JPH0194508A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 な ドに関する。

（ｃ４従米の技術 一般に高抗磁力ｔ−有する磁気チーブ（例えばメタルテ
ープ）対応の磁気ヘッドは、その記録時にはイい飽和磁
束密度が必要とされ、また再生時には十分な当主感度を
得るために、特に高同波演域において高い透磁率を有す
ることが必要とされている。また高い飽和磁束密度ｆ：
夾現できる磁気ヘッド材料としてはセンダスト、アモル
ファス合金等の金属磁性合金材が、また高い透磁率をＭ
するａＩｉ気ヘッド材料としては磁性フェライト材が知
られている。しかしながら金属磁性合金材のみからなる
磁気ヘッドでは、記録時における特注は良好であるが、
再生時には金）７ｊＩ４磁性合金材の電気抵抗力が小で
あるため渦ＩＥ流による透磁率の低下が生じ、特に使用
周波数が高くなる８透磁率の低下は顕著であシ再生特注
は不良となる。また同様にａ注フェライト材のみからな
る磁気ヘッドでは、再生時の特注は良好であるが記録時
における特性は不良である。

従来、このような欠点を解消するために例えば、持回Ｆ
８６２−１１９７０９号公報（ＧｌＩＢ５／１２７）等
に開示されているような高周波用積層型磁気ヘッドが提
案されている。

第１θ図は従来の磁気ヘッドの外観を示す斜視図、第１
１図は第１θ図のＢ−Ｂ／断面図、Ｍ１２図は上記磁気
ヘッドをテープ摺接面側から観た図である。

図中、（ｌ）は結晶化ガラスよりなる一対の非磁性基板
半休＜２＆）Ｃ２ｂ）を接合してなる上部非磁性基板、
（３）は結晶化ガラスよりなる一対の非磁性基板半休（
４ａ）（４ｂ）を接合してなる下部弁ａ注基板である。

前Ｈ，２上部非磁注磁性（１）と前記下部非磁性基板（
３）との間には磁性層（５）が挟持されている。

＃起磁性層（５）は男１１図に示すようにセンダストよ
りなる５μｍ厚の強磁性金属層（６８）（６ｂ）（６Ｃ
）（６ｄ）と５ｉＯｚよりなるｏ、ｘｐｍ厚の絶縁層（
７！Ｌ）（７ｂ）（７ｅ）（７ｄ）、との積層構造であ
シ、前記下部ａ注基板（３Ｊ上に強磁性金属層（６５Ｌ
）（６ｂ）（６ｅ、１（６ｄ）とＭ縁層（７ａ）（７ｂ
）（７ｃ）（７ｄ）とｔ−文互にスパッタリングにより
被層して形成される。また、Ｈ記Ｅ＆注／ｉｎ　（５）
は絶縁層（７ｄ〕上にはＣｒまたはＴｉ等の金属層（８
）が被層されておシ、該金属層（８）の上部に前記上部
弁＠！１．基板（１）がガラス（９）によ＃）接合され
ている。前記磁性層（８）は第１２因に示すように一方
の非磁性基板半体（４ａ〕上に形成さｎた！ａ！）、層
半体（５５１）と他方の非磁性基板半休（４ｂ）上に形
成さｎた磁性層半休（５ｂ）とから成シ、前記両磁性層
半体（５８）（５ｂ）は作動ギャップを形成するギャラ
フ“スペーサａω紫介して接合さｎている。尚、（ｌｌ
Ｉはコイル窓σ２に巻回された巻線でるる。

この従来の磁気ヘッドの場合、磁性層（５〕は積層構造
であるため、強磁性金属層（６ａ　）　（６ｂ）（６（
り（６ｄ）鋤縁層（７ｊＬ）（７ｂ）（７（り（７ｄ）
と接している部分の表面積が大きい。このためこの従来
の磁気ヘッドでは、高周波領域において゛も表皮効果に
よ＃）磁性体の表面にルか流れない磁束は、＆＆注層（
５）が積層構造であるため流ｎ易く、十分な磁気特性を
得ることが出来る。

しかし乍ら、この従来の磁気ヘッドの場合、５μｍ厚の
強磁性金属層（６ａバ６ｂ）＜６０）＜６ｄ）の４層構
造であるため、作動ギャップのギャップ幅を小さくする
ことが出来ず、トラック幅が２０μｍ以下の磁気ヘッド
を形成することは困難である。

（Ｉ９　　発明が解決しようとする問題点本５も明は上
ｉｆピ従来例の欠点に鑑みなさ扛たものであシ、小さな
トラック幅で劉周反領域においても十分な磁気特注を得
ることが出来る磁気ヘッドを提供することを目的とする
ものである。

に）問題点を解決するための手段 本発明はｇｉ磁性金属材料よりなる磁性１−を非磁性基
板で挟持した磁気ヘッドにおいて、前記磁性層がスパイ
ラル状の部分ｔ−有することを特徴とする。

＃Ｊｆ′Ｆ：用 上起得戊に飲ｎば、磁性層が゛スパイラル状の部分を有
するため、杉磁性層の表面積が大きくなシ、高周波領域
においても磁束が流ｎ易い。

（へ）実施例 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を詳細に説明
する。

第３図は木大施力の磁気ヘッドの外銃を示す斜視図、第
１図は力３図のＡ−Ａ／断面図、第２図は上記磁気ヘッ
ドをテープ摺接面側から観た図であり、第１θ図、第１
１囚及び第１２図と同一部分には同一符号を付し、その
説明は割愛する。

図中、σ」はｄｉ注急であり、該磁性層α四は厚みａが
５μｍ１ｒｐＪｂ、ｃが５μｍであるスバ・ｆラル伏の
第１１第２強ム性翁、４層ＩＱと、該第１１爪２強磁性
金属層（１４ＩσＳを分廟する第ｌ絶様層Ｊ９と、前記
第２強磁性金属層四を覆う第２絶隊層１ηとからなる。

前記第１１石２強磁性金属層σ乳９はセンダストからな
シ、前記亀１１第２艶縁層ｔＬｌｉｌｆ１７］は５ｔ０
２からなる。

次に、上記磁気ヘッドの製造方法について説明する。

先ず、第４図に示すように結晶化ガラスよりなる０、５
随厚の一対の非磁性基板半体（４ａ）（４ｂ）を用意す
る。

次に、前記非磁性基板半休（４１１）（４ｂ）の上面全
域にセンダス等の高透磁率磁性材料よりなる強磁注金＃
！薄膜を５μｍ淳スパッタリングにより被着形成し、該
強磁性金）ｔＡ薄膜をフォトリングラフィ技術によりパ
ター７化して第５図に示すように第１強磁性金属層Ｉｕ
４を形成する。ｉａ記第１強磁性金Ｍｒａｕｕ、ｕはテ
ープ摺接面側の部分（１４ａ）（１４ＪＬ）及びバンク
ギヤング側の部分（１４ｂ）（１４ｂ）では全域に形成
されており、それ以外の中間の部分（１４（り（１４０
）では半スパイラル伏に形成されている。この半スパイ
ラル伏の部分（１４０）（１４０）は幅すが５ｆｉｔｎ
である。

久に、第５図に示す非磁性基板半体（４’Ｌ）（４ｂ）
の上面全域に前記第１強磁性金属層α４１（１４１を榎
う５１０２からなる第１絶縁層σｅσｅを０．１１ａ被
着形成する。その後、前記半スパイラル状の部分（１４
Ｃ）の上側及び下側の両側壁の部分の■の■に被層した
ＷＩｌ絶縁７ｍ（１れＱをエツチングによシ除去した後
、前６６基板半休（４５１）（４ｂ）上面全域に前記第
１強磁性金属層α４１（１４１と同じ材料よ〕なる強磁
性金属薄膜を５μｍ厚スパッタリングによυ被層形成し
、該強磁性金属薄膜の前記Ｗ、１強磁性金属層圓（１４
１と対向する部分をエッチ７グによシ取シ除くことによ
シバターン化して第６図に示すように第颯　ｍ紀第１強
磁性金属層Ｉと前記第２強磁性金属層σ９とは前述の第
１絶縁層αｅの部分的なエツチングによりお互いに連結
している。

次に、第６図に示す非磁性基板半休（４ａ）（４ｂ）の
上面全域に前記Ｍ２強磁性金属層Ｕωａ９を覆う５１０
ｚからなる第２！１１！３縁層ＵηαＤを１μｍ厚で被
層形成した後、第７図に示すように該第２絶縁層αＤ（
１）］の上面全域にＣｒまたはＴｉからなる金属層（８
）（８３を０．５μｍ厚で被層形成する。

次に、前記非磁性基板半体（４ａ）（４ｂ）と同一材料
、同一形状の非磁性基板半休（２ａ）（２ｂ）ｔ：用意
し、咳非磁性基板半休（２ｊＬ）（２ｂ）を第８図に示
すように、＃ｆｆａ金属ノー（８バ８）の上面にガラス
（９）（９）によシ接合して一対のコア半体（１８ＪＬ
）（１８ｂ）を形成する。

次に、第・９図に示すように前記コア半体（１８’Ｌ）
（１８ｂ）のギャップ衝き合わせＩｆｉ（１１α］を研
磨した後、該衝き合わせ面［１９ｕ３に巻線溝（至）０
１を形成する。

次に、前記ギャップ衝き合わせ面餞α９に５ｉＯｚ等の
ギャップスベーサロＧを形成した後、該衝き合わせ面（
１１（１１同士を衝き合わせ、樹脂接着剤若しくは〕Ｕ
ットガラスによシ前把コア半体（１８ＪＬ）（１８ｂ）
を接合する。そして最後に、テープ摺接面（２ＪＪを日
付研磨した後、コイル窓α２に巻線συを施して第３図
に示す不実施例のａｇＣヘッドが完成する。

上述のような磁気ヘッドでは、磁性層α３ＯＮ　ｌ　ｓ
第２強磁性金属層α４１（１５がスパイクル状の部分を
有するため、該第１、第２強磁性金属層α４１（ｔ５の
第１絶縁層αυと接醜する部分の表ｒＴＪｌｉ！が大き
く、高周波領域においても磁束が１ＴｔＩ紀磁性層α３
を十分に流れ、良好な記録再生を行うことが出来る。し
かもめ 小さり、トラック幅Ｔを非常に小さく出来る。

また、不実施例の（ａ気ヘッドでは、第１強磁性金属層
α４のテープ摺接面側の部分（１４ａ）は強磁性金属薄
膜が全面に形成さｎているので、チーブ摺接面一にはＭ
１ｓ第２ｇＩ磁性金属層α４１（Ｉシと第１絶ｌ＆層σ
Ｇとの境界部がなく、擬似ギャップの発生が抑えられる
。更に、前記第１強磁性金属層（１４１（１４１のパッ
クギャッ１側の部分（１４ｂ）（１４ｂ）は強磁注量Ｊ
ｌ薄展が全面に形成されているため一方の非磁性基板半
休（４ａ〕上に形成されている第１強磁性金属層σ髪と
他方の非磁性°基板半休（４ｂ）上に形成されている第
１強磁性金属１１　ｔ１４１との接合部にズレが生じる
ことが防止される。

（υ発明の効果 本発明に依れば、高周波鎖酸においても小さいトラック
１＠で艮好な記邊を行うことが出来る高密度記録に通し
た磁気ヘッドを提供し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第９図は本発明に保シ、第１図は磁気ヘッド
の要部断面図、Ｍ２図は上記磁気ヘッドをテープ摺接面
側より覗た図、第３図は上記磁気ヘッドの外観を示す斜
視図、第４図、第５図、第６図、ＷＪ７図、兜８肉及び
第９因は夫々上記磁気ヘッドの製造方法を示す図である
。Ｍ２Ｏ図乃至第１２図は従来例に係シ、第１０１には
磁気ヘッドの外観量水す斜視図、第１１図は第１θ図の
Ｂ−８７断面図、石１２図は上記磁気ヘッドをチー１摺
接面側から観た図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）強磁性金属材料よりなる磁性層を非磁性基板で挟
   持した磁気ヘッドにおいて、前記磁性層がスパイラル状
   の部分を有することを特徴とする磁気ヘッド。