JPH02133060A

JPH02133060A - パルスモータ

Info

Publication number: JPH02133060A
Application number: JP28703388A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nakagawa; 洋中川
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1988-11-14
Filing date: 1988-11-14
Publication date: 1990-05-22
Anticipated expiration: 2012-09-03
Also published as: JP2650367B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」この発明は、例えば、産業用ロボットなどのように比較
的大きな推力が要求されるＦＡ（ファクトリーオートメ
ーション）機器に用いて好適なパルスモータに関するも
のである。

「従来の技術」周知のように、リニアパルスモータはスライダに供給さ
れるパルス信号に基づき、スライダまたは二次側スケー
ル（以下、単にスケールと称す）をステップ状に歩進動
作させるものであり、その磁気回路の構成は、第８図に
示す通りである。この図において、ｌは長尺板状の磁性
体によって構成されたスケールであり、その上面には、
凹凸状の歯部１　ａ，　１　ａ，・・・が長手方向（図
面左右方向）に沿って等間隔に形成されている。このス
ケールＩの上面にはスライダ２が図示せぬローラ等から
なる支持機構によってスケールＩの長手方向へ移動自在
に指示された状態で載置されている。スライダ２は、コ
字状のＡ相鉄心４およびＢ相鉄心５と、Ａ相鉄心４のＡ
相磁極４ａおよび入相磁極４ｂに各々巻回されたコイル
６ａおよび６ｂと、Ｂ相鉄心５のＢ相磁極５ａおよび０
相磁極５ｂに各々巻回されたコイル７ａおよび７ｂと、
鉄心４および５の上面に図示する極性で取り付けられた
永久磁石８および９と、永久磁石８および９の上面に取
り付けられた板状の磁性体によって構成されるバックプ
レート１０とから構成されている。そして、磁極４ａの
下面には、スケールｌの歯部１ａのピッチＰと同一ピッ
チの極歯１４ａが３個形成されており、磁極４ｂ．，５
ａ，５ｂの各下而にも同様に極歯ｌ　４　ｂ１５ａ，１
５ｂが各々形成されている。また、これらの極歯１　５
ｂ，ｌ　４ｂ，Ｉ　５ａは極ｌ′ａ　ｌ　４　ａに対し
て順次Ｐ／４ずつずらして配置されており、極歯１４ａ
，ｌ　４ｂ．ｌ　５ａ，Ｉ　５ｂの各下面と歯部１ａの
上面との間には、所定の間隙Ｇが各々形成されていろ。

そして、コイル６　ａ，　６　ｂ，　７　ａ，　７　ｂ
に所定のパルス信号を順次供給することにより、コイル
６　ａ，　６　ｂ７ａ　７ｂが発生ずる磁束と、永久磁
石８．９が発１」ミする磁束とが３磁極４ａ，４ｂ．５
ａ．５ｂにおいて、順次加減され、スケールｌに対する
スライダ２の磁気的安定位置が順次序動し、これにより
、スライダ２がスケール１の長手方向にｉ！）って移動
４−る。

ここで、２組のコイル６　ａ，　６　ｂおよび７ａ，７
ｂに常に電流を供給する２相励磁方式によー，てスライ
ダ２を駆動する場合を例にして説明する。

■第９図（ａ）に示す様に、コイル６ａ，６ｂｉ．：喘
子６ｃから６（１へ向って所定の電流を流すと共に、コ
イル７ａ　７ｂに端子７ｄから７Ｃへ向って所定の電流
を流すことによって、コイル６ａが発生ずる磁束と、永
久磁石８が発生する磁束とがＡ相磁極４ａにおいて相加
わり、人相磁極４ｂにおいて互いに打ち消し合う一方、
コイル７ａが発生ずる磁束と、永久磁石９が発生する磁
束とがＢ相磁極５ａにおいて相加わり、Ｂ相磁極５ｂに
おいて、互いに打ち消し合うので、図に実線φ１で示す
主磁束が発生し、この結果、Ａ相磁極４ａおよびＢ相磁
極５ａの各極歯１４ａおよび１５ａと、スケールＩの歯
部Ｉａとが上下に対向した位置が磁気的に安定した位置
となる。

■第９図（ｂ）に示す様に、コイル６ａ，６ｂに■と同
一方向へ所定の電流を流すと共に、コイル７ａ，７ｂに
■と逆方向へ所定の電流を流すことによって、図に実線
φ，で示す主磁束が発生し、この結果、各極歯１４ａお
よび１５ｂと歯部１ａとが上下に対向した位置が磁気的
に安定した位置となる。

■第９図（ｃ）に示す様に、コイル６ａ，６ｂに■と逆
方向へ所定の電流を流すと共に、コイル７ａ，７ｂに■
と同方向へ所定の電流を流すことによって、図に実線φ
，で示す主磁束が発生し、この結果、谷極１１　４ｂお
よび１５ｂと歯部１ａとが」二下に対向した位置が磁気
的に安定した位置となる。

■第９図（（１）に示す様に、コイルｆ３ａ，６ｂに■
と同方向へ所定の電流を流すと共に、コイル７ａ，７ｂ
に■と逆方向へ所定の電流を流すことによって、図に実
線φ４で示す主磁束が発生し、この結果、各極歯１４ｂ
および１５ａと歯部１ａと上下に対向した位置か磁気的
に安定した位置となる。

以上の■一■一■一■の各励磁モー１・の類にパルス励
磁を繰り返すことによって、スライダ２が図面右方向、
すなわち磁極４ａから５ｂに向かう方向へ序動し、■一
■一■一■の各励磁モートの順にパルス励磁を繰り返す
ことによって、スライダ２か図面左方向、すなわち磁極
５ｂから４ａに向かう方向へ移動する。なお、スライダ
２を固定してスケールｌを移動させる場合も同様である
。

「発明が解決しようとする課題」ところで、一般に、リニアパルスモータはオープンルー
プで高精度な位置決めが可能なことから、ＯＡ（オフィ
スオートメーンヨン）機器のプリンタのキャリッジ駆動
等に用いられているものの、大きな推力が得られないた
め、産業用ロボットなどのように比較的大きな推力が要
求されるＦＡ機器には、適用することが困難であった。

すなわち、上述したリニアパルスモータにおいては、第
９図（ａ）〜（ｄ）に示すように、一方のＡ相磁極４ａ
もしくはＢ相磁極５ａにおいてコイル６ａもしくは７ａ
が発生する磁束と永久磁石８．９が発生する磁束とが相
加わり、推力か発生している期間、他方の入相磁極４ｂ
らしくはｎ相磁極５ｂにおいては、コイル６ｂもしくは
７ｂが発生ずる磁束と、永久磁石８．９が発生する磁束
とが互いに打ち消し合い、推力か発生しないように構成
されている。逆に、人相磁極４ｂもしくはｎ相磁極５ｂ
において推力が発生している期間、Ａ相磁極４ａもしく
はＢ相磁極５ａにおいては、推力が発生しないように構
成されている。したがって、実際に推力発生に寄与する
推力発生面積は、スケール【と対向する各磁極４ａ，４
ｂ，５ａ，５ｂの総面積の内、５０％しかなく、この推
力発生面積を広げることが、推力向上を図る際の重要な
課題となっていた。また、このような推力向上を図った
パルスモータを実用化する際において、可能な限り簡素
な構成とし、容易に製造し得ると共に、充分な剛性強度
が得られる構造とすることも重要な課題と成っていた。

この発明は、上述した事情に鑑みてなされたしので、ス
ケールと対向する各磁極の総面積を推力発生用に有効に
利用し得て、大きな推力が得られると共に、簡素な構成
で、容易に製造することができ、かつ充分な剛性強度が
得られるバルスモー夕を提供することを目的としている
。

「課題を解決するための手段−１この発明は、特定方向に沿って等間隔に南部を有する二
次側スケールと、前記二次側スケールに対してｉｉｆ記
特定方向へ移動自在に支持された一次側磁束発生部とか
らなり、前記一次側磁束発生部の各磁極と前記二次側ス
ケールの各歯部との間に杉成された各間隙に順次磁束を
発生させることにより、而記一次側磁束発生部を二次側
スケールに対して相対移動させるパルスモータにおいて
、前記二次側スケールを、前記特定方向に沿って一定間
隔Ｐ／２で各々配列された歯部と、前記各南部門に、隣
合うもの同志の極性か互いに逆方向となるように各々挿
入配置された永久磁石とから構成４゛る一方、前記一次
側磁束発生部を、而記二次側スケールの各歯部と一定の
間隙を隔てて６々対向するＮ側の磁極を有すると共に、
前記各磁極が前記特定方向へ順次所定寸法Ｐ／Ｎの変位
をＨして配置された鉄心と、而記鉄心に巻回されたコイ
ルとから構成したことを特徴としている。

「作用」上記構成によれば、コイルに電流を流すと、次側磁束発
生部の鉄心の一方の磁極から二次側スケールのＳ極側の
南部に流入した磁束が、永久磁石を介して隣合うＮ極側
の歯部に流入し、該歯部から一次側磁束発生部の鉄心の
他方の磁極へ流入する主磁束ループが形成されるので、
二次側スケールと対向ずる谷磁極の総而債を推力発生用
に有効に利用することかでき、大きな推力を得られる。

「実施例」以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。

第１図はこの発明の第ｌ実施例によるリニアパルスモー
タの磁気回路の構成を示す図である。

この図において、２１は固定されたスケール、２２は図
示せぬローラ等の支持機構によってスケール２ｌの長手
力向（図に示す矢印Ｍ方向）へ移動自在に支持されたス
ライダである。

スケール２ｌは、その長手力向へ沿って一定間隔Ｉ）／
２で配列され、方形状の磁性部材によって構成される歯
部２１ａ，２１ａ，・・・と、これらの各歯部２１ａ，
２１ａ，・・・間に、隣合うもの同志の極性が互いに逆
方向となるように各々挿入配置された永久磁石２ｌｂ，
２ｌｂ，・・・とから構成されている。

一方、スライダ２２は、図示せぬ連結部材によって互い
に連結されたＡ相ブロック２３とＢ相ブロック３３とか
ら構成されている。Ａ相ブロック２３は、スケール２ｌ
と各々対向するＡ相磁極２４Ａと八相磁極２４八を有す
る鉄心２４と、この鉄心２４に巻回されたコイル２５と
から構成されており、各磁極２４Ａおよび２４八には、
一定間隔Ｐで４個の極歯２４Ａａ〜２４Ａｄおよび２４
八ａ〜２４八ｄｈ＜各々形成されている。同様に、Ｂ柑
ブロック３３は、スケール２１と各々対向ずるＢ相磁極
３４Ｂと０相磁極３４１３を有する鉄心３４と、この鉄
心３４に巻回されたコイル３５とから構成されており、
各磁極３４Ｂおよび３４Ｂには、定間隔Ｐで４ｇの極ｆ
Ｊｆｌ３　４　Ｂａ　〜３　４　Ｂｄおよび３４Ｂａ〜
３　４　Ｂｄが各々形成されている。この場合、！磁極
２　４　Ａ，２　４　Ａ，３　４　Ｂ，３　４　Ｆ３（
１）相対位置関係は第２図に示すようになっている。す
なわち、鉄心２４の両端の磁極２４Ａと２４八の間、お
よび鉄心３４の両端の磁極３４Ｂと３４０の間は、互い
にＰ／２の変位を有して配置され、さらに鉄心２４と３
４の間は、Ｐ／４の変位を有して配置され、これにより
各磁極２　４　Ａ，２　４八，３　４　Ｂ，３　４　Ｑ
の順に、その移動方向Ｍへ所定寸法Ｐ／４ずつの変位を
有して配置されている（図に示すｍは整数）。

以上の構成において、コイル２５および３５の一方に電
流を供給する１相励磁方式によってスライグ２２を駆動
ずろ場合の動作について第３［・クを参１！！｛　Ｌて
説明する。

■第３図（ａ）に示す状態において、Ａ打１ブロック２
３のコイル２５に対して、図に矢印で示４゛方向へ所定
の電流を流すと、鉄心２４にはＡｔｒｌ　ｂＭ．＋’ｆ
ｉ２４人からＡ相磁極２４Ａに向ってコイル２５による
起磁力が発生し、これにより図にφ１で示４゛ように、
鉄心２４のＡ相磁極２４Ａの各極ｔ’Ｊ４２１Ａａ〜２
４ｌ＼（ｊからスケール２ｌのＳ極側の１４８＋ｓｒ２
１ａに流入した磁束か、永久磁石２＋ｂを介して１′丈
合うＮ極側のｆＪ部２１ａに流入し、この歯部２１１か
ら鉄心２４の入相磁ト鷺２４八の呂＋ｆｉ　ｆｌ４　２
　４八ａ〜２４八（１へ流入する−Ｌ磁東ループか形成
される。

この結果、Δ相磁極２４Ａのｈ極市２４Ａａ〜２４Ａｄ
がスケール２！のＳ極側の１４４部２＋ａと対向し、八
相磁極２４人の各極１幻２４人ａ〜２４八ｄがスケール
２！のＮ極側の歯部２１ａと対向するｆ．７−置が磁気
的に安定した位置となる。

■第３図（ｉ））に示ケ様に、Ｂ相ブロック３３のコイ
ル３５に対し、図に矢印で示す方向へ所定の電流を流す
と、図にφ２で示す主磁束ループが発生し、この結果、
Ｂ相磁極３４Ｕ３の各極歯３４Ｂａ〜３４Ｂｄがスケー
ル２ｌのＳ極側の歯部２１ａと対向し、０相磁極３４０
の各極歯３４Ωａ〜３４Ｂｄがスケール２ｌのＮ極側の
南部２１ａと対向する位置が磁気的に安定した位置とな
る。

■第３図（ｃ）に示す様に、Ａ相ブロック２３のコイル
２５に■と逆方向へ所定の電流を流すと、図にφ３で示
す主磁束ループが発生し、この結果、Ａ相磁極２４Ａの
各極歯２４Ａａ　〜２４Ａｄがスケール２ｌのＮ極側の
歯部２１ａと対向し、入相磁極２４八の各極歯２４人ａ
〜２４八ｄがスケール２１のＳ極側の歯部２１ａと対向
する位置が磁気的に安定した位置となる。

■第３図（ｄ）に示す様に、Ｂ相ブロック３３のコイル
３５に■と逆方向へ所定の電流を流すと、図にφ４で示
す主磁束ループが発生し、この結果、Ｂ相磁極３４Ｂの
各極歯３４Ｂａ〜３４Ｉ３ｄがスケール２ｌのＮ極側の
歯部２１ａと対向し、ｎ相磁極３４Ｂの各極歯３４１１
３ａ　〜３４Ｂｄがスケール２１のＳ極側の歯部２１ａ
と対向する位置が磁気的に安定し１こ位置となる。

以上の■−・■一■一■の各励磁モートの順にパルス励
磁を繰り返すことによって、スライグ２２が図面イｉ方
向、４−なわらＡ　Ｆｌｌブロソク２３からｌ３相ブロ
ック３３に向かう方向へ４３動じ、■−・・、■−・■
一■の各励磁モートの順にパルス励磁を繰り返すことに
よって、スライダ２２か図面左方向、３１一なわち１１
相ブロック３３からＡ相ブロック２３に向かう方向へ移
動する。

次に、第４図を参照して、この発明の第２実＋，＋１例
である３相リニアパルスモータについて１悦明４゜る。

この図において、４２は図示せぬローラｚｆ？の支持機
構によってスケール２ｌの長手力向（図に示す矢印Ｍ方
向）へ移動自在に支持されたスライダである。スライダ
４２ほ、Ａ相磁極４３Ａと、Ｉ３相磁ｈ＆　．１　３　
［３と、Ｃ相＠極４　３　Ｃトを！Ｔ　ｔ　ル鉄心４３
と、各磁極４３Ａ〜４３Ｃに各々巻回されたコイル４４
Δ〜４４Ｃとから構成されていろ。

この場合、一側郎に位置する磁極４３Ａ、中央部に位置
する磁極４３Ｂ，他側部に位置する磁極４３Ｃの順に、
スケール２１の長手力向（Ｍ方向）へ順次Ｐ／３ずつ変
位して配置され、これにより、Ａ相磁極４３Ａがスケー
ル２ｌの歯部２１ａと対向している状態において、Ｂ相
磁極４３Ｂが歯部２１ａからＰの１／３だけ変位し、Ｃ
相磁極４３Ｃが歯部２１ａからＰの２／３だけ変位する
位置関係となる。

以上の構成において、第５図に示すような励磁シーケン
スで、Ａ柑コイル４４Ａと、Ｂ相コイル・１４Ｂと、Ｃ
相コイル４４Ｃに極性が反転するパルス電流を供給し、
いわゆるバイボーラ駆動ずる場合の動作について説明す
る。

まず、第６図は、スライダ４２の各磁極４３Ａ〜４３Ｃ
とスケール２ｌの各歯部２１ａとの間に発生ずる推力ベ
クトルを示す図である。この図において、ＡはＡ相コイ
ル４４Ａに正方向に駆動電流を供給した場合に生じる推
力ベクトルを示し、入はＡ相コイル４４Ａに負方向に駆
動電流を供給した場合に生じる推力ベクトルを示し、同
様に、Ｉ３およびＣはＢ相コイル４４ＢおよびＣ相コイ
ル４６１Ｃに正方向に駆動電流を供給した場合に各々生
じる推力ベクトルを示し、ｎおよびＣはＢ相コイル４４
ｒ３およびＣ相コイル４４Ｃに負方向に駆動電流を供給
した場合に各々生しる推力ヘク１・ルを示している。

そして、第５図に■で示す期間においては、Ａ相コイル
４４Ａに正方向へ駆動電流か供給され、Ｂ相コイル・１
４Ｉ３とＣ相コイル４４Ｃには負方向へ駆動電流が供給
されており、第６図に示すように、ベクトルＡと、ヘク
トル０と、ヘクトルＣを合成したベクトルか推力ベクト
ルとなって、スケール２１とスライダ４２間に作用する
。その後、■−ｔ■→・・→■で示す順序で、各コイル
，１４Ａ〜４４Ｃに駆動電流を供給すると、スライダ４
２の各磁極４３Ａ〜４３Ｃとスケール２ｌの各歯部２１
ａとの間に発生する推力ベクトルが第６図に■一■一・
・・一■で示す順序で変化し、スケール２ｌに対するス
ライダ４２の磁気的安定点が移り変わる。このように■
→■→■→・・・→■の各励磁モードの順、または■一
■一・・・一■−■の各励磁モートの順にパルス励磁を
繰り返すことによって、スライダ４２が移動する。

次に、この発明の第３実施例である回転型・両面駆動式
のパルスモータに適用した場合の構成について第７図（
イ）〜（ハ）を参照して説明する。これらの図において
、５０はハウジングであり、５１はハウジング５０にベ
アリング５２．５３を介して回転自在に支持されている
シャフトである。

このンヤフト５１には、円板状のロータ５４がキー５５
によって固定されており、また、ハウジング５０内には
、ロータ５４の両面と各々所定の間隙を隔てて対向する
環状のステータ５６，５７が各々取り付けられている。

ロータ５４は、非ｆｆｌ　性体によって構成される環状
郎材５９および６０と、これらの部材５９と６０間に配
置され、磁性体によって構成されろと共に放射状に複数
分割された歯部６１，６＋，・・・と、各歯部６１，６
１，・・・の間に、隣り合うもの同士の極性が互いに逆
方向となるように各々挿入配置された永久磁石６２，６
２，・・・とから構成されている。また、ステータ５６
は、第１図に示す各磁極２４Ａ，２４Ａ，３４１３．３
４Ａと同様の位置関係を有Ｖる磁極６５ａ〜６５ｄが形
成された鉄心６５と、これらの磁極６５ａ〜６５（１に
各々巻回されたコイル６６ａ〜６６ｄとから構成され、
ステータ５７も同様に構成されている。以」二の構成に
おいて、第３図と同様の動作原理でロータ５４か回転駆
動され、シャフト５１が回転する。

なお、この発明は、上述した実施例に限定されろことな
く、以下に挙げる種々の変形か可能である。

■−次側スライダに、二次側スケールに対する相対移動
重を検出するセンザを設け、サーボモータとして駆動さ
Ｕ゛るようにしてもよい。

■コギングの除去、もしくは推力波形歪の改善のために
、スキュー構造としたり、同一極内におけろ若干のピッ
チずらし（等価スキュー）を施しても購イつない。

■上述した実施例においては、凸歯部２１ａ，２Ｉａ，
・・・の間の全域に亙って、永久磁石２ｌｂ，２ｌｂ．
・・・を挿入配置したが、十分な磁束か得られるのであ
れば部分的に挿入する構造としても勿論構わない。

「発明の効果」以上説明したように、この発明によれば、二次側スケー
ルを、特定方向に沿って一定間隔Ｐ／２で各々配列され
た歯部と、これら各歯部門に、隣合うもの同志の極性が
互いに逆方向となるように各々挿入配置された永久磁石
とによって構成する一方、一次側磁束発生部を、二次側
スケールの各歯部と一定の間隙を隔てて各々対向するＮ
個の磁極を有すると共に、これら各磁極が特定方向へ順
次所定寸法Ｐ／Ｎの変位を有して配置された鉄心と、各
鉄心に巻回されたコイルとから構成し、このコイルに電
流を流した場合に、一次側磁束発生部の鉄心の一方の磁
極から二次側スケールのＳ極側の歯部に流入した磁束か
、永久磁石を介して隣合うＮ極側の歯部に流入し、該歯
部から一次側磁束発生部の鉄心の他方の磁極へ流入する
主磁束ループが形成されるようにしたので、二次側スケ
ールと対向する各磁極の総面蹟を推力発生用に有効に利
用することができ、従来の２倍の推力を得られ、例えば
、産業用ロボットなどのように比較的大きな推力か要求
されるＦＡ機器にも適用することが可能になるという効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例によるリニアパルスモー
タの磁気回路構成を示す斜視図、第２図は同実施例の各
磁極の位置関係を説明するための図、第３図（ａ）〜（
ｄ）は同実施例を！相励磁方式によって駆動した場合の
動作を説明するための正面図、第４図はこの発明の第２
実施例による多相リニアパルスモータの磁気回路構成を
示す斜視図、第５図は同リニアバルスモー夕における励
磁ソーケンスを説明するための図、第６図は同リニアパ
ルスモータの各励磁モードにおける推力ベクトルを説明
するための図、第７図（イ）〜（ハ）はこの発明の第３
実施例による回転型・両面駆動式のリニアパルスモータ
の構成を示す断面図および内部構成を示す図、第８図は
従来のリニアパルスモークの磁気回路構成を示す図、第
９図（ａ）〜（ｄ）は同リニアパルスモータを２相励磁
方式によって駆動した場合の動作を説明すための図であ
る。ｌ・・・・・・スケール、１ａ・・・・・・歯部、２ｌｂ・・・・・・永久磁石、
２・・・・・スライダ、３・・・・・・Ａ相ブロック、４・・・・・・鉄心、４Ａ・・・・・・Ａ相磁極、４八・・・・・・八相磁極、５・・・・・・Ａ相コイル、３・・・・・・Ｂ相ブロック、４・・・・・・鉄心、４Ｂ・・・・・・Ｂ相磁極、４ｎ・・・・・・０相磁極、５・・・・・・Ｂ相コイル。

Claims

【特許請求の範囲】１）特定方向に沿って等間隔に歯部を有する二次側スケ
ールと、前記二次側スケールに対して前記特定方向へ移
動自在に支持された一次側磁束発生部とからなり、前記
一次側磁束発生部の各磁極と前記二次側スケールの各歯
部との間に形成された各間隙に順次磁束を発生させるこ
とにより、前記一次側磁束発生部を二次側スケールに対
して相対移動させるパルスモータにおいて、前記二次側スケールを、前記特定方向に沿って一定間隔
Ｐ／２で各々配列された歯部と、前記各歯部間に、隣合
うもの同志の極性が互いに逆方向となるように各々挿入
配置された永久磁石とから構成する一方、前記一次側磁束発生部を、前記二次側スケールの各歯部
と一定の間隙を隔てて各々対向するＮ個の磁極を有する
と共に、前記各磁極が前記特定方向へ順次所定寸法Ｐ／
Ｎの変位を有して配置された鉄心と、前記鉄心に巻回さ
れたコイルとから構成したことを特徴とするパルスモー
タ。２）前記二次側スケールの両面の各歯部と各々対向する
一対の一次側磁束発生部を設け、これらの一次側磁束発
生部は、互いに連結され、かつ前記二次側スケールに対
して前記特定方向へ移動自在に支持されていることを特
徴とする請求項１記載のパルスモータ。