JPH02159060A - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、固体撮像装置に関し、特に固体撮像素子が収
納されたセラミックパッケージに、透明ガラスキャップ
が接着された固体撮像装置およびその製造方法に関する
。

〔従来の技術〕

従来、この種の固体撮像装置は、セラミックパッケージ
にＡｕ−８ｉ合金もしくは導電性ペーストを介して固体
撮像素子が固定され、その後に、金属細線により外部リ
ードと固体撮像素子が電気的に接続される。更に、固体
撮像素子上に可視光に対して透明な透明ガラスキャップ
が低融点ガラス、または、樹脂により接着され、固体撮
像装置が形成されている。

第４図は、従来の製造方法を説明するための斜視図であ
る。

第４図に示すように接着位置に合わされたセラミックパ
ッケージ２と、透明ガラスキャップｌとは、クリップ８
によって挟持され、この状態にて高温加熱し、接着を行
なっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の固体撮像装置には、一般に固体撮像素子
の受光部面積よりも透明領域が広く、かつ上面がフラッ
トな透明ガラスキャップが用いられているため、第４図
に示す如く、挟持するクリップ８の先端は、透明領域９
を避けるため、コの字型に中心部は逃げである。しかし
、この場合クリップ８の挟持位置が少しズレると、挟持
部が透明領域９を侵し傷をつける原因となるため、入射
光に対して応答不良を起こしてしまう場合がある。

又、第４図に示す状態で加熱を行なうと、第５図に示す
ように透明ガラスキャップｌが変形し、クリップ挟持部
ｌＯと、それ以外の部分でのシール樹脂５の層厚さが異
なり、特に中心部に近い部分の樹脂層が厚くなる。この
樹脂層の厚みは、大きくなる程、耐湿性、気密性が悪く
なり、品質上問題であった。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の固体撮像装置に対し、本発明は透明ガラ
スキャップの透明領域を上端面より凹状に形成するとい
う相違点を有する。

又、透明ガラスキャップの接着密封には、２対の固体撮
像装置を同時にクリッピングして行なうという内容を有
している。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の固体撮像装置は、封止用透明ガラスキャップの
外周部上面と透明領域部上面とに段差を有している。

また、透明ガラスキャップの外周部上面に凸凹部を設け
、２個のキャップ間どうしの位置合せを行ない、それを
２個のセラミックパッケージにて挟み込み、荷重を加え
る方法にて加熱封止を行なう。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の固体撮像装置の斜視図であ
る。ｌは透明ガラスキャップ、２はセラミックパッケー
ジである。透明ガラスキャップｌにおいて、外周部１１
の最上端面に対し、透明領域９の最上端面は約０．５ｍ
ｍ程度低くする。そして、セラミックパッケージ２と透
明ガラスキャップｌとを位置合せを行ないパッケージの
短手方向の両側より、クリップにて挟持し、加熱封止す
る。この場合、用いるクリップの先端形状はストレート
で、被挟持物に対してフラットなものとする。

第２図は本発明の他の実施例の固体撮像装置に用いる透
明ガラスキャップの斜視図、第３図は第２図の透明ガラ
スキャップを用いて封止を行なう時の縦断面図である。

本実施例では、透明ガラスキャップｌの外周部１１の最
上端面上に突起６及びベント７を形成し、３図に示す如
く、２対対称に配置し、位置合せを突起６及びベント７
にて行なうというものである。又、セラミックパッケー
ジ２も透明ガラスキャップ１、収納用凹部の形成された
ものを使用すれば、これまでめんどうであった位置合せ
作業が全くなくなるわけである。

またこの実施例では、上も下もセラミックパッケージ１
を介してクリップ８にて挟持しているため、長手方向に
平均して荷重を加えることができるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上、説明したように本発明は固体撮像装置の透明ガラ
スキャップの透明領域を外周部に対し凹状に形成するこ
とによりクリップ挟持時に起こり得る透明領域への損傷
を防ぐことができる。

また、透明ガラスキャップに位置合せ機構な設けること
により２対の同時封止が可能となり、クリップの挟持は
両側ともセラミックパッケージを介して行なうためクリ
ップの挟持部のみに荷重が集中するということがなくな
りシール樹脂層の厚さのバラツキを最小限に押さえるこ
とができる。

したがって、品質的に耐湿性、気密性の向上が図られる
。

さらに２対同時による封止が可能となるため加熱媒体で
ある高温炉等の能力ＵＰにもなり、生産性が向上する。

パッケージ、３・・・・・・外部リード、４・・・・・
・固体撮像素子、５・・・・・・シール樹脂、６・・・
・・・突起、７・・・・・・ベント、８・・・・・・ク
リップ、９・・・・・・透明領域、１０・・・・・・ク
リップ挟持部、１１・・・・・・外周部。

代理人　弁理士　　内　原　　　晋

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１の固体撮像装置の分解斜視図
、第２図は本発明の実施例２の固体撮像装置用透明ガラ
スキャップの斜視図、第３図は第２図の透明ガラスキャ
ップを用いて封止を行なう時の縦断面図、第４図は従来
の固体撮像装置の封止時の斜視図、第５図は従来の方法
にて封止した。 後の固体撮像装置の縦断面図である。 ｌ・・・・・・透明ガラスキャッフ、２・・・・・・セ
ラミック矛　２　図 第　３ｒｇＪ 茅　　！ 閂 −Ｐ４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）内側中央部に凹部の素子載置部が設けられたセラ
   ミックパッケージと、前記素子載置部に搭載された固体
   撮像素子と、前記セラミックパッケージ上端に接着され
   て前記セラミックパッケージを密封する透明ガラスキャ
   ップとを含んで構成される固体撮像装置において、前記
   透明ガラスキャップの可視光に対して透明な部分が、前
   記透明ガラスキャップの外周部最上端面より凹状に形成
   されたことを特徴とする固体撮像装置。
2. （２）前記透明ガラスキャップ最上端面に、キャップど
   うしの位置決めを行なう為の突起及びベントを有するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の固体撮
   像装置。
3. （３）可視光に対して透明の部分が外周部最上端面より
   凹状に形成された透明ガラスキャップで、前記セラミッ
   クパッケージを気密封止する工程において、前記セラミ
   ックパッケージと前記透明ガラスキャップとを２対、キ
   ャップ側を背中合わせにして一度に挟持し、加熱、封止
   を行なうことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
4. （４）前記透明ガラスキャップ最上端面に、キャップど
   うしの位置決めを行う為の突起及びベントを有すること
   を特徴とする特許請求の範囲第（３）項記載の固体撮像
   装置の製造方法。