JPH02108243U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02108243U JPH02108243U JP1685889U JP1685889U JPH02108243U JP H02108243 U JPH02108243 U JP H02108243U JP 1685889 U JP1685889 U JP 1685889U JP 1685889 U JP1685889 U JP 1685889U JP H02108243 U JPH02108243 U JP H02108243U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron beam
- electron
- changing
- irradiation system
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の電子銃部回路と電子
銃部から試料までの光路を示す図、第２図は時間
経過に対するバイアス電圧と試料面上での電子線
密度の変化を示す図である。 １……フイラメント、２……フイラメント電源
、３……バイアス電源、４……ＣＰＵ、５……加
速電圧発生装置、６……ウエーネルト電極、７…
…アノード、８……第１収束レンズ、９……第１
収束レンズスポツト、１０……第２収束レンズ、
１１……第２収束レンズスポツト、１２……試料
。
銃部から試料までの光路を示す図、第２図は時間
経過に対するバイアス電圧と試料面上での電子線
密度の変化を示す図である。 １……フイラメント、２……フイラメント電源
、３……バイアス電源、４……ＣＰＵ、５……加
速電圧発生装置、６……ウエーネルト電極、７…
…アノード、８……第１収束レンズ、９……第１
収束レンズスポツト、１０……第２収束レンズ、
１１……第２収束レンズスポツト、１２……試料
。
Claims (1)
- 電子線を発生させる電子銃部と該電子線を拡大
、縮少する照射系とそれらの光軸上におかれた試
料とにおいて、電子鏡部のバイアス電圧を試料に
応じＣＰＵ制御する事により、照射系の条件を変
えずに試料面上の電子線照射量を変化させ、電子
線による試料の安定化が可能な事を特徴とする電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1685889U JPH02108243U (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1685889U JPH02108243U (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108243U true JPH02108243U (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=31230150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1685889U Pending JPH02108243U (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02108243U (ja) |
-
1989
- 1989-02-17 JP JP1685889U patent/JPH02108243U/ja active Pending
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