JPS6318699B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6318699B2 JPS6318699B2 JP54146056A JP14605679A JPS6318699B2 JP S6318699 B2 JPS6318699 B2 JP S6318699B2 JP 54146056 A JP54146056 A JP 54146056A JP 14605679 A JP14605679 A JP 14605679A JP S6318699 B2 JPS6318699 B2 JP S6318699B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- sensitive resistor
- sensing element
- resistor
- humidity sensing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 12
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- -1 BaTiO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910017563 LaCrO Inorganic materials 0.000 claims description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000575 Ir alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は加熱ヒーターを有する感湿抵抗体を用
いた湿度検知素子の改良に関する。
いた湿度検知素子の改良に関する。
一般に感湿抵抗体は湿度によつてその抵抗値が
敏感に変化するもので、湿度の計測や制御用とし
て使用されている。感湿抵抗体としては吸湿性に
優れたAl2O3，Fe3O4，Cr2O3，TiO2などの金属
酸化物が知られているが、これらの感湿抵抗体は
過大な水分や空気中の塵埃などの付着により感湿
体の表面が劣化し感湿特性が悪くなる。このよう
な感湿体の劣化を元に戻すための方法として、感
湿抵抗体に加熱ヒーターを近接、コイルなどによ
り巻回せしめて感湿抵抗体を加熱し、付着した水
分や塵埃などを除去し初期の状態に復帰させる湿
度検知素子が提案されている。しかしながら、こ
れら感湿抵抗体に加熱ヒーターを近接、巻回せし
めた構造のものは検知素子自体の寸法が大きく複
雑になり、また感湿抵抗体の加熱において、周囲
空気を介しての加熱となるため加熱効率が低くな
り、またその取出し端子数が４個と多いなどの欠
点があつた。
敏感に変化するもので、湿度の計測や制御用とし
て使用されている。感湿抵抗体としては吸湿性に
優れたAl2O3，Fe3O4，Cr2O3，TiO2などの金属
酸化物が知られているが、これらの感湿抵抗体は
過大な水分や空気中の塵埃などの付着により感湿
体の表面が劣化し感湿特性が悪くなる。このよう
な感湿体の劣化を元に戻すための方法として、感
湿抵抗体に加熱ヒーターを近接、コイルなどによ
り巻回せしめて感湿抵抗体を加熱し、付着した水
分や塵埃などを除去し初期の状態に復帰させる湿
度検知素子が提案されている。しかしながら、こ
れら感湿抵抗体に加熱ヒーターを近接、巻回せし
めた構造のものは検知素子自体の寸法が大きく複
雑になり、また感湿抵抗体の加熱において、周囲
空気を介しての加熱となるため加熱効率が低くな
り、またその取出し端子数が４個と多いなどの欠
点があつた。
本発明は上記の点に鑑み、加熱ヒーターを有す
る感湿抵抗体を用いた湿度検知素子の改良を行つ
たもので、感湿体への熱伝達良好なヒーター構造
をもち、かつ構造が簡単で小型化に適し生産性に
も優れる新規な湿度検知素子を提供するものであ
る。本発明になる湿度検知素子は、バルク状の多
孔質感湿抵抗体（焼結体）がバルク状の導電性セ
ラミツクヒーター素子上に直接接合、保持され、
該感湿抵抗体面上の一部又は全部に設けた電極と
該導電性セラミツク素子電極間の抵抗変化を検出
する「３端子型」の構造を有することを特徴とす
るものである。抵抗体がヒーター素子上に直接、
接合保持されているため感湿抵抗体への熱伝達が
良好になり、また探知素子全体が極めて小型かつ
単純化できる。
る感湿抵抗体を用いた湿度検知素子の改良を行つ
たもので、感湿体への熱伝達良好なヒーター構造
をもち、かつ構造が簡単で小型化に適し生産性に
も優れる新規な湿度検知素子を提供するものであ
る。本発明になる湿度検知素子は、バルク状の多
孔質感湿抵抗体（焼結体）がバルク状の導電性セ
ラミツクヒーター素子上に直接接合、保持され、
該感湿抵抗体面上の一部又は全部に設けた電極と
該導電性セラミツク素子電極間の抵抗変化を検出
する「３端子型」の構造を有することを特徴とす
るものである。抵抗体がヒーター素子上に直接、
接合保持されているため感湿抵抗体への熱伝達が
良好になり、また探知素子全体が極めて小型かつ
単純化できる。
本発明における導電性セラミツクヒーター素子
として望ましいものはTiO2，BaTiO3，LaCrO3，
TiN，TiC，SiC，Al2O3などを主成分とする酸
化物、窒化物、炭化物であり、形状としては板
状、棒状など種々のものを用いることができる。
として望ましいものはTiO2，BaTiO3，LaCrO3，
TiN，TiC，SiC，Al2O3などを主成分とする酸
化物、窒化物、炭化物であり、形状としては板
状、棒状など種々のものを用いることができる。
本発明になる湿度検知素子の実施例を第１図に
示す。第１図において、１はバルク状の多孔質感
湿抵抗体（焼結体）、２は加熱ヒーター、３は感
湿抵抗体面上の全面に設けた電極、４は感湿抵抗
体１と加熱ヒーター２との接合部、５，６は加熱
ヒーターの電極、７は加熱ヒーター用の電源、
３′，５′，６′はそれぞれ電極３，５，６よりの
リード線を示す。感湿抵抗体１は加熱ヒーター２
の上にAg，Pd，Ptなどの貴金属あるいはこれら
の合金などを主成分とする導電性無機接着剤など
を用いて接合することができる。
示す。第１図において、１はバルク状の多孔質感
湿抵抗体（焼結体）、２は加熱ヒーター、３は感
湿抵抗体面上の全面に設けた電極、４は感湿抵抗
体１と加熱ヒーター２との接合部、５，６は加熱
ヒーターの電極、７は加熱ヒーター用の電源、
３′，５′，６′はそれぞれ電極３，５，６よりの
リード線を示す。感湿抵抗体１は加熱ヒーター２
の上にAg，Pd，Ptなどの貴金属あるいはこれら
の合金などを主成分とする導電性無機接着剤など
を用いて接合することができる。
第１図より明らかなように、本発明における湿
度検知体は外部へのリード取出し端子が３′，
５′，６′の３個で済み、簡単な３端子型の構造と
なつている。加熱ヒーター２はスイツチ８をオン
とすることにより電源７より通電され、感湿抵抗
体１を100〜500℃程度に加熱し、感湿抵抗体１の
表面に付着した水分や塵埃などを除去する。感湿
抵抗体１は導電性セラミツクヒーター素子２に直
接接合されているため感湿抵抗体１の熱伝達が良
好で加熱効率がよい。スイツチ８をオフとするこ
とにより感湿抵抗体の温度を測定すべき周囲温度
まで冷却せしめることができる。この状態で３′
−５′または３′−６′間の抵抗変化を測定すれば
目的とする周囲温度が検俊出できる。第１図にお
いて、４−５間または４−６間の抵抗は感湿体３
−４間の低抗に比べ充分小さくすることができる
のでこれを無視することができる。
度検知体は外部へのリード取出し端子が３′，
５′，６′の３個で済み、簡単な３端子型の構造と
なつている。加熱ヒーター２はスイツチ８をオン
とすることにより電源７より通電され、感湿抵抗
体１を100〜500℃程度に加熱し、感湿抵抗体１の
表面に付着した水分や塵埃などを除去する。感湿
抵抗体１は導電性セラミツクヒーター素子２に直
接接合されているため感湿抵抗体１の熱伝達が良
好で加熱効率がよい。スイツチ８をオフとするこ
とにより感湿抵抗体の温度を測定すべき周囲温度
まで冷却せしめることができる。この状態で３′
−５′または３′−６′間の抵抗変化を測定すれば
目的とする周囲温度が検俊出できる。第１図にお
いて、４−５間または４−６間の抵抗は感湿体３
−４間の低抗に比べ充分小さくすることができる
のでこれを無視することができる。
尚、本発明においてはバルク状の感湿抵抗体を
用いるため、寸法と共に空孔率が制御しやすく、
性能の安定化と共に生産性にも優れる。
用いるため、寸法と共に空孔率が制御しやすく、
性能の安定化と共に生産性にも優れる。
第２図は本発明になる湿度検知素子の他の例を
示したものであるが、バルク状の多孔質感湿抵抗
体１を加熱ヒーター２の両面に直接、接合保持せ
しめて湿度感知部の面積を増大することにより、
第１図の場合に比し感湿抵抗体の応答性を高める
利点を有するものである。
示したものであるが、バルク状の多孔質感湿抵抗
体１を加熱ヒーター２の両面に直接、接合保持せ
しめて湿度感知部の面積を増大することにより、
第１図の場合に比し感湿抵抗体の応答性を高める
利点を有するものである。
第３図も本発明の湿度検知素子の別の例である
が、中空円形状の導電性セラミツクヒーター素子
２の片面にバルク状の多孔質感湿抵抗体１を直接
接合せしめ、感湿抵抗体の通気性をより高めた構
造を提供するものであり、既述の第１図の場合と
比べると、感湿抵抗体の両面が部分的に周囲空気
に直接触れるため応答性においてより優れている
という特徴を有している。
が、中空円形状の導電性セラミツクヒーター素子
２の片面にバルク状の多孔質感湿抵抗体１を直接
接合せしめ、感湿抵抗体の通気性をより高めた構
造を提供するものであり、既述の第１図の場合と
比べると、感湿抵抗体の両面が部分的に周囲空気
に直接触れるため応答性においてより優れている
という特徴を有している。
なお、湿度検知に加熱ヒーターを用いたもので
は感湿部の温度が最高500℃程度に高められるの
で周囲に可燃性ガスなどが混在するとき爆発など
の危険性を伴う。これらを未然に防止するため、
本発明では第４図に示すように絶縁板Ａ上の電極
ピンＢに固定した湿度検知体を、たとえば100メ
ツシユのステンレス製２重金網などの多孔質体で
構成した防爆用のキヤツプＣでおおい、より信頼
性を高めた湿度検知素子を提供することもでき
る。
は感湿部の温度が最高500℃程度に高められるの
で周囲に可燃性ガスなどが混在するとき爆発など
の危険性を伴う。これらを未然に防止するため、
本発明では第４図に示すように絶縁板Ａ上の電極
ピンＢに固定した湿度検知体を、たとえば100メ
ツシユのステンレス製２重金網などの多孔質体で
構成した防爆用のキヤツプＣでおおい、より信頼
性を高めた湿度検知素子を提供することもでき
る。
更に本発明において、必要に応じて導電性セラ
ミツクヒーター上に感湿抵抗体と共にサーミスタ
ーなどの温度検知素子を直接接合保持せしめ、正
確な温度検知を併行して実施することも可能であ
る。
ミツクヒーター上に感湿抵抗体と共にサーミスタ
ーなどの温度検知素子を直接接合保持せしめ、正
確な温度検知を併行して実施することも可能であ
る。
実施例 １
第１図において、形状７×３×0.7mmで空孔率
30％なるAl2O3感湿抵抗体１を形状12×３×0.7mm
なるTiO2−3.5重量％Nb2O2素子の片面中央部に
置き、Agを主成分とする導電性接着剤（銀70重
量％、ガラスクリツト７％、エチルセルロース10
％、ブチルカルビトールアセテート13％）で直接
接合せしめた。また感湿抵抗体１および加熱ヒー
ター２へのリード線としてそれぞれ直径0.1mm、
0.2mmなるPt線を用い電極３，５，６に固定し、
３端子型の小型湿度検知素子を作成した。この感
湿抵抗体の温度20℃、湿度50％RH雰囲気中にお
ける３′−６′間の抵抗値は400KΩであつた。こ
の湿度検知素子を温度80℃、湿度90％RH雰囲気
中に50時間放置して表面を汚損させた。この状態
では感湿特性は劣化し使用が困難になる。感湿特
性を正常化させるためにスイツチ８をオンとして
電圧3Vを印加し感湿抵抗体を約400℃に加熱す
る。このときのヒーター電力は約3Wであつた。
ついでスイツチ８をオフとし感湿抵抗体を冷却し
て周囲温度まで下げ、再度、温度20℃、湿度50％
RHの雰位気中に置いたとき、３′−６′間の抵抗
値は410KΩで良好な値を示した。
30％なるAl2O3感湿抵抗体１を形状12×３×0.7mm
なるTiO2−3.5重量％Nb2O2素子の片面中央部に
置き、Agを主成分とする導電性接着剤（銀70重
量％、ガラスクリツト７％、エチルセルロース10
％、ブチルカルビトールアセテート13％）で直接
接合せしめた。また感湿抵抗体１および加熱ヒー
ター２へのリード線としてそれぞれ直径0.1mm、
0.2mmなるPt線を用い電極３，５，６に固定し、
３端子型の小型湿度検知素子を作成した。この感
湿抵抗体の温度20℃、湿度50％RH雰囲気中にお
ける３′−６′間の抵抗値は400KΩであつた。こ
の湿度検知素子を温度80℃、湿度90％RH雰囲気
中に50時間放置して表面を汚損させた。この状態
では感湿特性は劣化し使用が困難になる。感湿特
性を正常化させるためにスイツチ８をオンとして
電圧3Vを印加し感湿抵抗体を約400℃に加熱す
る。このときのヒーター電力は約3Wであつた。
ついでスイツチ８をオフとし感湿抵抗体を冷却し
て周囲温度まで下げ、再度、温度20℃、湿度50％
RHの雰位気中に置いたとき、３′−６′間の抵抗
値は410KΩで良好な値を示した。
実施例 ２
第２図において形状８×３×0.5mmで空孔率25
％なるTiO2感湿抵抗体１を形状12×３×0.7mmな
るAl2O3−35重量％TiC素子の両面中央部にAgを
主成分とする導電性接着剤で直接接合せしめ、ま
た感湿抵抗体１および加熱ヒーター素子２へのリ
ード線としてそれぞれ直径0.1mm、0.2mmなるPt−
Ir合金線を用い、電極３，５，６に固定し小型の
湿度検知素子を作成した。この湿度検知素子を温
度20℃、湿度47％RHの雰囲気から温度20℃、湿
度80％RHの雰囲気中に移したとき、感湿抵抗体
の最終抵抗値の90％に達するまでの“応答”速度
は約７秒であつた。この湿度検知素子を温度90
℃、湿度85％RHの雰囲気中に70時間放置せしめ
て素子の表面を変化させた。ついで、感湿特性を
正常に戻すためにスイツチ８をオンとして電圧
6Vを印加し、感湿抵抗体を約350℃に加熱する。
このときヒーター電力は約5Wであつた。ついで
スイツチ８をオフとし感湿抵抗体を冷却して再
度、温度20℃、湿度47％RHの雰囲気から、温度
20℃、湿度80％RHの雰囲気に移したとき、感湿
抵抗体の応答速度は約８秒でかなり良好な再現性
を示した。
％なるTiO2感湿抵抗体１を形状12×３×0.7mmな
るAl2O3−35重量％TiC素子の両面中央部にAgを
主成分とする導電性接着剤で直接接合せしめ、ま
た感湿抵抗体１および加熱ヒーター素子２へのリ
ード線としてそれぞれ直径0.1mm、0.2mmなるPt−
Ir合金線を用い、電極３，５，６に固定し小型の
湿度検知素子を作成した。この湿度検知素子を温
度20℃、湿度47％RHの雰囲気から温度20℃、湿
度80％RHの雰囲気中に移したとき、感湿抵抗体
の最終抵抗値の90％に達するまでの“応答”速度
は約７秒であつた。この湿度検知素子を温度90
℃、湿度85％RHの雰囲気中に70時間放置せしめ
て素子の表面を変化させた。ついで、感湿特性を
正常に戻すためにスイツチ８をオンとして電圧
6Vを印加し、感湿抵抗体を約350℃に加熱する。
このときヒーター電力は約5Wであつた。ついで
スイツチ８をオフとし感湿抵抗体を冷却して再
度、温度20℃、湿度47％RHの雰囲気から、温度
20℃、湿度80％RHの雰囲気に移したとき、感湿
抵抗体の応答速度は約８秒でかなり良好な再現性
を示した。
尚、本発明の実施例において感湿抵抗体面上に
形成する電極部は該感湿抵抗体面全帯体に形成し
た例を示したが、そのうちの一部に形成してもよ
い。
形成する電極部は該感湿抵抗体面全帯体に形成し
た例を示したが、そのうちの一部に形成してもよ
い。
以上詳述した如く、本発明になる湿度検知素子
は導電性セラミツクヒーター素子上にバルク状の
多孔質感湿抵抗体が直接接合され、該バルク状感
湿抵抗体面上の一部又は全面に設けた電極と導電
性セラミツク素子電極間の抵抗変化を検出する３
端子型の新規な構造を提供し、感湿抵抗体および
加熱ヒーター部共に極めて小型、単純化され、感
湿抵抗体への熱伝達が良好かつ低消費電力型の素
子であり、苛酷な雰囲気条件下に放置された後も
安定して再使用でき、また生産性にも優れると共
に可燃性ガスを含んだ雰囲気中に置かれた場合で
も安全に使用できる利点があるため、その工業的
価値は大きいものである。
は導電性セラミツクヒーター素子上にバルク状の
多孔質感湿抵抗体が直接接合され、該バルク状感
湿抵抗体面上の一部又は全面に設けた電極と導電
性セラミツク素子電極間の抵抗変化を検出する３
端子型の新規な構造を提供し、感湿抵抗体および
加熱ヒーター部共に極めて小型、単純化され、感
湿抵抗体への熱伝達が良好かつ低消費電力型の素
子であり、苛酷な雰囲気条件下に放置された後も
安定して再使用でき、また生産性にも優れると共
に可燃性ガスを含んだ雰囲気中に置かれた場合で
も安全に使用できる利点があるため、その工業的
価値は大きいものである。
第１〜４図はいずれも本発明の湿度検知素子の
例を示す図である。
例を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 導電性セラミツクヒーター素子上にバルク状
の多孔質感湿抵抗体が直接接合され、該バルク状
の多孔質感湿抵抗体面上の一部又は全面に設けた
電極と導電性セラミツク素子電極間の抵抗変化を
検出する３端子型であることを特徴とする湿度検
知素子。 ２ 導電性セラミツクヒーター素子がTiO2，
BaTiO3，LaCrO3，TiN，TiC，SiCまたは
Al2O3を主成分とする特許請求の範囲第１項記載
の湿度検知素子。 ３ 導電性セラミツクヒーター素子が板状あるい
は棒状であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項または２項記載の湿度検知素子。 ４ 感湿抵抗体および加熱ヒーター素子を防爆用
の多孔質体キヤツプでカバーしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の湿度検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14605679A JPS5669801A (en) | 1979-11-13 | 1979-11-13 | Moisture detecting element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14605679A JPS5669801A (en) | 1979-11-13 | 1979-11-13 | Moisture detecting element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5669801A JPS5669801A (en) | 1981-06-11 |
| JPS6318699B2 true JPS6318699B2 (ja) | 1988-04-19 |
Family
ID=15399084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14605679A Granted JPS5669801A (en) | 1979-11-13 | 1979-11-13 | Moisture detecting element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5669801A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200078335A (ko) | 2018-12-21 | 2020-07-01 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 착색 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 블랙 매트릭스 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5566745A (en) * | 1978-11-14 | 1980-05-20 | Toshiba Corp | Psychroelement |
| JPS562542A (en) * | 1979-06-22 | 1981-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity sensing element |
-
1979
- 1979-11-13 JP JP14605679A patent/JPS5669801A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5566745A (en) * | 1978-11-14 | 1980-05-20 | Toshiba Corp | Psychroelement |
| JPS562542A (en) * | 1979-06-22 | 1981-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity sensing element |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200078335A (ko) | 2018-12-21 | 2020-07-01 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 착색 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 블랙 매트릭스 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5669801A (en) | 1981-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4793181A (en) | Constant temperature sorption hygrometer | |
| JP4820528B2 (ja) | 触媒センサ | |
| JP3037446B2 (ja) | 電子オーブンのためのホーロー製温度センサ | |
| JPS62124551U (ja) | ||
| JPH0324619B2 (ja) | ||
| JPS6318699B2 (ja) | ||
| JPH08226909A (ja) | 接触燃焼式一酸化炭素ガスセンサ | |
| JP3348256B2 (ja) | 奪熱雰囲気検出装置 | |
| JPH0220681Y2 (ja) | ||
| JPS6136619B2 (ja) | ||
| JPH053973Y2 (ja) | ||
| JP2704687B2 (ja) | ガス検知素子 | |
| JPS58102144A (ja) | ガスセンサ | |
| JP3174150B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JP2001249097A (ja) | ＬｉＣｌ湿度センサの感湿素子 | |
| JPS6214921B2 (ja) | ||
| JPS59142446A (ja) | 湿度検知素子 | |
| JPS55160842A (en) | Gas sensing element | |
| JPH10206380A (ja) | 酸素濃度検出素子 | |
| JPH02176550A (ja) | 温湿度センサ | |
| JPH0447658Y2 (ja) | ||
| JP2001330576A (ja) | ＬｉＣｌ湿度センサの感湿素子 | |
| JPS5833499B2 (ja) | 還元性気体検知装置およびその製造方法 | |
| JP2714006B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH07107523B2 (ja) | ガス検出器の製造方法 |