ３゜ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 へチオウジ シ タカクラ 住所 東京都 八王子型 高倉町 ９番 １号コゴ１
７ 名称横河・ヒユーレット・パッカード株式会社９１
才会 ケシ ゾウ 代表者 取締役社長 笹 岡 健 三５゜ 補正命令の日付 昭和６３年０９月２７日 （全送日） ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、８（ｂ） 手 続 主型 正 書 昭和６３年１り月／ｂ口 １、事件の表示 昭和６３年 特許側 第１６７９１０号 ２、発明の名称 直流バイアス印加装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ハチオウジ ン タカクラ 住所 東京都 へ王子市 高倉町 ９番 １号ヨゴガ
ソ 名称横河・ヒユーレット・パッカード株式会社１サ
才力 クン ゾウ 代表者 取締役社長 笹 岡 健 三５、補正命令の
日付 昭和 年 月 日 （自発） 「ＩＯ２ （ａ） （訂正） ｌ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ インピーダンスを測定する被測定素子に対して直流
バイアスを印加する装置において、 前記被測定素子の一方の端子と接続点との間に接続され
た少なくとも一つのインピーダンス性装置と、前記接続
点と前記被測定素子の他の一方の端子との間に接続され
た少なくとも一つのインピーダンス性装置とを具備して
おり、且つ前記インピーダンス性装置の少なくとも一つ
は直流バイアス電源であり、 前記接続点は、ガード線、シールド線等の前記被測定素
子以外を流れる交流測定電流のインピーダンス測定に対
する影響を除去するための接続線に接続されていること
を特徴とする直流バイアス印加装置。 ２ インピーダンスを測定する被測定素子に対して直流
バイアスを印加する装置において、 第１の往復線路の第１の端部に接続された第１のインピ
ーダンス性装置と、第２の往復線路の第１の端部に接続
された第２のインピーダンス性装置とを備え、 前記第１のインピーダンス性装置および前記第２のイン
ピーダンス性装置のうち少なくとも一方は直流バイアス
電源であり、 前記第１の往復線路の一方の線路の第２の端部は前記被
測定素子の一方の端子に接続されており、前記第２の往
復線路の一方の線路の第２の端部は前記被測定素子の他
の一方の端子に接続されており、 前記第１の往復線路の他の一方の線路の第２の端部と前
記第２の往復線路の他の一方の線路の第２の端部とは互
いに接続されており、且つガード線、シールド線等の前
記被測定素子以外を流れる交流測定電流のインピーダン
ス測定に対する影響を除去するための接続線に接続され
ていることを特徴とする直流バイアス印加装置。 ３ 前記第１の往復線路および前記第２の往復線路は、
同軸ケーブルであることを特徴とする請求項２に記載の
直流バイアス印加装置。 ４ 前記被測定素子以外を流れる交流測定電流のインピ
ーダンス測定に対する影響を除去するための接続線は、
４端子対接続法における同軸ケーブルの外部導体である
ことを特徴とする請求項１又は２又は３に記載の直流バ
イアス印加装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63167910A JP2945015B2 (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 直流バイアス印加装置 |
| US07/374,117 US5014012A (en) | 1988-07-06 | 1989-06-30 | D.C. biasing apparatus |
| GB8915357A GB2220756B (en) | 1988-07-06 | 1989-07-04 | D.c biasing apparatus |
| KR1019890009607A KR0136791B1 (ko) | 1988-07-06 | 1989-07-06 | Dc바이어싱장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63167910A JP2945015B2 (ja) | 1988-07-06 | 1988-07-06 | 直流バイアス印加装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217458A true JPH0217458A (ja) | 1990-01-22 |
| JP2945015B2 JP2945015B2 (ja) | 1999-09-06 |
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