JPH02117162A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH02117162A JPH02117162A JP27118988A JP27118988A JPH02117162A JP H02117162 A JPH02117162 A JP H02117162A JP 27118988 A JP27118988 A JP 27118988A JP 27118988 A JP27118988 A JP 27118988A JP H02117162 A JPH02117162 A JP H02117162A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 21
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 3
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
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-
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、樹脂封止型半導体装置に用いられるリードフ
レームの改良に関するものである。
レームの改良に関するものである。
従来の技術
近年、半導体装置は、機能の拡大による半導体チップの
大型化、逆に高密度実装を目的とした半導体装置の小型
化が行なわれている。
大型化、逆に高密度実装を目的とした半導体装置の小型
化が行なわれている。
以下に従来の半導体装置について説明する。
従来ワイヤ方式による１個の半導体チップの実装方法と
しては、第３図の平面図に示すように、Ｊ−ドフレーム
１のアイランド部２上に半導体チップ３をＡｕ ／ Ｓ
ｉ接合、ブルーイング材、或は半田付によりマウント
後、チップの端子とリード端子間をワイヤ４で接続する
。その後、エポキシ樹脂等を用いた樹脂モールド層５の
形成を行なう。その後、リードフレームの所用箇所を切
断（リードカット）、折り曲げ（リードフォーミング）
を行ない、第４図に示す様な半導体装置が得られる。第
４図はこの半導体装置の断面図である。
しては、第３図の平面図に示すように、Ｊ−ドフレーム
１のアイランド部２上に半導体チップ３をＡｕ ／ Ｓ
ｉ接合、ブルーイング材、或は半田付によりマウント
後、チップの端子とリード端子間をワイヤ４で接続する
。その後、エポキシ樹脂等を用いた樹脂モールド層５の
形成を行なう。その後、リードフレームの所用箇所を切
断（リードカット）、折り曲げ（リードフォーミング）
を行ない、第４図に示す様な半導体装置が得られる。第
４図はこの半導体装置の断面図である。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、従来のリードフレームを用いて製造され
た樹脂封止型半導体装置では、半導体装置実装時等の温
度が急激に上昇する工程で、樹脂モールド層５の不特定
な場所にクラックが生じるという問題がある。これは、
樹脂モールド層５中に含有されていた水分が温度上昇時
に気化膨張し、樹脂モールド層５に応力が掛かるために
発生する。このクラックは主にアイランド部２の外周の
樹脂モールド層内部から発生する。これは、樹脂モール
ド層５とアイランド部２の熱膨張係数が異なるため、熱
ストレスにより相互間に熱応力が生じ、アイランド２の
外周に樹脂モールド層５の応力が集中する。その結果、
樹脂モールド層５中で気化膨張した水蒸気の圧力が同一
の部分に集中し相乗的に応力が高まることにより発生す
るものである。
た樹脂封止型半導体装置では、半導体装置実装時等の温
度が急激に上昇する工程で、樹脂モールド層５の不特定
な場所にクラックが生じるという問題がある。これは、
樹脂モールド層５中に含有されていた水分が温度上昇時
に気化膨張し、樹脂モールド層５に応力が掛かるために
発生する。このクラックは主にアイランド部２の外周の
樹脂モールド層内部から発生する。これは、樹脂モール
ド層５とアイランド部２の熱膨張係数が異なるため、熱
ストレスにより相互間に熱応力が生じ、アイランド２の
外周に樹脂モールド層５の応力が集中する。その結果、
樹脂モールド層５中で気化膨張した水蒸気の圧力が同一
の部分に集中し相乗的に応力が高まることにより発生す
るものである。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、樹脂モール
ド層のクラックが発生し難い、もしくは発生しても特定
の部分にしか発生しない半導体装置を提供することを目
的としている。
ド層のクラックが発生し難い、もしくは発生しても特定
の部分にしか発生しない半導体装置を提供することを目
的としている。
課題を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するため、本発明の半導体装
置は、半導体チップがマウントされるアイランド部の裏
面に突起を有している。
置は、半導体チップがマウントされるアイランド部の裏
面に突起を有している。
作用
本発明は上記した構造により、樹脂モールド層とアイラ
ンド部間の熱膨張係数の違いから生じるアイランド部外
周への応力が、アイランド部裏面に突起を設けることに
より分散され、水分の気化膨張により応力が高まった場
合にもアイランド外周部より突起部を鋭角的にすること
により応力が突起部により強（かかり樹脂モールド層の
クラックは突起部から発生する。これにより樹脂モール
ド層のクラックを突起部の直下に限定できる。このため
クラックは特定の微小な範囲に入るのみで、従来のよう
に広範囲な不特定部分にクラックは入らない。
ンド部間の熱膨張係数の違いから生じるアイランド部外
周への応力が、アイランド部裏面に突起を設けることに
より分散され、水分の気化膨張により応力が高まった場
合にもアイランド外周部より突起部を鋭角的にすること
により応力が突起部により強（かかり樹脂モールド層の
クラックは突起部から発生する。これにより樹脂モール
ド層のクラックを突起部の直下に限定できる。このため
クラックは特定の微小な範囲に入るのみで、従来のよう
に広範囲な不特定部分にクラックは入らない。
この特定の部分に微小クラックが生じた場合、半導体装
置に半田デイツプ等の処置を行ないそのクラックを埋め
ることができる。
置に半田デイツプ等の処置を行ないそのクラックを埋め
ることができる。
実施例
本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例における半導体装置の断面図
を示すものである。
を示すものである。
リードフレーム１の突起６を裏面に有するアイランド部
７の上に半導体チップ３をたとえば半田付によりマウン
ト後、チップ端子とリードフレーム端子間をワイヤ４で
接続する。その後、エポキシ樹脂等により樹脂モールド
層５の形成を行なう。このとき樹脂モールド層５の厚さ
と突起６の長さの関係は突起６が潜る程度とする。この
ような突起６の長さにすることにより、半導体装ｌ内部
で応力が高まった時には突起６の先端部から樹脂モール
ド層５の外部へクラックが生じ、内部応力を低下させ、
クラックの拡大を防ぐことができる。また、主にクラッ
クが生じるのは半導体装置の実装時（半田デイツプ時）
であり、その時に微小クラックが生じてもすぐに半田に
よりクラックが埋められる、という利点がある。
７の上に半導体チップ３をたとえば半田付によりマウン
ト後、チップ端子とリードフレーム端子間をワイヤ４で
接続する。その後、エポキシ樹脂等により樹脂モールド
層５の形成を行なう。このとき樹脂モールド層５の厚さ
と突起６の長さの関係は突起６が潜る程度とする。この
ような突起６の長さにすることにより、半導体装ｌ内部
で応力が高まった時には突起６の先端部から樹脂モール
ド層５の外部へクラックが生じ、内部応力を低下させ、
クラックの拡大を防ぐことができる。また、主にクラッ
クが生じるのは半導体装置の実装時（半田デイツプ時）
であり、その時に微小クラックが生じてもすぐに半田に
よりクラックが埋められる、という利点がある。
なお、突起６を設けることにより樹脂との接着面積が拡
大され、アイランド部７と樹脂モールド層の密着性が良
くなり、クラックが生じに（（なる効果もある。
大され、アイランド部７と樹脂モールド層の密着性が良
くなり、クラックが生じに（（なる効果もある。
なお、この場合突起６の形成は圧延によっても、アイラ
ンド部７の裏面への突起の接着によっても効果に変りは
ない。
ンド部７の裏面への突起の接着によっても効果に変りは
ない。
また第２図に示すように初めから突起６を樹脂モールド
層５の外に出る様に設計した場合、樹脂モールド層にク
ラックが生じないという効果がある。
層５の外に出る様に設計した場合、樹脂モールド層にク
ラックが生じないという効果がある。
第１図は本発明の一実施例における半導体装置断面図、
第２図は、本発明の他の実施例を示す半導体装置断面図
、第３図および第４図は従来の半導体装置の組立て時の
平面図および組立て後の断面図である。 １・・・・・・リードフレーム、３・・・・・・半導体
チップ、４・・・・・・ワイヤ、５・・・・・・樹脂モ
ールド層、６・旧・・突起、７・・・・・・アイランド
部。
第２図は、本発明の他の実施例を示す半導体装置断面図
、第３図および第４図は従来の半導体装置の組立て時の
平面図および組立て後の断面図である。 １・・・・・・リードフレーム、３・・・・・・半導体
チップ、４・・・・・・ワイヤ、５・・・・・・樹脂モ
ールド層、６・旧・・突起、７・・・・・・アイランド
部。
Claims (1)
- 樹脂封止型半導体装置に用いられるリードフレームのア
イランド部裏面に突起を形成したことを特徴とする半導
体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27118988A JPH02117162A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27118988A JPH02117162A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02117162A true JPH02117162A (ja) | 1990-05-01 |
Family
ID=17496590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27118988A Pending JPH02117162A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02117162A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5578871A (en) * | 1994-10-18 | 1996-11-26 | Fierkens; Richard H. J. | Integrated circuit package and method of making the same |
| US5864174A (en) * | 1995-10-24 | 1999-01-26 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device having a die pad structure for preventing cracks in a molding resin |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP27118988A patent/JPH02117162A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5578871A (en) * | 1994-10-18 | 1996-11-26 | Fierkens; Richard H. J. | Integrated circuit package and method of making the same |
| KR100428271B1 (ko) * | 1994-10-18 | 2004-07-12 | 피텔 이노베이션스 | 집적회로패키지와그제조방법 |
| US5864174A (en) * | 1995-10-24 | 1999-01-26 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device having a die pad structure for preventing cracks in a molding resin |
| US6177725B1 (en) | 1995-10-24 | 2001-01-23 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device having an improved structure for preventing cracks, improved small-sized semiconductor and method of manufacturing the same |
| US6459145B1 (en) * | 1995-10-24 | 2002-10-01 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device having an improved structure for preventing cracks, and improved small-sized semiconductor |
| US6569755B2 (en) | 1995-10-24 | 2003-05-27 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device having an improved structure for preventing cracks, improved small sized semiconductor and method of manufacturing the same |
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