JPH02100856A - 工作機械送り系の位置決め誤差の補正方法および装置 - Google Patents

工作機械送り系の位置決め誤差の補正方法および装置

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JPH02100856A
JPH02100856A JP25128088A JP25128088A JPH02100856A JP H02100856 A JPH02100856 A JP H02100856A JP 25128088 A JP25128088 A JP 25128088A JP 25128088 A JP25128088 A JP 25128088A JP H02100856 A JPH02100856 A JP H02100856A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、工作機械送り系の位置決め誤差の補正方法お
よび装置に関するものである。
〔従来の技術〕
一般的な工作機械送り系のテーブル、サドルの構成例を
第5図に示す。テーブル(1)は、サドル(2)に取付
けられたサーボモータ(3)により、支持軸受(4)、
ボールねじ(5)を介してNC制御部(6)の指令に基
づいて、テーブル(1)をX方向(左右方向)に移動さ
せる。リニアスケールを付帯しない簡単な位置決め制御
方式(一般にセミクローズド方式と呼称)においては、
NC指令に基づいて所定の回転角だけサーボモータ(3
)が回転し、サーボモータ(3)に直結したボールねじ
(5)のリードに対応した長さだけ、テーブル(1)が
X軸方向に移動されることになる。
この制御方式においては、ボールねじ(5)のin度に
よって、テーブル(1)の位置決め精度が規定されるこ
とになる。即ち、ボールねしく5)の摩擦による発熱等
によりボールねしく5)自体に熱膨張誤差が発生し、位
置決め精度の劣化を招くことになる。
このためボールねじ(5)の中心に穴を貫通させ、ここ
に冷却用の空気や油を循環させボールねしく5)の温度
を一定に保つ、あるいは、ボールねじ(5)のピッチを
熱膨張分だけ予め小さくしておく、また、ボールねしく
5)の両端の支持部を強固に固定して温度膨張による伸
びを強引に熱応力に変換して位置決め誤差を抑え込む方
法等がとられているが、μrnオーダの位置決め精度が
要求されるNC工作機械に対しては必ずしも十分とは言
えないのが実状である。
より高精度な位置決めが必要とされる場合には、テーブ
ル(1)の移動量をリニアスケールで直接検出する位置
決め制御方式、いわゆるクローズドループ制御が採用さ
れる。第5図において、テーブル(1)側面にガラスス
ケール(7)が取付けられ、−刃固定側のサドル(2)
に取付けられた検出ヘッド(8)により、ガラススケー
ル(7)上の目盛線(9)を正弦波信号として光学的に
検出し、テーブル(1)の座標値としてカウントすると
同時に、NC指令値との誤差(偏差)がゼロとなるよう
に制御される。尚、目盛線の間隔は通常数龍であり、こ
の間は正弦波信号を補間することにより分割して、間隔
内の座標値をもとめている。リニアスケールの検出原理
は種々の方法があるが、本発明の内容には直接関与しな
いので、ここではwIRのため、ガラススケール(7)
に刻まれた目盛線(9)を光学的に検出することにより
、l txmの位置検出が可能なものとしておく。リニ
アスケールで直接検出するクローズドループ?1111
mにおいては、ボールねじ(5)の精度に依存しないた
めに、それだけ高精度の位置決めが可能となる。
セミクローズド方式、クローズドループ制御方式のいず
れの場合も、第5図の構成において、位置決め誤差要因
として下記のものがある。
(al  ボールねじ、リニアスケール自体の誤差(器
差)ボールねじのピンチ誤差、目盛線の刻線誤差、スケ
ールの真直度、検出ヘッドの読み取り誤差など (hl  発熱、室温変動によるボールねし、リニアス
ケールの単独熱膨張誤差 (C1室温変化に対する応答遅れ(時間遅れ)による誤
差 (dl  ボールねし、リニアスケールの不均一温度分
布による誤差 (e)  ボールねし、リニアスケール取付方法による
誤差 これらの内、(a)はボールねじ、リニアスケール自体
の固有の誤差(器差)であるため、ここでは除外して考
える。また(elの取付方法による誤差についても、テ
ーブルへの取付誤差並びに締結方法に起因する歪みによ
る誤差などが考えられるが、ここでは二次的なものとし
て、除外して考えることにする。
工作機械を精密恒温室内の20℃の温度雰囲気内で使用
する場合には、局部的な発熱やそれによるボールねじ、
リニアスケールの不均一温度分布がない限り、(bl、
(C)、(dlの誤差要因はとり除かれる。しかし、−
船釣に工作機械の設置される環境としては、精密に温度
制御された恒温室で使用されることはまれで、大部分が
季節や時間による温度変動にさらされた環境下にある、
このため、上記(′b)、(C)、(d)の誤差要因が
位置決め精度の劣化を招くことになる。
ここでは、ボールねし、リニアスケールともに熱容量が
小さく、熱伝導性も良好なので、それらの長さ方向の温
度分布は均一とみなしうるので、以下、(b)の誤差要
因のみを対象として考える。
〔発明が解決しようとする課題〕
一般に工作機械は、季節や時間による温度変動にさらさ
れた環境下で使用される場合が多いため、その送り系の
位置決め精度は、セミクローズド方式、クローズドルー
プ制御方式のいずれの場合も、発熱、室温変動によるボ
ールねじ、リニアスケールの単純熱膨張誤差が介在し低
トする。
しかし、従来では、上記ボールねし、リニアスケールの
単純熱膨張による送り系の位置決め誤差に対する根本的
な対策は殆ど講じられていない。
本発明は、従来技術の上記問題点に鑑みて提案されたも
ので、その目的とするところは、サーボモータとボール
ねじで構成されるNC(数値制御)工作機械送り系にお
いて、テーブル等の可動体の高速位置決め時に発生する
ボールねじとナツトとのFJ 1,1 iによるボール
ねじの熱膨張誤差や、室温変動等の雰囲気温度の変化に
よる熱的な位置決め誤差を自動補正する方法および装置
を提供しようとするものである。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するため、本発明の方法の1つは、サー
ボモータとボールねじで構成されるセミクローズド方式
の送り制御系をもつNC工作機械において、テーブルの
原点位置近傍に原点検出スイッチを設け、NC原点復帰
指令により、原点復帰動作中の原点検出スイッチがON
した位置と、原点復帰完了位置との位置関係から、ボー
ルねじの有効長さしに対する伸び率ΔL/LをNCのコ
ンピュータ演算機能にて演算し、その後のNC位置決め
時には、指令値Xに対しΔL/Lの伸び率を補正した(
X−(X−L)ΔL/I、)だけ移動させるようにした
ものである。
また、本発明の方法の他の1つは、サーボモータとボー
ルねじを備え、テーブルの移動量をリニアスケールで直
接検出してサーボモータを制御するクローズドループ方
式の送り制御系をもつNC工作機械において、テーブル
の原点位置近傍に原点検出スイッチを設け、NCC原点
復帰指令より、原点復帰動作中の原点検出スイッチがO
Nした位置と原点復帰完了位置との位置関係から、リニ
アスケールの有効長さしに対する伸び率ΔL/LをNC
のコンピュータ演算機能にて演算し、その後のNC位置
決め時には指令値Xに対しΔL/Lの伸び率を補正した
(X−(X−L)ΔL/L)だけ移動させるようにした
ものである。
さらに、本発明の装置の1つは、サーボモータとボール
ねじて構成されるセミクローズド方式の送り制御系をも
つNC工作機械において、テーブルの原点位置近傍に設
けた原点検出スイッチと、NC原点復帰指令によるテー
ブルの原点復帰時、原点検出スイッチがONした位置と
、原点復帰完了位置とのNC座標値を夫々読み取り、両
NC座標値の差ΔLがらボールねじの有効長さしに対す
る伸び率ΔL/LをNCのコンピュータ演算機能にて演
算させる演算指示回路と、演算1旨示回路で演算した伸
び率ΔL/LでNC指令値Xを補正して(X−(X−L
)ΔL/L)だけテーブルを移動させるようにサーボモ
ータの指令入力を補正する補正回路とを具備させたもの
である。
また、本発明の装置の他の1つは、サーボモータとボー
ルねじを備え、テーブルの移動量をリニアスケールで直
接検出してサーボモータを制御するクローズドループ方
式の送り制御系をもつNC工作機械において、テーブル
の原点位置近傍に設けた原点検出スイッチと、NC原点
復帰指令によるテーブルの原点復帰時、原点検出スイッ
チがONした位置と原点復帰完了位置とのリニアスケー
ルの検出値を夫々読み取り、両検出値の差ΔLからリニ
アスケールの有効長さしに対する伸び率ΔL / Lを
NCのコンピュータ演算機能にて演算させる演算指示回
路と、演算指示回路で演算した伸び率ΔL/LでNC指
令値Xを補正して(X−(X−L)ΔL/L)だけテー
ブルを移動させるようにサーボモータの指令入力を補正
する補正回路とを具備させたものである。
〔作用〕
セミクローズド方式の送り制御系をもつNC工作機械に
おいては、N C原点復帰指令が与えられる毎に、テー
ブルの現在位置とNC原点との間の距離に比例した数値
パルスでサーボモータが回転し、ボールねじを通してテ
ーブルが原点に向けて移動せしめられる。ボールねじに
熱膨張がなければ、テーブルが原点に復帰したときに原
点検出スイッチが丁度ONするが、ボールねしに熱膨張
があれば、テーブルは熱膨張量だけ多く移動することに
なる。これは、サーボモータに与えられる指令入力が、
移動方向の長さで直接与えられるのではなく、ボールね
じのピンチで除算したボールねじの回転角度で与えられ
ているためである。
このような理由から、ボールねしに熱膨張があると、テ
ーブルが原点に復帰する直前で原点検出スイッチをON
させることになる。そして、原点検出スイッチがONし
た位置から、テーブルが原点復帰完了位置、即ち、テー
ブルが停止する位置までの距離を検出すれば、これがボ
ールねじの熱膨張量Δしてある。このΔLが検出できれ
ば、ボールねじの有効長さしに対する単位長さ当たりの
ボールねじの伸び率ΔL/LをNCのコンピュータ演算
部で演算させ、この伸び率ΔL/Lが求まれば、次から
のNC指令値Xに対して、原点のずれ量ΔLと、指令値
Xに対する伸び量XΔL/Lとを減算した値XXΔL/
L−ΔLとしてサーボモータを駆動させれば、ボールね
じの熱膨張誤差が補正され、高精度の位置決めが実現で
きる。
上記X−XΔL/L−ΔLは、(X−(X−L)ΔL/
L) と成度形でき、NCの指令値補正には便利である
クローズドループ方式は、リニアスケールの伸びを同様
に検出し、補正するのである。
上記ΔLの検出は、原点検出スイッチがONした位置と
原点復帰完了位置とのNC座標値の差、又は、リニアス
ケールの検出値の差として求められる。
〔実施例〕
本発明の特徴とする所は、送り系の位置決め精度を左右
にするボールねしおよびリニアスケールの熱膨張誤差を
、送り系の原点位1近傍に別に設けた高精度原点検出ス
イッチにより検出すると同時に、原点位置におけるボー
ルねしあるいはリニアスケールの熱膨張誤差ΔLを検出
し、このΔLを送り系の移動量に応じて直線補間を用い
て自動補正するものである。
まず、セミクローズド方式でのボールねじの熱膨張誤差
の補正例を第1図に示す。基本的には第5図の構成と同
じであるが、原点位置近傍に高精度原点検出スイッチ(
一般に分解能1μm以下の位置検出器が用いられる。以
下、原点スイッチと略称)  (10)を設けたこと、
またNC工作機械での原点復帰動作をそのまま利用して
、わざわざ熱的誤差を測定するための計測工程を省くた
め、サーボモータの取付位置が原点と反対方向となって
いる。
第1図の構成において、ボールねし右端の支持軸受位置
Aは、軸方向移動を拘束するため、二組のアンギュラ玉
軸受からなる支持軸受(4)で構成されるのが一般的で
、このため位置Aの熱的誤差による軸方向移動はないも
のとする。
この状態で、テーブルの移動による発熱や室温変化によ
り、ボールねじの平均温度(軸方向に全て同一温度とす
る)がΔTだけ上昇したとすると、原点Oと不動点A間
の長さく以下、有効長さと呼称する)Lは、ボールねじ
の線膨張係数をβとして、 ΔL=β・ΔT−L(1) たけの熱膨張誤差を生じることになる。この結果、サー
ボモータの回転角で制御するセミクローズド方式の場合
には、ボールねじの温度上昇ΔTに対応して原点が+1
1式のΔLだけずれることになり、これがそのまま送り
系の位置決め誤差となり、加工精度の劣化を招くことに
なる。
不動点Aが逆の位置にある第5図の場合には、原点その
もののずれは生じないが位置決め誤差の発生状況は同じ
である。
そこで、NC原点復帰指令により、原点復帰したときの
位置決め誤差と原点スイッチ(ボールねじの熱膨張とは
無関係にサドルに固定されている)がON (B接点の
場合には出力がONからOFFに変化する)したとき・
の位置関係を示すと第2図のようになる。すなわち原点
復帰動作中に、NCf’fl令の原点位置0”よりΔL
だけ手前の息の原点位置Oで原点スイッチがONするこ
とになる。そこで、原点スイッチがONしたときのNC
座標値ΔLを自動的に読取り、ボールねし有効長さLに
対する伸び率ΔL /’ LをNCのコンピュータ演算
機能にて演算し、その後のNC位置決め時には指令値X
に対しΔL/Lの伸び率を補正した(X−(X−L)Δ
L/L)だけ移動させることにより常に高専5度の位置
決めが可能となる。これは丁度、ボールねじの有効長さ
での熱膨張誤差を測定し、移動量に応じたL!!4差分
だけ直線補間により補正していることになる。原点スイ
ッチがONL、たとき、ΔL/Lを演算させる演算指示
回路(6a)及び補正回路(6b)はNC制御部(6)
内に組込まれている。
補正量の導出過程を第2図について説明すると以下のよ
うになる。補正のない場合には、NC指令移動iXに対
し、NC原点0°からの実移動量はX(1+ΔL/L)
となり、原点スイッチで検出される真の原点位置Oから
の実移動量はX(1+ΔL/L)−ΔLとなる。すなわ
ち、移動指令Xに対しXΔL/L−ΔLの位置決め誤差
を生じることになる。よって、任意の移動指令Xに対し
上記誤差分だけ補正すればよく、結局、tLlaXに対
し (x−(X−L)AL/L+の補正演算を行い、こ
れをXの代わりの移動指令値とすれば、以上の熱的な位
置決め誤差が自動補正されることになる0以上の説明は
X軸のみについてであるが、これをXYZの3軸に拡張
しうる。
リニアスケールを用いたクローズドループ制御の場合に
ついても、上記と間様の補正法の通用が可能である。
リニアスケールの材質は通常ガラスであるため、工作機
械サドルの材質である鋳鉄に比べ線膨張係数が約20%
小さく、このため複雑な熱的挙動を示す。リニアスケー
ルのガラススケールがサドルの温度と同調して、室温変
化に対し同じ伸び率を示すような物性をもたせることが
できれば理想的であるが、現在の技術では不可能である
。このためガラススケールとサドルの熱膨張差を最小限
にするため、スケールの支持方法に種々の工夫がなされ
ている(ドイツ特許第2450322号参照)が、これ
らは基本的な解決策にはなっていないのが実状である。
クローズドループ制御の場合の、リニアスケールの熱膨
張誤差の補正例を第3図に示す。基本構成および補正方
法はボールねじの補正例(第1図)とほぼ同じで、計測
対象がボールねじの代わりにテーブルに固定されたガラ
ススケールである点が異なる。ただしガラススケールの
取付法については、第3図のボールねじと同じように、
一方向(原点方向)へ単純膨張するように取り付ける必
要がある。
ガラススケールの取付は例を第4図に示す。
検出ヘッド(8)との位置関係から、ガラススケールは
第4図の右方向に自由膨張する構成となっており、第1
図のボールねじの場合と逆になる。
ガラススケールは固定ブロック(11)によりテーブル
(1)に固定され、不動点Aが形成される。
一方自由端である右端には、スプリングダンパー(12
)により長罫方向の熱膨張を吸収する構造となっている
ため、第1図に示したボールねじの場合と同じ状況に設
定されている。
以上に説明した自動補正法を保用するこ做・により、工
作機械送り系の位置決め精度を犬唱に向上させることが
可能となった。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ボールねし、リニアスケールの発熱や
室温変化による熱膨張誤差を自動補正することができ、
その結果、NC工作機械の位置決め精度の向上、ひいて
は加工精度の大幅な向上を可能とし得る。特に、原点検
出スイッチを追加するだけでよく、補正量の演算等はN
Cのソフト処理にて実施できるため、簡単な装置でもっ
て高精度の位置決めを実現できる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の第1実施例の構成を示す要部説明図、
第2図はボールねじの熱膨張誤差の説明図、第3図は本
発明の第2実施例の構成を示す要部説明図、第4図は第
2実施例におけるリニアスケールの支持構造の一例を示
す説明図、第5図は従来の工作機械送り系の要部説明図
である。 (1)−・−テーブル、   (2”)−サドル、(3
) −サーボモータ、(4) −指示軸受、(5)−・
−ボールねし、  (6)−NC制御部、(7′)、1
・・・リニアスケール(ガラス・スケール)(、(6a
) −リニアスケール検出ヘッド、 −・・目盛線、 ・−・原点検出スイッチ、 −・−演算指示回路、(6b)・・・補正回路。 特許出願人 大阪機工株式会社2 代    理    人   /I   原   省 
  吾第2図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)サーボモータとボールねじで構成されるセミクロ
    ーズド方式の送り制御系をもつNC工作機械において、
    テーブルの原点位置近傍に原点検出スイッチを設け、N
    C原点復帰指令により、原点復帰したときの原点検出ス
    イッチがONした位置と、原点復帰完了位置との位置関
    係から、ボールねじの有効長さLに対する伸び率ΔL/
    LをNCのコンピュータ演算機能にて演算し、その後の
    NC位置決め時には、指令値Xに対しΔL/Lの伸び率
    を補正した{X−(X−L)ΔL/L}だけ移動させる
    ようにしたことを特徴とする工作機械送り系の位置決め
    誤差の補正方法。
  2. (2)サーボモータとボールねじを備え、テーブルの移
    動量をリニアスケールで直接検出してサーボモータを制
    御するクローズドループ方式の送り制御系をもつNC工
    作機械において、テーブルの原点位置近傍に原点検出ス
    イッチを設け、NC原点復帰指令により、原点復帰した
    ときの原点検出スイッチがONした位置と原点復帰完了
    位置との位置関係から、リニアスケールの有効長さLに
    対する伸び率ΔL/LをNCのコンピュータ演算機能に
    て演算し、その後のNC位置決め時には指令値Xに対し
    ΔL/Lの伸び率を補正した{X−(X−L)ΔL/L
    }だけ移動させるようにしたことを特徴とする工作機械
    送り系の位置決め誤差の補正方法。
  3. (3)サーボモータとボールねじで構成されるセミクロ
    ーズド方式の送り制御系をもつNC工作機械において、 テーブルの原点位置に設けた原点検出スイッチと、 NC原点復帰指令によるテーブルの原点復帰時、原点検
    出スイッチがONした位置と、原点復帰完了位置とのN
    C座標値を夫々読み取り、両NC座標値の差ΔLからボ
    ールねじの有効長さLに対する伸び率ΔL/LをNCの
    コンピュータ演算機能にて演算させる演算指示回路と、
    演算指示回路で演算した伸び率ΔL/LでNC指令値X
    を補正して{X−(X−L)ΔL/L}だけテーブルを
    移動させるようにサーボモータの指令入力を補正する補
    正回路とを具備していることを特徴とする工作機械送り
    系の位置決め誤差の補正装置。
  4. (4)サーボモータとボールねじを備え、テーブルの移
    動量をリニアスケールで直接検出してサーボモータを制
    御するクローズドループ方式の送り制御系をもつNC工
    作機械において、テーブルの原点位置に設けた原点検出
    スイッチと、 NC原点復帰指令によるテーブルの原点復帰時、原点検
    出スイッチがONした位置と原点復帰完了位置とのリニ
    アスケールの検出値を夫々読み取り、両検出値の差ΔL
    からリニアスケールの有効長さLに対する伸び率ΔL/
    L−をNCのコンピュータ演算機能にて演算させる演算
    指示回路と、 演算指示回路で演算した伸び率ΔL/LでNC指令値X
    を補正して{X−(X−L)ΔL/L}だけテーブルを
    移動させるようにサーボモータの指令入力を補正する補
    正回路とを具備していることを特徴とする工作機械送り
    系の位置決め誤差の補正装置。
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