JPH0211992A - 半導体製造装置の配管用クランプ継手 - Google Patents
半導体製造装置の配管用クランプ継手Info
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- JPH0211992A JPH0211992A JP16284888A JP16284888A JPH0211992A JP H0211992 A JPH0211992 A JP H0211992A JP 16284888 A JP16284888 A JP 16284888A JP 16284888 A JP16284888 A JP 16284888A JP H0211992 A JPH0211992 A JP H0211992A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title abstract 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title abstract 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title abstract 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 241000609816 Pantholops hodgsonii Species 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Joints With Sleeves (AREA)
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
- Clamps And Clips (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造装置の配管用クランプ継手に関す
る。
る。
（従来の技術）
半導体製造装置の配管用クランプ継手は、例えば拡散炉
、酸化炉、ＣＶＤ装置の気体流通用のステンレス製配管
の接続等に用いられている。
、酸化炉、ＣＶＤ装置の気体流通用のステンレス製配管
の接続等に用いられている。
第５図は、このような従来の半導体製造装置の配管用ク
ランプ継手の一例を示すもので、はぼ半円形状に形成さ
れた金属製の２つの締付は用部材１．２の内側には、断
面台形形状の溝１ａ、２ａが形成されており、これらの
締付は用部材１．２は、一方め端部において接続用部材
３を介して回動自在に接続されている。
ランプ継手の一例を示すもので、はぼ半円形状に形成さ
れた金属製の２つの締付は用部材１．２の内側には、断
面台形形状の溝１ａ、２ａが形成されており、これらの
締付は用部材１．２は、一方め端部において接続用部材
３を介して回動自在に接続されている。
また、これらの締付は用部材１．２の他端には、締付は
機構４が設けられている。この締付は機構４は、上記締
付は用部材１．２のどちらか一方例えば締付は用部材１
に設けられた支持軸４ａによって、回動自在に支持され
たアイボルト４ｂ、このアイボルト４ｂに螺合される蝶
ナツト４ｃ、および他方の締付は用部材２に形成され、
アイボルト４ｂが係止される係止用切り欠き溝４ｄとか
ら構成されている。
機構４が設けられている。この締付は機構４は、上記締
付は用部材１．２のどちらか一方例えば締付は用部材１
に設けられた支持軸４ａによって、回動自在に支持され
たアイボルト４ｂ、このアイボルト４ｂに螺合される蝶
ナツト４ｃ、および他方の締付は用部材２に形成され、
アイボルト４ｂが係止される係止用切り欠き溝４ｄとか
ら構成されている。
そして、第６図に示すように、配管接続部に配置される
フェルール６．７を当接状態とすることによって形成さ
れる断面台形形状の凸部８に締付は用部材１．２の溝１
ａｓ２ａを嵌合させ、締付は機構４のアイボルト４ｂを
係止用切り欠き溝４ｄ内に位置させて、蝶ナツト４Ｃを
締付けることによって配管を接続する。なお、フェルー
ル６．７の間には、０リング８が配置されており、フェ
ルール６．７には、それぞれ所望の配管が固着される。
フェルール６．７を当接状態とすることによって形成さ
れる断面台形形状の凸部８に締付は用部材１．２の溝１
ａｓ２ａを嵌合させ、締付は機構４のアイボルト４ｂを
係止用切り欠き溝４ｄ内に位置させて、蝶ナツト４Ｃを
締付けることによって配管を接続する。なお、フェルー
ル６．７の間には、０リング８が配置されており、フェ
ルール６．７には、それぞれ所望の配管が固着される。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記説明の従来の半導体製造装置の配管
用クランプ継手では、接続および取り外しの作業が困難
で、その作業に時間を要するという問題がある。
用クランプ継手では、接続および取り外しの作業が困難
で、その作業に時間を要するという問題がある。
すなわち、接続時には、蝶ナツト４Ｃを一定のトルクで
締付ける必要が有り、また、取り外し時には、強固に締
付た蝶ナツト４Ｃを緩める必要が有る。さらに、取り外
し時には、例えば締付は用部材１．２のどちらか一方が
フェルール６．７に食い込んだ状態となり、その取り外
しが困難になることがある。
締付ける必要が有り、また、取り外し時には、強固に締
付た蝶ナツト４Ｃを緩める必要が有る。さらに、取り外
し時には、例えば締付は用部材１．２のどちらか一方が
フェルール６．７に食い込んだ状態となり、その取り外
しが困難になることがある。
このような問題は、狭い空間内に配置された配管、例え
ばＣＶＤ装置内の配管等においては、上記接続および取
り外し作業を狭い空間内で行わなければならないため、
特に重要な問題となる。また、例えばＣＶＤ装置では、
定期的な検査等においてこのような配管の接続および取
り外し作業を頻繁に行う必要がある。
ばＣＶＤ装置内の配管等においては、上記接続および取
り外し作業を狭い空間内で行わなければならないため、
特に重要な問題となる。また、例えばＣＶＤ装置では、
定期的な検査等においてこのような配管の接続および取
り外し作業を頻繁に行う必要がある。
本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、従来に比べて接続および取り外し作業を容易に、かつ
、短時間で行うことができ、作業効率の向上を図ること
のできる半導体装置の配管用クランプ継手を提供しよう
とするものである。
、従来に比べて接続および取り外し作業を容易に、かつ
、短時間で行うことができ、作業効率の向上を図ること
のできる半導体装置の配管用クランプ継手を提供しよう
とするものである。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段）
すなわち本発明は、配管の端部にそれぞれフランジ部を
形成する如く設けられたフェルールを互いに押圧状態に
保持し、これらの配管を接続する半導体製造装置の配管
用クランプ継手において、それぞれ前記フェルール外周
のほぼ半部を囲む如く設けられ、一端において回動自在
に接続された２つの締付は用部材と、前記締付は用部材
の前記接続部に配置され、それぞれの前記締付は用部材
の回動がほぼ対称に生じるよう制御するギヤーと、前記
締付は用部材の非接続側端部に配置され、レバーの回動
操作により前記締付は用部材を締付は状態に保持および
解放方向に押圧するファスナとを備えたことを特徴とす
る。
形成する如く設けられたフェルールを互いに押圧状態に
保持し、これらの配管を接続する半導体製造装置の配管
用クランプ継手において、それぞれ前記フェルール外周
のほぼ半部を囲む如く設けられ、一端において回動自在
に接続された２つの締付は用部材と、前記締付は用部材
の前記接続部に配置され、それぞれの前記締付は用部材
の回動がほぼ対称に生じるよう制御するギヤーと、前記
締付は用部材の非接続側端部に配置され、レバーの回動
操作により前記締付は用部材を締付は状態に保持および
解放方向に押圧するファスナとを備えたことを特徴とす
る。
（作 用）
上記構成の本発明の半導体装置の配管用クランプ継手で
は、レバーの回動操作により、従来に比べて容品に、か
つ、短時間で接続作業を行うことができる。また、取り
外し作業も同様にしてレバーの回動操作によって行うこ
とができる。この時、レバーの回動に連動して配管周方
向に移動する係止部材が、締付は用部材を互いに解放方
向に押圧するが、締付は用部材の接続部には、これらの
締付は用部材の回動が対称に生じるよう制御するギヤー
が配置されており、例えばこれらの締付は用部材のどち
らか一方がフェルールに食い込んだ状態のままとなるよ
うなことがなく、容易に、かつ、短時間で確実に取り外
し作業を行うことができる。
は、レバーの回動操作により、従来に比べて容品に、か
つ、短時間で接続作業を行うことができる。また、取り
外し作業も同様にしてレバーの回動操作によって行うこ
とができる。この時、レバーの回動に連動して配管周方
向に移動する係止部材が、締付は用部材を互いに解放方
向に押圧するが、締付は用部材の接続部には、これらの
締付は用部材の回動が対称に生じるよう制御するギヤー
が配置されており、例えばこれらの締付は用部材のどち
らか一方がフェルールに食い込んだ状態のままとなるよ
うなことがなく、容易に、かつ、短時間で確実に取り外
し作業を行うことができる。
（実施例）
以下本発明の一実施例を、図面を参照して説明する。
配管形状に合せて、内側形状をほぼ半円形に形成された
２つの締付は用部材１１．１２の内側には、フェルール
が嵌合される断面台形形状の溝１１ａｓ１２ａが形成さ
れており、これらの締付は用部材１１．１２は、一方の
端部において接続用部材１３を介して回動自在に接続さ
れている。すなわち、これらの締付は用部材１１．１２
の接続側端部には、それぞれ円孔１４．１５が形成され
ており、これらの円孔１４．１５を貫通して接続用部材
１３に螺合されボルト１６．１７が配置されている。ま
た、第２図にも示すように、締付は用部材１１．１２の
円孔１４．１５の部位には、互いに歯合する如くギヤー
１８．１９が固着されている。したがって、ギヤー１８
．１９により、締付は用部材１１．１２は、それぞれボ
ルト１６．１７を軸として、常に対称に回動するよう構
成されている。
２つの締付は用部材１１．１２の内側には、フェルール
が嵌合される断面台形形状の溝１１ａｓ１２ａが形成さ
れており、これらの締付は用部材１１．１２は、一方の
端部において接続用部材１３を介して回動自在に接続さ
れている。すなわち、これらの締付は用部材１１．１２
の接続側端部には、それぞれ円孔１４．１５が形成され
ており、これらの円孔１４．１５を貫通して接続用部材
１３に螺合されボルト１６．１７が配置されている。ま
た、第２図にも示すように、締付は用部材１１．１２の
円孔１４．１５の部位には、互いに歯合する如くギヤー
１８．１９が固着されている。したがって、ギヤー１８
．１９により、締付は用部材１１．１２は、それぞれボ
ルト１６．１７を軸として、常に対称に回動するよう構
成されている。
また、上記締付は用部材１１．１２の他方側端部には、
締付けおよび締付は解除機構としてファスナ２０が配置
されている。すなわち、第３図にも示すように、上記締
付は用部材１１．１２のどちらか一方、例えば締付は用
部材１１には、係止用爪２１および押圧用突起２２が設
けられている。
締付けおよび締付は解除機構としてファスナ２０が配置
されている。すなわち、第３図にも示すように、上記締
付は用部材１１．１２のどちらか一方、例えば締付は用
部材１１には、係止用爪２１および押圧用突起２２が設
けられている。
また、他方の締付は用部材１２には、対向する如く設け
られた支持部材２３ａ、２３ｂにコ字状のレバー２４が
回動自在に取り付けられており、このレバー２４には、
上記係止用爪２１に係止されるとともに、その先端部で
上記押圧用突起２２を押圧するフック２５が取り付けら
れている。なお、フック２５のレバー２４取り付は側に
は螺子部２５ａが形成されており、レバー２４に固定さ
れたナツト２６に螺合され、係止用爪２１との距離を変
更することにより、締付は力を調節可能に構成されてい
る。
られた支持部材２３ａ、２３ｂにコ字状のレバー２４が
回動自在に取り付けられており、このレバー２４には、
上記係止用爪２１に係止されるとともに、その先端部で
上記押圧用突起２２を押圧するフック２５が取り付けら
れている。なお、フック２５のレバー２４取り付は側に
は螺子部２５ａが形成されており、レバー２４に固定さ
れたナツト２６に螺合され、係止用爪２１との距離を変
更することにより、締付は力を調節可能に構成されてい
る。
上記構成のこの実施例の半導体製造装置の配管用クラン
プ継手は、第６図に示した従来の半導体製造装置の配管
用クランプ継手と同様に、配管接続部に配置されるフェ
ルールを当接状態とすることによって形成される断面台
形形状の凸部に締付は用部材１１．１２の溝１１ａ、１
２ａを嵌合させる如く配置する。そして、レバー２４を
起こした状態で、フック２５を係止用爪２１に係止させ
、レバー２４を締付は用部材１２側にｌ／４回転回転目
動させることにより、接続を行う。なお、この時の締付
は力が所望の締付は力となるように、前述のように予め
螺子部２５ａおよびナツト２６により、フック２５の長
さを調節しておく。
プ継手は、第６図に示した従来の半導体製造装置の配管
用クランプ継手と同様に、配管接続部に配置されるフェ
ルールを当接状態とすることによって形成される断面台
形形状の凸部に締付は用部材１１．１２の溝１１ａ、１
２ａを嵌合させる如く配置する。そして、レバー２４を
起こした状態で、フック２５を係止用爪２１に係止させ
、レバー２４を締付は用部材１２側にｌ／４回転回転目
動させることにより、接続を行う。なお、この時の締付
は力が所望の締付は力となるように、前述のように予め
螺子部２５ａおよびナツト２６により、フック２５の長
さを調節しておく。
一方、配管の取り外しを行う場合は、レバー２４を締付
は用部材１１側に１／４回転程度回動させ、レバー２４
を起こすことによって行う。この時、上記操作に伴って
フック２５の先端部が押圧用突起２２を押圧し、締付は
用部材１１．１２は、開く方向に回動する。そして、こ
の回動は、前述のように、ギヤー１８．１９により、そ
れぞれボルト１６．１７を軸として、対称に生じるので
、締付は用部材１１．１２は、共にフェルールの凸部か
ら自動的に外れる。
は用部材１１側に１／４回転程度回動させ、レバー２４
を起こすことによって行う。この時、上記操作に伴って
フック２５の先端部が押圧用突起２２を押圧し、締付は
用部材１１．１２は、開く方向に回動する。そして、こ
の回動は、前述のように、ギヤー１８．１９により、そ
れぞれボルト１６．１７を軸として、対称に生じるので
、締付は用部材１１．１２は、共にフェルールの凸部か
ら自動的に外れる。
すなわち、この実施例の半導体製造装置の配管用クラン
プ継手では、レバー２４をｌ／４回転回転目動させるこ
とにより、従来に比べて容易に、かつ、短時間で接続作
業を行うことができる。
プ継手では、レバー２４をｌ／４回転回転目動させるこ
とにより、従来に比べて容易に、かつ、短時間で接続作
業を行うことができる。
また、取り外し作業も同様にしてレバー２４を１／４回
転程度回動させることによって行うことができる。この
時、レバー２４の回動に連動して配管周方向に移動する
フック２５が、締付は用部材１１．１２を互いに解放方
向に押圧するが、これらの締付は用部材１１．１２の回
動は対称に生じるので、締付は用部材１１．１２のどち
らか一方がフェルールに食い込んだ状態のままとなるよ
うなことがなく、容易に、かつ、短時間で確実に取り外
し作業を行うことができる。
転程度回動させることによって行うことができる。この
時、レバー２４の回動に連動して配管周方向に移動する
フック２５が、締付は用部材１１．１２を互いに解放方
向に押圧するが、これらの締付は用部材１１．１２の回
動は対称に生じるので、締付は用部材１１．１２のどち
らか一方がフェルールに食い込んだ状態のままとなるよ
うなことがなく、容易に、かつ、短時間で確実に取り外
し作業を行うことができる。
したがって、狭い空間内に配置された配管、例えばＣＶ
Ｄ装置内の配管等の接続および取り外し作業においては
、大幅な作業効率の向上を図ることができる。
Ｄ装置内の配管等の接続および取り外し作業においては
、大幅な作業効率の向上を図ることができる。
［発明の効果コ
上述のように、本発明の半導体製造装置の配管用クラン
プ継手によれば、従来に比べて接続および取り外し作業
を容易に、かつ、短時間で行うことができ、作業効率の
向上を図ることができる。
プ継手によれば、従来に比べて接続および取り外し作業
を容易に、かつ、短時間で行うことができ、作業効率の
向上を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図の、第３図は第１図の下面図、第４図は第１図の側面
図、第５図は従来の半導体製造装置の配管用クランプ継
手を示す正面図、第６図は半導体製造装置の配管用クラ
ンプ継手を取り付けた状態を示す断面図である。 １１．１２・・・・・・締付は用部材、１１ａ％１２ａ
・・・・・・溝、１３・・・・・・接続用部材、１４．
１５・・・・・・円孔、１６．１７・・・・・・ボルト
、１８．１９・・・・・・ギヤ２０・・・・・・ファス
ナ、２１・・・・・・係止用爪、２２・・・・・・押圧
用突起、２３ａ、２３ｂ・・・・・・支持部材、２４・
・・・・・レバー ２５・・・・・・フック、２５ａ・
・・・・・螺子部、２６・・・・・・ナツト。 出願人 チル・パリアン株式会社代理人 弁
理士 須 山 佐 − 第 ３図 第４図 第１図 第２図 第５図 第６図
図の、第３図は第１図の下面図、第４図は第１図の側面
図、第５図は従来の半導体製造装置の配管用クランプ継
手を示す正面図、第６図は半導体製造装置の配管用クラ
ンプ継手を取り付けた状態を示す断面図である。 １１．１２・・・・・・締付は用部材、１１ａ％１２ａ
・・・・・・溝、１３・・・・・・接続用部材、１４．
１５・・・・・・円孔、１６．１７・・・・・・ボルト
、１８．１９・・・・・・ギヤ２０・・・・・・ファス
ナ、２１・・・・・・係止用爪、２２・・・・・・押圧
用突起、２３ａ、２３ｂ・・・・・・支持部材、２４・
・・・・・レバー ２５・・・・・・フック、２５ａ・
・・・・・螺子部、２６・・・・・・ナツト。 出願人 チル・パリアン株式会社代理人 弁
理士 須 山 佐 − 第 ３図 第４図 第１図 第２図 第５図 第６図
Claims (1)
- （１）配管の端部にそれぞれフランジ部を形成する如く
設けられたフェルールを互いに押圧状態に保持し、これ
らの配管を接続する半導体製造装置の配管用クランプ継
手において、 それぞれ前記フェルール外周のほぼ半部を囲む如く設け
られ、一端において回動自在に接続された２つの締付け
用部材と、 前記締付け用部材の前記接続部に配置され、それぞれの
前記締付け用部材の回動がほぼ対称に生じるよう制御す
るギヤーと、 前記締付け用部材の非接続側端部に配置され、レバーの
回動操作により前記締付け用部材を締付け状態に保持お
よび解放方向に押圧するファスナとを備えたことを特徴
とする半導体製造装置の配管用クランプ継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16284888A JPH0211992A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 半導体製造装置の配管用クランプ継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16284888A JPH0211992A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 半導体製造装置の配管用クランプ継手 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211992A true JPH0211992A (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=15762393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16284888A Pending JPH0211992A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 半導体製造装置の配管用クランプ継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0211992A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7165789B2 (en) * | 2001-10-26 | 2007-01-23 | Salco Products, Inc. | Clamp assembly |
| US7207602B2 (en) | 2001-10-26 | 2007-04-24 | Salco Products, Inc. | Clamp assembly |
| JP2009250407A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Sekisui Chem Co Ltd | フランジ管の接合構造 |
| JP2010255701A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Jmi:Kk | 配管用クランプ継手 |
| US7883121B2 (en) * | 2005-02-18 | 2011-02-08 | Advanced Couplings Limited | Pipe coupling clamp |
| JP2012207698A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Toyo Eng Corp | 粉体移送用継ぎ手および、これを使用した粉体移送方法 |
| KR20210152932A (ko) * | 2021-04-06 | 2021-12-16 | 강성진 | 클램프 및 이를 이용한 배관의 연결 구조 |
| KR102432700B1 (ko) * | 2021-09-09 | 2022-08-16 | 임동남 | 클램프 장치 및 이를 적용한 배관 연결 구조를 구비한 장비 |
| USD991027S1 (en) | 2020-12-09 | 2023-07-04 | Bio Pure Technology Limited | Clamp |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP16284888A patent/JPH0211992A/ja active Pending
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