JPH02103457A - 炭酸ガスセンサ - Google Patents
炭酸ガスセンサInfo
- Publication number
- JPH02103457A JPH02103457A JP63257591A JP25759188A JPH02103457A JP H02103457 A JPH02103457 A JP H02103457A JP 63257591 A JP63257591 A JP 63257591A JP 25759188 A JP25759188 A JP 25759188A JP H02103457 A JPH02103457 A JP H02103457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- nickel
- sodium
- dioxide gas
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 62
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 title claims description 31
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 title claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000010416 ion conductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 8
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 5
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 claims description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 34
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 32
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000002228 NASICON Substances 0.000 abstract description 3
- FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N Sodium cation Chemical compound [Na+] FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 abstract 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 abstract 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003898 horticulture Methods 0.000 description 1
- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 244000144972 livestock Species 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、施設園芸、環境衛生、防災用、工業用などの
炭酸ガス濃度を計測し、あるいはその計測値を用いて機
器制御する場所に利用するイオン伝導体を用いた固体電
解質型炭酸ガスセンサに関するものである。
炭酸ガス濃度を計測し、あるいはその計測値を用いて機
器制御する場所に利用するイオン伝導体を用いた固体電
解質型炭酸ガスセンサに関するものである。
従来の技術
近年、空調・農畜産分野を中心に炭酸ガスセンサに対す
るニーズが高まり、種々の方式のセンサが開発・実用化
が進められている。しかし、実用上、その信頼性に多く
の課題が残されている。
るニーズが高まり、種々の方式のセンサが開発・実用化
が進められている。しかし、実用上、その信頼性に多く
の課題が残されている。
以下、第3図および第4図を参照しながら上述した従来
の炭酸ガスセンサの例について請明する。
の炭酸ガスセンサの例について請明する。
第3図および第4図は、従来の固体電解質型炭酸ガスセ
ンサの構成を示すものである。第3図において、固体電
解質からなるイオン伝導体として薄板状のNASICO
N(ナトリウムイオン伝導セラミックス)板11は、そ
の両端に電圧信号取り出し用の1対の多孔質な電極層1
2a、12bを備え、さらに、その電極層12a、12
bのいずれか一方においてその一部、あるいは全部に炭
酸ガスと解離平衡を形成し得る金属炭酸塩の一つの種類
である炭酸ナトリウム13が付着され、炭酸ナトリウム
13を付着した側の電極層を陰極層12aと称し、他方
を陽極層12bと称した電極層とによってガス感知部1
を構成していた。
ンサの構成を示すものである。第3図において、固体電
解質からなるイオン伝導体として薄板状のNASICO
N(ナトリウムイオン伝導セラミックス)板11は、そ
の両端に電圧信号取り出し用の1対の多孔質な電極層1
2a、12bを備え、さらに、その電極層12a、12
bのいずれか一方においてその一部、あるいは全部に炭
酸ガスと解離平衡を形成し得る金属炭酸塩の一つの種類
である炭酸ナトリウム13が付着され、炭酸ナトリウム
13を付着した側の電極層を陰極層12aと称し、他方
を陽極層12bと称した電極層とによってガス感知部1
を構成していた。
また、第4図のガス感知部1には、片面下部に加熱用ヒ
ータ2を備え、1対の陰、陽極層12a。
ータ2を備え、1対の陰、陽極層12a。
12bから引出したリード線3a、3b、および加熱用
ヒータ2から引出した2本のリード線5a。
ヒータ2から引出した2本のリード線5a。
5bと、それに各々接続されたピン7a〜7dを介して
下部の台座6に固定されている。リード線3a、3bお
よびリード線sa、sbは、それぞれ信号出力用、およ
び電圧印加用でそれに接続されたビン了a〜7dは台座
6を貫通して固定されており突出した端部は外部と接続
される。プロテクタ4は、内包するガス感知部1.ヒー
タ2.リード線3a、sb、5a、 6bを機械的損
傷から保護するとともに、測定雰囲気と接触を良くする
ためにステンレス製金網で構成され、台座6に固定され
ている。
下部の台座6に固定されている。リード線3a、3bお
よびリード線sa、sbは、それぞれ信号出力用、およ
び電圧印加用でそれに接続されたビン了a〜7dは台座
6を貫通して固定されており突出した端部は外部と接続
される。プロテクタ4は、内包するガス感知部1.ヒー
タ2.リード線3a、sb、5a、 6bを機械的損
傷から保護するとともに、測定雰囲気と接触を良くする
ためにステンレス製金網で構成され、台座6に固定され
ている。
上記構成において、まず、ガス感知部1をヒータ2によ
り測定温度に加熱し、外部の雰囲気と接触させる。
り測定温度に加熱し、外部の雰囲気と接触させる。
雰囲気中の炭酸ガスは、プロテクタ4の透孔を介して拡
散あるいは、対流によシガス感知部1に対し、その際の
炭酸ガス濃度に応じて2つの電極層を構成している陰極
層12a、および陽極層12bに起電力が発生する。こ
の起電力を陰極層12a、陽極層12bよりリード線3
a、3b。
散あるいは、対流によシガス感知部1に対し、その際の
炭酸ガス濃度に応じて2つの電極層を構成している陰極
層12a、および陽極層12bに起電力が発生する。こ
の起電力を陰極層12a、陽極層12bよりリード線3
a、3b。
ピン7a、7dを介して取出して、雰囲気中の炭酸ガス
濃度を電気的に検出していた。
濃度を電気的に検出していた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記のような構成では次のような課題を
有していた。すなわち、雰囲気が高湿環境あるいは、結
露が生じやすい状態の場合で、炭酸ガスセンサが非加熱
状態のとき、ガス感知部の金属炭酸塩の7−つの種類で
ある炭酸ナトリウムは固有の吸湿作用や水溶性によって
、それぞれ水和物や水素化物を形成し、その後湿度が下
がり空気が乾燥した状態あるいは測定状態すなわち加熱
状態にすると吸収した水分が蒸発する。このように、加
熱して乾燥と非加熱状態における吸湿とが繰シ返される
と、炭酸ナトリウムは、膨張と収縮が生じ、次第に電極
層面から剥離したり、結露水に溶けて溶出したりして、
炭酸ナトリウムを付着した素子が劣化し再生不能となる
課題があった。
有していた。すなわち、雰囲気が高湿環境あるいは、結
露が生じやすい状態の場合で、炭酸ガスセンサが非加熱
状態のとき、ガス感知部の金属炭酸塩の7−つの種類で
ある炭酸ナトリウムは固有の吸湿作用や水溶性によって
、それぞれ水和物や水素化物を形成し、その後湿度が下
がり空気が乾燥した状態あるいは測定状態すなわち加熱
状態にすると吸収した水分が蒸発する。このように、加
熱して乾燥と非加熱状態における吸湿とが繰シ返される
と、炭酸ナトリウムは、膨張と収縮が生じ、次第に電極
層面から剥離したり、結露水に溶けて溶出したりして、
炭酸ナトリウムを付着した素子が劣化し再生不能となる
課題があった。
本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、第1の目的
は、高湿環境でガス感知部が加熱して乾燥と、非加熱状
態で吸湿が繰り返えされても、炭酸ナトリウムの剥離、
脱落を防止し、高い信頼性を有する炭酸ガスセンサを提
供するものである。
は、高湿環境でガス感知部が加熱して乾燥と、非加熱状
態で吸湿が繰り返えされても、炭酸ナトリウムの剥離、
脱落を防止し、高い信頼性を有する炭酸ガスセンサを提
供するものである。
また、第2の目的は、本センサが高湿雰囲気下に長時間
非加熱状態におかれても、ガス透過膜により炭酸ナトリ
ウムの吸湿を抑制し、溶出を防止することにより、より
高い信頼性を有する炭酸ガスセンサを提供するものであ
る。
非加熱状態におかれても、ガス透過膜により炭酸ナトリ
ウムの吸湿を抑制し、溶出を防止することにより、より
高い信頼性を有する炭酸ガスセンサを提供するものであ
る。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、本発明の第1の手段の炭酸
ガスセンサは、両端で1対の電極層を備えた固体電解質
からなるイオン伝導体と、前記イオン伝導体のいずれか
一方の電極層の一部あるいは、全部を覆う形状で内部に
炭酸ガスと解離平衡を形成し得る金属炭酸塩を充填した
多孔質な金属を固着し構成したガス感知部と、前記ガス
感知部を測定時に加熱する加熱部とを備えだものである
。
ガスセンサは、両端で1対の電極層を備えた固体電解質
からなるイオン伝導体と、前記イオン伝導体のいずれか
一方の電極層の一部あるいは、全部を覆う形状で内部に
炭酸ガスと解離平衡を形成し得る金属炭酸塩を充填した
多孔質な金属を固着し構成したガス感知部と、前記ガス
感知部を測定時に加熱する加熱部とを備えだものである
。
この目的を達成するための第2の手段は、上記手段に加
え、金属炭酸塩を充填した多孔質金属を、水分の侵入を
抑制し得るガス透過膜で覆ったものである。
え、金属炭酸塩を充填した多孔質金属を、水分の侵入を
抑制し得るガス透過膜で覆ったものである。
作 用
上記構成により、第1の手段による作用は、高湿環境に
おいてガス感知部が、測定時に加熱されて乾燥した後測
定が中止されて非加熱状態となり吸湿する状態が繰り返
しおこなわれ膨張・収縮した場合でも金属炭酸塩を多孔
質な金属内に閉じ込め電極層に固着しているので、金属
炭酸塩は微細な孔より出ることができず剥離、脱落する
ことなく安定して、長期間使用できることとなる。
おいてガス感知部が、測定時に加熱されて乾燥した後測
定が中止されて非加熱状態となり吸湿する状態が繰り返
しおこなわれ膨張・収縮した場合でも金属炭酸塩を多孔
質な金属内に閉じ込め電極層に固着しているので、金属
炭酸塩は微細な孔より出ることができず剥離、脱落する
ことなく安定して、長期間使用できることとなる。
この構成による第2の作用は、高湿環境において、ガス
感知部が非加熱状態におかれた場合にガス透過膜が金属
炭酸塩を充填した多孔質金属を覆っているので金属炭酸
塩の吸湿を抑制してよシ安定して長期間使用できること
となる。
感知部が非加熱状態におかれた場合にガス透過膜が金属
炭酸塩を充填した多孔質金属を覆っているので金属炭酸
塩の吸湿を抑制してよシ安定して長期間使用できること
となる。
実施例
実施例1
以下、本発明の第1の実施例について第1図の図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第1図は、本発明の一実施例の炭酸ガスセンサのガス感
知部の構成を示す縦断面図である。なお、従来例と同一
の部分には、同一符号を付けて説明は省略する。
知部の構成を示す縦断面図である。なお、従来例と同一
の部分には、同一符号を付けて説明は省略する。
第1図において、Na+イオン伝導体であるナトリウム
イオン伝導体セラミックスであるNASICON板11
の両端板形1しAuを用いた電極層12a。
イオン伝導体セラミックスであるNASICON板11
の両端板形1しAuを用いた電極層12a。
12bのどちらか一方に発泡ニッケル14が、電極層1
2aにより固着されている。発泡ニッケル14の内部に
は、炭酸ナトリウム13が充填されているが、この充填
方法については発泡ニッケルを炭酸す) IJウムの水
溶液に浸し、乾燥することにより形成しておシ、発泡ニ
ッケル内に充填されは、炭酸ナトリウムと反応を起こさ
ない多孔質な金属ならどのような金属でも良い。以上の
ように構成された炭酸ガスセンサについて以下その動作
を説明する。
2aにより固着されている。発泡ニッケル14の内部に
は、炭酸ナトリウム13が充填されているが、この充填
方法については発泡ニッケルを炭酸す) IJウムの水
溶液に浸し、乾燥することにより形成しておシ、発泡ニ
ッケル内に充填されは、炭酸ナトリウムと反応を起こさ
ない多孔質な金属ならどのような金属でも良い。以上の
ように構成された炭酸ガスセンサについて以下その動作
を説明する。
上記構成において炭酸ガス検出動作は従来例と同様なの
で説明は省略する。ガス感知部1が高湿環境で測定時に
加熱、停止時に非加熱状態を繰り返すと発泡ニッケル1
4内の炭酸ナトリウム13は、吸湿と乾燥が交互に生じ
膨張と収縮がおこなわれるが、発泡ニッケル14内の微
細な穴の中に炭酸ナトリウム13が入り込んでいるだめ
発泡ニッケル14内を移動できず剥離による脱落を防ぐ
ことができる。
で説明は省略する。ガス感知部1が高湿環境で測定時に
加熱、停止時に非加熱状態を繰り返すと発泡ニッケル1
4内の炭酸ナトリウム13は、吸湿と乾燥が交互に生じ
膨張と収縮がおこなわれるが、発泡ニッケル14内の微
細な穴の中に炭酸ナトリウム13が入り込んでいるだめ
発泡ニッケル14内を移動できず剥離による脱落を防ぐ
ことができる。
以上のように、陰極層12aに固着された構成物の炭酸
ナトリウム13は発泡ニッケル14により脱落すること
なく劣化が防止される。
ナトリウム13は発泡ニッケル14により脱落すること
なく劣化が防止される。
実施例2
以下、本発明の第2の実施例について第2図にもとづい
て説明する。第2図は、本発明の第2の実施例の炭酸ガ
スセンサのガス感知部の縦断面を示す。なお、従来例ま
たは、本発明筒1の実施例と同一の部分には同一番号を
付けて説明は省略する。
て説明する。第2図は、本発明の第2の実施例の炭酸ガ
スセンサのガス感知部の縦断面を示す。なお、従来例ま
たは、本発明筒1の実施例と同一の部分には同一番号を
付けて説明は省略する。
図において、ガス透過膜15は、非晶質ガラスから成り
ガス透過性を与えるため、NASICON粉末を混合し
たガラスシール剤であシ、発泡ニッケル14.電極層1
2aを完全に被覆するように塗布し、所定の温度で焼成
している。
ガス透過性を与えるため、NASICON粉末を混合し
たガラスシール剤であシ、発泡ニッケル14.電極層1
2aを完全に被覆するように塗布し、所定の温度で焼成
している。
以上のように構成された炭酸ガスセンサのガス感知部1
について以下その動作について説明する。
について以下その動作について説明する。
なお、炭酸ガス検知動作は、従来例と同様なので説明は
省略する。
省略する。
上記構成において、ガス感知部1が高湿環境で非加熱状
態におかれた場合、発泡ニッケル14内の炭酸ナトリウ
ム13は、空気中の水蒸気を吸収しようとするが、ガス
透過膜15により、水蒸気の侵入が抑制されているため
、炭酸ナトリウム13の吸湿も抑制されることになる。
態におかれた場合、発泡ニッケル14内の炭酸ナトリウ
ム13は、空気中の水蒸気を吸収しようとするが、ガス
透過膜15により、水蒸気の侵入が抑制されているため
、炭酸ナトリウム13の吸湿も抑制されることになる。
さらに、たとえ吸湿しても、ガス透過膜16により保護
されているため、溶出することはなくなる。
されているため、溶出することはなくなる。
以上のように、発泡ニッケル14と2つの電極層の中の
陰極層12aをガス透過膜15で覆うことによシ高湿環
境で使用停止時における非加熱状態にガス感知部1がお
かれた場合に生じる、雰囲気中の水蒸気に起因する劣化
をより抑制できる。
陰極層12aをガス透過膜15で覆うことによシ高湿環
境で使用停止時における非加熱状態にガス感知部1がお
かれた場合に生じる、雰囲気中の水蒸気に起因する劣化
をより抑制できる。
なお、実施例1,2において本炭酸ガスセンサを実際に
使用する場合は、第4図に示す従来例と同様な構成に組
立てて使用する。
使用する場合は、第4図に示す従来例と同様な構成に組
立てて使用する。
発明の効果
以上のように本発明の請求項1によれば、両端の電極層
の一端に、金属炭酸塩を充填した多孔質金属を固着して
構成しているので、多湿雰囲気中で吸湿し、湿度の低い
状態あるいは測定加熱中に乾燥する状態が繰シ返され膨
張・収縮がおこなわれても、多孔質金属中の金属炭酸塩
は、微細な孔に充填されているため移動、剥離すること
なく耐久性よく長期にわたって使用できるので実用的に
効果が大きいものである。
の一端に、金属炭酸塩を充填した多孔質金属を固着して
構成しているので、多湿雰囲気中で吸湿し、湿度の低い
状態あるいは測定加熱中に乾燥する状態が繰シ返され膨
張・収縮がおこなわれても、多孔質金属中の金属炭酸塩
は、微細な孔に充填されているため移動、剥離すること
なく耐久性よく長期にわたって使用できるので実用的に
効果が大きいものである。
、;た請求項2によれば、金属炭酸塩を充填した多孔質
金属と、この多孔質金属を固着した電極層をガス透過膜
により覆っているので、前記効果に加え水蒸気の侵入を
抑制するのでより劣化が遅く、よシ耐久性が向上し、実
用上の効果が大きくなる。
金属と、この多孔質金属を固着した電極層をガス透過膜
により覆っているので、前記効果に加え水蒸気の侵入を
抑制するのでより劣化が遅く、よシ耐久性が向上し、実
用上の効果が大きくなる。
第1図は本発明(1)の一実施例における炭酸ガスセン
サのガス感知部の構成を示す縦断面図、第2図は本発明
(2)の一実施例における炭酸ガスセンサのガス感知部
の構成を示す縦断面図、第3図は従来の炭酸ガスセンサ
のガス感知部の構成を示す縦断面図、第4図は本発明お
よび従来の炭酸ガスセンサの組立構成を示す縦断面図で
ある。 1・・・・・・ガス感知部、2・・・・・・ヒータ、3
a、3b・・・・・・リード線、4・・・・・・プロテ
クタ、5a、 sb・・・リード線、6・・・・・・
台座、7a〜7d・・・・・ピン、11・・・・・・N
ASICoN板、12 a、 12 b−・−電極層
(陰極層、陽極層)、13・・・・・・炭酸ナトリウム
、14・・・・・・多孔質金属、16・・・・・・ガス
透過膜。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名2r
べ q 味 0つ 体 +I+A
サのガス感知部の構成を示す縦断面図、第2図は本発明
(2)の一実施例における炭酸ガスセンサのガス感知部
の構成を示す縦断面図、第3図は従来の炭酸ガスセンサ
のガス感知部の構成を示す縦断面図、第4図は本発明お
よび従来の炭酸ガスセンサの組立構成を示す縦断面図で
ある。 1・・・・・・ガス感知部、2・・・・・・ヒータ、3
a、3b・・・・・・リード線、4・・・・・・プロテ
クタ、5a、 sb・・・リード線、6・・・・・・
台座、7a〜7d・・・・・ピン、11・・・・・・N
ASICoN板、12 a、 12 b−・−電極層
(陰極層、陽極層)、13・・・・・・炭酸ナトリウム
、14・・・・・・多孔質金属、16・・・・・・ガス
透過膜。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名2r
べ q 味 0つ 体 +I+A
Claims (2)
- (1)両端で1対の電極層を備えた固体電解質からなる
イオン伝導体と、前記イオン伝導体のいずれか一方の電
極層の一部あるいは全部を覆う形状で内部に炭酸ガスと
解離平衡を形成し得る金属炭酸塩を充填した多孔質金属
を固着し構成したガス感知部と、前記ガス感知部を測定
時に加熱する加熱部とを備えてなる炭酸ガスセンサ。 - (2)金属炭酸塩を充填した多孔質金属を水分の侵入を
抑制し得るガス透過膜で覆った請求項1記載の炭酸ガス
センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63257591A JPH02103457A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 炭酸ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63257591A JPH02103457A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 炭酸ガスセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02103457A true JPH02103457A (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=17308397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63257591A Pending JPH02103457A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 炭酸ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02103457A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04126506U (ja) * | 1991-05-01 | 1992-11-18 | 矢崎総業株式会社 | 呼吸機能訓練装置 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP63257591A patent/JPH02103457A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04126506U (ja) * | 1991-05-01 | 1992-11-18 | 矢崎総業株式会社 | 呼吸機能訓練装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI94556C (fi) | Hygrometri | |
JPH02103457A (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JPS5844338A (ja) | 湿度センサ | |
JPH01210861A (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JPH0455751A (ja) | 炭酸ガス検知装置 | |
JP2790474B2 (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JPH0523124U (ja) | 静電容量式湿度センサ | |
JPH10160697A (ja) | 検知素子 | |
JPH02103458A (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JPS60192247A (ja) | 検出器 | |
JPH04215059A (ja) | 酸素センサ及びその製造方法 | |
JP2646685B2 (ja) | 感湿素子 | |
SU822012A1 (ru) | Датчик влажности | |
JP2634498B2 (ja) | 炭酸ガス検知センサ | |
KR100949468B1 (ko) | 초기 동작 시간이 단축된 전기화학식 이산화탄소 감지센서 | |
JPS63142253A (ja) | 防水型ガスセンサ | |
JP2600482B2 (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JP2677991B2 (ja) | 感湿素子 | |
JPS61209348A (ja) | 湿度センサ− | |
JP3035362B2 (ja) | ガスセンサ | |
JPS6025574Y2 (ja) | 露点湿度計 | |
JPS6235253A (ja) | ガスセンサ− | |
JPH01269048A (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JPS6318699B2 (ja) | ||
JPS62191752A (ja) | 酸素センサ−電極 |