JPS62103248U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62103248U JPS62103248U JP19664785U JP19664785U JPS62103248U JP S62103248 U JPS62103248 U JP S62103248U JP 19664785 U JP19664785 U JP 19664785U JP 19664785 U JP19664785 U JP 19664785U JP S62103248 U JPS62103248 U JP S62103248U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- vacuum chamber
- rotary shaft
- processing apparatus
- drive means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例に係るウエハ処理
装置を部分的に示す概略図である。第２図は、第
１図の矢印Ｐ方向に見た概略図である。第３図は
、従来のウエハ処理装置の一例を部分的に示す概
略図である。 １……ウエハ、２……真空室、４……ゲートバ
ルブ、６，２６……ウエハ移送装置、２８……回
転軸、３４……ウオームギヤ、３８……手動ハン
ドル。
装置を部分的に示す概略図である。第２図は、第
１図の矢印Ｐ方向に見た概略図である。第３図は
、従来のウエハ処理装置の一例を部分的に示す概
略図である。 １……ウエハ、２……真空室、４……ゲートバ
ルブ、６，２６……ウエハ移送装置、２８……回
転軸、３４……ウオームギヤ、３８……手動ハン
ドル。
Claims (1)
- その中でウエハを処理するための真空室と、真
空室外に設けられていてウエハを保持してそれを
真空室の内外へ移送することができるウエハ移送
装置とを備えるウエハ処理装置において、ウエハ
移送装置をその先端部が真空側と大気側との間で
移動できるように支持する回転軸と、当該回転軸
を回転させるための回転駆動手段と、回転軸と回
転駆動手段を連結する歯車とを備えることを特徴
とするウエハ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19664785U JPS62103248U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19664785U JPS62103248U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103248U true JPS62103248U (ja) | 1987-07-01 |
Family
ID=31155658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19664785U Pending JPS62103248U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103248U (ja) |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP19664785U patent/JPS62103248U/ja active Pending