JPH02108334U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02108334U JPH02108334U JP1720789U JP1720789U JPH02108334U JP H02108334 U JPH02108334 U JP H02108334U JP 1720789 U JP1720789 U JP 1720789U JP 1720789 U JP1720789 U JP 1720789U JP H02108334 U JPH02108334 U JP H02108334U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- wafer
- rotary table
- cleaning device
- transfer means
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第1図は、本考案の実施例を示す側断面概略図
、第2図は、同平面概略図、第3図は、洗浄装置
を配設したウエツト処理装置の部分概略構成図、
第4図は、従来例を示す側断面概略図、第5図は
、他の従来例を示す側断面概略図である。 1……純水洗浄処理槽、1a……投入部、1b
……引上げ部、2……回転テーブル、3……回転
駆動機構。
、第2図は、同平面概略図、第3図は、洗浄装置
を配設したウエツト処理装置の部分概略構成図、
第4図は、従来例を示す側断面概略図、第5図は
、他の従来例を示す側断面概略図である。 1……純水洗浄処理槽、1a……投入部、1b
……引上げ部、2……回転テーブル、3……回転
駆動機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハのウエツト処理装置内に配設され
、投入部と引上げ部とに分けられた純水洗浄処理
槽にウエハ水中移送手段を設けて成り、上記投入
部へ投入された半導体ウエハを、上記移送手段に
より水中を上記引上げ部へ移送する洗浄装置にお
いて、 上記ウエハ水中移送手段は、半導体ウエハを載
置する回転テーブルと、その回転テーブルを回動
させる回転駆動機構とより成ることを特徴とする
半導体ウエハの洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1720789U JPH02108334U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1720789U JPH02108334U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02108334U true JPH02108334U (ja) | 1990-08-29 |
Family
ID=31230784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1720789U Pending JPH02108334U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02108334U (ja) |
-
1989
- 1989-02-16 JP JP1720789U patent/JPH02108334U/ja active Pending