JPH02169075A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、搬入した被洗浄物を洗浄して搬出する洗浄装
置に関する。

［従来の技術］ 従来、この種のものとして特開昭５５−９９３７５号公
報には被洗浄物をロータリハンガに収納し、これを粗洗
浄槽、超音波洗浄槽および蒸気洗浄槽に順次搬送する洗
浄装置が提案されている。

さらに実開昭６３−１３２９０号公報には、洗浄槽に浸
漬した無端コンベアに沿って洗浄物を搬送して洗浄する
洗浄装置が提案されている。

［発明が解決しようとする課題］ 従来技術においては、主として洗浄液で洗浄する方法で
あったなめ、被洗浄物に強力に付着した実物を完全に除
去することができない問題点があった０例えば刃物など
においてはその製造工程で研摩を施すものであるが、研
摩時には微小なｎ物が研摩によって形成された酒に付着
してしまう、このような強力に付着した異物は従来のよ
うな洗浄液による洗浄では除去できないものであった。

また近年電子部品産業で多量に用いる実開昭６３−１４
４９５３号公報などで知られるシリコンウェーハ、ＩＣ
基板などにおいても同様な問題点を有する。さらに洗浄
液を用いて乾燥させる工程で洗浄液の後が残るなどの問
題点もあった。

そこで、本発明は、強力に付着した異物を確実に除去で
きる洗浄装置を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、被洗浄物を搬入手段と洗浄手段と搬出手段に
１頓次搬送して洗浄する洗浄装置において、前記被洗浄
物に清浄な圧縮空気を吹き付ける清浄手段を前記洗浄手
段と搬出手段の間に設けたものである。

［作　用］ 洗浄手段で洗浄された被洗浄物に清浄な圧縮空気を吹き
付けることによって、被洗浄物に付着していた異物は圧
縮空気圧によって除去できる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を添付図面を参照して説明する
。

１は４０〜５０℃の温水ＩＡを収容したし−タ２を備え
た粗洗浄槽、３は超音波洗浄槽であり、ヒータ４と超音
波振動子５を備えられており、中性洗剤等界面活性材１
５％を水８５％に加えた８０〜９５℃の洗浄液３Ａが収
容されている。６は水洗洗浄槽であり、常温の水６Ａが
収容されている。７はヒータ７Ａを備えた熱湯洗浄槽で
あり、熱湯７Ｂが収容されている。

また８は熱風乾燥装置であり、熱交換器９の上方に設け
た３段切替ファン９Ａがフード９Ｂに対向して装着され
ている。

そして、洗浄工程を形成する粗洗浄槽１、超音波洗浄槽
３、水洗洗浄槽６、熱湯洗浄槽７および熱風乾燥装置８
に被洗浄物Ａが順次搬送されるようにチェーンなどによ
って搬入手段と搬出手段を形成する搬送＃１１０が形成
されている。この搬送１ｉ４１０はスプロゲット等案内
部材１１を介して懸装されており、この搬送７１１０に
は被洗浄物Ａを複数並設して師持する治具１２を保持す
る磁性体からなるバスゲット１３が所定間隔毎に吊設さ
れている。また粗洗浄槽１の外側には被洗浄物Ａ、ひい
ては治具１２を出入れする出入口３３Ａが設けられてい
る。

さらに熱湯洗浄槽７による洗浄工程と熱風乾燥装置８に
よる乾燥工程の間には清浄工程を形成する清浄室１５が
設けられて前記被洗浄物Ａか搬送路１０に沿って収容さ
れるようになっている。この清浄室１５には圧縮空気噴
出用のノズル１６が設けられている。そして前記清浄室
１５の壁面に装着したエアシリンダ、油圧シリンダなど
の進退駆動装置１７に設けたロッド１８の先端に前記ノ
ズル１６が装着されており、このノズル１６は進行時に
は一方向へ斜設し、また後退時には他方向へ斜設して被
洗浄物Ａの全面に圧縮空気が吹き付けられるように電磁
石、モータなどの回転装置１９が設けられている。前記
ノズル１６にはフィルター装置２０を介してコンプレッ
サなどの圧縮空気タンク（図示せず）が接続されており
、このフィルター装置２０はエリミネータ部２１とフィ
ルター部２２を有し、前記エリミネータ部２１は編んだ
網目状の特殊ステンレスワイヤを集合させた４ミクロン
の集合体２３を収納させたものであり、水分、油分等異
物は圧縮空気とともにステンレスワイヤ中に渦巻して流
入して９９．９％の異物が除去される。そしてこの４ミ
クロン以下の水滴を含む圧縮空気は時速３２０〜４８０
ｋｎでフィルタ一部２２へ流入し、そして木綿とステン
レスワイヤで編んだ０゜００１ミクロンのフィルターで
ある集合体２４に渦巻して流入し、該集合＃、２４内に
微細な渦を多数形成せしめる。

このときの通過速度は時速３２．０００〜４８．０００
　ｋｌとなり、竜巻と同じ櫟に中心が真空状態となって
ＶＯＲＴＥＸ　　ＡＣＴＩＯＮが生ずる。この結果水蒸
気は完全にガス化して気化し、０．００１μｍに濾過で
き、圧縮空気は不純物と水分のない状態でノズル１６へ
供給される。

また清浄室１５にはバスケット１３の位置決め装置２５
が設けられる。この位置決め装置２５は圧縮空気を吹き
付けた際、吊設されたバスケット１３が動かないように
するためのものであり、清浄室１５の所定位置に突出し
たロッド２６の先端に電磁石２７が設けられている。尚
２８は制ｏ１１箱、２９は前記搬送路１０の駆動装置で
あり、モータ３０、減速装置３０Ａを介して搬送路１０
に接続している。３１は非常停止用のトルクリミッタ−
５３２はフレーム３３を支承する架台、３４はドレンバ
ルブ、３５は超音波洗浄槽３に接続した濾過装置、３６
は水洗洗？ｐ槽６に接続した撹拌ボンダである。ｔ、た
前記界面活性剤としては、クエン酸アンモニウムを主成
分としてＰＨ７の精密洗浄剤（商品名　クイッゲンＭ！
−７１０．製造者　佐々木化学株式会社）などがある。

次に前記棺成につきその作用を説明する。

出入口３３Ａより治具１２とともに被洗浄物Ａをパスゲ
ット１３に移せると所定の時間毎に移動および停止を繰
り返す搬送り＠１０に沿って被洗浄物Ａは粗洗浄楕１に
より粗洗浄され、超音波洗浄槽３により界面活性剤を利
用して超音波洗浄され、水洗洗浄槽６によってすすぎ洗
いされ、さらに熱湯洗浄槽７により熱湯洗浄されて洗浄
工程が完了する。

このように洗浄された被洗浄物Ａが清浄室１５に降下す
ると電磁石２７に通電開始されてバスケット１３が磁力
によって固定される。同時にロッド１８が伸びて５〜８
Ｋｏ／ｄ　　、好ましくは６〜７ＫＱ／−の清浄な空気
が被洗浄物Ａの一方に吹き付けられる。さらにロッド１
８の後退時にはノズル１６の向きがかわって被洗浄！ｔ
＋！ＩＡの他方に圧縮空気が吹き付けられる。この際、
被洗浄物Ａの表面に付着していた水滴のみならず異物は
圧縮空気によって吹き飛ばされて除去できる。この後、
電磁石２７は非通電状態となってバスケット１３は上昇
して熱風乾燥装置８により乾燥され、そして出入口３３
Ａより取り出されるというものである。

以上のように、前記実施例においては、洗浄工程を施し
た被洗浄物Ａに清浄な圧縮空気を吹き付けて強力に付着
した異物や水滴を物理的に除去できることによって、よ
り精密な仕上りを行うことができる。

さらにノズル１６に供給する圧縮空気はエリミネータ部
２１で水分や油を９９．９％除去し、さらにフィルタ一
部２２で異物をＶＯＲＴＥＸＡＣＴＩＯＮにより除去さ
れるため清浄な圧縮空気を被洗浄物Ａに吹き付けして格
段に仕上げを向上できる。

尚、本発明は前記実施例に限定されるものてはなく、例
えば電磁石を装着したロッドを進退駆動装置によって進
退させてもよく、また固定装置はバスケットの固定では
なく治具あるいは被洗浄物を直接挾持して固定するよう
なものでもよい等挿々の変形が可能である。

また実施例では被洗浄物を人手により搬入。

搬出したものを示したが、自動供給装置、自動収出装置
などによって搬入、搬出してもよい、しかも実施Ｐ１で
はｒａ界活性剤を用いたが、水道水、ｒ過水あるいは純
水のみを利用して洗浄してもよい。

［発明の効果］ 本発明は、被洗浄物を搬入手段と洗浄手段と搬出手段に
順次搬送した洗浄装置において、前記洗浄手段と搬出手
段との間に、被洗浄物に清浄な圧縮空気を吹き付ける清
浄手段を設けたことにより、洗浄手段では除去できなか
った異物を圧縮空気によって強制的に除去でき、洗浄の
仕上りを格段に向上することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示しており、第１図は装置全
体の縦断面図、第２図は同平面図、第３区は同側面図、
第４図はフィルター装置の断面図、第５図はバスクツｌ
−廻りの斜視図である。 １・・・１洗浄槽（洗浄手段） ３・・・超音波洗浄！（洗浄手段） ６・・・水洗洗浄槽（洗浄手段） ７・・・熱湯洗浄槽（洗浄手段） １０・・・搬送路（搬入手段１ｍ出手段）１５・・・清
浄室（清浄手段） Ａ・・・被洗浄物 許　　出　　願　人 有限会社宮路工業 埋 人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被洗浄物を搬入手段と洗浄手段と搬出手段 に順次搬送して洗浄する洗浄装置において、前記被洗浄
   物に清浄な圧縮空気を吹き付ける清浄手段を前記洗浄手
   段と搬出手段の間に設けたことを特徴とする洗浄装置。