JPH02164745A - 炭素膜被覆光ファイバの製造方法 - Google Patents

炭素膜被覆光ファイバの製造方法

Info

Publication number
JPH02164745A
JPH02164745A JP63318043A JP31804388A JPH02164745A JP H02164745 A JPH02164745 A JP H02164745A JP 63318043 A JP63318043 A JP 63318043A JP 31804388 A JP31804388 A JP 31804388A JP H02164745 A JPH02164745 A JP H02164745A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon film
optical fiber
carbon
coated optical
reaction tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63318043A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Kinoshita
栄司 木下
Yoshikazu Matsuda
松田 美一
Masayuki Nishimoto
西本 征幸
Kunio Ogura
邦男 小倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP63318043A priority Critical patent/JPH02164745A/ja
Publication of JPH02164745A publication Critical patent/JPH02164745A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C25/00Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
    • C03C25/10Coating
    • C03C25/12General methods of coating; Devices therefor
    • C03C25/22Deposition from the vapour phase
    • C03C25/223Deposition from the vapour phase by chemical vapour deposition or pyrolysis
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C25/00Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
    • C03C25/10Coating
    • C03C25/104Coating to obtain optical fibres
    • C03C25/106Single coatings
    • C03C25/1061Inorganic coatings
    • C03C25/1062Carbon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、ハーメチックコートとして炭素膜を被覆した
炭素膜被覆光ファイバの製造方法に関するものである。
[従来技術] 光ファイバへの水分侵入による特性劣化を防ぐため、光
ファイバの表面にハーメチックコートとして炭素膜を被
覆した炭素膜被覆光ファイバが提案されている。この炭
素膜被覆光ファイバの一般的な方法は、炭化水素ガスを
流した反応管内に光ファイバを通し、該反応管をヒータ
により加熱し、炭化水素ガスの熱分解で生じた炭素が、
加熱された光ファイバの表面に析出し、炭素膜を形成す
る、所謂CVO<化学気相)法を応用した方法がとられ
ている。
[発明が解決しようとする課題1 しかしながら、反応管内に充満した炭化水素ガスが熱分
解すると、炭素の一部が反応管内空間で粉体として析出
し、光フアイバ表面に形成された炭素膜に付着或いは結
合する。これら炭素粉体の付着は、炭素膜表面に凹凸を
生じさけ、光ファイバを芯線化する際に樹脂の被覆がで
きなくなり、光フアイバ芯線の機械的強度の劣化の原因
となっている。
本発明の目的は、炭素膜表面に付着する炭素粉体を除去
できる炭素膜被覆光ファイバの製造方法を提供すること
にある。
[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するための本発明の詳細な説明すると
、本発明の炭素膜被覆光ファイバの製造方法は、光ファ
イバを炭化水素ガスで満たした高温の反応管内に通し、
前記炭化水素ガスを熱分解して前記光ファイバの表面に
炭素膜を被覆して炭素膜被覆光ファイバを得た後、前記
炭素膜を加熱して該炭素膜の表面に付着している炭素粉
体を焼結或いは燃焼することを特徴とする。
[作用コ このように炭素膜を加熱すると、該炭素膜の表面に付着
している炭素粉体が焼結或いは燃焼されて除去される。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
第1図は、本発明の方法を実施する装置の第1実施例を
示したものである。図において、1は処理すべき光ファ
イバ、2は該光ファイバ1を通してその表面に炭素膜を
被覆して炭素膜被覆光ファイバIAを得るための反応管
、3は反応管2内に原料ガスを導入するガス導入口、4
は反応管2内から反応後の生成ガスを排出させる排気口
、5は反応管2の外部に設けられて内部の加熱を行う赤
外線ヒータ又は抵抗加熱ヒータ等のヒータである。
6は反応管2の後段に設けられて炭素膜被覆光ファイバ
1Aを通して炭素膜の表面に付着している炭素粉体を除
去するための後処理管、7は後処理管6内へ不活性ガス
或は該不活性ガスと酸素とが一定の比率で混合された混
合ガスを供給するガス導入口、8は後処理管6から排ガ
スを排出させる排気口、9は後処理管6内を加熱する高
周波加熱コイルである。
次に、このような装置を用いた本実施例の炭素膜被覆光
ファイバの製造方法について説明する。
反応管2内には光ファイバ1を通す。反応管2内には、
原料ガスとして炭化水素ガスを供給し、該反応管2内を
炭化水素ガスで充満させる。該反応管2内をヒータ5で
加熱すると、加熱された光ファイバ1の表面で炭化水素
ガスが水と炭素に分解され、炭素が光ファイバ1の表面
に付着し、炭素膜を形成する。かくして、炭素膜被覆光
ファイバ1Aが得られる。このとき、炭化水素ガスの一
部は、ヒータ5により直接加熱され、光ファイバ1の近
傍で熱分解され、炭素粉体が析出され、該炭素粉体が炭
素膜の表面に付着する。
炭素粉体が付着した炭素膜被覆光ファイバ1Δは、次に
後処理管6に通す。後処理管6内には、窒素ガスの如き
不活性ガス或いは該窒素ガスの如き不活性ガスと酸素と
を一定比率で混合した混合ガスをガス導入ロアより導入
して充満させる。かかるガス雰囲気中で炭素膜被覆光フ
ァイバ1Aの炭素膜の表面に付着している炭素粉体を高
周波加熱コイル9で加熱する。
後処理管6内に不活性ガスのみを導入している場合には
、炭素膜被覆光ファイバ1Aの線速く通過速度)を上げ
、高周波加熱コイル9による加熱を強くすると、光ファ
イバ1自体の温度がその軟化点に達することなく、表面
の炭素膜及び炭素粉体のみが瞬間的に高温に上昇し、炭
素粉体が焼結され、炭素膜化される。
後処理管6内に不活性ガスと酸素との混合ガスを導入し
ている場合には、同様に線速を上げ、酸素ガス濃度と高
周波加熱コイル9の出力を適度に調整することで、表面
積の大きい炭素粉体のみを燃焼して除去できる。
第2図は、本発明の第2実施例を示したものである。な
お、第1図と対応する部分には同一符号を付けて示して
いる。本実施例では、反応管2の後段に11i電電極1
0とその電源11とを配置し、放電電極10間に炭素膜
被覆光ファイバ1Aを通すようにしている。
この実施例では、放電電極10間に炭素膜被覆光ファイ
バ1Aを通す。かくすると、炭素膜及びその表面に付着
されている炭素粉体のみが瞬間的に加熱され、表面積の
大きい炭素粉体のみが酸素と反応して燃焼され、除去さ
れる。また、故電電](10の近傍を不活性ガスでパー
ジすると、炭素粉体を燃焼して炭素膜化することができ
る。
なお、後処理管6内に放電電極10を配置し、第1実施
例と同様にして炭素粉体の除去を行うこともできる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明に係る炭素膜被覆光ファイバ
の製造方法では、炭素膜被覆光ファイバを得た後、その
炭素膜を加熱するので、該炭素膜の表面に付着している
炭素粉体を焼結或いは燃焼させて除去することができる
。従って、本発明によれば、光フアイバ芯線の機械的強
度の低下の原因を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の方法を実施する装置の第1
.第2実施例の縦断斜視図である。 1・・・光ファイバ、1A・・・炭素膜被覆光ファイバ
、2・・・反応管、5・・・ヒータ、6・・・後処理管
、9・・・高周波加熱コイル、10・・・放電電極、1
1・・・電源。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光ファイバを炭化水素ガスで満たした高温の反応管内に
    通し、前記炭化水素ガスを熱分解して前記光ファイバの
    表面に炭素膜を被覆して炭素膜被覆光ファイバを得た後
    、前記炭素膜を加熱して該炭素膜の表面に付着している
    炭素粉体を焼結或いは燃焼することを特徴とする炭素膜
    被覆光ファイバの製造方法。
JP63318043A 1988-12-16 1988-12-16 炭素膜被覆光ファイバの製造方法 Pending JPH02164745A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63318043A JPH02164745A (ja) 1988-12-16 1988-12-16 炭素膜被覆光ファイバの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63318043A JPH02164745A (ja) 1988-12-16 1988-12-16 炭素膜被覆光ファイバの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02164745A true JPH02164745A (ja) 1990-06-25

Family

ID=18094859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63318043A Pending JPH02164745A (ja) 1988-12-16 1988-12-16 炭素膜被覆光ファイバの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02164745A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070148368A1 (en) Apparatus for plasma treatment of dielectric bodies
JPH0631185B2 (ja) 炭化珪素発熱体の製造方法
CN212199412U (zh) 一种等离子体原子层沉积的反应装置
EP2495350A2 (en) Microwave plasma processing device with a plasma processing gas supply member
JPH03140453A (ja) 低圧酸化装置
JPH02164745A (ja) 炭素膜被覆光ファイバの製造方法
JPH09262466A (ja) 光触媒材料の製造方法
JP2004332093A (ja) 連続cvd製造装置
JPH0366280B2 (ja)
US4657627A (en) Carbon fiber substrate pretreatment for manufacturing crack-free, large-surface silicon crystal bodies for solar cells
JP2011169504A (ja) 粉体の固相反応焼成方法及び固相反応焼成炉
JP2550157B2 (ja) 粉末の被覆方法および被覆装置
JPH04180566A (ja) 薄膜形成装置
JP3140101B2 (ja) Cvd反応装置
JPH01275412A (ja) 窒化アルミニウム微粉の製造方法
JP2004327792A (ja) 熱処理方法及び熱処理装置
JPS58127331A (ja) プラズマ化学気相生成装置
JPS5935674A (ja) 蒸着装置
JPH01308813A (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法及び装置
JPH0530794B2 (ja)
JPS61168229A (ja) 気相成長装置
JPS61158148A (ja) プラズマcvd膜の製造方法
JPS60253212A (ja) 気相成長装置
JPH01222053A (ja) ダイヤモンドコーテイング法
JPS61201780A (ja) 筒状絶縁性部材のセラミツクス被覆方法およびそのための装置