JPH02128445A - フイルム剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は集積回路などの製造工程中に用いるリングフ
レームに張ったフィルムを剥離する装置に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

集積回路などの電子回路用チップなどの製造工程中にお
いて、半導体ウェハの表面にトランジスター、ダイオー
ドなどの回路を構成したのち、各素子に切断するが、そ
の切断工程の前に第１０図のように中抜き円板状のリン
グフレーム７１と回路を構成した半導体ウェハ７２とを
、接着剤層を有するフィルム７３に貼りつけてウェハ７
２を固定する作業と、カッタでウェハ７２を切断してチ
ップ７４とし、このチップ７４をエアピンセットあるい
はコレットチャックで、フィルム７３から剥離して取出
す作業と、そののち、フィルム７３をリングフレーム７
１から剥離し、リングフレーム７１に残留している粘着
剤を除去する作業がある。

また、上記のようにチップを除去したあとのフィルム７
３」二には第１１図のように不良チップ７５が残存する
のでフィルム７３と不良チップ７５を別々に分離して廃
棄しなければならない。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の作業のうち、ウェハ７２を外したのちのフィルム
７３をリング７１から外す作業や不良チップ７５の分離
作業およびフィルム７３を外したのちの粘着剤の除去作
業は従来では手作業で行っていたのできわめて手数がか
かり能率も悪いという問題があった。

この発明の目的は上記のような従来方法の問題点を解決
して、人手を要することなく、自動的にリングフレーム
からフィルムを除去するとともに不良チップをフィルム
から分離する作業を行う装置を提供することである。

（課題を解決するための手段〕 上記の目的を達成するために、この発明は、リンクフレ
ームの下面にフィルムを貼付し、このフィルムの上面に
、チップ除去後に取残された不良チップを有するワーク
を支持する基板上に、ワタの送出ロールを設け、基板の
先端はナイフェツジとし、基板の前方にはワークのリン
グフレーム内におけるフィルムの前部寄りを押下してリ
ングフレームからフィルムの前部を下方へ剥離する昇降
自在のプッシャを設け、同基板の前部下方には、上記プ
ッシャによりリングフレームから剥離されて垂れ下った
フィルムの先端をつまみ、このフィルムを前記ナイフェ
ツジを利用してリングフレムから剥離しながら基板の下
方へ引込んだのち、フィルムを離して基板前部へもどる
クランプ手段を設け、このクランプ手段の前方には、上
記クランプ手段による引張力でナイフェツジに沿って象
、角度に屈曲されて移動するフィルム上から分離した不
良チップを誘導する起伏自在のガイド板を設けたもので
ある。

また、上記基板の所定個所に開口を設け、その上方に昇
降自在の吸着バンドを設けて、前記クランプ手段により
基板の下部に展張された剥離フィルムを、下降した吸着
パッドにより吸着してその下方のハケントに収納せしめ
たのち、吸着を解除した吸着バンドを元の位置まで上昇
させるようにしたものもある。

〔作用〕

この発明は上記の構成であるから、リングフレームの下
面にフィルムを貼付し、このフィルムの上面に、チップ
除去後に取残された不良チップを存するワークを基板と
送出ロール間に挿入すると、このワークは送出ロールの
回転により基板の前方へと移動する。

基板上を前方へ移動したワークのリングフレーム内のフ
ィルムの前部が基板のナイフェツジの前方に若干用た位
置で送出ロールが停止する。（停止しない場合もある。

） つぎに、上方のプッシャが下降してリングフレーム内前
部のフィルムを押下してフィルムの前部をリングフレー
ムから剥離して下方に垂下させる。

上記のように垂下したフィルムの下端附近には、拡開状
態のクランプ手段が待機しており、フィルムが垂下した
のち、このクランプ手段が閉じてフィルムの下端をクラ
ンプし、後方、すなわち、基板の下方へ移動し始める。

こうしてクランプ手段が後方へ移動し始めると送出ロー
ルは若干制動がかけられた状態で回転を始めるのでワー
クはクランプ手段により引張られるフィルムにより引か
れて移動する。従って、フィルムに張力が働きナイフェ
ツジの部分で象、角度に屈曲されてリングフレームより
剥離されていく。

また上記のようにリングフレームから剥離されていくフ
ィルムに向けてガイド板が起き上り、ナイフェツジに沿
って急角度に屈曲したフィルムから分離した不良チップ
を案内して所定個所へ排出する。

上記のようにクランプ手段が基板の下方にフィルムを十
分に引張ってきた条件で、基板の上方に待機していた吸
着パットが下降して、基板に設けた開口を通過し、基板
の下部のフィルムを吸着する。

この間、クランプ手段はさらにフィルムを引張って移動
し、フィルムがリングフレームから完全に剥離された条
件で吸着パッドがさらに下降してＦ方にあるバケットに
フィルムを貼り付け、吸着を解除した吸着バットは上昇
して元にもどる。そののち、クランプ手段はフィルムの
クランプを解除して元にもどり、ガイド板も元にもどる
。

〔実施例〕

第１図ないし第９図に示す実施例において、１はフレー
ム、２はその上に固定した基板である。

基板２上の中間部−例に固定した支持枠３には垂直のガ
イドレール５を設け、このガイドレール５に沿って昇降
する昇降台６に垂直のエアシリンダ７を固定する。

上記シリンダ７の下方に突出したピストンロッド８の下
端には吸着パッド９を固定し、その下方の基板２にパッ
ド９を通過させる開口１０を設ける。

上記吸着パッド９は中空で下部に複数の真空吸着孔を設
けたもので、図示省略しであるホースと自動弁を介して
真空吸引手段に通じている。

１１は上記シリンダ７の後方において、支持枠３に固定
した垂直のエアシリンダで、その下端から突出したピス
トンロッド１２は前記昇降台６に連結する。

１３は基板２の上面前端に固定した門形の支持板でその
中央前面に垂直のエアシリンダなどの駆動手段１４を固
定し、この駆動手段１４の下端から突出した一対のロッ
ド１５の下端にプッシャ１６を設ける。

上記プッシャ１６は、図示例では第２図のように下向き
コ字形の枠１８にロール１９を取付けたものである。

上記支持板１３は第２図のように開口２０を有するもの
で、その後側に揺動枠２１が固定しである。

この揺動枠２１は第１図、第２図のように左右の側板２
２の上端を横材２３で一体に連結したものである。

２４は基板２の両側前部寄りに固定したブラケットで、
上記両側板２２の下部後端を軸２５によりこのブラケッ
ト２４に回動自在に取付けて、揺動枠２１が軸２５を支
点として上下に揺動する構造とする。

また、上記横材２３と支持板１３間には、揺動枠２１の
前部を下方に引下げる一対のバネ２６を張り、両側板２
２の下部間には、上記バネ２６により基板上へ圧着され
る送出ロール２８を回動自在に装着する。この送出ロー
ル２８は表面がゴムである。

第２図のように一方の側板２２の外側にロール２８と一
体の軸２９を突出させ、その外端にギヤ３０を固定する
。

３１は上記側板２２の内側に取イ１けたブレーキ付きの
モータで、その軸端に固定したギヤ３２を前記ギヤ３０
に噛合させる。

上記基板２の前縁は第３図のようにナイフェツジ３５と
し、その前方には開口３６を存して受板３７を設ける。

フレーム１の両側には一対のガイドレール４０を設け、
このレール４０に沿って進退する進退台４１にクランプ
手段４２を設ける。

上記クランプ手段４２は進退台４１上に固定したエアシ
リンダのような駆動手段４３で進退する上向きの可動爪
４４と、駆動手段４３上に固定した上向きの固定爪４５
からなるものである。

４８はフレーム１の前部両側にそれぞれ回動自在に装着
したプーリ、４９はフレーム１の後部に回動自在に取付
けた駆動軸で、その両端にプーリ５０を設け、前後のプ
ーリ４８．５０に前後の折り返し部をかけたヘルド５１
の両端を前記進退台４１の一部に固定してヘルド５１に
より進退台４１を駆動する。

また、フレーム１内の後部内にはモータや減速機などか
らなる駆動手段５２を設け、この駆動手段５２により伝
動ヘルド５３を介して駆動軸４９を正逆回転させる。

５４は不良チップのガイド板で、その両端のアーム５５
を軸５６によりフレーム１の前部両側に回動自在に取付
ける。

６０はフレーム１の前部−側に下端を揺動自在に取付け
たエアシリンダで、そのピストンロッド６１の上端を軸
６２によって一方のアーム５５に回動自在に連結する。

なお、ガイド板５４の前縁はナイフェツジ５７として不
良チップの剥離が容易となる′ようにする。

６５はフレーム１内において、支持台６６上に昇降自在
に装着したバケットで、開口１０の直下に位置し、ハネ
６７で支えられている。

つぎに上記実施例の作用を説明する。

いま、第１図、第２図の状態において、何等かの供給装
置あるいは手作業で、第１１図のような、リングフレー
ム７１に張ったフィルム７３上に不良チップ７５が残留
しているワーク７０を基板２と送出ロール２８間に挿入
し、起動スイッチを投入すると、モータ３１により送出
ロール２８が第１図の矢印方向に回転してワーク７０が
基台２−Ｌを前方に送られる。

ワーク７０の前部が開口３６の部分に進出したごとを光
電式などのセンサが検出するとモーり３１が止り、駆動
手段１４が働いてプッシャ１６が下降し、第３図のよう
にフィルム７３の＋１ｉ１部をリングフレーム７１から
剥離して垂下させる。

垂下したフィルム７３は、クランプ手段４２の可動爪４
４と固定爪４５の間に入るので、−１，記のようにプッ
シャ１６が下限に達し、フィルム７３の下端を残して基
板２上へ上昇した条件でシリンダ４３を働かせ、可動爪
４４を後退させて両爪４４．４５によりフィルム７３の
先端をクランプする。

クランプ手段４２がフィルム７３をクランプした条件を
センサが検知すると、駆動手段５２が起動してヘルド５
１を駆動し、進退台４１を第１図に向って左方へ移動さ
せる。

同時にエアシリンダ６０も作動させてピストン口、トロ
１を上昇させ、アーム５５を上方に回動させる。

従って第４図のように、フィルム７３は後方へ引張られ
るが、このときモータ３１は止り、送出ロール２８は自
由回転で適宜の制動が作用しているのでワーク７０はフ
ィルム７３によりロール２８の制動ノｊに抗して前進す
る状態となる。

従ってフィルム７３に張力が働き、第４図のようにナイ
フェツジ３５の部分で象、角度に屈曲されてリングフレ
ーム７１から剥離される。

また、上記のようにフィルム７３が急角度に屈曲するさ
いに不良チップ７５はフィルム７３から剥離するが、こ
のとき、ガイド板５４のナイフェツジ５７がフィルム７
３の屈曲部に接近しているから、フィルム７３から剥離
した不良チップ７５はガイド板５４のナイフェツジ５７
で！ｌＩ離を促進し、剥離した不良チップ７５はガイド
板５４上の斜面を滑り落ち、図示省略しである容器など
に回収される。

不良チップ７５が完全に除去され、フィルム７３が、第
５図のように基板２の開口１０の部分に展張された条件
がセンサで検知されると、シリンダ１１が働いて昇降台
６をシリンダ７とともに下降させ、吸着パッド９が吸引
作用を始めフィルム７３を吸着する。

上記のパッド９によるフィルム７３の吸着力はフィルム
７３の移動を妨げない程度であるから、クランプ手段４
２がさらに後退をつづけ、パッド９に吸着されたフィル
ム７３も後退して、フィルム７３は第６図のようにリン
グ７１から完全に剥がれる。

この状態になったとき、クランプ手段４２は最も後退し
た位置となり、駆動手段５２は停止するからこれをセン
サが検知すると駆動手段４３が働いて爪４４．４５を開
き、ついでシリンダ７が動いてピストンロッド８を下降
させ、フィルム７３を吸着したままのパッド９を下降さ
せ、第７図のようにバケット６５内の底部に押し付ける
。

バケット６５の底部に押し付けられたフィルム７３は粘
着面が下面にあるから、先に収納されているフィルム７
３上に貼り付けられる。

こうしてパット９が下限に達した条件でセンサが働き、
フィルム７３の吸着を解除したのちシリンダ７．１１が
働いてバッド９を元の位置にもどし、パッド９が上限に
達した条件で駆動手段５２が逆転し、クランプ手段４２
を最初の位置にもどす。

また、これより先にシリンダ６０の作用でガイド板５４
も最初の位置にもどっている。

上記のようにフィルム７３を剥離したのちのリングフレ
ーム７１には接着側成分やフィルム切屑などが残留して
いるのでそのまま再使用すると支障が生しる。

このため、フィルム７３を剥離したリングフレームを第
８図に示すようなリングフレーム清拭装置により清拭し
てきれいにする。

第８図において、７６は図示省略しである昇降台に取付
けた回転軸で、この回転軸７６の下部に押圧旋回部材７
７を固定する。

上記抑圧旋回部材７７は下向き椀状で回転軸７６の下端
はこの部材７７内に突出している。また、部材７７の下
縁には摩擦係数の大きい複数の突部７８が固定しである
。

部材７７内に突出した回転軸７６の下端は静止板８０の
中心孔に回動自在に嵌入する。この静止板８０はベアリ
ング８１と回転軸７６の下端のストッパ８２により回転
軸７６に対して自由に回転し、かつ回転軸７６とともに
昇降するように構成しである。

８３は布押えリングで、その上面に固定した複数の棒８
４が前記静止板８０に設けた複数のガイド孔に摺動自在
に嵌合し、バネ８５により下方へ押されている。また、
各棒８４の上端には、ストッパ８６を設けてリング８３
の一定以下の下降を阻止している。

８８は上記押圧旋回部材７７の下方において図示省略し
であるフレームに固定した布受台で、この布受台の下部
には帯状の布８９の巻軸９０および巻取軸９１を配置し
、巻軸９０から繰出した布８Ｓを布受台８８上を経て巻
取軸Ｓ１に巻取らせる布の繰出し巻取り手段を構成し、
巻取軸Ｓ１は適宜の駆動手段により所定のタイミングで
間欠運転する。

上記の清拭装置の場合、フィルム剥離後のリングフレー
ム７１は布受台８８上の布８９上に移動し、つぎに、昇
降手段が働き、押圧旋回部材７７が下降し、布押えリン
グ８３が布８９を布受台８８上に押し付けるとともに押
圧旋回部材７７の多数の突部７８がリングフレーム７１
を布８９上に押付ける。

ついで、モータが起動し、回転軸７６を回すので、その
下端の押圧旋回部材７７がリングフレーム７１を布８９
上に押し付けながら旋回する。このとき、布押えリング
８３は布８Ｓを台８８上に押し付けて回らないから、リ
ングフレーム７１の下面は布８９にすり付けられ、その
下面に残留している粘着剤が拭き取られる。また、図示
省略しであるが、布８９にアセトンなどの溶剤を噴霧し
て含浸させ、粘着剤の除去効果を高める。

こうしてリングフレーム７１を何回転かさせてその下面
を清浄にしたのち、昇降手段の作用で押圧旋回部材７７
が上昇し、モータが停止する。押圧旋回部材７７が所定
高さに上ると、適宜の推進手段が働いて清浄となったリ
ングフレーム７１を送り出す。

また、前記のようにリングフレーム７１に接触して汚れ
た布受台８８上の布８９はリングフレム７１の移動後に
巻取軸９１が回動して布８９の汚れた部分を巻取り、布
８９のきれいな部分を布受台８８上へ移動させる。

上記の装置は布８９が有機溶剤を含んだ不織布であり、
洗浄を行なわないものであるが、フィルム剥離後のリン
グフレーム７１を第９図に示すような洗浄装置で洗浄す
る場合もある。

すなわち、第９図の装置において、上下一対のピンチロ
ール９２と同じく上下一対のピンチロール９３を前後に
並べ、その間に上下一対の回転ブラシ９４を配置する。

また、下部のピンチロール９２と回転ブラン９４の間に
はその」一方を通過するリングフレーム７１に洗浄液を
噴射する複数のノズル９５を横方向に並べ、また、上下
のピンチロール９３の前方にハヒンチロール９３間から
でてきたリングフレーム７１の上下に洗浄水を噴射する
複数のノズル９６を横方向に並べる。

なお、上記のピンチロール９２．９３は表面をゴムとす
る。

上記の装置においてはピンチロールＳ２．９３および回
転ブラシ９４を適宜の駆動手段により矢印方向に駆動し
、フィルムをエリ離したのちのリングフレーム７１をビ
ンチロール９２間に挿入すると、同リングフレーム７１
はピンチロール９２に挟まれて前進する。この間ノズル
９５から界面活性剤や他の洗剤などを水に混合した高圧
の洗浄液がリングフレーム７Ｈこ噴射され、つぎに上下
の回転ブラシ９４にて上下面が摺擦されて残留接着剤や
フィルムの切屑などが除去される。回転プラノ９４間を
でたリングフレーム７１は上下のピンチロール９３で引
取られこのロール９３間をでたリングフレーム７１の上
下にノズル９６から噴出する清水からなる洗浄水がかけ
られ、汚れた洗浄液などを完全に洗い流す。

こうしてきれいになったリングフレート７１はつぎの工
程へと送られて再使用される。

なお、フィルム７３の接着剤層として、最初は接着力が
強く、紫外線を照射すると、三次元網状化して接着力が
低下するという性質の接着剤を用いた場合、基板２の一
部にリングフレーＪ、７１のフィルム接着面に向けて紫
外線を照射する紫外線灯を設け、送出し】−ル２８の下
部に入る直前のリングフレーム１のフィルム接着面に紫
外線を照射する。

〔発明の効果〕

この発明の装置は上記のように、リングフレムに張った
フィルムを自動的に剥離し、同時にフィルム上に残留し
ていた不良子ノブも自動的に除去するものであるから、
従来の手作業によるフィルムや不良チップの除去に比較
して人手を要せずに能率のよい除去作業が行われる。

また、フィルムの剥離はプッシャにより一部を剥離した
のち、クランプ手段によりフィルムを引張って同フィル
ムをナイフェツジにより会、角度に屈曲させて行うので
剥離機構が簡単であるにかかわらず剥離は確実であり、
不良チンプの除去も屈曲部により自動的に行われ、しか
もガイド板の作用で不良チップとフィルムとが完全に分
離除去されるので分離後の処理が容易である。

上記のようにリングフレームから剥離されたフィルムは
吸着パッドにより吸着されてバケット内につぎつぎと押
し付けて、各フィルムが重なって収納された状態とする
ので、剥離後のフィルムをまとめて廃棄する場合に便利
である。

また、実施例のリングフレーム清拭装置を利用した場合
はフィルム剥離後のリングフレームは布に押し付けられ
て回動されることにより残留粘着剤がきれいに拭き取ら
れる。

さらにリングフレーム洗浄装置を利用した場合はノズル
からの高圧の洗浄液や洗浄水の噴射と回転ブラシの清拭
作用により残存していたフィルム屑や接着剤が完全に除
去されるので、直ちに再使用が可能となるなどの効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のフィルム剥離装置の一実施例を示す
一部縦断側面図、第２図は同上の一部切欠正面図、第３
図ないし第７図は各工程における要部の作用を示す一部
縦断拡大側面図、第８図はリングフレーム清拭装置の要
部を示す拡大縦断側面図、第９図はリングフレーム洗浄
装置の拡大縦断側面図、第１０図はチップ除去前のワー
クの斜視図、第１１図はチップ除去後のワークの斜視図
である。 ２・・・・・・基板、　　　　　　９・・・・・・吸着
パッド、１０・・・・・・開口、　　　　　１６・・・
・・・プッシャ、２８・・・・・・送出ロール、　　３
５・・・・・・ナイフェツジ、４２・・・・・・クラン
プ手段、５４・・・・・・ガイド板、６５・・・・・・
パケット、　　　７０・・・・・・ワーク、７１・・・
・・・リングフレーム、 ７５・・・・・・不良チップ。 ト ハへ　＼ｉ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）リングフレームの下面にフィルムを貼付し、この
   フィルムの上面に、チップ除去後に取残された不良チッ
   プを有するワークを支持する基板上に、ワークの送出ロ
   ールを設け、基板の先端はナイフエッジとし、基板の前
   方にはワークのリングフレーム内におけるフィルムの前
   部寄りを押下してリングフレームからフィルムの前部を
   下方へ剥離する昇降自在のプッシャを設け、同基板の前
   部下方には、上記プッシャによりリングフレームから剥
   離されて垂れ下ったフィルムの先端をつまみ、このフィ
   ルムを前記ナイフエッジを利用してリングフレームから
   剥離しながら基板の下方へ引込んだのち、フィルムを離
   して基板前部へもどるクランプ手段を設け、このクラン
   プ手段の前方には、上記クランプ手段による引張力でナ
   イフエッジに沿って急角度に屈曲されて移動するフィル
   ム上から分離した不良チップを誘導する起伏自在のガイ
   ド板を設けたフィルム剥離装置。
2. （２）上記基板の所定個所に開口を設け、その上方に昇
   降自在の吸着パッドを設けて、前記クランプ手段により
   基板の下部に展張された剥離フィルムを、下降した吸着
   パッドにより吸着してその下方のバケットに収納せしめ
   たのち、吸着を解除した吸着パッドを元の位置まで上昇
   させるようにした請求項（１）記載のフィルム剥離装置
   。