JPH0194533A

JPH0194533A - 磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPH0194533A
Application number: JP25128587A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Maro; 毅麿; Hideo Fujiwara; 英夫藤原
Original assignee: Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Ltd
Priority date: 1987-10-05
Filing date: 1987-10-05
Publication date: 1989-04-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は磁気記録媒体の製造方法に関する。更に詳細に
は、本発明は有機ポリマーと強磁性体とからなる磁性層
を自する磁気記録媒体の効率的な製造方法に関する。

［従来の技術］磁気記録媒体の高密度記録化を図る一手段として、バイ
ンダーを使用しない強磁性薄膜型媒体が、磁気記録用媒
体として実用化されるか、もしくは実用化に向は研究が
なされている。

しかし、強磁性薄膜としては、Ｃｏ　Ｎ　ｉ＋　Ｃ。

Ｃｒ、ＣｏＮｉＣｒなどの強磁性金属薄膜もしくは、γ
酸化鉄＋Ｂａフェライトなどの酸化物薄膜が用いられる
ため、記録磁性層の剛性は、バインダーを使用したもの
に比べはるかに大きい。

そのため、高分子フィルム上に強磁性薄膜記録磁性層を
設けるフロッピーディスク、蒸着テープなどにおいては
、耐摺動性及びヘッドの媒体へのコンタクトがバインダ
ー型に比べ劣り、また、リンラドディスクにおいては、
ヘッドの姿勢変動。

コンタクト・スタートストップで媒体に傷がつくと、こ
の傷は、記録磁性層が剛性の高い−様な金属もしくは、
酸化物でできているため成長しやすく、また、傷によっ
てはできた縁は、鋭利な刃物の様になりやすいため、ヘ
ッドクラッシュをおこすという問題点があった。

この問題を避けるため、強磁性薄膜による磁気記録層の
上に潤滑剤を塗布したり、５ｉ０２やカーボンによる保
護膜を設ける方法もあるが、しかし、この方法では、ス
ペーシング損失が大きくなる。

また、このスペーシング損失をおさえるため、保護膜の
膜厚を薄くすると、保護膜自体の耐久性も問題となる。

そこで、強磁性体を非磁性基体上に柱状に成長させ、そ
の隙間を有機ポリマーで埋めた複合膜を記録磁性層とし
て、用いることが研究されている（特公昭５７−３１３
７、特願昭８Ｏ−１３６７９０）。

このような複合型の媒体を有機ポリマーと強磁性体の同
時蒸着で作る場合は、通常、打機ポリマーと強磁性体の
二元同時蒸着、二元同時スパッタで作製されるが、特告
昭５７−３１３７号公報に述べられている方法では、基
体に対しポリマーの入射ビームが高入射角の斜方入射と
はならないため、形成された複合型媒体の形状異方性は
小さい。

そのため、保磁力は小さくなり、記録密度が落ちたり、
再生出力感度の低下を招く。

［発明が解決しようとする問題点コこの発明は、−［―記従来技術の製造方法が持っていた
低保磁力、再生出力感度の低下等の欠点を解決し、以て
、より優れた特性ををする磁気記録媒体の製造方法を提
供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］本発明者らが長年にわたり広範な実験と試作を続けた結
果、非磁性基板に有機ポリマーと強磁性体とを同時入射
する二元気相析出法において、強磁性体の入射蒸気ビー
ムの少なくとも、両側から有機ポリマー入射蒸気ビーム
が入射するように２つ以上の有機ポリマービーム取り出
し口を設け、かつ、強磁性体ビームの基板に対する入射
角を０°とし、ポリマービームの基板に対する入射角を
６０°以下３０°以」二とすることにより、高保磁力で
１４生出力感度の高い複合型磁気記録媒体が得られるこ
とを発見した。本発明は斯かる知見に基づき完成された
。

有機ポリマー入射ビームの入射角が６０°超では、有機
ポリマーの基板への付着効率が悪くなり、無駄に使用さ
れる割合が多くなる。また、入射角３０°未満では、ポ
リマーと強磁性体が混然一体となり、形状異方性がやは
りなくなってしまう。

また、強磁性体入射ビームの片側だけから打機ポリマー
ビームを入射させると、同時成長する強磁性柱状粒子の
裏側での有機ポリマーの成長が十分でないため、隙間が
できたり、強磁性粉の磁気的分離が不十分になったりす
る。しかし、両側から入射ビームをあてれば、上記のよ
うな欠点は改溌される。

このように、強磁性体入射蒸気ビームの両側から特定の
入射角でポリマービームを入射させるために、強磁性体
入射蒸気ビームは基板而に対して、入射角が０′、すな
わち、垂直に入射させることが好ましい。強磁性体が基
板而に対して垂直に入射すると、この入射ビームの両側
から入射される有機ポリマーのビームとの混合が均一に
行われ、強磁性粉の磁気的分離も最高度に達成される。

特開昭６１−１７８７３１号公報には、基板而に対し有
機ポリマーの入射ビームを６０°超９０６以下の角度で
入射させ、同時に強磁性体を該有機ポリマーの入射ビー
ムと重複しない入射ビームで入射させることからなる複
合型磁気記録媒体の製造方法が開示されている。

しかし、この方法では、ポリマーの基体に対する入射角
が６００〜９０’　と大きくないと、磁気記録媒体とし
てふされしい保磁力を持つ媒体が得られない。しかし、
ポリマーの入射角が大きいため、ポリマー蒸気が基板１
−で成長するのに、有効に使用される割合が小さい。そ
のため、ポリマーの蒸着レートは、入射角が大きくなる
程大きくする必要があり、生産性が悪くなる。

前記公知例の方法では強磁性体ビームは基板而に対して
垂直に入射されず、ポリマーの入射ビームと重複しない
角度で入射される。そのため、ポリマーとの混合が均一
に行われない。また、ポリマー入射ビームが一本だと、
成長した強磁性体粒子の入射ビームの裏側は、ポリマー
が入りにくいため磁気的分離が悪くなり、保磁力が小さ
くなる。

その結果、記録密度が落ちたり、再生出力感度の低下を
招く。

有機ポリマー及び強磁性体の入射ビームは、１１空蒸着
法、イオン・ブレーティング法、高周波イオン・ブレー
ティング法、イオン・クラスタービーム法、スパッタ法
などのいわゆるペーパー・デポジション法によりつくれ
る。また、有機ポリマーに関しては、有機ポリマーの蒸
発ガスをノズルから吹き付けるようにしてもよい。

基板蒸着面に対する有機ポリマービームの入射角は有機
ポリマー用の坩堝を傾ける、あるいは、所定の吹出し角
度を持つノズルをつける等の方法により所望の値に制御
できる。

また、有機ポリマーの硬化をうながすため、有機ポリマ
ー析出中または析出後、α線、β線などの電離線、また
は、マイクロ波、紫外線、Ｘ線。

γ線などの電磁線、または、陽子線、中性子線を照射し
、有機物の重合を促進させることが好ましい。

本発明の磁気記録媒体の製造に使用できる有機ポリマー
は、重合体類に限らず、重合によりこれらの重合体類を
生成できる重合性モノマー、オリゴマーを含む。具体的
には、例えば、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリテトラフロ
ロエチレン。

ポリブタジェン、ポリカーボネイト、ポリアミド。

ポリイミド、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル。

ポリウレタンなどの有機高分子、及び、それらを構成す
る単量体及び、単量体から誘導される低分子量のもので
ある。これら以外の化合物類も当然使用できる。このよ
うな化合物類は当業者に周知である。

本発明に使用できる強磁性物質としては、Ｆ　ｅ　＋Ｃ
ｏ、Ｎｉもしくはこれらの合金類あるいは、３ｃｌ移金
属と種々の元素との合金、及びＢａミツエライト　　ｒ
　Ｆ　ｅ　２０３　＋　　Ｆ　ｅ　３０４等のフェライ
ト類、その他酸化物、窒化物等がある。

本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性基板としては
、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等の高分子
フィルム、ガラス類、セラミック。

アルミ、陽極酸化アルミ、黄銅などの金属板、Ｓｉ単結
晶板９表面を熱酸化処理したＳｉ単結晶板などがある。

この非磁性基体は７認に応じて、平面研磨やテクスチャ
リング加工を行うためのニッケル・リン系合金層やアル
マイト処理層等のＦ地研磨層を設けることもできる。

また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム、
ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基体とす
る磁気テープや磁気ディスク、合成樹脂フィルム、アル
ミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを基
体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッドと
摺接する構造の種々の形態を包含する。

［実施例コ以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。

ｌｌｌ性第１図に示されるような、中央に強磁性体用のルツボ、
その両側に基板への入射角がφとなるよう２つの有機ポ
リマールツボを配置した同時真空蒸着装置を使用し、磁
気記録媒体を以下の条件で作製した。

（り基板：ポリイミドフィルム（２）強磁性体二Ｃ０（３）有機ポリマー：ポリエチレン（４）基板温度：室温（５）真空度：到達真空度　５Ｘ　１０””　Ｔｏｒｒ
蒸着中　　　ｌＸｌ０””Ｔｏｒｒ（ｌｌｉ）蒸着レート：Ｃｏ　　２０人／ｓｅｃφ＝３
０°、４５”、８０°、ポリマー蒸着レートそれぞれの
ルツボで、５人／５ｅｃｔ　　１０人／５ｅｃｔｌＳ人
／ｓｅｅで作製した。

北上（ロー実施例と同じ条件で作製した。ただし、φ＝７０°にし
、ポリマーの蒸着レートは、実施例１と同じように変化
させた。

土校旌２実施例と同じ条件で作製した。ただし、φ＝２０°にし
、ポリマーの蒸着レートは、実施例１と同じように変化
させた。

比１石列Ｊ− 実施例と同じ条件で作製した。ただし、第１図で右側の
ｔＴｎルツボたけを使用し、φ＝３０°。

４５°、６０°で作製した。

実施例および比較例１〜３の蒸着レートを変化させたと
きの保磁力の変化を第２図に示す。

実施例と比較例１よりポリマービームの基板への入射角
が６０°をこすと、ポリマー蒸気が有効に使用されない
ため、３０°〜８０’のときと同等の保磁力を得ようと
すると、ポリエチレンの蒸着レートを２〜３倍にしなけ
ればならない。入射角が大きくなる程蒸着レートは、よ
り大きくしなければならない。また、比較例２を見ると
、入射角がφく３０°以下では保磁力が小さすぎる。ま
た、比較例３より、片側だけのポリマー入射では、保磁
力が低い。

［発明の効果コ以上説明したように、強磁性入射蒸気の両側から有機ポ
リマー蒸気をあて、かつ、有機ポリマー蒸気の）λ板へ
の入射角を３０’〜６０’としたことにより、磁気特性
に優れた磁気記録媒体を生産性よく効率的に製造できる
ようになった。

４、図面のｆｒｉ’ｉ！ｌ’−な説明第１図は本発明の磁気記録媒体を作製するのに使用でき
る同時真空蒸着装置の一例を示すＪＲ要図であり、第２
図は特定のビーム入射角（φ）における保磁力と蒸着レ
ートとの関係を示す特性図である。

１・・・強磁性体用ルツボ、２・・・左側有機ポリマー
用ルツボ、３・・・右側有機ポリマー用ルツボ、４・・
・真空排気系、５・・・真空槽、６・・・基板、７・・
・基板ホルダ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）非磁性基板に有機ポリマーと強磁性体とを同時入
射する二元気相析出法において、強磁性体の入射蒸気ビ
ームの少なくとも、両側から有機ポリマー入射蒸気ビー
ムが入射するように２つ以上の有機ポリマービーム取り
出し口を設け、かつ、強磁性体ビームの基板に対する入
射角を０°とし、ポリマービームの基板に対する入射角
を６０°以下３０°以上とすることを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。