JPS6349727Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子部品または電子回路の２端子間の
電気的性質を正確に測定できるプローブに関する
ものである。

従来、電子部品および電子回路の２端子間のイ
ンピーダンスのような電気的性質を測定するため
の測定器と端子を接続するプローブは、１端子ご
とに１本のケーブルを有していた。前記２端子間
に駆動電流を流し、２端子間に発生する信号を検
出する場合には駆動電流を流すケーブルと信号を
検出するケーブルが共通に用いられた。従つて駆
動電流による雑音およびプローブに用いるケーブ
ルのインピーダンスによりプローブ内で発生する
信号が２端子間に発生する信号に重畳し、正確な
測定を困難にしていた。特に２端子間が低インピ
ーダンスの場合には、プローブに用いるケーブル
のインピーダンスが２端子間のインピーダンスよ
り大きくなることもしばしばあり、測定値に大き
な誤差をもたらしていた。

プローブに用いるケーブルのインピーダンスの
影響を除く測定方法として、４端子法と呼ばれる
測定方法がある。４端子法においては駆動電流用
の端子２個と信号検出用の端子２個とを用意し
て、駆動電流を流すケーブルと信号を検出するケ
ーブルとを分離することによつて、プローブに用
いるケーブルのインピーダンスの影響を取り除く
ものである。しかしながら、すべての電子部品、
電子回路において４端子を設けることは難しい。
端子の面積が大きい場合にはひとつの端子に駆動
電流を流すケーブルと信号を検出するケーブルを
両方同時に接触させることも可能であるが、集積
回路のボンデイング端子のように端子の面積が非
常に小さい場合には４端子法による測定ができな
い場合が多い。また、駆動電流を流すケーブル２
本と信号を検出するケーブル２本のあわせて計４
本を端子に接触させるため、測定に長時間がかか
る欠点があつた。

４端子法で低インダクタンスを測定する場合に
は、駆動電流に高周波電流を用いて、信号検出用
の２端子間に発生する信号を大きくするような配
慮が必要であるが、駆動電流が高周波になると各
ケーブル間の浮遊容量の影響が大きくなり信号を
検出するケーブルと駆動電流を流すケーブルとの
間の浮遊容量による結合により、正確に信号を検
出することが困難であつた。

本考案は、２端子間の電気的性質を測定する際
に、プローブ自身のインピーダンスの影響が無視
できる浮遊容量の小さいプローブを提供するもの
で、電子部品または電子回路の２端子間のインピ
ーダンスのような電気的性質を測定するために測
定器と前記２端子とを接続するプローブにおい
て、前記２端子に対応した２点の端子接触点が、
非磁性の材料で固定された非磁性の材料からなる
２組の駆動線と検出線の結合部からなり、前記各
駆動線と前記各検出線を前記測定器に接続するケ
ーブルを有することを特徴とするものである。

以下、本考案の実施例を図面により詳細に説明
する。

第１図は本考案の一実施例を示すもので、１お
よび２は駆動線、３および４は検出線、５および
６は端子接触点、７は駆動線１，２および検出線
３，４を固定する樹脂、８および９は駆動電流源
と駆動線を接続するケーブル、１０および１１は
検出線と検出器とを接続するケーブルである。

第１図において、２端子間の電気的性質を測定
するために流す駆動電流はケーブル８，９および
駆動線１，２を通り、端子接触点５，６より被測
定電子部品または電子回路の２端子間を流れる。
前記駆動電流によつて前記２端子間に発生する電
圧を検出線３，４およびケーブル１０，１１を通
して検出器により測定すれば前記２端子間のイン
ピーダンスを知ることができる。

第１図に示した本考案によるプローブは、駆動
線１と検出線３および駆動線２と検出線４とが一
体化されており、その対が樹脂７により固定され
ているので、端子接触点５，６の間隙が変化せ
ず、同種の電子部品あるいは電子回路の２端子間
の測定を繰返し行なう場合においては、２端子を
同時に接触させることができ、測定を迅速に行な
うことができる。また樹脂７は絶縁材料であり、
非磁性体なので、駆動線と検出線の短絡を防ぎ、
これらのインピーダンスを増加させない材料であ
る。さらに端子接触点５，６の面積が小さいの
で、電子部品あるいは電子回路の端子の面積が小
さい場合にも容易に測定が可能となる。

また、第１図において駆動線１，２および検出
線３，４はりん青銅やタングステンのような非磁
性のバネ性の高いあるいは硬い金属が適してお
り、非磁性であるために高周波電流を用いた測定
でも誘導磁界による影響を最小限に押えることが
でき、また耐摩耗性に秀れているので測定回数が
多くなつても形状にほとんど変化が無く、交換の
頻度が少なくて経済的である。

第２図は、駆動線１，２および検出線３，４を
電気的にシールドした場合の実施例であり、１２
は良導体のシールドである。

第２図において、駆動線１，２と検出線３，４
との間にシールド１２があるため、駆動線１，２
に高周波電流を流した場合でも駆動線１，２と検
出線３，４との浮遊容量による電気的結合は小さ
い。従つて、被測定２端子間が低インダクタンス
で駆動線に高周波電流を流さざるを得ない場合に
おいても正確な測定を行なうことができる。

第３図は、駆動線１と検出線３および駆動線２
と検出線４とのそれぞれの対を電気的にシールド
した場合の実施例である。シールド１２により駆
動線１，２相互および検出線３，４相互の浮遊容
量による電気的結合を小さくすることができる。

第４図は駆動線１，２および検出線３，４を１
本ずつ電気的にシールドした場合の実施例であ
る。駆動線１，２と検出線３，４との浮遊容量に
よる電気的結合も、駆動線１，２相互および検出
線３，４相互の浮遊容量による電気的結合も小さ
くすることができる。

第５図は本考案によるプローブを用いた定電流
駆動のインピーダンス測定における電気的等価回
路であり、１３は駆動線１のインピーダンス、１
４は駆動線２のインピーダンス、１５は検出線３
のインピーダンス、１６は検出線４のインピーダ
ンス、１７は被測定２端子間のインピーダンス、
１８はケーブル８のインピーダンス、１９はケー
ブル９のインピーダンス、２０はケーブル１０の
インピーダンス、２１はケーブル１１のインピー
ダンス、２２は駆動電流源、２３は検出器であ
る。

第５図において、検出器２３の内部インピーダ
ンスは被測定２端子間のインピーダンス１７より
はるかに大きいので、駆動電流源２２より供給さ
れる電流１０１はほとんど被測定２端子間を流れ
る。駆動電流源の内部インピーダンスは無限大と
考えて良いほど大きいので電流１０１は駆動線１
のインピーダンス１３、駆動線２のインピーダン
ス１４、ケーブル８のインピーダンス１８、ケー
ブル９のインピーダンス１９および被測定２端子
間のインピーダンス１７に依存しない。電流１０
１によつて被測定２端子間に発生する電圧１０２
は、検出器２３の内部インピーダンスが、検出線
３のインピーダンス１５、検出線４のインピーダ
ンス１６、ケーブル１０のインピーダンス２０、
ケーブル１１のインピーダンス２１および被測定
２端子間のインピーダンス１７に比較してはるか
に大きいので、これが検出器２３に加わる。従つ
て電流１０１および電圧１０２より容易に被測定
２端子間のインピーダンス１７を求めることがで
きる。

このように本考案によるプローブを用いること
により、電子部品または電子回路の２端子間のイ
ンピーダンスなどの電気的性質を迅速に正確に測
定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるプローブの一実施例を示
す斜視図、第２図、第３図および第４図はそれぞ
れ駆動線および検出線を電気的にシールドした場
合の実施例を示す斜視図、第５図は本考案による
プローブを用いた測定における電気的等価回路で
ある。図中１および２は駆動線、３および４は検
出線、５および６は端子接触点、８および９は駆
動電流源と駆動線を接続するケーブル、１０およ
び１１は検出器と検出線を接続するケーブル、１
２はシールド、１３および１４は駆動線のインピ
ーダンス、１５および１６は検出線のインピーダ
ンス、１７は被測定２端子間のインピーダンス、
１８〜２１はケーブルのインピーダンス、２２は
駆動電流源、２３は検出器、１０１は電流、１０
２は電圧である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電子部品または電子回路の２端子間と測定器
   を接続するプローブにおいて、前記２端子に対
   応した２点の端子接触点が、非磁性の材料で固
   定された非磁性の材料からなる２組の駆動線と
   検出線の結合部からなり、前記各駆動線と前記
   各検出線を前記測定器に接続する４本のケーブ
   ルを有することを特徴とするプローブ。 (2) 駆動線と検出線間の一部またはすべての間に
   電気的シールドを有することを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項に記載のプローブ。