JPH02176550A - 温湿度センサ - Google Patents
温湿度センサInfo
- Publication number
- JPH02176550A JPH02176550A JP33443888A JP33443888A JPH02176550A JP H02176550 A JPH02176550 A JP H02176550A JP 33443888 A JP33443888 A JP 33443888A JP 33443888 A JP33443888 A JP 33443888A JP H02176550 A JPH02176550 A JP H02176550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- temperature
- temp
- sensitive film
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 15
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N titanium dioxide Inorganic materials O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 10
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 7
- 229910000953 kanthal Inorganic materials 0.000 description 7
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910002835 Pt–Ir Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えばエアコン等の空調機器等のように、湿
度検出を必要とする機器に装着される温湿度センサに関
するものである。
度検出を必要とする機器に装着される温湿度センサに関
するものである。
従来の技術
近年、エアコン等の空調機器には快適な温湿度環境を作
り出すため快適センサと称した温度センサや湿度センサ
が装備されるのが一般的になってきている。
り出すため快適センサと称した温度センサや湿度センサ
が装備されるのが一般的になってきている。
元来、人間の感じる不快の度合いを示す湿度とは相対湿
度のことである。従−)て、同じ水蒸気量でも環境温度
によって相対湿度値は異なるため、温度とその温度下に
おける湿度を同時に検出する必要がある。
度のことである。従−)て、同じ水蒸気量でも環境温度
によって相対湿度値は異なるため、温度とその温度下に
おける湿度を同時に検出する必要がある。
従来は湿度センサのみ、或いは湿度センサと温度センサ
との2種類のセンサを用いていた。
との2種類のセンサを用いていた。
従来の湿度センサの構造を、第3図及び第4図を参照し
て説明する。第3図は従来の湿度センサのメソシュキャ
ップを取り除いた上面図、第4図は従来の湿度センサの
メツシュキャップの一部を切り欠いた側面図である。第
4図においてカンタルコイルヒーターのみ断面した状態
を示している。
て説明する。第3図は従来の湿度センサのメソシュキャ
ップを取り除いた上面図、第4図は従来の湿度センサの
メツシュキャップの一部を切り欠いた側面図である。第
4図においてカンタルコイルヒーターのみ断面した状態
を示している。
図において、1は、MgCjr204−TiO2からな
る多孔質焼結体の湿度感応体である。この湿度感応体1
を両面からはさむようにRuO2系11L極が形成され
ており、さらに先端に同じ(RuO2からなる電極2&
、2bを備えたPt−Irリード線3a。
る多孔質焼結体の湿度感応体である。この湿度感応体1
を両面からはさむようにRuO2系11L極が形成され
ており、さらに先端に同じ(RuO2からなる電極2&
、2bを備えたPt−Irリード線3a。
3bが前記RuO2系電極上に電極2a 、 2bを介
して接続されている。これらのPt−工rリード線3&
、3bは各々リードピン4a、4bに接続され、以上よ
り湿度感応素子が構成されている。Sは湿度感応体の加
熱クリーニング用のカンタルコイルヒーターである。こ
のカンタルコイルヒーター6のコイル部分の内部に湿度
感応体1が挿入されている。リードピンsa、esbは
このカンタルコイルヒーター6に接続されている。eは
樹脂ヘッダベースで、4本のリードピン4a 、 4b
。
して接続されている。これらのPt−工rリード線3&
、3bは各々リードピン4a、4bに接続され、以上よ
り湿度感応素子が構成されている。Sは湿度感応体の加
熱クリーニング用のカンタルコイルヒーターである。こ
のカンタルコイルヒーター6のコイル部分の内部に湿度
感応体1が挿入されている。リードピンsa、esbは
このカンタルコイルヒーター6に接続されている。eは
樹脂ヘッダベースで、4本のリードピン4a 、 4b
。
5& 、6bを埋設して固定しており、メツシュキャッ
プ7で前記湿度感応素子とカンタルコイルヒーター6と
を覆うことにより、外部から保護している。
プ7で前記湿度感応素子とカンタルコイルヒーター6と
を覆うことにより、外部から保護している。
以上のように構成された湿度センサについて。
以下その動作について説明する。湿度に応じて。
湿度感応体1はその抵抗値が変化する特性をもっている
。その抵抗値変化を電極2a、2bPt−Ir リー
ド線3a、sbを介して、リードピン4a、4bから検
出するものである。
。その抵抗値変化を電極2a、2bPt−Ir リー
ド線3a、sbを介して、リードピン4a、4bから検
出するものである。
また、カンタルコイルヒーター6は、通電をすることに
より、湿度感応体を約660℃の高温にするので、湿度
感応体の表面に付着した油や塵を焼き除くことができる
。
より、湿度感応体を約660℃の高温にするので、湿度
感応体の表面に付着した油や塵を焼き除くことができる
。
発明が解決しようとする課題
しかしながら同じ水蒸気量でも環境温度によって相対湿
度値は異なるため、環境温度とその温度下における湿度
を同時に検出する必要があることを考えると、湿度セン
サと温度センサの2個のセンサを準備しなければならな
い。また、より正確に湿度を検出するには、湿度感応体
の近傍で温度を検出する必要がある。
度値は異なるため、環境温度とその温度下における湿度
を同時に検出する必要があることを考えると、湿度セン
サと温度センサの2個のセンサを準備しなければならな
い。また、より正確に湿度を検出するには、湿度感応体
の近傍で温度を検出する必要がある。
さらに、湿度感応体の近傍にあるヒーターコイルは、こ
の湿度感応体の表面に大気中から付着した油や塵を焼き
切るだめのヒーターであるが、この際のクリーニング温
度が低すぎると油や塵などを充分にクリーニングするこ
とができない。逆にクリーニング温度が高すぎると湿度
感応体を焼結することになり、熱劣化する。現在は最適
温度の約550’Cにするため、ヒーター印加電圧を約
8Vに設定しているが、実際には8vの電圧を印加して
も最適温度の660℃になっているとは言えない。この
ため、湿度感応体近傍の温度を直接検出し、これをヒー
ター電圧にフィートノ(ツタして最適クリーニング温度
に設定することが必要である。
の湿度感応体の表面に大気中から付着した油や塵を焼き
切るだめのヒーターであるが、この際のクリーニング温
度が低すぎると油や塵などを充分にクリーニングするこ
とができない。逆にクリーニング温度が高すぎると湿度
感応体を焼結することになり、熱劣化する。現在は最適
温度の約550’Cにするため、ヒーター印加電圧を約
8Vに設定しているが、実際には8vの電圧を印加して
も最適温度の660℃になっているとは言えない。この
ため、湿度感応体近傍の温度を直接検出し、これをヒー
ター電圧にフィートノ(ツタして最適クリーニング温度
に設定することが必要である。
本発明は上記以上の問題点に鑑み、−個のセンサで環境
の温度と湿度を同時に検出し、より正確な湿度を検出し
、また湿度感応体のクリーニングの際にその温度を検出
してヒータ電圧にフィートノ(ツクすることで最適クリ
ーニング温度に設定することができる。経済的で信頼性
の高い温湿度センナを提供することを目的とする。
の温度と湿度を同時に検出し、より正確な湿度を検出し
、また湿度感応体のクリーニングの際にその温度を検出
してヒータ電圧にフィートノ(ツクすることで最適クリ
ーニング温度に設定することができる。経済的で信頼性
の高い温湿度センナを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
以上のような課題を解決するために、本発明は、両面に
電極を形成した絶縁基板と、前記絶縁基板の一方の主面
上に前記電極に接続した湿度感応膜と、他方の主面上に
前記電極に接続した温度感応膜とから温湿度感応素子を
構成し、この温湿度感応素子の近傍に加熱部材を配置し
たものである。
電極を形成した絶縁基板と、前記絶縁基板の一方の主面
上に前記電極に接続した湿度感応膜と、他方の主面上に
前記電極に接続した温度感応膜とから温湿度感応素子を
構成し、この温湿度感応素子の近傍に加熱部材を配置し
たものである。
作用
本発明によれば、−個のセンサで温度と湿度を同時検出
することができ、かつ湿度を検知するごく近傍の温度を
知ることができるので、より正確な湿度を検知できる。
することができ、かつ湿度を検知するごく近傍の温度を
知ることができるので、より正確な湿度を検知できる。
さらに湿度感応体のクリーニングの際にその温度を検出
してヒーター電圧にフィードバックすることで最適クリ
ーニング温度に設定することができる。
してヒーター電圧にフィードバックすることで最適クリ
ーニング温度に設定することができる。
実施例
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第1図は本発明の一実施例である温湿度センサの斜視図
、第2図は温湿度感応素子の断面図である。
、第2図は温湿度感応素子の断面図である。
図において、8はアルミナ等を主成分とする四角形の絶
縁基板で、その一方の主面上にpt等のペーストを厚膜
印刷して形成した電極9a、9bが備えられている。こ
の対向する電極9a、9bは櫛形のパターン形状である
。
縁基板で、その一方の主面上にpt等のペーストを厚膜
印刷して形成した電極9a、9bが備えられている。こ
の対向する電極9a、9bは櫛形のパターン形状である
。
電極sa、9bを覆うように、サーミスタ材料をスクリ
ーン印刷等により、四角形の温度感応膜10が設けられ
ている。また、絶縁基板8の他方の主面上にも同様にp
t等のペーストを厚膜印刷して形成した11極11a、
11bが備えられている。この電極11&、11b上に
は、M g Cr204−T i O2を主成分とする
湿度感応材料をスクリーン印刷して形成した湿度感応膜
12が設けられている。電tii9a、sb、 11a
、11bの各々の下端には溶接等により、Pt−Irか
らなるリード線13a、13b、14a、14bが接続
されており、このリード線1.3L 、 13b、
141L 、14bには各々リードピン151L、15
b、16a。
ーン印刷等により、四角形の温度感応膜10が設けられ
ている。また、絶縁基板8の他方の主面上にも同様にp
t等のペーストを厚膜印刷して形成した11極11a、
11bが備えられている。この電極11&、11b上に
は、M g Cr204−T i O2を主成分とする
湿度感応材料をスクリーン印刷して形成した湿度感応膜
12が設けられている。電tii9a、sb、 11a
、11bの各々の下端には溶接等により、Pt−Irか
らなるリード線13a、13b、14a、14bが接続
されており、このリード線1.3L 、 13b、
141L 、14bには各々リードピン151L、15
b、16a。
16bが接続され、以上より温湿度感応素子が構成され
ている。17はカンタル線のコイルヒーターで、コイル
ヒーター17の端はリードピン181L。
ている。17はカンタル線のコイルヒーターで、コイル
ヒーター17の端はリードピン181L。
18bに溶接により接続されている。19は樹脂へツタ
ベースで、リードピン151L 、 15b 。
ベースで、リードピン151L 、 15b 。
1 esL 、 1 eb 、 18a 、 18bを
埋設して固定している。また、金属メツシュでできたか
ご状のメツシュキャップ20は温湿度感応素子全体とコ
イルヒーター17とを覆うようにして樹脂ヘッダベース
19に取付けられている。
埋設して固定している。また、金属メツシュでできたか
ご状のメツシュキャップ20は温湿度感応素子全体とコ
イルヒーター17とを覆うようにして樹脂ヘッダベース
19に取付けられている。
このようにして、構成された本実施例の温湿度センサの
動作を説明する。まず、湿度は絶縁基板8の一方の主面
上に形成された湿度感応膜12の抵抗値変化としてリー
ド線14& 、 14bを介してリードピン16a 、
16bより検出される。また、他方の主面上に形成さ
れた温度感応膜10も同様に温度を抵抗値変化としてリ
ード線13a。
動作を説明する。まず、湿度は絶縁基板8の一方の主面
上に形成された湿度感応膜12の抵抗値変化としてリー
ド線14& 、 14bを介してリードピン16a 、
16bより検出される。また、他方の主面上に形成さ
れた温度感応膜10も同様に温度を抵抗値変化としてリ
ード線13a。
13bを介してリードピン15a 、 15bより検出
される。
される。
また、コイルヒーター17には、リードピン181L
、 18bを介して通電をすることにより、湿度感応膜
12を約560℃の高温にするので、湿度感応膜12の
表面に付着した油や塵を焼き除くことができる。
、 18bを介して通電をすることにより、湿度感応膜
12を約560℃の高温にするので、湿度感応膜12の
表面に付着した油や塵を焼き除くことができる。
温度感応膜10は雰囲気温度を検出するだけでなくコイ
ルヒーター17が適性温度で湿度感応膜12をクリーニ
ングしているかどうかを調べることもできる。
ルヒーター17が適性温度で湿度感応膜12をクリーニ
ングしているかどうかを調べることもできる。
以上のように本実施例によれば、この構成によって5−
個のセンサで環境温度と環境湿度とを同時に検出するこ
とができ、温度を検出する湿度感応膜12のごく近傍で
温度を検出することで、より正確な湿度(相対湿度)を
知ることができる。
個のセンサで環境温度と環境湿度とを同時に検出するこ
とができ、温度を検出する湿度感応膜12のごく近傍で
温度を検出することで、より正確な湿度(相対湿度)を
知ることができる。
また湿度感応膜12のクリーニングの際にその温度を検
出してコイルヒーター17に印加するヒーター電圧にフ
ィードバックすることで最適クリーング温度を設定する
ことができるので、コンパクトで信頼性の高い温湿度セ
ンサを提供することができる。
出してコイルヒーター17に印加するヒーター電圧にフ
ィードバックすることで最適クリーング温度を設定する
ことができるので、コンパクトで信頼性の高い温湿度セ
ンサを提供することができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、−個のセンサで環境温度
と環境湿度とを同時に検出することができ、湿度を検出
する湿度感応膜のごく近傍で温度を検出することで、よ
り正確な湿度を知ることができる。
と環境湿度とを同時に検出することができ、湿度を検出
する湿度感応膜のごく近傍で温度を検出することで、よ
り正確な湿度を知ることができる。
まだ湿度感応膜のクリーニングの際にその温度を検出し
て加熱部材に印加するヒーター電圧にフィードバックす
ることで、最適クリーニング温度を設定することができ
るので、コンパクトで信頼性の高い温湿度センサを提供
することができる。
て加熱部材に印加するヒーター電圧にフィードバックす
ることで、最適クリーニング温度を設定することができ
るので、コンパクトで信頼性の高い温湿度センサを提供
することができる。
第1図は本発明の一実施例である温湿度センサのメツシ
ュキャップの一部を切り欠いた斜視図。 第2図は温湿度感応素子の断面図、第3図は従来の湿度
センサのメソシュキャップを取り除いた平面図、第4図
は従来の湿度センサの側面図である。 8−−−−=絶縁基板、9a、9b、11a、11b・
・・・・・電極、10・・・・・・温度感応膜、12・
・・・・湿度感応膜、17・・・・・・コイルヒーター
代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名第 図
ュキャップの一部を切り欠いた斜視図。 第2図は温湿度感応素子の断面図、第3図は従来の湿度
センサのメソシュキャップを取り除いた平面図、第4図
は従来の湿度センサの側面図である。 8−−−−=絶縁基板、9a、9b、11a、11b・
・・・・・電極、10・・・・・・温度感応膜、12・
・・・・湿度感応膜、17・・・・・・コイルヒーター
代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名第 図
Claims (3)
- (1)両面に電極を形成した絶縁基板と、前記絶縁基板
の一方の主面上に形成されかつ前記電極に接続した湿度
感応膜と、前記絶縁基板の他方の主面上に形成されかつ
前記電極に接続した温度感応膜とから温湿度感応素子を
構成し、この温湿度感応素子の近傍に加熱部材を配置し
た温湿度センサ。 - (2)MgCr_2O_4−TiO_2を主成分とする
湿度感応材料を厚膜印刷により形成される湿度感応膜を
備えたことを特徴とする請求項1記載の温湿度センサ。 - (3)サーミスタ材料を厚膜印刷により形成される温度
感応膜を備えたことを特徴とする請求項1記載の温湿度
センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33443888A JPH02176550A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 温湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33443888A JPH02176550A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 温湿度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02176550A true JPH02176550A (ja) | 1990-07-09 |
Family
ID=18277383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33443888A Pending JPH02176550A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 温湿度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02176550A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100911724B1 (ko) * | 2007-07-13 | 2009-08-10 | 한국전기연구원 | 휴대형 온습도 및 절연유중 수분농도 측정장치 |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP33443888A patent/JPH02176550A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100911724B1 (ko) * | 2007-07-13 | 2009-08-10 | 한국전기연구원 | 휴대형 온습도 및 절연유중 수분농도 측정장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4820528B2 (ja) | 触媒センサ | |
GB2285138A (en) | Temperature sensor | |
JPS6066145A (ja) | 外部雰囲気検知装置 | |
US4450428A (en) | Gas detecting sensor | |
US4528086A (en) | Oxygen sensor with heater | |
JPH02176550A (ja) | 温湿度センサ | |
JP2001141575A (ja) | 温度センサ素子およびその素子を用いた温度センサ | |
JPH0220681Y2 (ja) | ||
JP3106324B2 (ja) | 熱伝導式絶対湿度センサ | |
JP3348256B2 (ja) | 奪熱雰囲気検出装置 | |
JPS63223552A (ja) | 半導体式ガスセンサ | |
JPH06242048A (ja) | 熱伝導式絶対湿度センサ | |
JPH053974Y2 (ja) | ||
JPS6015170Y2 (ja) | 酸素濃度検出素子 | |
JPH04244952A (ja) | 湿度センサ | |
JP2604415B2 (ja) | ガスセンサ | |
JPS58166249A (ja) | 感湿感温感ガス素子 | |
JPH0447658Y2 (ja) | ||
JP3348255B2 (ja) | 奪熱雰囲気検出装置 | |
JP2714006B2 (ja) | ガスセンサ | |
JPS5942695Y2 (ja) | 発熱体付酸素濃度検出素子 | |
JPS58166247A (ja) | 感ガス感温素子 | |
JPS58166248A (ja) | 感温感湿素子 | |
JPS61112953A (ja) | 外部雰囲気検知装置 | |
JPH0552791A (ja) | ガスセンサ |