JPS60250643A - フイルム剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）産業上の利用分野 この発明は集積回路などの製造工程中に用いるリングフ
レームに張ったフィルムを剥離する装置に関するもので
ある。

（２）従来の技術 集積回路などの電子回路用チップなどの製造工程中にお
いて、半導体ウェハの表面にトランジスター、ダイオー
ドなどの回路を構成したのち、各素子に切断するが、そ
の切断工程の前に第６図のように中抜き円板状のリング
フレーム１と回路を構成した半導体ウェハ２とを接着剤
層を有するフィルム３に貼りつけてウェハ２を固定する
作業と、丸刃でウェハ２を切断して小片の素子とし、こ
の素子をエアピンセットあるいはコレットチャックで、
フィルム３から剥離して取出す作業と、そののち、フィ
ルム８をリングフレーム１から剥離し、リン、グフレー
ム１に残留している粘着剤を除去する作業がある。

（３）発明が解決しようとする問題点 上記の作業のうち、ウェハ２を外したのちのフィルム３
をリング１か、ら外す作業やフィルム３を外したのちの
粘着剤の除去作業は従来では手作業で行っていたのでき
わめて手数がかがり能率も悪いという問題があった。

（４）問題点を解決するための手段 上記の問題点を解決するために、この発明は、下面にフ
ィルムを張ったリングフレームの両側を支持する左右一
対のガイド枠の間の空間に、フィルムの中央部の下面に
吸着する吸盤とその外周のフィルム支持台とを有する昇
降回転部材を設け、その上方にはフィルム支持台上のフ
ィルムを、この支持台上に押し付ける昇降自在δ押付部
材と、リングフレーム上に圧着する昇降自在のリング加
圧部材と、フィルム支持台とリングフレーム間のフィル
ムを押下げて、リングフレームがらフィルムを剥離させ
る剥離部材を設け、前記ガイド枠にて両側を支持された
リングフレームの下面に張っタフィルムの中央部を上向
きのフィルム支持台で支持し、下降した押付部材と加圧
部材とで、リングフレームと、フィルムの中央部を固定
した条件で、前記剥離部材を作動させたのち、剥離部材
と加圧部材を上昇させるように働く駆動手段と、フィル
ムがリングより剥離された条件で、吸盤でフィルムを吸
着したまま吸盤およびフィルム支持台を所定位置まで下
降させ、ついで水平軸の回りに所定角度回動じてフィル
ムの吸着を解除し、フィルムを落下させたのち、各部材
を元の位置に戻す駆動手段を設けたフィルム剥離装置と
、上記の機構にさらに、フィルムを剥離したのち搬送手
段で送られてきたリングフレームを粘着剤除去用の帯状
の布を介して支持する布受台を設け、この布受台の上方
にはリングフレームを布に押圧する昇降　゛自在の押圧
旋回部材を設け、前記布受台上のリングフレームの粘着
剤除去後の汚れた部分の布を引取るとともに新しい部分
の布を布受台上に供給する布の繰出し巻取り手段と、前
記抑圧旋回部材を下降させてリングのフレームを布上に
抑圧旋回させたのち、上昇させる駆動手段を設けたフィ
ルム剥離装置を提供するものである。

（５）　作用 この発明は上記の構成であるから、フィルムを下面に張
り付けたリングフレームが適宜の供給手段によってフィ
ルム支持台上に送り込まれると、上方から下降してきた
押付部材がフィルムを支持台上に押し付けて固定する。

ついで、剥離部材が下降してきてフィルム支持台の外周
部においてフィルムのみを押し下げるからフィルムの外
周部がリングフレームから剥離されβ０ ついで、フィルム支持台が下降するとフィルムは吸盤に
吸着されたまま下降し、一定の位置まで下降するとフィ
ルム支持台が約９０°回動するととモニ吸盤による吸引
が中止されるのでフィルムは吸盤から離れて落下する。

上方、押付部材やリング加圧部材は上昇し、ガイド台に
残ったリングフレームは適宜の移動手段によりつぎの場
所へ送られる。

つぎの場所には適宜の溶剤を含浸させた帯状の布の一部
を上に載せた布受台があるから、リングフレームはこの
台上の布上に載る。ついで下降してきた抑圧旋回部材が
リンダフレーム上に圧着しこのリングフレーム台上に押
し付けつつ回転する。

従って、リングフレームの下面に残留している粘着剤は
全て布により拭き取られる。その後抑圧旋回部材は上昇
し、きれいになったリングフレームがつぎに待機してい
るマガジンなどへと送り出される。

（６）実施例 第、１図、第２図において、１１は機台であり、その上
部後寄りのマガジン受台１８上に多数のリンクフレーム
１を一定の間隔で積上げたマガジン１２を載せる。

上記の各リングフレーム１には第６図のように、フィル
ム３を張り、このフィルム３上に半導体ウェハ２を貼着
してあったが、この段階では前の工程でウェハ２は除去
されてりる。また、−フィルム３はリングフレーム１の
下面にある。

１３は無端搬送ベル）１５．１６を有する供給手段で図
示省略しであるモータにより駆動される。

前記のマガジンの受台１８は適宜の昇降手段１９により
一定ピッチにて下降し、゛っぎのリングフレーム１をベ
ルト１５上に載せる作用を行なう。

ベルト１５．１６で送り出された１枚のリングフレーム
１は機台１１上の複数の支持枠２０により支えられた左
右一対のガイド枠２１に清って前進し、ベルト１５．１
６の停止とともにベルト１６上で−たん停止する。

２２は搬送手段であり、前部押片２３．中間押片２４．
後部押片２５からなり、これらはそれぞれ一対で、横軸
２６，２７．２８に固定しである。

これら、各横軸２６．２７．２８は進退枠３０にそれぞ
れ一定の間隔で、回動自在に取り付けられている。この
進退枠３０は第４図、第５図のように前後方向の上下２
本のガイド枠３１を有し、このガイド枠３１が、機台１
１上の一側に固定した前後方向の支持板３２の裏面の複
数の支持片３３に摺動自在に係合している。従って各横
軸２６゜２７．２８は支持板３２に設けた前後方向の長
窓３４を十分な遊びを存して貫通している。

また、各横軸２６，２７．２８はリンク機構により同時
に所定角度回動して、各押片２３．２４゜２５がガイド
枠２１上のリングフレーム１を押す状態と、リングフレ
ーム１上を通過する状態になるように連動させ、このリ
ンク機構を進退枠３０の一端のエアシリンダなどの駆動
手段３５で駆動し、進退枠３０は図示省略しである適宜
の駆動手段゛で進退させる。

第１図、第４図、第７図、第８図の３８はフィルム支持
台で、その中央にゴム製の吸盤３９がある。この支持台
３８は第４図のように昇降回転部材４０上に設けたもの
で、この部材４０は昇降部材４１に回動自在に取付けた
回転軸４２に固定されている。

この回転軸４２は昇降部材４１に固定したロータリアク
チェータのような駆動手段４３により駆動され、昇降部
材４１は機台１１に固定したエアシリンダのような昇降
手段４４により昇降される。

また、前記吸盤３９は図示省略されている可撓管により
真空吸引装置に連結し、電磁切換弁の作用により所定の
タイミングで吸引および吸引解除を行なう。

第１図、第３図、第４図、第７図、第８図の４６は、前
記フィルム支持台３８上に対向する筒状の押付部材であ
って、昇降棒４７の下端に固定しである。この昇降棒４
７は昇降台４８に昇降自在に取付けてあり、第３図、第
４図のように、バネ４９により下方へ押され、ストッパ
５０により一定以上の下降を制限している。

第３図、第４図の５２は支持板３２に固定した左右一対
のガイド枠で、このガイド枠に前記昇降台４８のブラケ
ット５３が昇降自在に嵌合し、このブラケット５３は支
持板３２に固定したエアシリンダなどの昇降手段５４に
より昇降される。

５５は前記昇降台４８の下端に固定した筒状のリング加
圧部材で、その内周には筒状の剥離部材５６を若干の間
隙を存して同心に配置する。

剥離部材５６には第３図のように、一対のガイド枠５７
の下端を固定してこの棒を昇降台４８に設けた一対のガ
イド孔に摺動自在にはめて回動不可とし、部材５６の下
縁５８は傾斜状とする。

第４図の６０は昇降台４８上のブラケットに固定したモ
ータで、このモータ６０により昇降台４８に設けた回転
軸６１を正逆転させる。この回転軸６１の下部には雄ネ
ジ６２を設け、この雄ネジ６２を前記剥離部材５６に固
定した雌ネジ６３にねじ込んで、回転軸６１の正逆転に
より剥離部材５６が昇降するように構成する。

第１図、第３図、第５図、第１０図の６５は機台１上に
固定した布受台で、この布受台の下部ｆこは帯状の布６
６の巻軸６７および巻取軸６８を配置し、巻軸６７から
繰出した布６６を布受台６５上を経て巻取軸６８に巻取
らせる布の繰出し巻取り手段を構成し、巻取軸６８は適
宜の駆動手段により所定のタイミングで間欠駆動する。

布受台６５の上方には抑圧旋回部材７０を配置する。こ
の部材７０の中心に固定した回転軸７１は昇降台７２に
回動自在に取付ける。

第３図、第５図の７３は支持板３２に固定した左右一対
のガイド枠で、このガイド枠に前記昇降台７２のブラケ
ット７４が昇降自在に嵌合し、こノフラケット７４は支
持板３２１こ゛固定したエアシリングなどの昇降手段７
５により昇降される。

第５図の７７は昇降台７２上のブラケットに固定したモ
ータで、このモータ７７により前記回転軸７１を駆動す
る。

前記抑圧旋回部材７０は第３図、第５図のように下向き
椀状で回転軸７１の下端はこの部材７０内に突出してい
る。また、部材７０の下縁には摩擦係数の大きい複数の
突部７６が固定しである。

部材７０内に突出した回転軸７１の下端は静止板８０の
中心孔に回動自在に嵌入する。この静止板８０はベアリ
ング８１と回転軸７１の下端のストッパ８２により回転
軸７１に対して自由に回転し、かつ回転軸７１とともに
昇降するように構成しである。

第３図、第５図、第１０図の８３は布押えリングで、そ
の上面に固定した複数の棒８４が前記静止板８０に設け
た複数のガイド孔に摺動自在に嵌合し、バネ８５により
下方へ押されている。また、各棒８４の上端には、スト
ッパ８６を設けてリング８３の一定以下の下降を阻止し
ている。

つぎに、上記の実施例の作用を説明する。

マガジン１２に収容されたリングフレーム１は下面にフ
ィルム３が張られた状態で供給手段１３により１枚づつ
ベルト１６上に供給され、ベルト１６の停止によりベル
ト１６上で停止する。

この間において、搬送手段２２の各押片２３゜２４．２
５が前方へ回動した状態で後退し、後端に達した条件で
各押片２３．２４．２５が下向きとなると、ベルト１６
上のリングフレーム１の後方に下向きの押片２５の下端
が位置する。

ついで、搬送手段２２の進退枠３０の前進とともに押片
２５がリングフレーム１を押して前進するが、このとき
リングフレーム１の両側は左右のガイド枠２１に沼って
前進する。リングフレーム１がフィルム支持台３８上ま
で前進すると進退枠３０は停止し、進退枠３０が後退を
始めるとともに各押片２３．２４．２５が前向きとなり
、リングフレーム１を残して後退する。

支持台３８上でリングフレーム１が停止シ、支持台３８
とともに上昇してきた吸盤３９がリングフレーム１に張
ったフィルム３の下面に接触する。

また、昇降手段５４の作用で昇降台４８も下降を始め、
最初に押付部材４６の下端がフィルム３を支持台３８上
に押し付ける。

ついで、バネ４９が圧縮されて、さらにリング加圧部材
５５が下り、リングフレーム１を第７図のように押え付
ける。

この状態で昇降台４８の下降が止るが、同一時にモータ
６０が正転を始め、回転軸６１が正回転を始める。この
ため、雄ネジ６２と雌ネジ６３により剥離部材５６が下
降を始め、その下縁５８がリングフレーム１とフィルム
支持台３８間のフィルム３を押し下げると、第８図のよ
うにフィルム３の周囲部がリングフレーム１から剥離す
る。

ついで、モータ６０が逆転を始めるとともに昇降台４８
も上昇を始め、剥離部材５６．押付部材４６、リング加
圧部材５５も上昇するからリングフレーム１およびフィ
ルム３は自由になるが、吸盤３９がフィルム３を吸着し
ている。

ついで、昇降手段４４の作用で昇降部材４１が下降を始
めると、吸盤３９に吸着したフィルム３も共に下降し、
一定の高さまで下ると、駆動手段４３が働いてフィルム
支持台３Ｂが約９０°回動して第９図のように吸盤３９
が横向きとなるので、この吸盤３９によるフィルム３の
吸引を中止すると、フィルム３は吸盤３９から離れて下
部の収容箱などにより回収される。

一方、フィルム剥離後のリングフレーム１は後退位置で
下向きとなった押片２４の前進により押されて布受台６
５上の布６６上に移動し、前回と同様に押片２４がリン
グフレーム１を布６６上＋ｃ残して後退する。

ついで、第５図の昇降手段７５が働き、昇降台７２が下
降し、布押えリング８３が布６６を布受台６５上に押し
付けるとともに抑圧旋回部材７０の多数の突部７６がリ
ングフレーム１を布６６上に押付ける。

ついで、モータ７７が起動し、回転軸７１を回すので、
その下端の抑圧旋回部材７０がリングフレーム１を布６
６上に押し付けながら旋回する。

このとき、布押えリング８３は布６６を台６５上に押し
付けて回らないから、リングフレーム１の下面は布６６
にすり付けられ、その下面に残留している粘着剤が拭き
取られる。また、図示省略しであるが、布６６にアセト
ンなどの溶剤を噴霧して含浸させ、粘着剤の除去効果を
高める。

こうしてリングフレーム１を何回転かさせてその下面を
清浄にしたのち、昇降手段７５の作用で押圧旋回部材７
０が上昇し、モータ７７が停止する。抑圧旋回部材７０
が所定高さに上ると、進退枠３０が前進を始め、下向き
となった押片２４が布６６上のリングフレーム１を押し
て第１図に示すマガジン９０内に送り込まれる。

このマガジン９０も前記マガジン１２とほぼ類似するも
ので、適宜の昇降手段９１により昇降される受台９２上
に載り、リングフレーム１がマガジン９０内に１枚挿入
される毎に受台９２が１ピツチ上昇するものである。

また、前記のようｌこリングフレーム１に接触して汚れ
た布受台６５上の布６６は進退枠３０の後退中に巻取軸
６８が回動して布６６の汚れた部分を巻取り、布６６の
きれいな部分を荷受台６５上へ移動させる。

上記のように搬送手段２２の進退枠３０が１往復する毎
に各押片２３．２４．２５の作用によりベルト１６上の
リングフレーム１が昇降部材４１上へ移動し、昇降部材
４１上のフィルム剥離後のリングフレーム１が布受台６
５上へ移動し、布受台６５上の清拭後のリングフレーム
１がマガジン９０内に送込まれていく。

また、各部の作動の開始、終了などの条件は各部１こ設
けたリミットスイッチなどの位置検出センサからの信号
により得られる。

なお、実施例において、剥離部材５６として筒状のもの
を用い、これを昇降させるようにしであるが、このよう
な実施例の他に、棒状ビーリングバーや回転自在のピー
リングローラを昇降棒４７を中心として旋回させること
によってフィルム３を剥離させる場合がある。

（７）効果 この発明は上記のように、リングフレームに張ったフィ
ルムを自動的に剥離し、この剥離したフィルムは吸盤に
より真空吸引して下降し、この吸盤が横向きとなって真
空吸引を解き、フィルムを落下させるのでフィルムの剥
離と排出とが全自動的に行なえ、人手が全く不用となる
。

また、フィルム剥離後のリングフレームは布に押し付け
られて回動されることにより残留粘着剤がきれいに拭き
取られるので、直ちに再使用が可能となり、布は帯状と
して間欠的に移動させることにより長時間に亘り布を取
替える必要がないなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のフィルム剥離装置の一実施例を示す
正面図、第２図は同上の平面図、第３図は要部の一部縦
断拡大正面図、第４図はフィルム剥離部の拡大縦断側面
図、第５図はリングフレーム清拭部の拡大縦断側面図、
第６図はフィルムを張ったリングフレームの一例を示す
斜視図、第７図、第８図はフィルム剥離部の作用を示す
要部拡大縦断正面図、第９図は吸盤部分の作動を示す一
部の拡大縦断側面図、第１０図はリングフレームの清拭
状態の要部拡大縦断正面図である。 １・・・リングフレーム、　３・・・フィルム、２１・
・・ガイド枠、　２２・・・搬送手段、３５．４３　・
・・駆動手段、３８・・・フィルム支持台、３９・・・
吸盤、　４０・・・昇降回転部材、４４．５４　、万・
・昇降手段、　４６・・・押付部材、５５・・・リング
加圧部材、５６・・・剥離部材、印、７７・・・モータ
、　６５・・・布受台、６６・・・布、　６７・・・巻
軸、 ６８・・・巻取軸、　７０・・・抑圧旋回部材。 特許出願人　日東電気工業株式会社 同　代理人　鎌　１）　文　二 第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　下面にフィルムを張ったリングフレームの両側を
   支持する左右一対のガイド枠の間の空間に、フィルムの
   中央部の下面に吸着する吸盤とその外周のフィルム支持
   台とを有する昇降回転部材を設け、その上方にはフィル
   ム支持台上のフィルムを、この支持台上に押し付ける昇
   降自在の押付部材と、リングフレーム上に圧着する昇降
   自在のリング加圧部材と、フィルム支持台とリングフレ
   ーム間のフィルムを押下げて、リングフレームからフィ
   ルムを剥離させる剥離部材を設け、前記ガイド枠にて両
   側を支持されたリングフレームの下面に張ったフィルム
   の中央部を上向きのフィルム支持台で支持し、下降した
   押付部材と加圧部材とで、リングフレームと、フィルム
   の中央部を固定した条件で、前記剥離部材を作動させた
   のち、剥離部材と加圧部材を上昇させるように働く駆動
   手段と、フィルムがリノグより剥離された条件で、吸盤
   でフィルムを吸着したまま吸盤およびフィルム支持台を
   所定位置まで下降させ、ついで水平軸の回りに所定角度
   回動してフィルムの吸着を解除し、フィルムを落下させ
   たのち、各部材を元の位置に戻す駆動手段を設けたフィ
   ルム剥離装置。 ２、下面にフィルムを張ったリングフレームの両側を支
   持する左右一対のガイド枠の間の空間に、フィルムの中
   央部の下面に吸着する吸盤とその外周のフィルム支持台
   とを有する昇降回転部材を設け、その上方にはフィルム
   支持台上のフィルムを、この支持台上に押し付ける昇降
   自在の押付部材と、リングフレーム上に圧着する昇降自
   在のリング加圧部材と、フィルム支持台とリングフレー
   ム間のフィルムをｘｘｑｂ押下げて、リングフレームか
   らフィルムを剥離させる殉降翫在曵剥離部材を設け、前
   記ガイド枠にて両側を支持されたリングツ。 レームの下面に張ったフィルムの中央部を上向きのフィ
   ルム支持台で支持し、下降した押付部材と加圧部材とで
   、リングフレームと、フィルムの中央部を固定した条件
   で、前記剥離部材を作動させたのち、剥離部材と加圧部
   材を上昇させるように働く駆動手段と、フィルムがリン
   グより剥離された条件で、吸盤でフィルムを吸着したま
   ま吸盤お着を解除し、フィルムを落下させたのち、各部
   材を元の位置に戻す駆動手段を設け、さらに、フィルム
   を剥離したのち搬送手段で送られてきたリングフレーム
   を粘着剤除去用の帯状の布を介して支持する布受台を設
   け、この布受台の上方にはリングフレームを布に押圧す
   る昇降自在の抑圧旋回部材を設け、前記布受台上のリン
   グフレームの粘着剤除去後の汚れた部分の布を引取ると
   ともに新しい部分の布を布受台上に供給する布の繰出し
   巻取り手段と、前記抑圧旋回部材を下降させてリングフ
   レームを布上に抑圧旋回させたのち、上昇させる駆動手
   段を設けたフィルム剥離装置。