JPS6025132A - 二極形電子銃 - Google Patents
二極形電子銃Info
- Publication number
- JPS6025132A JPS6025132A JP58132764A JP13276483A JPS6025132A JP S6025132 A JPS6025132 A JP S6025132A JP 58132764 A JP58132764 A JP 58132764A JP 13276483 A JP13276483 A JP 13276483A JP S6025132 A JPS6025132 A JP S6025132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- slit
- current density
- electron gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
Landscapes
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は二極形電子銃に関し、特に、高電流密度を得る
ことができるように陰極部構造を改良した二極形電子銃
に関するものである。
ことができるように陰極部構造を改良した二極形電子銃
に関するものである。
従来、細くてしかも高電流密度の電子ビームを形成する
目的で、第１図に示すような平板状陰極と微小開口を持
つ平板状陽極とから構成される二極形電子銃が使用され
ている。
目的で、第１図に示すような平板状陰極と微小開口を持
つ平板状陽極とから構成される二極形電子銃が使用され
ている。
この二極形電子銃において、得られる電流密度Ｊは次式
により与えるれる１、 ２．３３４ｘｌＯ−６ Ｊ ＝Ｎ ” ／ ” ＣＡ／ｃｙｌＫ〕２ ここに、ｄは陰極１０と陽極２との間隙距離であわ、Ｅ
は陰極に対する陽極の印加電圧である。
により与えるれる１、 ２．３３４ｘｌＯ−６ Ｊ ＝Ｎ ” ／ ” ＣＡ／ｃｙｌＫ〕２ ここに、ｄは陰極１０と陽極２との間隙距離であわ、Ｅ
は陰極に対する陽極の印加電圧である。
間隙ｄは実際上最小値として０．１ ｍ程度に設定する
のが限度であシ、例えば電流密度ＪをＩＯＡ／′ｃｒ／
を得ようとすれば、上式より陽極電圧は約５７Ｖとなシ
、陰極径を例えば０．５調とすれば陽極への入力電力は
１．１ Ｗとなり、陽極電極のスパッタ、ガス放出、熱
変形等の問題が生じる。また、陽極電圧が高くなるため
ビーム量を制御する事が困難となる。このように、平行
平板形の二極形電子銃においては、実際的な間隙ｄと、
陽極電圧Ｅとが限定されることから、得られる電流密度
にも限度がある。
のが限度であシ、例えば電流密度ＪをＩＯＡ／′ｃｒ／
を得ようとすれば、上式より陽極電圧は約５７Ｖとなシ
、陰極径を例えば０．５調とすれば陽極への入力電力は
１．１ Ｗとなり、陽極電極のスパッタ、ガス放出、熱
変形等の問題が生じる。また、陽極電圧が高くなるため
ビーム量を制御する事が困難となる。このように、平行
平板形の二極形電子銃においては、実際的な間隙ｄと、
陽極電圧Ｅとが限定されることから、得られる電流密度
にも限度がある。
一方、第２図に示したような、陰極１１の先端部１２を
針状にして電界を集中させて、高い放出電流密度を得よ
うとする電子銃も知られている。
針状にして電界を集中させて、高い放出電流密度を得よ
うとする電子銃も知られている。
しかしながら、陽極２に微小開口２０を設けて電子ビー
ムを制限しているタイプの電子銃においては陰極の先端
部１２と微小開口２０とを高精度で同軸上に設定する必
要があり、これは実際−ヒきわめて困難である。
ムを制限しているタイプの電子銃においては陰極の先端
部１２と微小開口２０とを高精度で同軸上に設定する必
要があり、これは実際−ヒきわめて困難である。
更に、高電流密度を放出する陰極として例えばバリウム
含浸型陰極が使用されるが、電子放出は陰極面から均一
に行なわれるものではなく、通常はいわゆる、エミツシ
ョン不均一さを持っている。
含浸型陰極が使用されるが、電子放出は陰極面から均一
に行なわれるものではなく、通常はいわゆる、エミツシ
ョン不均一さを持っている。
このため、陽極に微小開口を有する電子銃においては、
この微小開口を通過できるビーム電流にも不均一さを生
じ、高電流密度ビームを安定に発生することが困難であ
る。
この微小開口を通過できるビーム電流にも不均一さを生
じ、高電流密度ビームを安定に発生することが困難であ
る。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上述した平板状陰極と針状陰極との欠
点をなくした新構造の陰極によシ、微小開口を持つ陽極
と組合せて陰極面内のエミッション不均一の影響を低減
し、高電流密度の電子ビームを安定に発生できる電子銃
を提供することにある。
点をなくした新構造の陰極によシ、微小開口を持つ陽極
と組合せて陰極面内のエミッション不均一の影響を低減
し、高電流密度の電子ビームを安定に発生できる電子銃
を提供することにある。
一般に、中心部が平板状陰極でも、その端部には電界が
集中するため、エツジ・エミッション効果によシ中心部
に比べ放出電流密１紺が上昇する。
集中するため、エツジ・エミッション効果によシ中心部
に比べ放出電流密１紺が上昇する。
従って、平板上陰極の端部は、上述した針状陰極に近い
動作をすることになる。
動作をすることになる。
本発明に係わる電子銃において使用する陰極は、電子放
出部に複数の渾みを有し、この窪み端部のエツジ・エミ
ッション効果とＥ４み内壁面からのエミッションとによ
り放出電流密度を実質的に向上させ、陰極面のエミッシ
ョン不均一に対して、陽極微小開口を通過する電子ビー
フＡｉを安定に確保できるようにしたことを特徴とする
。
出部に複数の渾みを有し、この窪み端部のエツジ・エミ
ッション効果とＥ４み内壁面からのエミッションとによ
り放出電流密度を実質的に向上させ、陰極面のエミッシ
ョン不均一に対して、陽極微小開口を通過する電子ビー
フＡｉを安定に確保できるようにしたことを特徴とする
。
以下、本発明の一実施例を第３図により説明する。第３
図は、本発明の実施例の要部を示す断面図である。本実
施例ではスリット状の窪みを陰極１３に設けてあシ、説
明を簡単にするため１つのスリット部とこの上側に陽極
２の微小開口２ｏがくるようにしている。１ｊＬ子ビー
ムはスリット端部１４と対向する陽極面上の位置に集中
するようになる。また、スリット部は平板状陽極との間
で凸レンズを形成するために、スリット内部面から放出
される電子ビームは集束作用をうけ、陽極面上では実質
的にはソ一様の電流密度となる。従って、前述した針状
陰極を使用した電子銃で発生する陰極先端部と微小開口
との位置合せ精度の問題は解消される。第３図において
、スリット部の幅Ｗは陰極１３と陽極２との間隙ｄと同
程度か、あるいはより小さく設定することが好ましい。
図は、本発明の実施例の要部を示す断面図である。本実
施例ではスリット状の窪みを陰極１３に設けてあシ、説
明を簡単にするため１つのスリット部とこの上側に陽極
２の微小開口２ｏがくるようにしている。１ｊＬ子ビー
ムはスリット端部１４と対向する陽極面上の位置に集中
するようになる。また、スリット部は平板状陽極との間
で凸レンズを形成するために、スリット内部面から放出
される電子ビームは集束作用をうけ、陽極面上では実質
的にはソ一様の電流密度となる。従って、前述した針状
陰極を使用した電子銃で発生する陰極先端部と微小開口
との位置合せ精度の問題は解消される。第３図において
、スリット部の幅Ｗは陰極１３と陽極２との間隙ｄと同
程度か、あるいはより小さく設定することが好ましい。
第４図には、本発明に係わる電子銃に使用される陰極の
他の実施例を示した。（イ）は第３図に示したスリット
状の窪みを有するものであシ、（ロ）はＶ字状窪みを有
するもの、ｅつは半円状の窪みを有するもの、に）は鋸
歯状の窪みを有するもの、（ホ）は波形の窪みを有する
ものであシ、いづれも本発明の効果が得られる陰極構造
である。
他の実施例を示した。（イ）は第３図に示したスリット
状の窪みを有するものであシ、（ロ）はＶ字状窪みを有
するもの、ｅつは半円状の窪みを有するもの、に）は鋸
歯状の窪みを有するもの、（ホ）は波形の窪みを有する
ものであシ、いづれも本発明の効果が得られる陰極構造
である。
本発明によれば、陰極に設けた窪み部のエツジ・エミッ
ションと凸レンズ作用にょシ、市い放出電流密度の電子
ビームをほぼ一様に発生できる電子銃を実視できる。
ションと凸レンズ作用にょシ、市い放出電流密度の電子
ビームをほぼ一様に発生できる電子銃を実視できる。
第１図と第２図は従来の電子銃を示す断面図、第３図は
本発明の一実施例の電子銃要部を示す…〒面図、第４図
は本発明の他の実施例で使用する陰極の断面図である。 ２・・・陽極、３・・・電子ビーム、１０，１１．１３
・・・（ロ） Ｆ■へｒ■ハ （ハ） パノ］？ｒしｒ （小） １ ゛。
本発明の一実施例の電子銃要部を示す…〒面図、第４図
は本発明の他の実施例で使用する陰極の断面図である。 ２・・・陽極、３・・・電子ビーム、１０，１１．１３
・・・（ロ） Ｆ■へｒ■ハ （ハ） パノ］？ｒしｒ （小） １ ゛。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子放出部から電子を放出する陰惨と、該陰極に対
し正の電圧が印加され微小開口を有する陽極とを有し、
上記電子放出部に少なくとも１個以上の窪みを設けたこ
とを特徴とする二極形電子銃。 ２、上記江みの幅は、−り記陰極と陽極との間隙とほぼ
同程度か、もしくは小さく設定されたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の二極形電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58132764A JPS6025132A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 二極形電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58132764A JPS6025132A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 二極形電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025132A true JPS6025132A (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=15089003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58132764A Pending JPS6025132A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 二極形電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025132A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0514444A1 (en) * | 1990-02-09 | 1992-11-25 | Motorola Inc | ENCLOSED FIELD EMISSION DEVICE. |
-
1983
- 1983-07-22 JP JP58132764A patent/JPS6025132A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0514444A1 (en) * | 1990-02-09 | 1992-11-25 | Motorola Inc | ENCLOSED FIELD EMISSION DEVICE. |
| JPH05504021A (ja) * | 1990-02-09 | 1993-06-24 | モトローラ・インコーポレーテッド | 封止型電界放出素子 |
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