JPH02143816A - モールド装置 - Google Patents

モールド装置

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Publication number
JPH02143816A
JPH02143816A JP29596188A JP29596188A JPH02143816A JP H02143816 A JPH02143816 A JP H02143816A JP 29596188 A JP29596188 A JP 29596188A JP 29596188 A JP29596188 A JP 29596188A JP H02143816 A JPH02143816 A JP H02143816A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
runner
cavity
resin
dummy
cavities
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29596188A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsunori Takahashi
勝則 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd
Priority to JP29596188A priority Critical patent/JPH02143816A/ja
Publication of JPH02143816A publication Critical patent/JPH02143816A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、トランスファーモールド装置に関するもので
ある。
〔従来の技術〕
トランスファーモールド装置については、電子材料別冊
超LSI製造・試験装置ガイドブック1987年版p1
60〜165に記載されている。第3図は、そのa要を
示すもので、下金型一部平面図である。以下図面に従い
説明する。まず、加熱された金型1にダイボンド、ワイ
ヤボンドの終ったリードフレーム2をセットする。次に
粉末樹脂を成形したタプレッ)Y予熱したのち加熱され
た金型1のポット(図示せず)内に投入し、図示しない
ブランジャにて加圧する。加圧された樹脂(このとき、
樹脂は溶融状態となっている)はメインランナー4に送
り出され、キャビティランナー4a及びゲート5を介し
てキャビティ6内に注入される。キャビティ6内に光て
んされた樹脂は一定時間成形されたのち、金型から取り
田されるようになっている。ところで、このようなモー
ルド装[においては、メインランナー4とキャビティラ
ンナー4aの間には、図示するように各キャビティラン
ナーごとにダミーキャビティ7が設けられ、レジン圧入
初期のエアーがリードフレーム2を載置しているキャビ
ティ6内に入り込む前に、ダミーキャビティ7へ流れ込
むよう圧している。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、このようなレジン注入初期に発生するエアー
の巻き込みの対策を目的とjるダミーキャビティ7を用
いたモールド装置に、ly)つては、般にダミーキャビ
ティ7とキャビティ6が同形状であるため容重が小さい
。従って、ポットから遠(・惧1]のキャビティ6a〜
6hにレジンか光てんし終わる前にダミーキャビティ7
が完全に充てんしてしまい、例えばポットとタブレット
の隙間に起因し曵ボイドが発生するとそのボイドはメイ
ンランナーの側面に沼って伝わっていき、ダミーキャビ
ティ7(このときは、レジンにて完全に光℃んされて(
・る)′?:通過してリードフレーム2かg置されてい
るキャビティ6内にボイドが流入してしまい、レジンモ
ールド製品の耐湿性が低下し、また外観不良が発生する
問題があった。そこで、ゲート5の断面積を小サクシて
ダミーキャビティ7ヘレジンが流入しに<クシて、ダミ
ーキャビティの充てん時間を長くすることが考えられる
が、ゲート5内にお(・て、レジンが硬化し、ダミーキ
ャビティ7への通路がふさがれてしまう危険性が極めて
高(なる。また、ゲート幅を狭くしすぎるとゲートのレ
ジンの離型(金型から成形した製品を取出す)性が極め
て悪くなる。
CnMを解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
ブランジャが下降している間1丁なわちキャビティにレ
ジンが注入されている閣は、ランナー内側側面に浴って
流れるレジンが流入するダミーランナーを、キャビティ
よりレジンの流れ方向に対して上流側に設けるものであ
る。
〔作用〕
上記した手段によれば、全キャビティにレジンが充てん
されている間は、ダミーランナー側に巻き込みエアーが
流れていくので、製品のボイド不良を低減できるもので
ある。
〔実施例〕
第1図は、本発明の一実施例であるモールド装置の下金
型平面図、第2図は、本発明を用いたモールド装置の断
面図である。以下、図面に従い詳細に説明する。
10.11はそれぞれ下金型及び上金型であり、そのパ
ーティング而を互(・に対向させて配置している。12
はvJ末樹脂(レジン)を成形したタフレット13をモ
ールド金型内部に投入するためのポットであり、上台I
fi11の中央部に設けられている。14はポット15
に対向して形成された略円状の溝で一般にカルと呼ばれ
ている。15はカル14から延在するメインランナーで
あり、ブランジャ16によりポット12内で押しつふさ
れたタブレット13は溶融レジンとして前記メインラン
ナー15へ送り出される。17は上記メインランナー1
5に連続しているキャビティランナーであり、本実施例
には1本のメインランナー15から2本のキャビティラ
ンナー17a、17bの2本が分岐している。18は前
記各キャビティランナー16の両側に所定間隔おきに配
列したキャビティであり、各々ゲート19を介してキャ
ビティランナー16と接続している。20はレジン流れ
方向に対しキャビティ17よりも上流側で、かつキャビ
ティランナー15の内側側面に設けたダミーランナーで
ある。このダミーランナー20は、キャビティランナー
18と同様なレジンの流れ状態が得られ、かつモールド
完了後の離型性を考慮して、ダミーランナー20の断面
x−x’は少な(とも分岐部分においてキャビティラン
ナー17の断面Y−Y’と同一形状となって(・る。ま
た、レジンがキャビティランナー17内を移動し、かつ
キャビティ18内に注入して(・る間ダミーランナー2
0内にレジンを流入させておくため少なくともキャビテ
ィランナー17よりもダミーランナー20の方な長く設
計している。なお、21はエアーを抜くためのエアーベ
ントである。次に本実施例の動作について説明する。ま
ず、上金型11と下金型12ケ数十トンの力で型締めし
たのち、あらかじめ予熱したタブレット13をポット1
2内に投入して加熱し、前記タブレット13を溶融する
次に、ブランジャ16a’ボツ)12の内壁面に嵌合さ
せつつ下降せしめ、タブレット13を押しつぶす。押し
つぶされたタブレット13は溶融レジンとしてカル14
の形状に従ってメインランナー15内へと送り出され、
ついでキャビティランナー17iQllへ導びかれる。
ところで、ボット12とタブレット13の隙間(クリア
ランス)に起因してカル14内で巻き込んだエアーはカ
ル14の側面及びメインランナー15の内側側面P K
 ?E=iつてレジンと共に流れて(・く。しかしなが
ら、この巻き込みエアーがキャビティ18に達する前に
、上記巻き込みエアーは、キャビティランナー17aの
側l1liQから分岐しているダミーランナー20へと
流れてい(。しかも、全キャビティ18内にレジンが完
全圧充てん完了するまで、ダミーランナー20内にはレ
ジンが流入するようにダミーランナー20の長さ及び断
面積が設定されて(・る。したがって、従来のような、
1キャビティ分しか容量のなかったダミーキャビティの
場合とは異なり、キャビティ18内にレジンが完全に充
てんし終わるまでエアーボイドを吸収する効果を継続さ
せることができる。
次に、本実施例の作用・効果について説明する。
(1)レジンの流れ方向に対してキャビティが配置して
いる位置よりも上流側であって、かつ、全キャビティに
レジンが完全に充てんされるまでレジンが流入するよう
に設定されているダミーランナーを、メインランナーあ
るいはキャビティランナーの内11111側面に設ける
ことにより、レジン注人後中に発生した巻き込みエアー
をダミーランナー内にトラップさせることができると(
・う効果が得られるものである。
(2)上記によりキャビティ内へは巻き込みエアーが流
入しないので、成形した製品にボイドが生じることはな
く耐湿性が向上し、かつ外観不良の低減も達成できると
いう相剰効果が得られる。
(3)ダミーランナーの断面形状をキャビティランナー
と同形にすることにより、レジンがダミーランナー側に
かたよって流入したり、途中で便化して詰まる間@ケ考
慮せずに金型設計を行なえるという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが1本発明は上紀実梅例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更日
1能であることはい5までもない。
例えば、ダミーランナーの形状及び位置は本実施例に限
定されるものではな(・。すなわち、ダミーランナーの
分枝口がレジンの流れに対してキャビティ18の配置位
置より上流側にあれば良い。
また、その断面形状はキャビティランナー17とかなら
ずしも同一でなくても、キャビティランナー17ヘレジ
ンがスムース&C流れ、かつキャビティ18にレジンが
注入されている間はダミーランナー20にレジンが流入
する範囲内に設定されていれば良い。
以上の説明では主とし【本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置のモール
ド技術に適用した場合にっ(・て説明したが、七tN、
に限定されるものではなく、たとえば、プラスチックの
射出成形技術などに適用できる。
〔発明の効果〕
本願にお(・て開示される@明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単にii!明すれは、下記のとお
りである。
すなわち、モールド成形品(製品)のボイド低域による
耐湿性の向上及び外観不良の低減が達成できる。なお、
特に、ボイドに対して余裕のない薄型のパッケージを有
する半導体製品に対して効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、不発明の一実施例であるモールド装置の下金
型平面図、 第2図は、本発明の一実施例であるモールド装置の縦断
面図、 第3図は、従来のモールド装置の下金型平面図である。 10・・・下金型、】1・・・上金型、12・・・ポッ
ト。 13・・・タブレット、14・・・カル% 15・・・
メインランナー 16・・・ブランジャ、17・・・キ
ャビティランナー 18・・・キャビティ、19・・・
ゲート、20・・・ダミーランナー 21・・・エアー
ベント。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、タブレット状に成形されたレジンを投入するための
    ポットと、前記ポットからブランジャにより押圧されて
    送り出されたレジンの輸送路であり、上下金型の一方側
    パーティング面に形成されたメインランナー及びそれに
    続くキャビティランナーと、上下両金型のパーティング
    面に対向して形成された溝で構成され、かつゲートを介
    して上記キャビティランナーに連結したキャビティと、
    レジンの流れ方向に対して前記キャビティより上流側で
    、かつメインランナーあるいはキャビティランナーに連
    結するダミーランナーを有するモールド装置。 2、ダミーランナーは、ランナーとダミーランナーの連
    結点からランナーの終端までの距離よりも長く、かつラ
    ンナーと断面が同形状であることを特徴とする請求項1
    項記載のモールド装置。
JP29596188A 1988-11-25 1988-11-25 モールド装置 Pending JPH02143816A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29596188A JPH02143816A (ja) 1988-11-25 1988-11-25 モールド装置

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29596188A JPH02143816A (ja) 1988-11-25 1988-11-25 モールド装置

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Publication Number Publication Date
JPH02143816A true JPH02143816A (ja) 1990-06-01

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ID=17827329

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29596188A Pending JPH02143816A (ja) 1988-11-25 1988-11-25 モールド装置

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JP (1) JPH02143816A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7247267B2 (en) * 2003-08-12 2007-07-24 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Mold and method of molding semiconductor devices
US9070983B2 (en) 2011-07-29 2015-06-30 Toshiba Tec Kabushiki Kaisha Wireless communication system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7247267B2 (en) * 2003-08-12 2007-07-24 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Mold and method of molding semiconductor devices
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