JPS63136652A - 半導体装置用パツケ−ジ - Google Patents
半導体装置用パツケ−ジInfo
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- JPS63136652A JPS63136652A JP28341486A JP28341486A JPS63136652A JP S63136652 A JPS63136652 A JP S63136652A JP 28341486 A JP28341486 A JP 28341486A JP 28341486 A JP28341486 A JP 28341486A JP S63136652 A JPS63136652 A JP S63136652A
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- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 27
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は半導体装置用パッケージに関するもので、特に
半導体チップが収納された外囲器をガラスプレート等の
蓋体によって封止する構造の固体撮像装置等に使用され
るものである。
半導体チップが収納された外囲器をガラスプレート等の
蓋体によって封止する構造の固体撮像装置等に使用され
るものである。
(従来の技術)
電荷結合装置(CCD)、電荷注入装置(CID) 、
MOSセンサ等の固体撮像装置は自動焦点カメラやビデ
オ機器等に多く用いられている。これらの半導体装置に
用いられるパッケージの一例を第2図および第3図に示
す。
MOSセンサ等の固体撮像装置は自動焦点カメラやビデ
オ機器等に多く用いられている。これらの半導体装置に
用いられるパッケージの一例を第2図および第3図に示
す。
第2図はいわゆるフラットパッケージと称される構造の
外観斜視図を示したものであり、第3図、は第2図にお
けるA−A’線にそって切断した部分の断面図を示して
いる。
外観斜視図を示したものであり、第3図、は第2図にお
けるA−A’線にそって切断した部分の断面図を示して
いる。
セラミック製の絶縁基体1の中央部には凹部が形成され
ており、この凹部中に多数の感光画素を列状あるいはマ
トリックス状に配置した撮像素子7が所定位置にグイボ
ンディングにより固着されている。その周囲の絶縁基体
上には外部接続り一部6が配設され、アルミニウム等の
金属細線8により撮像素子7上の電極とリード6の内端
部6aとが接続されている。またセラミック製の枠3お
よびガラスプレート5がそれぞれ低融点ガラス等の封止
材2および4を用いて気密封止されている。
ており、この凹部中に多数の感光画素を列状あるいはマ
トリックス状に配置した撮像素子7が所定位置にグイボ
ンディングにより固着されている。その周囲の絶縁基体
上には外部接続り一部6が配設され、アルミニウム等の
金属細線8により撮像素子7上の電極とリード6の内端
部6aとが接続されている。またセラミック製の枠3お
よびガラスプレート5がそれぞれ低融点ガラス等の封止
材2および4を用いて気密封止されている。
したがって、このような半導体装置用パッケージは外部
接続リード6が低融点封止材2.4を介してセラミック
基体1およびセラミック製枠3に固着された構造となっ
ており、外部接続リード6はこのようなパッケージを貫
通して外部に外端部が突出した構造となっている。
接続リード6が低融点封止材2.4を介してセラミック
基体1およびセラミック製枠3に固着された構造となっ
ており、外部接続リード6はこのようなパッケージを貫
通して外部に外端部が突出した構造となっている。
このような構造のパッケージを組立てるには、セラミッ
ク基体1を加熱し、その表面に塗布されている低融点ガ
ラス2aを軟化させた後、リード6を有するリードフレ
ームをこのセラミック基体1上に配設して固着する。次
に低融点ガラス2bを軟化させ、セラミック製枠3をリ
ードフレーム6上に載置する。モして撮像素子7をセラ
ミック基体1上にボンディングし、この撮像素子7上に
ある電極とこれらにそれぞれ対応するリード6の内端部
6aとを金属細線8によって接続する。さらにセラミッ
ク製枠3の上面にガラスプレート5を低融点ガラス4を
介して加熱封着する。
ク基体1を加熱し、その表面に塗布されている低融点ガ
ラス2aを軟化させた後、リード6を有するリードフレ
ームをこのセラミック基体1上に配設して固着する。次
に低融点ガラス2bを軟化させ、セラミック製枠3をリ
ードフレーム6上に載置する。モして撮像素子7をセラ
ミック基体1上にボンディングし、この撮像素子7上に
ある電極とこれらにそれぞれ対応するリード6の内端部
6aとを金属細線8によって接続する。さらにセラミッ
ク製枠3の上面にガラスプレート5を低融点ガラス4を
介して加熱封着する。
しかしながらこのような従来のパッケージ構造では、組
立て工程において低融点ガラス2aおよび2bを加熱溶
融してそれぞれセラミック基体1とリード6およびセラ
ミック製枠3とを固着するに際して、低融点ガラス2a
および2bが流れ出し外部接続リード6の表面を覆って
しまうことがある。
立て工程において低融点ガラス2aおよび2bを加熱溶
融してそれぞれセラミック基体1とリード6およびセラ
ミック製枠3とを固着するに際して、低融点ガラス2a
および2bが流れ出し外部接続リード6の表面を覆って
しまうことがある。
第4図は低融点ガラス2a、2bが流れ出し、外部接続
リード6の表面を覆ってしまった状態を示す断面図であ
る。このように低融点ガラス2a。
リード6の表面を覆ってしまった状態を示す断面図であ
る。このように低融点ガラス2a。
2bが外部接続リード6の表面に流れ出してり一部6の
表面を覆ってしまうと、その後の工程、たとえばはんだ
付は等において、その接続面積が著しく減少してしまい
作業性および信頼性を大幅に低下させてしまうという問
題が発生する。
表面を覆ってしまうと、その後の工程、たとえばはんだ
付は等において、その接続面積が著しく減少してしまい
作業性および信頼性を大幅に低下させてしまうという問
題が発生する。
(発明が解決しようとする問題点)
このように従来の半導体装置用パッケージにおいては、
その製造工程の途中において低融点封止材がパッケージ
の外側に流れ出しリードの表面を覆って接続不良を招く
という欠点がある。
その製造工程の途中において低融点封止材がパッケージ
の外側に流れ出しリードの表面を覆って接続不良を招く
という欠点がある。
そこで本発明はこのような低融点封止剤の外部接続リー
ド上への流れ出しを阻止し、作業性の向上を図るととも
に信頼性の高い半導体装置用パッケージを提供すること
を目的とする。
ド上への流れ出しを阻止し、作業性の向上を図るととも
に信頼性の高い半導体装置用パッケージを提供すること
を目的とする。
(問題点を解決するための手段)
本発明によれば、外部接続リードを低融点封止材を介し
てセラミック基体及びセラミック製枠に固着してなる半
導体装置用パッケージにおいて、外部接続リードがパッ
ケージを貫通して外部へ突出する位置にあって、セラミ
ック基体及び前記セラミック製枠の固着面側にそれぞれ
低融点封止材の外部接続リードへの流出を阻止する逃げ
部を設けた事を特徴としている。
てセラミック基体及びセラミック製枠に固着してなる半
導体装置用パッケージにおいて、外部接続リードがパッ
ケージを貫通して外部へ突出する位置にあって、セラミ
ック基体及び前記セラミック製枠の固着面側にそれぞれ
低融点封止材の外部接続リードへの流出を阻止する逃げ
部を設けた事を特徴としている。
(作 用)
このような構成の半導体装置用パッケージでは、セラミ
ック基体とリードフレームおよびセラミック製枠とを固
着する際に低融点封止材を加熱溶融してもあらかじめセ
ラミらり基体およびセラミック製枠の一部に逃げ部が設
けられているため、低融点封止材が過剰であったり、流
動性が高かったりした場合においても封止材がこの逃げ
部に溜まり外部接続リード上への流れ出しが阻止される
。
ック基体とリードフレームおよびセラミック製枠とを固
着する際に低融点封止材を加熱溶融してもあらかじめセ
ラミらり基体およびセラミック製枠の一部に逃げ部が設
けられているため、低融点封止材が過剰であったり、流
動性が高かったりした場合においても封止材がこの逃げ
部に溜まり外部接続リード上への流れ出しが阻止される
。
したがって、外部接続リードははんだ付は等を行うのに
支障のない十分な接続エリアが確保される。
支障のない十分な接続エリアが確保される。
(実施例)
以下本発明の一実施例を図面に基いて詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図であり、従来例
と同じく第2図におけるA−A’断面を示している。セ
ラミック基体11およびセラミック製枠13の外部接続
リード16側すなわち接着面側に逃げ部20が設けられ
ており、これにより低融点ガラス12a、12bの流れ
出しが阻止されるように構成されている。すなわち、パ
ッケージの形成に際しては、従来のパッケージと同様に
低融点ガラス12aを有するセラミック基体11を加熱
し、その低融点ガラス12aを軟化させてリードフレー
ム状となったリード16をセラミック基体11に固着す
る。
と同じく第2図におけるA−A’断面を示している。セ
ラミック基体11およびセラミック製枠13の外部接続
リード16側すなわち接着面側に逃げ部20が設けられ
ており、これにより低融点ガラス12a、12bの流れ
出しが阻止されるように構成されている。すなわち、パ
ッケージの形成に際しては、従来のパッケージと同様に
低融点ガラス12aを有するセラミック基体11を加熱
し、その低融点ガラス12aを軟化させてリードフレー
ム状となったリード16をセラミック基体11に固着す
る。
次いで低融点ガラス12bを軟化させてセラミック製枠
13をリード16上に載置する。この時低融点ガラス1
2a、12bは溶融するが、前述したようにセラミック
基体11とセラミック製枠13とには逃げ部12が図に
示すように接着面側に設けられているため、加熱溶融さ
れた低融点ガラス12a、12bはその量が過剰であっ
たり、粘度が低く流動性が高かったとしても表面張力の
作用でこの逃げ部20内にとどまり流れ出しか阻止され
る。
13をリード16上に載置する。この時低融点ガラス1
2a、12bは溶融するが、前述したようにセラミック
基体11とセラミック製枠13とには逃げ部12が図に
示すように接着面側に設けられているため、加熱溶融さ
れた低融点ガラス12a、12bはその量が過剰であっ
たり、粘度が低く流動性が高かったとしても表面張力の
作用でこの逃げ部20内にとどまり流れ出しか阻止され
る。
したがって外部接続リード16上のはんだ付は等を行う
エリアにまで流れ出してしまうことはない。
エリアにまで流れ出してしまうことはない。
次に撮像素子17をセラミック基体11の中央の凹部に
ダイボンディングし、この撮像素子17の上の電極とこ
れに対応するリード16とを金属細線18により接続す
る。
ダイボンディングし、この撮像素子17の上の電極とこ
れに対応するリード16とを金属細線18により接続す
る。
さらにセラミック製枠13上にガラスプレート15を低
融点ガラス14により接着してパッケージを完成させる
。
融点ガラス14により接着してパッケージを完成させる
。
なおセラミック基体11およびセラミック製枠13に設
けられる逃げ部の切欠き高さく深さ)は一般的には少な
くともリードフレームの板厚以上であれば、低融点ガラ
スの流れ出しは防止でき、外部接続リード16のはんだ
付は等を行う領域は十分に確保することができる。すな
わち、通常のパッケージに用いられるリードフレーム1
6の板厚は0.15mm〜0.2511I!lの範囲で
あり、低融点ガラス12a、12bの層厚は0.2+a
+*〜0.3m@となっているため、段差はリードフレ
ームの板厚程度で十分であることがこの点からも明らか
である。
けられる逃げ部の切欠き高さく深さ)は一般的には少な
くともリードフレームの板厚以上であれば、低融点ガラ
スの流れ出しは防止でき、外部接続リード16のはんだ
付は等を行う領域は十分に確保することができる。すな
わち、通常のパッケージに用いられるリードフレーム1
6の板厚は0.15mm〜0.2511I!lの範囲で
あり、低融点ガラス12a、12bの層厚は0.2+a
+*〜0.3m@となっているため、段差はリードフレ
ームの板厚程度で十分であることがこの点からも明らか
である。
このような逃げ部は外部接続リードが固着される側端辺
全体に形成されるのが一般的であり、加工も容易である
が、各外部接続リードに対応して各固着位置に逃げ部を
形成するようにしてもよい。
全体に形成されるのが一般的であり、加工も容易である
が、各外部接続リードに対応して各固着位置に逃げ部を
形成するようにしてもよい。
なお本発明は実施例のような固体撮像装置用のパッケー
ジに限定されるものではなく、セラミック基体とセラミ
ック製枠との間にリードを封着するような構造を有する
あらゆる形式の半導体装置用パッケージに適用すること
が可能である。
ジに限定されるものではなく、セラミック基体とセラミ
ック製枠との間にリードを封着するような構造を有する
あらゆる形式の半導体装置用パッケージに適用すること
が可能である。
また、セラミック部材どうしの封着部にも同様に適用で
きる。
きる。
以上実施例に基づいて詳細に説明したように、本発明で
はパッケージのリード突出部に該当するセラミック基体
およびセラミック製枠の一部に逃げ部を設けているため
、リードフレームとセラミック基体およびセラミック製
枠との間の固着に際しておこる溶融した低融点封止材の
外部接続リード上への流れ出しを防止することができる
。
はパッケージのリード突出部に該当するセラミック基体
およびセラミック製枠の一部に逃げ部を設けているため
、リードフレームとセラミック基体およびセラミック製
枠との間の固着に際しておこる溶融した低融点封止材の
外部接続リード上への流れ出しを防止することができる
。
したがって外部リードの接続の信頼性を高めることが可
能となる。特に接続エリアが十分に確保できず、封止材
の流れ出しがほとんど許容できない小型パッケージの場
合には本発明の構造が有効であり、装置の小型化に寄与
できる。
能となる。特に接続エリアが十分に確保できず、封止材
の流れ出しがほとんど許容できない小型パッケージの場
合には本発明の構造が有効であり、装置の小型化に寄与
できる。
第1図は本発明の半導体装置用パッケージを固体撮像装
置に適用した実施例を示す断面図、第2図は従来のフラ
ットパッケージ型のパッケージの外観斜視図、第3図は
第2図のA−A’線にそって切断した部分の断面図、第
4図は低融点ガラスが溶融し流れ出しが生じた状態を説
明するための断面図である。 11・・・セラミック基体、12a、12b・・・低融
点ガラス、13・・・セラミック製枠、14・・・低融
点ガラス、15・・・ガラスプレート、16・・・リー
ド(リードフレーム)、20・・・段差。 第2図 第4図
置に適用した実施例を示す断面図、第2図は従来のフラ
ットパッケージ型のパッケージの外観斜視図、第3図は
第2図のA−A’線にそって切断した部分の断面図、第
4図は低融点ガラスが溶融し流れ出しが生じた状態を説
明するための断面図である。 11・・・セラミック基体、12a、12b・・・低融
点ガラス、13・・・セラミック製枠、14・・・低融
点ガラス、15・・・ガラスプレート、16・・・リー
ド(リードフレーム)、20・・・段差。 第2図 第4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、外部接続リードを封止材を介してセラミック基体及
びセラミック製枠に固着してなる半導体装置用パッケー
ジにおいて、前記セラミック基体及び前記セラミック製
枠の固着面側の前記外部接続リードが前記パッケージを
貫通して外部へ突出する位置にそれぞれ前記封止剤の前
記外部接続リード上への流出を阻止する逃げ部を設けた
ことを特徴とする半導体装置用パッケージ。 2、逃げ部が少なくとも外部接続リードのリード板厚と
等しい切欠き高さを有しているものである特許請求の範
囲第1項記載の半導体装置用パッケージ。 3、段差部が外部接続リードの突出する側端辺全体に形
成されたものである特許請求の範囲第1項記載の半導体
装置用パッケージ。 4、段差部が外部接続リードの突出位置ごとに形成され
たものである特許請求の範囲第1項記載の半導体装置用
パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28341486A JPS63136652A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 半導体装置用パツケ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28341486A JPS63136652A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 半導体装置用パツケ−ジ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63136652A true JPS63136652A (ja) | 1988-06-08 |
Family
ID=17665219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28341486A Pending JPS63136652A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 半導体装置用パツケ−ジ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63136652A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019093269A1 (ja) * | 2017-11-09 | 2019-05-16 | Ngkエレクトロデバイス株式会社 | 蓋体および電子装置 |
WO2019116783A1 (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-20 | 株式会社ブリヂストン | タイヤ |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP28341486A patent/JPS63136652A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019093269A1 (ja) * | 2017-11-09 | 2019-05-16 | Ngkエレクトロデバイス株式会社 | 蓋体および電子装置 |
WO2019116783A1 (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-20 | 株式会社ブリヂストン | タイヤ |
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