JPH02161438A - 光重合性組成物 - Google Patents
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- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Polyesters Or Polycarbonates (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は光重合性組成物に関し、より詳細には、アルカ
リ現@液で現像でき、硬化膜の剥離時間が改善された光
重合性組成物に関する。
リ現@液で現像でき、硬化膜の剥離時間が改善された光
重合性組成物に関する。
[従来の技術と発明が解決しようとする課肋]光重合性
組成物は、プリント配線板、印刷版や金属レリーフ像形
成用フォトレジストとして使用されている。この光重合
性組成物は、通常、液状またはドライフィルム状で使用
され、例えば、プリント基板用の銅張積層板、印刷用支
持体や微細加工に供する金属基板等に塗布、ラミネート
等により積層し、所定のパターンマスク等を通じて活性
光を露光することにより、露光部を硬化させ、未露光部
を現像液で溶解除去することによりレジスト像を形成し
ている。またレジスト像を形成した後、エツチング処理
やメツキ処理などによりレジスト像に対応した所定の回
路等を形成し、次いで、レジスト像を剥M液で!lJ離
除未除去いる。
組成物は、プリント配線板、印刷版や金属レリーフ像形
成用フォトレジストとして使用されている。この光重合
性組成物は、通常、液状またはドライフィルム状で使用
され、例えば、プリント基板用の銅張積層板、印刷用支
持体や微細加工に供する金属基板等に塗布、ラミネート
等により積層し、所定のパターンマスク等を通じて活性
光を露光することにより、露光部を硬化させ、未露光部
を現像液で溶解除去することによりレジスト像を形成し
ている。またレジスト像を形成した後、エツチング処理
やメツキ処理などによりレジスト像に対応した所定の回
路等を形成し、次いで、レジスト像を剥M液で!lJ離
除未除去いる。
一方、上記現像液として、1,1.1−トリクロロエタ
ン等の有機溶剤型現像液が知られているものの、この現
像液は、作業環境、周辺環境の汚染及び製造コストの上
昇等の問題を伴う、上記の点から、近年、炭酸ナトリウ
ム水溶液等の塩基性化合物を含有する水溶液型アルカリ
現像液で現像可能な光重合性組成物が次第に使用されて
いる。
ン等の有機溶剤型現像液が知られているものの、この現
像液は、作業環境、周辺環境の汚染及び製造コストの上
昇等の問題を伴う、上記の点から、近年、炭酸ナトリウ
ム水溶液等の塩基性化合物を含有する水溶液型アルカリ
現像液で現像可能な光重合性組成物が次第に使用されて
いる。
この光重合性組成物は、通常、カルボキシル基を有する
熱可塑性高分子結合剤と、付加重合性化合物と、光重合
開始剤とを基本的に含有している。
熱可塑性高分子結合剤と、付加重合性化合物と、光重合
開始剤とを基本的に含有している。
しかしながら、光重合性組成物の硬化膜の特性や現像性
は、熱可塑性高分子結合剤や付加重合性化合物の性質に
大きく影響される。またアルカリ現像可能な光重合性組
成物は、活性なカルボキシル基を有するため、有機溶剤
型現像液で現像可能な光重合性組成物に比べてエツチン
グやメツキ処理に多くの制約を伴い、使用の際して多く
の問題が生じる。特にアルカリ現像可能な光重合性組成
物にあっては、硬化膜を水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム等のアルカリ水溶液で剥離する際、剥離に長時間を
要するため、プリント配線板等の生産性が低下するだけ
でなく、金属基板、特に、銅張積層板の銀箔がアルカリ
水溶液によって黒ずむいわゆる「アルカリ焼け」を起こ
し、その後の工程に悪影響を及ぼす。
は、熱可塑性高分子結合剤や付加重合性化合物の性質に
大きく影響される。またアルカリ現像可能な光重合性組
成物は、活性なカルボキシル基を有するため、有機溶剤
型現像液で現像可能な光重合性組成物に比べてエツチン
グやメツキ処理に多くの制約を伴い、使用の際して多く
の問題が生じる。特にアルカリ現像可能な光重合性組成
物にあっては、硬化膜を水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム等のアルカリ水溶液で剥離する際、剥離に長時間を
要するため、プリント配線板等の生産性が低下するだけ
でなく、金属基板、特に、銅張積層板の銀箔がアルカリ
水溶液によって黒ずむいわゆる「アルカリ焼け」を起こ
し、その後の工程に悪影響を及ぼす。
本発明の目的は、硬化膜の剥離時間が短く、アルカリ焼
けを防止できると共に、プリント配線板等の生産性に優
れた光重合性組成物を提供することにある。
けを防止できると共に、プリント配線板等の生産性に優
れた光重合性組成物を提供することにある。
[発明の構成J
本発明者らは、鋭意研究の結果、特定の付加重合化合物
を、カルボキシル基を有する熱可塑性高分子結合剤及び
光開始剤と組合わせることにより、優れた光重合性組成
物が得られることを見いだした。すなわち、本発明は、 (1)カルボキシル基を有する酸性付加重合性単量体の
単位を4〜40重量%含む熱可塑性高分子結合剤100
重量部と、 (2)一般弐[I (式中、R1及びR4は同−又は異なって水素原子また
はメチル基、R2及びR3は直鎖状又は分岐鎖状アルキ
レン基を示し、R5は水素原子、炭素数1〜10のアル
キル基またはハロゲン原子を示す、a及びbはそれぞれ
1〜10の正の整数、nは1〜20の正の整数を示す) で表わされる化合物を少なくとも含む付加重合性化合物
10〜200重量部と、 (3)光重合開始剤0.01〜30重量部とを含有する
光重合性組成物により、上記課題を解決するものである
。
を、カルボキシル基を有する熱可塑性高分子結合剤及び
光開始剤と組合わせることにより、優れた光重合性組成
物が得られることを見いだした。すなわち、本発明は、 (1)カルボキシル基を有する酸性付加重合性単量体の
単位を4〜40重量%含む熱可塑性高分子結合剤100
重量部と、 (2)一般弐[I (式中、R1及びR4は同−又は異なって水素原子また
はメチル基、R2及びR3は直鎖状又は分岐鎖状アルキ
レン基を示し、R5は水素原子、炭素数1〜10のアル
キル基またはハロゲン原子を示す、a及びbはそれぞれ
1〜10の正の整数、nは1〜20の正の整数を示す) で表わされる化合物を少なくとも含む付加重合性化合物
10〜200重量部と、 (3)光重合開始剤0.01〜30重量部とを含有する
光重合性組成物により、上記課題を解決するものである
。
光重合性組成物において、現像性及びレジスト膜の耐性
は、熱可塑性高分子結合剤の特性に大きく依存する。本
発明で使用される熱可塑性高分子結合剤は、カルボキシ
ル基を有する酸性付加重合性単量体の単位(A)を4〜
40重量%含有しており、光重合性組成物にアルカリ現
1象性を付与する。
は、熱可塑性高分子結合剤の特性に大きく依存する。本
発明で使用される熱可塑性高分子結合剤は、カルボキシ
ル基を有する酸性付加重合性単量体の単位(A)を4〜
40重量%含有しており、光重合性組成物にアルカリ現
1象性を付与する。
カルボキシル基を有する酸性付加重合性単量体(八)と
しては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタ
コン酸、フマル酸、プロピオン酸、ソルビン酸、ゲイ皮
酸等が挙げられ、少なくとも一種使用される。カルボキ
シル基を有する酸性付加亜合性単1体のうち特にメタク
リル酸、アクリル酸および両者の混合物が好ましい。
しては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタ
コン酸、フマル酸、プロピオン酸、ソルビン酸、ゲイ皮
酸等が挙げられ、少なくとも一種使用される。カルボキ
シル基を有する酸性付加亜合性単1体のうち特にメタク
リル酸、アクリル酸および両者の混合物が好ましい。
酸性付加重合性単量体(八)の単位を含む熱可塑性高分
子結合剤は、本質的にアルカリ性液中では膨潤ないし溶
解する性質を有する。従って、アルカリ現像液に対する
耐性を付与する共重合成分として、スチレンとその誘導
体、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステル等の
非酸性付加重合性単量体(B)が効果的である。
子結合剤は、本質的にアルカリ性液中では膨潤ないし溶
解する性質を有する。従って、アルカリ現像液に対する
耐性を付与する共重合成分として、スチレンとその誘導
体、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステル等の
非酸性付加重合性単量体(B)が効果的である。
スチレン系モノマーとしては、スチレン;α−位がアル
キル基またはハロゲン原子で置換されたα−置換スチレ
ン、例えば、α−メチルスチレン、α−クロロスチレン
等;ベンゼン環の水素原子が置換された置換スチレン、
例えば、p−メチルスチレン、P−エチルスチレン等が
例示され2.少なくとも一種使用される。スチレン系モ
ノマーのうちスチレン、α−メチルスチレン等が好まし
い。
キル基またはハロゲン原子で置換されたα−置換スチレ
ン、例えば、α−メチルスチレン、α−クロロスチレン
等;ベンゼン環の水素原子が置換された置換スチレン、
例えば、p−メチルスチレン、P−エチルスチレン等が
例示され2.少なくとも一種使用される。スチレン系モ
ノマーのうちスチレン、α−メチルスチレン等が好まし
い。
アクリル酸エステルとしては、例えば、アクリル酸ブチ
ル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ヘキシル、アク
リル酸オクチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アク
リル酸シクロヘキシル、アクリル酸2−フェノキシエチ
ル等が例示される。
ル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ヘキシル、アク
リル酸オクチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アク
リル酸シクロヘキシル、アクリル酸2−フェノキシエチ
ル等が例示される。
またメタクリル酸エステルとしては、上記アクリル酸エ
ステルに対応したメタクリル酸エステルが例示される。
ステルに対応したメタクリル酸エステルが例示される。
特に、非酸性付加重合性単量体(B)として、−般式(
Illで表される特定構造を有するアクリル酸エステル
またはメタクリル酸エステルが有用である。
Illで表される特定構造を有するアクリル酸エステル
またはメタクリル酸エステルが有用である。
口C
(式中、R6は水素原子又はメチル基、R7は炭素数1
〜6のアルキレン基、R8は水素原子、炭素数1〜10
のアルキル基またはハロゲン原子、nは1〜20の正の
整数を示す) 一般式tU)で表される化合物においてR7のアルキレ
ン基としては、メチレン、エチレン、プロピレン、トリ
メチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン基等が例示
される。Reのアルキル基としては、メチル、エチル、
プロピル、イングロビル、ブチル、イソブチル、ペンチ
ル、ヘキシル、オクチル基等が例示される。Raのハロ
ゲン原子としては、臭素、塩素、フッ素等が例示される
。
〜6のアルキレン基、R8は水素原子、炭素数1〜10
のアルキル基またはハロゲン原子、nは1〜20の正の
整数を示す) 一般式tU)で表される化合物においてR7のアルキレ
ン基としては、メチレン、エチレン、プロピレン、トリ
メチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン基等が例示
される。Reのアルキル基としては、メチル、エチル、
プロピル、イングロビル、ブチル、イソブチル、ペンチ
ル、ヘキシル、オクチル基等が例示される。Raのハロ
ゲン原子としては、臭素、塩素、フッ素等が例示される
。
一般式[11)で表される化合物のうち好ましい非酸性
付加重合性単量体(B)としては、アクリル酸2−フェ
ノキシエチル、アクリル酸2−フェノキプロピル、アク
リル酸3−フェノキプロピル、アクリル酸フェノキシエ
トキシエチル、アクリル酸フェノキシジェトキシエチル
、アクリル酸フェノキシトリエトキシエチル、アクリル
酸フェノキシプロボキシブロビル、アクリル酸フェノキ
シジプロボキシプロビル、アクリル酸フェノキシトリブ
ロボキシグロピル、アクリル酸(P−クロロフェノキシ
)エチル、アクリル酸(P−メチルフェノキシ)エチル
、メタクリル酸2−フェノキシエチル、メタクリル酸3
−フェノキプロピル、メタクリル酸フェノキシエトキシ
エチル、メタクリル酸フェノキシジェトキシエチル、メ
タクリル酸フェノキシトリエトキシエチル、メタクリル
酸フェノキシプロポキシプロピル、メタクリル酸フエノ
キシジプロボキシプロピル、メタクリル酸フエノキシト
リプロボキシプロピル、メタクリル酸(p−クロロフェ
ノキシ)エチル、メタクリル酸〈P−メチルツーエノキ
シ)エチル等を挙げることができる。
付加重合性単量体(B)としては、アクリル酸2−フェ
ノキシエチル、アクリル酸2−フェノキプロピル、アク
リル酸3−フェノキプロピル、アクリル酸フェノキシエ
トキシエチル、アクリル酸フェノキシジェトキシエチル
、アクリル酸フェノキシトリエトキシエチル、アクリル
酸フェノキシプロボキシブロビル、アクリル酸フェノキ
シジプロボキシプロビル、アクリル酸フェノキシトリブ
ロボキシグロピル、アクリル酸(P−クロロフェノキシ
)エチル、アクリル酸(P−メチルフェノキシ)エチル
、メタクリル酸2−フェノキシエチル、メタクリル酸3
−フェノキプロピル、メタクリル酸フェノキシエトキシ
エチル、メタクリル酸フェノキシジェトキシエチル、メ
タクリル酸フェノキシトリエトキシエチル、メタクリル
酸フェノキシプロポキシプロピル、メタクリル酸フエノ
キシジプロボキシプロピル、メタクリル酸フエノキシト
リプロボキシプロピル、メタクリル酸(p−クロロフェ
ノキシ)エチル、メタクリル酸〈P−メチルツーエノキ
シ)エチル等を挙げることができる。
これらの非酸性1寸加重合性単1体(B)の単位は、共
重合体中に少なくとも5重量%、好ましくは10〜70
重量%含まれる。
重合体中に少なくとも5重量%、好ましくは10〜70
重量%含まれる。
なお、非酸性付加重合性単量体(B)は−数式CI[+
で表される化合物、スチレン系モノマー、アクリル酸エ
ステル及びメタクリル酸エステルの少なくとも一種で構
成される。
で表される化合物、スチレン系モノマー、アクリル酸エ
ステル及びメタクリル酸エステルの少なくとも一種で構
成される。
前記カルボキシル基を有する酸性付加重合性単1体(へ
ン、非酸性付加重合性単量体(B)は、関係式(11を
充足する非酸性付加重合性単ffi # (C)と共重
合するのが好ましい。
ン、非酸性付加重合性単量体(B)は、関係式(11を
充足する非酸性付加重合性単ffi # (C)と共重
合するのが好ましい。
0.25<(Q^/QC)ExD[−eA(eA−eC
)]<4.00 (Ill上記関係関係式1を
充足する非酸性付加重合性単量体(C)と共に共重合す
ると、酸性付加重合性単量体(^)の単位が均一に分布
した共重合体が得られ、現像性に優れる。すなわち、酸
性付加重合性単量体(A)及び非酸性付加重合性単量体
(C)として、アルフレイ−グライス(八I frey
−Pr ice )の式において、共重合性の指標とな
るQの値が近似し、eの符号が反対で絶対値に大きな差
がある単41体を用いると共重合性を著しく高めること
ができる。
)]<4.00 (Ill上記関係関係式1を
充足する非酸性付加重合性単量体(C)と共に共重合す
ると、酸性付加重合性単量体(^)の単位が均一に分布
した共重合体が得られ、現像性に優れる。すなわち、酸
性付加重合性単量体(A)及び非酸性付加重合性単量体
(C)として、アルフレイ−グライス(八I frey
−Pr ice )の式において、共重合性の指標とな
るQの値が近似し、eの符号が反対で絶対値に大きな差
がある単41体を用いると共重合性を著しく高めること
ができる。
従って、前記関係式Fmlを充足しない単量体を用いる
と、酸性付加重合性単量体(^)の単位が不均一に分布
した共重合体や遊離の重合体が得られ、現像時に現像不
良が生じたり、著しい場合には重合時や光重合性組成物
を含有する塗工液の調製時に共重合体の沈澱が生じたり
する。
と、酸性付加重合性単量体(^)の単位が不均一に分布
した共重合体や遊離の重合体が得られ、現像時に現像不
良が生じたり、著しい場合には重合時や光重合性組成物
を含有する塗工液の調製時に共重合体の沈澱が生じたり
する。
非酸性付加重合性単量体(C)は酸性付加重合性単量体
(A)の特性に応じて適宜選択される。より具体的には
、関係式([1の(Q^/QC)Exp[−e^(e^
−eC)]をXとすると、例えば酸性付加重合性単量体
(A)としてメタクリル酸(QA=2.34(1,eA
=0.650 ンを使用する場合、非酸性付加重合性単
量体(C)としてメタクリル酸メチル(QA= 0,7
40. e^= 0.400. X=2.69) 、メ
タクリル酸エチル(Q^= 0.730. e^=0.
520.X−2,59)等が使用される。この場合、ア
クリルBn−ブチル(Q^= 0.500.eA= 1
.060. X =6、11 >を用いると、メタクリ
ル酸が重合中に早く消費され不均一な共重合組成となり
、時には沈澱が生じる。
(A)の特性に応じて適宜選択される。より具体的には
、関係式([1の(Q^/QC)Exp[−e^(e^
−eC)]をXとすると、例えば酸性付加重合性単量体
(A)としてメタクリル酸(QA=2.34(1,eA
=0.650 ンを使用する場合、非酸性付加重合性単
量体(C)としてメタクリル酸メチル(QA= 0,7
40. e^= 0.400. X=2.69) 、メ
タクリル酸エチル(Q^= 0.730. e^=0.
520.X−2,59)等が使用される。この場合、ア
クリルBn−ブチル(Q^= 0.500.eA= 1
.060. X =6、11 >を用いると、メタクリ
ル酸が重合中に早く消費され不均一な共重合組成となり
、時には沈澱が生じる。
なお、複数の酸性付加重合性単量体(^)を使用する場
合、非酸性付加重合性単量体(C)は、酸性付加重合性
単量体(A)の少なくとも1種との間に関係式+1)を
充足すればよい。
合、非酸性付加重合性単量体(C)は、酸性付加重合性
単量体(A)の少なくとも1種との間に関係式+1)を
充足すればよい。
また非酸性1寸加重合性単量体(C)は熱可塑性高分子
結合剤のうち上記酸性付加重合性単量体(八)及び非酸
性付加重合性単量体(B)以外の残部を構成して100
重量%とされる。
結合剤のうち上記酸性付加重合性単量体(八)及び非酸
性付加重合性単量体(B)以外の残部を構成して100
重量%とされる。
成分(1)の熱可塑性高分子結合剤と混合される成分(
2)の付加重合性化合物は、アクリル酸エステルまたは
メタクリル酸エステル誘導体に属し、前記一般式〇lで
表すことができる。
2)の付加重合性化合物は、アクリル酸エステルまたは
メタクリル酸エステル誘導体に属し、前記一般式〇lで
表すことができる。
−数式fllにおいて、R2及びR3のアルキレン基と
しては、前記と同様の直頒状又は分岐頒状アルキレン基
の他、ヘプタメチレン、オクタメチレン基等が例示され
、R5のアルキル基、ハロゲン原子としては、前記と同
様のアルキル基及びハロゲン原子が例示される。
しては、前記と同様の直頒状又は分岐頒状アルキレン基
の他、ヘプタメチレン、オクタメチレン基等が例示され
、R5のアルキル基、ハロゲン原子としては、前記と同
様のアルキル基及びハロゲン原子が例示される。
一般式(1)で表される化合物は、置換基を有していて
もよい芳香族ジカルボン酸とアルキレンオキサイドとの
付加物や、置換基を有していてもよい芳香族ジカルボン
酸と二価アルコール又はヒドロキシカルボン酸とのエス
テル化物であって末端にヒドロキシル基やカルボキシル
基を有するエステル化物のアクリル又はメタクリル酸エ
ステルである。
もよい芳香族ジカルボン酸とアルキレンオキサイドとの
付加物や、置換基を有していてもよい芳香族ジカルボン
酸と二価アルコール又はヒドロキシカルボン酸とのエス
テル化物であって末端にヒドロキシル基やカルボキシル
基を有するエステル化物のアクリル又はメタクリル酸エ
ステルである。
上記−数式(11で表される化合物において、ベンゼン
環に置換したカルボニル基は、一方のカルボニル基に対
して他方のカルボニル基が。−位、m−位、p−位に置
換したフタル酸誘導体、イソフタル酸誘導体、テレフタ
ル酸誘導体であってもよい、−数式fl)で表される化
合物のうち好ましい付加重合性化合物としては、例えば
、下表に示されるフタル酸誘導体が例示される。
環に置換したカルボニル基は、一方のカルボニル基に対
して他方のカルボニル基が。−位、m−位、p−位に置
換したフタル酸誘導体、イソフタル酸誘導体、テレフタ
ル酸誘導体であってもよい、−数式fl)で表される化
合物のうち好ましい付加重合性化合物としては、例えば
、下表に示されるフタル酸誘導体が例示される。
(以下、余白)
上記一般式(11で表される付加重合性化合物は少なく
とも一種使用される。
とも一種使用される。
なお、−数式(11で表される付加重合性化合物は、池
の付加重合性化合物と混合して使用することらできる。
の付加重合性化合物と混合して使用することらできる。
このような付加重合性化合物としては、常温常圧で液体
または固体であり、分子中に2個以上のアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有するアクリレート又はメタク
リレート等が挙げられる。分子中に2個のアクリロイル
基を有するアクリレートとしては、例えば、エチレング
リコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアク
リレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テ
トラエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレン
グリコールジアクリレート、プロピレングリコールジア
クリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、
トリプロピレングリコールジアクリレート、テトラプロ
ピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリ
コールジアクリレート、1.4−ブタンジオールジアク
リレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、1
.6−ヘキサンジオールジアクリレート、ビスフェノー
ルAのエチレンオキサイド付加物のジアクリレート、ビ
スフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジアク
リレート、水素化ビスフェノールAのエチレンオキサイ
ド付加物のジアクリレート、水素化ビスフェノールAの
プロピレンオキサイド付加物のジアクリレート、N、N
’−メチレンビスアクリルアミド、N、N′−ベンジリ
デンビスアクリルアミド等が例示される。
または固体であり、分子中に2個以上のアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有するアクリレート又はメタク
リレート等が挙げられる。分子中に2個のアクリロイル
基を有するアクリレートとしては、例えば、エチレング
リコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアク
リレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テ
トラエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレン
グリコールジアクリレート、プロピレングリコールジア
クリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、
トリプロピレングリコールジアクリレート、テトラプロ
ピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリ
コールジアクリレート、1.4−ブタンジオールジアク
リレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、1
.6−ヘキサンジオールジアクリレート、ビスフェノー
ルAのエチレンオキサイド付加物のジアクリレート、ビ
スフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジアク
リレート、水素化ビスフェノールAのエチレンオキサイ
ド付加物のジアクリレート、水素化ビスフェノールAの
プロピレンオキサイド付加物のジアクリレート、N、N
’−メチレンビスアクリルアミド、N、N′−ベンジリ
デンビスアクリルアミド等が例示される。
分子中に3個以上のアクリロイル基を有するアクリレー
トとしては、例えば、グリセリントリアクリレート、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロー
ルエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート等が例
示される。
トとしては、例えば、グリセリントリアクリレート、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロー
ルエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート等が例
示される。
分子中に2個以上のメタクリロイル基を有するメタクリ
レートとしては、上記アクリレートに対応するメタクリ
レートが例示される。
レートとしては、上記アクリレートに対応するメタクリ
レートが例示される。
これらの付加重合性化合物は、全量として熱可塑性高分
子結合剤100重址部に対して、10〜・200重量部
、好ましくは20〜150重量部使用される。一般式f
I)で表される付加重合性化合物を他の付加重合性化合
物と混合して使用する場合、−数式filで表される付
加重合性化合物は熱可塑性高分子結合剤100重量部に
対して5〜150重量部、好ましくは10重量部以上使
用される。
子結合剤100重址部に対して、10〜・200重量部
、好ましくは20〜150重量部使用される。一般式f
I)で表される付加重合性化合物を他の付加重合性化合
物と混合して使用する場合、−数式filで表される付
加重合性化合物は熱可塑性高分子結合剤100重量部に
対して5〜150重量部、好ましくは10重量部以上使
用される。
成分(3)の光重合開始剤としては、置換又は非置換の
多核前ノン類、芳香族ケトン類、ベンゾイン類、ベンゾ
インエーテル類、置換又は非置換のチオキサントン類な
どの種々のものが使用できる。
多核前ノン類、芳香族ケトン類、ベンゾイン類、ベンゾ
インエーテル類、置換又は非置換のチオキサントン類な
どの種々のものが使用できる。
置換又は非置換の多核キノン類としては、例えば、2−
メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2
−10ピルアントラキノン、2−tert−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,4−ジ
メチルアントラキノン、2.3−ジメチルアントラキノ
ン、ベンズ[a]アントラキノン、ベンズ[b]アント
ラキノン52−フェニルアントラキノン、2,3−ジフ
ェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2
−クロロアントラキノン、3−クロロ−2−メチルアン
トラキノン、1,4−ナツタキノン、9゜10−フエナ
ントラキノン、2−メチル−1,4ナフタキノン、2,
3−ジグロロナフタキノン、7.8.9.10−テトラ
ヒドロナフタセンキノン等が例示される。
メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2
−10ピルアントラキノン、2−tert−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,4−ジ
メチルアントラキノン、2.3−ジメチルアントラキノ
ン、ベンズ[a]アントラキノン、ベンズ[b]アント
ラキノン52−フェニルアントラキノン、2,3−ジフ
ェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2
−クロロアントラキノン、3−クロロ−2−メチルアン
トラキノン、1,4−ナツタキノン、9゜10−フエナ
ントラキノン、2−メチル−1,4ナフタキノン、2,
3−ジグロロナフタキノン、7.8.9.10−テトラ
ヒドロナフタセンキノン等が例示される。
芳香族ケトン類としては、例えば、ベンゾフェノン、ミ
ヒラーゲトン[4,4′−ビス(ジメチルアミノ)ベン
ゾフェノン]、4.4’−ビス(ジエチルアミン)ベン
ゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジエチルアミノベン
ゾフェノン等が例示される。
ヒラーゲトン[4,4′−ビス(ジメチルアミノ)ベン
ゾフェノン]、4.4’−ビス(ジエチルアミン)ベン
ゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジエチルアミノベン
ゾフェノン等が例示される。
ベンゾイン類及びベンゾインエーテル類としては、例え
ば、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン
、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインフェニルエーテル等が例示される。
ば、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン
、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインフェニルエーテル等が例示される。
置換又は非置換のチオキサントン類としては、例えば、
チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチ
ルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イ
ングロビルチオキサントン、2.4−ジメチルチオキサ
ントン、2.4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジ
ブチルチオキサントン等が例示される。
チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチ
ルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イ
ングロビルチオキサントン、2.4−ジメチルチオキサ
ントン、2.4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジ
ブチルチオキサントン等が例示される。
また他の光重合開始剤として、ベンジル、α。
α−ジェトキシアセトフェノンや、ベンゾフェノンオキ
シムアセテート等のオキシムエステル類等が例示される
。
シムアセテート等のオキシムエステル類等が例示される
。
上記光重合開始剤は、一種または二種以上使用され、同
種または異種の光重合開始剤を組合せて使用してもよい
。
種または異種の光重合開始剤を組合せて使用してもよい
。
光重合開始剤は、前記熱可塑性高分子100重量部に対
して0.01〜30重量部、好ましくは1〜15重量部
使用される。
して0.01〜30重量部、好ましくは1〜15重量部
使用される。
なお、上記光重合開始剤は、例えば、2,4゜5−トリ
アリールイミダゾリルニ量体、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール、ロイコクリスタルバイオレット、トリス(
4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)メタンや、
脂肪族又は芳香族第3級アミン、例えば、N−メチルジ
エタノールアミン、P−ジメチルアミノ安息香酸エチル
エステル等と組合せて使用するのが有用である。
アリールイミダゾリルニ量体、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール、ロイコクリスタルバイオレット、トリス(
4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)メタンや、
脂肪族又は芳香族第3級アミン、例えば、N−メチルジ
エタノールアミン、P−ジメチルアミノ安息香酸エチル
エステル等と組合せて使用するのが有用である。
本発明の光重合性組成物は、必要に応じて、熱重合反応
を抑制し、貯蔵安定性を高める安定剤、発色剤、レジス
ト像の判別を容易にする着色剤、柔軟性を付与する可塑
剤等を含有していてもよい。
を抑制し、貯蔵安定性を高める安定剤、発色剤、レジス
ト像の判別を容易にする着色剤、柔軟性を付与する可塑
剤等を含有していてもよい。
安定剤としては、例えば、p−メトキシフェノール、ハ
イドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、t
ert−ブチルカテコール等が例示され、光重合性を阻
害しない範囲で適宜量使用される。
イドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、t
ert−ブチルカテコール等が例示され、光重合性を阻
害しない範囲で適宜量使用される。
発色剤としては、トリアリールメタン系染料のロイコ体
が有用であり、例えば、ロイコクリスタルバイオレット
、ロイコマラカイトグリーンや、これらロイコ体の塩酸
塩、硫酸塩等の鉱酸塩、p −トルエンスルホン酸塩等
の有81酸塩等が挙げられる。また着色剤としては、例
えば、クリスタルバイオレット、マラカイトグリーン、
ビクトリアブルー、メチレンブルー等が例示される。可
塑剤としては、例えば、ジエチルフタレート、ジブチル
フタレート、ジエチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト等のフタル酸エステル類;ジオクチルアジペート、ジ
ブチルジグリコールアジペート等の脂肪酸エステル類ニ
トリメチルホスフィン等のリン酸エステル類;トルエン
スルホン酸アミド等のスルホン酸アミド類等が例示され
る。
が有用であり、例えば、ロイコクリスタルバイオレット
、ロイコマラカイトグリーンや、これらロイコ体の塩酸
塩、硫酸塩等の鉱酸塩、p −トルエンスルホン酸塩等
の有81酸塩等が挙げられる。また着色剤としては、例
えば、クリスタルバイオレット、マラカイトグリーン、
ビクトリアブルー、メチレンブルー等が例示される。可
塑剤としては、例えば、ジエチルフタレート、ジブチル
フタレート、ジエチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト等のフタル酸エステル類;ジオクチルアジペート、ジ
ブチルジグリコールアジペート等の脂肪酸エステル類ニ
トリメチルホスフィン等のリン酸エステル類;トルエン
スルホン酸アミド等のスルホン酸アミド類等が例示され
る。
本発明の光重合性組成物は、有機溶媒を含有しない液状
であってもよいが、通常、有機溶媒に溶解ないし分散し
た液状またはドライフィルムの形態で使用される。上記
有R溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、
プロパツール等のアルコール類、酢酸エチル等のエステ
ル類、アセトン、メチルエチルゲトン等のケトン類、ジ
エチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエーテル類、
塩化メチレン等のハロゲン化炭化水素類等が例示される
。ドライフィルムは、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム等の基体フィルムに重合性組成物を塗布し
、乾燥した後、ポリエチレンフィルム等のカバーフィル
ムを加圧ロール等でラミネートすることにより作製され
る。
であってもよいが、通常、有機溶媒に溶解ないし分散し
た液状またはドライフィルムの形態で使用される。上記
有R溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、
プロパツール等のアルコール類、酢酸エチル等のエステ
ル類、アセトン、メチルエチルゲトン等のケトン類、ジ
エチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエーテル類、
塩化メチレン等のハロゲン化炭化水素類等が例示される
。ドライフィルムは、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム等の基体フィルムに重合性組成物を塗布し
、乾燥した後、ポリエチレンフィルム等のカバーフィル
ムを加圧ロール等でラミネートすることにより作製され
る。
ドライフィルムの光重合性組成物の膜厚は、解像度及び
作業性等を低下させない範囲であれば特に制限されない
が、通常5〜100戸、好ましくは20〜70μ幻であ
る。
作業性等を低下させない範囲であれば特に制限されない
が、通常5〜100戸、好ましくは20〜70μ幻であ
る。
本発明の光重合性組成物からなる感光層は、通常、有機
溶媒を含有する液状の光重合性組成物を、プリント基板
等の支持体に印刷または塗布し、有機溶媒を除去したり
、ドライフィルムのカバーフィルムを剥離し上記支持体
にゴムロール等でラミネーI・することにより形成され
る。
溶媒を含有する液状の光重合性組成物を、プリント基板
等の支持体に印刷または塗布し、有機溶媒を除去したり
、ドライフィルムのカバーフィルムを剥離し上記支持体
にゴムロール等でラミネーI・することにより形成され
る。
感光層は、化学的に活性な放射線を発生させる光源、例
えば、低圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプなど
の光源で露光される。露光は、通常、必要に応じて感光
層上にカバーシートを設け、ネガまたはポジ型のマスク
パターンを用い、接触法または投影法により行なわれる
。露光した後、塩基性化合物を含有するアルカリ現像液
で現像すると前記パターンに応したレジスト像が得られ
る。
えば、低圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプなど
の光源で露光される。露光は、通常、必要に応じて感光
層上にカバーシートを設け、ネガまたはポジ型のマスク
パターンを用い、接触法または投影法により行なわれる
。露光した後、塩基性化合物を含有するアルカリ現像液
で現像すると前記パターンに応したレジスト像が得られ
る。
アルカリ現像液の塩基性化合物としては、例えば、炭酸
カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ
酸ナトリウム、リン酸ナトリウム等の無機塩基ニトリメ
チルアミン、トリエチルアミン、ジェタノールアミン、
トリエタノールアミン、モルホリン、とリジン等の有機
塩基が例示される。
カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ
酸ナトリウム、リン酸ナトリウム等の無機塩基ニトリメ
チルアミン、トリエチルアミン、ジェタノールアミン、
トリエタノールアミン、モルホリン、とリジン等の有機
塩基が例示される。
現像液には、エチレングリコールモノブチルエーテル等
の有機溶媒が含有されていてもよい。
の有機溶媒が含有されていてもよい。
また回路パターンを形成する場合には、レジスト像を形
成した後、メツキ液やエツチング液で処理され、上記レ
ジスト像は水酸化ナトリウム等の強アルカリ水溶液又は
塩化メチレン等の有機溶媒で剥離除去される。
成した後、メツキ液やエツチング液で処理され、上記レ
ジスト像は水酸化ナトリウム等の強アルカリ水溶液又は
塩化メチレン等の有機溶媒で剥離除去される。
[発明の効果コ
本発明の光重合性組成物によれば、特定の付加重合化合
物を、カルボキシル基を有する熱可塑性高分子結合剤及
び光重合開始剤と組合わせているので、硬化膜の#i離
待時間短く、「アルカリ焼け」を防止することができる
と共に、プリント配線板等の生産性を高めることができ
る6従って、本発明の光重合性組成物は、プリント配線
板、回路基板、金属レリーフ像や印刷版等を製造する際
のフォトレジストとして有用である。
物を、カルボキシル基を有する熱可塑性高分子結合剤及
び光重合開始剤と組合わせているので、硬化膜の#i離
待時間短く、「アルカリ焼け」を防止することができる
と共に、プリント配線板等の生産性を高めることができ
る6従って、本発明の光重合性組成物は、プリント配線
板、回路基板、金属レリーフ像や印刷版等を製造する際
のフォトレジストとして有用である。
[実施例]
以下に、実施例に基づき本発明をより詳細に説明する。
なお、下記の実施例中、化合物No、とあるのは、前記
表に示されたフタル酸誘導体のNo、を示す。
表に示されたフタル酸誘導体のNo、を示す。
実施例1
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
メタクリル酸20重量%、メタクリル酸メチル60重量
%、アクリル酸イソブチル20重量%の共重合体
50g化合物No、6
30g2−クロロチオキサントン
1gP−ジメチルアミン安息香酸エチル 2gN−
メチルジェタノールアミン 0.1gビクトリアブル
ーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン Logこの光重合性組成物を
膜厚25塵のポリエチレンテレフタレートフィルム支持
体に塗布し75℃で乾燥し、感光性フィルムを得た。感
光層の厚味は50塵であった。感光性フィルムを研磨し
た銅張積層板に、100℃に加熱したゴムローラーによ
り積層した。配線回路パターンマスクを感光性フィルム
上に重ね、2Kwの超高圧水銀灯で50■の距離から1
0秒間照射し硬化させた後、30℃の1%炭酸ナトリウ
ム水溶液で70秒間スプレー現像したところ、樹脂レリ
ーフ像が形成された。
%、アクリル酸イソブチル20重量%の共重合体
50g化合物No、6
30g2−クロロチオキサントン
1gP−ジメチルアミン安息香酸エチル 2gN−
メチルジェタノールアミン 0.1gビクトリアブル
ーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン Logこの光重合性組成物を
膜厚25塵のポリエチレンテレフタレートフィルム支持
体に塗布し75℃で乾燥し、感光性フィルムを得た。感
光層の厚味は50塵であった。感光性フィルムを研磨し
た銅張積層板に、100℃に加熱したゴムローラーによ
り積層した。配線回路パターンマスクを感光性フィルム
上に重ね、2Kwの超高圧水銀灯で50■の距離から1
0秒間照射し硬化させた後、30℃の1%炭酸ナトリウ
ム水溶液で70秒間スプレー現像したところ、樹脂レリ
ーフ像が形成された。
次いで、銅張積層板を塩化第二銅エツチング液でエツチ
ングしたところ、良好なプリンl−配線板が得られた。
ングしたところ、良好なプリンl−配線板が得られた。
そして、温度55℃の2重置%水酸化ナトリウム水溶液
に浸漬したところ、硬化膜は1分30秒〜2分で完全に
剥離し、アルカリ焼けはみちれなかった。
に浸漬したところ、硬化膜は1分30秒〜2分で完全に
剥離し、アルカリ焼けはみちれなかった。
実施例2
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
メタクリル酸15重量%、アクリル酸15重量%、メタ
クリル酸メチル40重量%、アクリル酸イソブチル20
重量%の共重合体 50g化合物No、6
25gベンゾフェノン
2gミヒラーケトン 0.5gN
−メチルジェタノールアミン 0.1gビクトリアブ
ルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
クリル酸メチル40重量%、アクリル酸イソブチル20
重量%の共重合体 50g化合物No、6
25gベンゾフェノン
2gミヒラーケトン 0.5gN
−メチルジェタノールアミン 0.1gビクトリアブ
ルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
実施例3
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
メタクリル酸10重量%、アクリル酸15重量%、メタ
クリル酸メチル42重量%、アクリル酸2−エチルヘキ
シル23重量%の共重合体0g 化合物No、45 25g2.4
−ジメチルチオキサントン 1gp−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチル2.5gN−メチルジェタノールアミ
ン 0.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
クリル酸メチル42重量%、アクリル酸2−エチルヘキ
シル23重量%の共重合体0g 化合物No、45 25g2.4
−ジメチルチオキサントン 1gp−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチル2.5gN−メチルジェタノールアミ
ン 0.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
実施例4
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
メタクリル酸12重量%、アクリル酸8重量%、メタク
リル酸メチル35重量%、アクリル酸2−フェノキシエ
チル35重量%の共重合体0g 化合物No、6 30gベンゾフ
ェノン 2gミヒラーケトン
0.5gN−n−ブチルジェタノール
アミ70.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
リル酸メチル35重量%、アクリル酸2−フェノキシエ
チル35重量%の共重合体0g 化合物No、6 30gベンゾフ
ェノン 2gミヒラーケトン
0.5gN−n−ブチルジェタノール
アミ70.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
実施例5
以下の成分を混合して光重合性組成物を得な。
実施例2の共重合体 50g化合物NO
,3230g イルガキュアー651(メルク社製)3g2.4−ジメ
チルチオキサントン 1gp−ジメチルアミノ安息
香酸エチル2.5gN−メチルジェタノールアミン
0.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光垂合作組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
,3230g イルガキュアー651(メルク社製)3g2.4−ジメ
チルチオキサントン 1gp−ジメチルアミノ安息
香酸エチル2.5gN−メチルジェタノールアミン
0.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光垂合作組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
実施例6
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
実施例2の共重合体 50g化合物No
、6 15g化合物No、22
15g2.4−ジメチルチオキサン
トン 1gp−ジメチルアミン安息香酸エチル
3gN−メチルジェタノールアミン 0.1gビクト
リアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
、6 15g化合物No、22
15g2.4−ジメチルチオキサン
トン 1gp−ジメチルアミン安息香酸エチル
3gN−メチルジェタノールアミン 0.1gビクト
リアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10g上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
実施例7
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
実施例2の共重合体 50g化合*No
、6 20g化合物No、32
10g化合物No、22
Logトリメチロールプロパントリアクリ
レート0g 2.4−ジメチルチオキサントン 1gp−ジメチ
ルアミノ安息香酸エチル2.5gN−n−ブチルジェタ
ノールアミン0.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラしド
ロフラン Log上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
、6 20g化合物No、32
10g化合物No、22
Logトリメチロールプロパントリアクリ
レート0g 2.4−ジメチルチオキサントン 1gp−ジメチ
ルアミノ安息香酸エチル2.5gN−n−ブチルジェタ
ノールアミン0.1gビクトリアブルーGHQ、1g メチルエチルケトン 70gテトラしド
ロフラン Log上記光重合性組成物を
実施例1と同様に評価したところ、良好なプリント配線
板が得られると共に、硬化膜の剥離時間は1分30秒〜
2分であり、アルカリ焼けがみられなかった。
比較例1
実施例2の化合物N096に代えて、トリメチロールプ
ロパントリアクリレートを用いる以外、実施例2と同様
にして光重合性組成物を調製し、実施f3’lJ 1と
同様に評価したところ、硬化膜の剥離に4分かかり、別
面上にアルカリ焼けが発生していた。
ロパントリアクリレートを用いる以外、実施例2と同様
にして光重合性組成物を調製し、実施f3’lJ 1と
同様に評価したところ、硬化膜の剥離に4分かかり、別
面上にアルカリ焼けが発生していた。
比較例2
以下の成分を混合して光重合性組成物を得た。
実施例2の共重合体 50gノナエチレ
ングリコールジメタクリレート0g ベンゾフェノン 2gミヒラーケ
トン 0,5gN−n−ブチルジェタ
ノールアミン0.1gビクトリアブルーGH0,1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10gこの組成物を実施例1
と同様に評価しなところ、硬化膜の剥離に4分かかり、
銅面上にアルカリ焼けが発生していた。
ングリコールジメタクリレート0g ベンゾフェノン 2gミヒラーケ
トン 0,5gN−n−ブチルジェタ
ノールアミン0.1gビクトリアブルーGH0,1g メチルエチルケトン 70gテトラヒド
ロフラン 10gこの組成物を実施例1
と同様に評価しなところ、硬化膜の剥離に4分かかり、
銅面上にアルカリ焼けが発生していた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、(1)カルボキシル基を有する酸性付加重合性単量
体の単位を4〜40重量%含む熱可塑性高分子結合剤1
00重量部と、 (2)一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (式中、R_1及びR_4は同一又は異なつて水素原子
またはメチル基、R_2及びR_3は直鎖状又は分岐鎖
状アルキレン基を示し、R_5は水素原子、炭素数1〜
10のアルキル基またはハロゲン原子を示す。a及びb
はそれぞれ1〜10の正の整数、nは1〜20の正の整
数を示す) で表わされる化合物を少なくとも含む付加重合性化合物
10〜200重量部と、 (3)光重合開始剤0.01〜30重量部とを含有する
ことを特徴とする光重合性組成物。 2、成分(1)の熱可塑性高分子結合剤が、(A)カル
ボキシル基を有する酸性付加重合性単量体4〜40重量
%と、 (B)一般式(II) ▲数式、化学式、表等があります▼(II) (式中、R_6は水素原子又はメチル基、R_7は炭素
数1〜6のアルキレン基、R_8は水素原子、炭素数1
〜10のアルキル基またはハロゲン原子、nは1〜20
の正の整数を示す)で表される非酸性付加重合性単量体
の少なくとも5重量%と、 (C)関係式(III) 0.25<(QA/QC)Exp[−eA(eA−eC
)]<4.00(III)(式中、Qとeは、アルフレイ
−プライス(Alfroy−Price)の式で定義さ
れる単量体の安定度と極性値であり、記号AまたはCは
、付加重合性単量体(A)または非酸性付加重合性単量
体(C)を表わす。) を満足するQ値とe値を有する非酸性付加重合性単量体
の残部 との共重合体である請求項1記載の光重合性組成物。 3、成分(2)が、一般式( I )で表される付加重合
性化合物の少なくとも1種を5〜150重量部含有する
請求項1記載の光重合性組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63316729A JP2826331B2 (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 光重合性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02161438A true JPH02161438A (ja) | 1990-06-21 |
JP2826331B2 JP2826331B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=18080250
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP63316729A Expired - Lifetime JP2826331B2 (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 光重合性組成物 |
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JP (1) | JP2826331B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114594656A (zh) * | 2022-05-07 | 2022-06-07 | 杭州福斯特应用材料股份有限公司 | 感光性树脂组合物、感光干膜和相应的元件 |
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JPS62153308A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Daicel Chem Ind Ltd | 光重合硬化組成物 |
JPS63195648A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 画像形成材料 |
-
1988
- 1988-12-15 JP JP63316729A patent/JP2826331B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2826331B2 (ja) | 1998-11-18 |
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