JPH0212805A - 半導体を支持体に設ける方法 - Google Patents
半導体を支持体に設ける方法Info
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- JPH0212805A JPH0212805A JP1084912A JP8491289A JPH0212805A JP H0212805 A JPH0212805 A JP H0212805A JP 1084912 A JP1084912 A JP 1084912A JP 8491289 A JP8491289 A JP 8491289A JP H0212805 A JPH0212805 A JP H0212805A
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
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-
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- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49144—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by metal fusion
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、アルミニウムの金属層を介在して支持体に半
導体を設ける方法に関するもので、この場合金属層の区
域に熱を供給しながら半導体および支持体を互いに加圧
するようにしている。
導体を設ける方法に関するもので、この場合金属層の区
域に熱を供給しながら半導体および支持体を互いに加圧
するようにしている。
この種の方法では、アルミニウム層を主としてガルヴア
ニック プロセス(galvanic process
)などによって支持体に設け、連続する滑らかなアルミ
ニウム層を得るようにしている。アルミニウム層によっ
て半導体と支持体との間の接着を促進するために、この
アルミニウム層にノツチなどを設け、これにより半導体
と支持体との間に熱圧接結合を形成する場合に、アルミ
ニウム層の変形性に好ましい作用を与えている。例えば
、半導体を支持体に設ける必要がある場合には、特にp
nエミッターを電子管に設ける場合のように、滑らかな
アルミニウム層を粗くする付加段階を必要としている。
ニック プロセス(galvanic process
)などによって支持体に設け、連続する滑らかなアルミ
ニウム層を得るようにしている。アルミニウム層によっ
て半導体と支持体との間の接着を促進するために、この
アルミニウム層にノツチなどを設け、これにより半導体
と支持体との間に熱圧接結合を形成する場合に、アルミ
ニウム層の変形性に好ましい作用を与えている。例えば
、半導体を支持体に設ける必要がある場合には、特にp
nエミッターを電子管に設ける場合のように、滑らかな
アルミニウム層を粗くする付加段階を必要としている。
本発明の目的は上述する欠点を除去することができる、
半導体を支持体に設ける方法を提供することである。
半導体を支持体に設ける方法を提供することである。
本発明は、上記方法においてアルミニウム金属層を支持
体に溶射によって被着することを特徴とする。
体に溶射によって被着することを特徴とする。
アルミニウム層を溶射によって被着する場合には、不規
則な表面を有する層を自動的に形成し、この結果として
半導体を設ける前に、この不規則な表面を腐食またはノ
ツチ形成手段によって粗くする必要がなくなる。
則な表面を有する層を自動的に形成し、この結果として
半導体を設ける前に、この不規則な表面を腐食またはノ
ツチ形成手段によって粗くする必要がなくなる。
次に、本発明を添付図面について説明する。図面はアル
ミニウム層およびこの上に設ける半導体を有する支持体
を示している。
ミニウム層およびこの上に設ける半導体を有する支持体
を示している。
添付図面には支持体1、例えば陰極支持体を示している
。アルミニウムからなる金属層2を上記支持体1に溶射
によって被着する。このアルミニウム層2を溶射によっ
て被着する場合には、その露出表面におけるアルミニウ
ム層の外観が自動的にネIIくなる。この平坦でない状
態を図面に拡大して示している。
。アルミニウムからなる金属層2を上記支持体1に溶射
によって被着する。このアルミニウム層2を溶射によっ
て被着する場合には、その露出表面におけるアルミニウ
ム層の外観が自動的にネIIくなる。この平坦でない状
態を図面に拡大して示している。
半導体3を支持体1に固着するために、アルミニウム層
2に熱を加えながら、このアルミニウム層に半導体3を
既知の手段で加圧し、いわゆる、熱圧接結合を而立する
。アルミニウム層2の粗い表面のために、このアルミニ
ウム層が十分に変形し、このためにアルミニウム層を支
持体に被着した後に、あらかじめアルミニウム層に付加
加工段階を施す必要がなく、半導体と支持体との間に良
好な接着を達成することができる。
2に熱を加えながら、このアルミニウム層に半導体3を
既知の手段で加圧し、いわゆる、熱圧接結合を而立する
。アルミニウム層2の粗い表面のために、このアルミニ
ウム層が十分に変形し、このためにアルミニウム層を支
持体に被着した後に、あらかじめアルミニウム層に付加
加工段階を施す必要がなく、半導体と支持体との間に良
好な接着を達成することができる。
添付図面は本発明の詳細な説明するためのアルミニウム
層およびこの一トに設ける半導体を有する支持体を示す
説明用線図である。 l・・・支持体 2・・・金属層(またはアルミニウム層)3・・・半導
体
層およびこの一トに設ける半導体を有する支持体を示す
説明用線図である。 l・・・支持体 2・・・金属層(またはアルミニウム層)3・・・半導
体
Claims (1)
- 1、アルミニウムの金属層の区域に熱を加えながら、半
導体および支持体を互いに加圧して接着することによっ
て、半導体を支持体にアルミニウム金属層を介在して設
ける方法において、アルミニウム金属層を支持体に溶射
によって被着することを特徴とする半導体を支持体に設
ける方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8800902 | 1988-04-08 | ||
NL8800902A NL8800902A (nl) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | Werkwijze voor het aanbrengen van een halfgeleiderlichaam op een drager. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0212805A true JPH0212805A (ja) | 1990-01-17 |
JP2697890B2 JP2697890B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=19852090
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Country Status (5)
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---|---|
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EP (1) | EP0336514B1 (ja) |
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DE (1) | DE68926754T2 (ja) |
NL (1) | NL8800902A (ja) |
Families Citing this family (4)
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US5816478A (en) * | 1995-06-05 | 1998-10-06 | Motorola, Inc. | Fluxless flip-chip bond and a method for making |
US6090643A (en) * | 1998-08-17 | 2000-07-18 | Teccor Electronics, L.P. | Semiconductor chip-substrate attachment structure |
US6279811B1 (en) * | 2000-05-12 | 2001-08-28 | Mcgraw-Edison Company | Solder application technique |
Family Cites Families (14)
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GB1426874A (en) * | 1972-05-03 | 1976-03-03 | Mullard Ltd | Method of sealing electrical component envelopes |
IT1111635B (it) * | 1977-10-25 | 1986-01-13 | Bfg Glassgroup | Unita contenenti elementi vetrosi |
SU703871A2 (ru) * | 1977-10-28 | 1979-12-17 | Предприятие П/Я Х-5737 | Способ соединени разнородных материалов |
JPS55132048A (en) * | 1979-04-03 | 1980-10-14 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
SU854627A1 (ru) * | 1979-09-11 | 1981-08-15 | Предприятие П/Я М-5409 | Способ пайки графита с алюминием |
GB2067117B (en) * | 1980-01-02 | 1983-07-06 | Secr Defence | Bonding semi-conductor bodies to aluminium thick-film circuits |
EP0048768B1 (en) * | 1980-09-29 | 1986-01-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | A semiconductor device with a semiconductor element soldered on a metal substrate |
US4448853A (en) * | 1981-04-15 | 1984-05-15 | Bbc Brown, Boveri & Company, Limited | Layered active brazing material and method for producing it |
JPS5994569A (ja) * | 1982-11-24 | 1984-05-31 | Toshiba Corp | 拡散接合方法 |
US4729504A (en) * | 1985-06-01 | 1988-03-08 | Mizuo Edamura | Method of bonding ceramics and metal, or bonding similar ceramics among themselves; or bonding dissimilar ceramics |
US4817853A (en) * | 1986-11-26 | 1989-04-04 | Sundstrand Corporation | Composite, method of forming a composite, and article of manufacture |
US4757934A (en) * | 1987-02-06 | 1988-07-19 | Motorola, Inc. | Low stress heat sinking for semiconductors |
US4905886A (en) * | 1988-07-20 | 1990-03-06 | Grumman Aerospace Corporation | Method for diffusion bonding of metals and alloys using thermal spray deposition |
-
1988
- 1988-04-08 NL NL8800902A patent/NL8800902A/nl not_active Application Discontinuation
-
1989
- 1989-03-21 US US07/326,583 patent/US4961528A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-03 DE DE68926754T patent/DE68926754T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-03 EP EP89200843A patent/EP0336514B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-04-05 JP JP1084912A patent/JP2697890B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4961528A (en) | 1990-10-09 |
DE68926754T2 (de) | 1997-01-23 |
DE68926754D1 (de) | 1996-08-08 |
NL8800902A (nl) | 1989-11-01 |
EP0336514A1 (en) | 1989-10-11 |
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JP2697890B2 (ja) | 1998-01-14 |
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