JPH0193469A - 窒化けい素質焼結体及び製造方法 - Google Patents
窒化けい素質焼結体及び製造方法Info
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- JPH0193469A JPH0193469A JP86285874A JP28587486A JPH0193469A JP H0193469 A JPH0193469 A JP H0193469A JP 86285874 A JP86285874 A JP 86285874A JP 28587486 A JP28587486 A JP 28587486A JP H0193469 A JPH0193469 A JP H0193469A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は高密度、高強度で特に高温特性に優れた窒化け
い素質焼結体及びその製造方法に関するものである。
い素質焼結体及びその製造方法に関するものである。
［従来技術］
高強度構造用セラミックスとして注目されている窒化け
い素質焼結体は、窒化けい素単独では焼結が困難であり
、ＭｇＯ，ｌｅ Ｏ、Ｙ ０等の酸化物助剤を添加
して焼結が行われている。
い素質焼結体は、窒化けい素単独では焼結が困難であり
、ＭｇＯ，ｌｅ Ｏ、Ｙ ０等の酸化物助剤を添加
して焼結が行われている。
これらの助剤は窒化けい素粉末表面の５ｔＯ３と反応し
てガラス相を形成し、焼結を促進する。
てガラス相を形成し、焼結を促進する。
しかし、焼結体中にそのまま残存すると、８００〜１０
００℃付近で軟化し、高温強度、耐酸化性、耐クリープ
性を著しく劣化させる。
００℃付近で軟化し、高温強度、耐酸化性、耐クリープ
性を著しく劣化させる。
この高温での強度劣化を防止するため１組成制御や熱処
理により粒界ガラス相を結晶化させる試みがなされてい
る（特開昭５５−１１８８７７、同５５−１１８８７０
、同５３−１４７１７）。しかし、 １２００℃付近で
の強度は粒界が結晶化されていないものよりは向上して
いるものの、未だ十分であるとは言えない。
理により粒界ガラス相を結晶化させる試みがなされてい
る（特開昭５５−１１８８７７、同５５−１１８８７０
、同５３−１４７１７）。しかし、 １２００℃付近で
の強度は粒界が結晶化されていないものよりは向上して
いるものの、未だ十分であるとは言えない。
また、添加助剤の組成によっては、Ｓｉ３Ｎ４・Ｙ２Ｏ
３結晶が析出し、耐酸化性を著しく低下させる場合もあ
る。
３結晶が析出し、耐酸化性を著しく低下させる場合もあ
る。
［解決すべき課題］
本発明では、従来の結晶化処理等では不十分である高温
特性をより高め、さらに耐酸化性および耐クリープ性に
も優れた窒化けい素質焼結体およびその製造方法を提供
しようとするものである。
特性をより高め、さらに耐酸化性および耐クリープ性に
も優れた窒化けい素質焼結体およびその製造方法を提供
しようとするものである。
［課題解決のための手段］
本発明者等は、上記課題に鑑みて窒化けい素質焼結体に
ついて鋭意研究を重ねた結果、特定のイツトリアライト
（Ｙｔｔｒ［ａｌ １ｔｅ）構造の結晶相を焼結後の冷
却過程あるいは熱処理工程で析出させたところ、高温で
の強度劣化を確実に防止し、また耐酸化性、耐クリープ
性を大幅に向−１ニさせ得ることを見出したので、ここ
に提案するものである。
ついて鋭意研究を重ねた結果、特定のイツトリアライト
（Ｙｔｔｒ［ａｌ １ｔｅ）構造の結晶相を焼結後の冷
却過程あるいは熱処理工程で析出させたところ、高温で
の強度劣化を確実に防止し、また耐酸化性、耐クリープ
性を大幅に向−１ニさせ得ることを見出したので、ここ
に提案するものである。
即ち１本発明の窒化けい素質焼結体は１ＭｘＹＳｉＯで
表わされるイツトリアライト６−ｘ ６ ２１ 構造の結晶相が粒界に存在することを特徴とする。
表わされるイツトリアライト６−ｘ ６ ２１ 構造の結晶相が粒界に存在することを特徴とする。
また９本発明の窒化けい素焼粘体の製造方法は、窒化け
い素粉末にＹ２Ｏ３粉末１〜２０νｔ％およびＭの酸化
物粉末 ０，５〜２０ｗｔ％を添加してなる混合粉末を
成形、焼結することにより。
い素粉末にＹ２Ｏ３粉末１〜２０νｔ％およびＭの酸化
物粉末 ０，５〜２０ｗｔ％を添加してなる混合粉末を
成形、焼結することにより。
ＭＹＳｉＯで表わされるイツトリウム
ｘ ８−Ｘ ８ ２１
イト構造の結晶相が粒界に存在する窒化けい素質焼結体
を得ることを特徴とする。
を得ることを特徴とする。
但し、上記において１ＭはＩａ、ＩＩａ、ｍｂ族元素お
よび遷移金属元素からなる群より選ばれる元素の少な（
とも１種を示し、Ｘは０または６未満の正数を示す。
よび遷移金属元素からなる群より選ばれる元素の少な（
とも１種を示し、Ｘは０または６未満の正数を示す。
［作用］
こうした特徴を有する本発明焼結体にあっては、窒化け
い素の粒界に焼結過程で形成されるガラス相からイツト
リアライト構造の結晶相（後述するように条件によって
はＭの酸化物相も共存する）が析出し、第２図に示す如
く２粒界に残存するガラス相が著しく減少している。こ
のイットリアライ−トは高温下、また酸化雰囲気下にお
いて非常に安定であり、しかも原料中の不純物元素を固
溶し得る。
い素の粒界に焼結過程で形成されるガラス相からイツト
リアライト構造の結晶相（後述するように条件によって
はＭの酸化物相も共存する）が析出し、第２図に示す如
く２粒界に残存するガラス相が著しく減少している。こ
のイットリアライ−トは高温下、また酸化雰囲気下にお
いて非常に安定であり、しかも原料中の不純物元素を固
溶し得る。
［好適な実施態様］
前述した式で表わされるイツトリアライトは単斜晶構造
（ａ −７，５，ｂ −８，１，ｃ −５，０，β−１
１２°）を持っていると報告されており、Ｘ線回折にお
いて、第１図に示す如＜ 、 ｄ −３，１，３，５
に対応するピークの強度が高く現われる。しかし。
（ａ −７，５，ｂ −８，１，ｃ −５，０，β−１
１２°）を持っていると報告されており、Ｘ線回折にお
いて、第１図に示す如＜ 、 ｄ −３，１，３，５
に対応するピークの強度が高く現われる。しかし。
化学式のＭに含まれる元素によりｄ−３，１に対応する
ピークが非常に弱くなる場合がある。また。
ピークが非常に弱くなる場合がある。また。
結晶の格子定数もＭに含まれる元素により変化する場合
もある。Ｘは好ましくは２以下、より好ましくは１以下
である。
もある。Ｘは好ましくは２以下、より好ましくは１以下
である。
上記イツトリアライト結晶を焼結体中に析出させるため
には、少なくとも焼結助剤としてＹＯを添加する必要が
ある。Ｌ ａ ２０ ａ等のランタニド元素酸化物は、
Ｙ２Ｏ３とよく似た性質を持っており、Ｙ２Ｏ３の一部
をこれらの酸化物で置き換えることが可能で、その際に
は。
には、少なくとも焼結助剤としてＹＯを添加する必要が
ある。Ｌ ａ ２０ ａ等のランタニド元素酸化物は、
Ｙ２Ｏ３とよく似た性質を持っており、Ｙ２Ｏ３の一部
をこれらの酸化物で置き換えることが可能で、その際に
は。
Ｍ （Ｙ、ＲＥ） Ｓ ｉｅ Ｏ２，なる結晶が
析出ｘ ６−ｘ する。尚、ＲＥはＹ以外の希土類元素を示す。
析出ｘ ６−ｘ する。尚、ＲＥはＹ以外の希土類元素を示す。
イツトリウム（Ｙ）の添加量は、酸化物に換算して１ν
ｔ％以上であればその効果が認められる。
ｔ％以上であればその効果が認められる。
一方２０ｗｔ％を越えると残存ガラス級の増加、粗大粒
の成長等により特性を劣化させるため好ましくない。ま
た１Ｍの添加量についても同様な理由に基づき酸化物に
換算して０．５〜２０ｖｔ％であることが好ましい。但
し９ＭがＩａ、ｎａ族元素の場合、残存ガラス量の増加
等を防止するためには５νｔ％以下にすることが好まし
い。
の成長等により特性を劣化させるため好ましくない。ま
た１Ｍの添加量についても同様な理由に基づき酸化物に
換算して０．５〜２０ｖｔ％であることが好ましい。但
し９ＭがＩａ、ｎａ族元素の場合、残存ガラス量の増加
等を防止するためには５νｔ％以下にすることが好まし
い。
なお、以下に示すように２条件によっては。
イツトリアライト結晶の析出とともに１Ｍの酸化物品も
共存することがある。例えば、上記イツトリアライト結
晶を析出させるためにＹ２Ｏ３とともにＺ ｒ Ｏ２を
添加した場合、その一部が立方晶Ｚ ｒ ０２として焼
結体中に残り、焼結体の特性をより高める。この際、Ｚ
ｒＯ２は立方晶Ｚ ｒ Ｏ２として残存している。添加
するＺ ｒ Ｏ２としては純粋なＺｒＯ、あるいはＹ
Ｏ、Ｃａｂ。
共存することがある。例えば、上記イツトリアライト結
晶を析出させるためにＹ２Ｏ３とともにＺ ｒ Ｏ２を
添加した場合、その一部が立方晶Ｚ ｒ ０２として焼
結体中に残り、焼結体の特性をより高める。この際、Ｚ
ｒＯ２は立方晶Ｚ ｒ Ｏ２として残存している。添加
するＺ ｒ Ｏ２としては純粋なＺｒＯ、あるいはＹ
Ｏ、Ｃａｂ。
Ｍｇ０．ＣｅＯ等を固溶するＺ ｒ ０２粉末でもよい
。同様な作用はＴｉＯ、ＨｆＯ□添加でも期待される。
。同様な作用はＴｉＯ、ＨｆＯ□添加でも期待される。
いずれの場合にも上記イツトリアライト結晶は焼結後の
冷却過程で比較的容易に析出する場合が多いが、ガラス
相部分が多く残存する場合には。
冷却過程で比較的容易に析出する場合が多いが、ガラス
相部分が多く残存する場合には。
焼結後、上記結晶が安定な温度域（例えば１０００〜１
４００℃）で熱処理すればよい。
４００℃）で熱処理すればよい。
尚、焼結条件は特に限定されず窒化けい素質焼結体につ
いての通常の条件（例えば、焼結温度１５００〜１９０
０℃）を適用できる。
いての通常の条件（例えば、焼結温度１５００〜１９０
０℃）を適用できる。
本発明の窒化けい素質焼結体は、高温構造部材例えば各
種熱機関の部品、熱間菌性加工用部品の材料として最適
である。
種熱機関の部品、熱間菌性加工用部品の材料として最適
である。
［発明の効果］
本発明によれば、窒化けい素の粒界にイツトリアライト
構造結晶相が存在しているので、高温での強度劣化が極
めて少なく、また耐クリープ性も非常に優れている。さ
らに、イツトリアライトは酸化雰囲気下でも安定で、Ｙ
Ｏ−８ｉ３Ｎ４結晶のように酸化されて焼結体を劣化
させることはない。また、原料中の不純物や焼結助剤中
のＣａ、Ｎａ、Ｆｅ、Ｍｇ等はガラス相中にあると軟化
点を下げたりして強度、耐クリープ性、耐酸化性等の高
温特性の低下を招くが、これらの元素はイツトリアライ
トに固溶しうるので２本発明の焼結体では上記のような
劣化が低減される。
構造結晶相が存在しているので、高温での強度劣化が極
めて少なく、また耐クリープ性も非常に優れている。さ
らに、イツトリアライトは酸化雰囲気下でも安定で、Ｙ
Ｏ−８ｉ３Ｎ４結晶のように酸化されて焼結体を劣化
させることはない。また、原料中の不純物や焼結助剤中
のＣａ、Ｎａ、Ｆｅ、Ｍｇ等はガラス相中にあると軟化
点を下げたりして強度、耐クリープ性、耐酸化性等の高
温特性の低下を招くが、これらの元素はイツトリアライ
トに固溶しうるので２本発明の焼結体では上記のような
劣化が低減される。
本発明においてイツトリアライトを析出させるために助
剤としてＺ ｒ Ｏ２を添加した場合にその一部が立方
晶のＺ ｒ ０２として焼結体中に残存してクラック伝
播の障害となり、焼結体の強度、靭性、硬度向上に寄与
する。
剤としてＺ ｒ Ｏ２を添加した場合にその一部が立方
晶のＺ ｒ ０２として焼結体中に残存してクラック伝
播の障害となり、焼結体の強度、靭性、硬度向上に寄与
する。
［実施例］
以下１本発明を実施例に基づいて説明する。
（実施例１）
第１表に示す組成の混合粉末を金型プレスで成形し１０
気圧のＮ２雰囲気中１８００℃２時間焼成して焼結体を
得た。試料Ｎｏ、 １〜４が本発明の焼結体で、Ｎｏ、
５〜７は比較例である。イツトリアライト結晶を有する
本発明の焼結体は１２００”Ｃでの４点曲げ強度（σｂ
４）が高くまたＺ ｒ ０２の添加の多いものでは、焼
結体中に残存する立方晶ＺｒＯ２（第１図参照）のため
靭性値（Ｋ、ｏ）。
気圧のＮ２雰囲気中１８００℃２時間焼成して焼結体を
得た。試料Ｎｏ、 １〜４が本発明の焼結体で、Ｎｏ、
５〜７は比較例である。イツトリアライト結晶を有する
本発明の焼結体は１２００”Ｃでの４点曲げ強度（σｂ
４）が高くまたＺ ｒ ０２の添加の多いものでは、焼
結体中に残存する立方晶ＺｒＯ２（第１図参照）のため
靭性値（Ｋ、ｏ）。
硬度（Ｈｖ）が高い値を示し１本発明の有用性が認めら
れた。
れた。
第１表：焼結体の機械的特性
林Ｚ ｒ Ｏ２ハｆテ１１ モＪＩｉ％Ｙ２（Ｊ３ＴＳ
ＴＪＩＪ’ｔ ｒ○２粉木ここで、添加するＺ ｒ Ｏ
２粉末としては。
ＴＪＩＪ’ｔ ｒ○２粉木ここで、添加するＺ ｒ Ｏ
２粉末としては。
Ｙ２Ｏ３を固溶した粉末を用いたが、純粋なＺｒＯを用
いるとＫＩＣが８．３〜Ｂ、５ ＭＰａＡとやや低い以
外は同様な結果が得られた。この場合。
いるとＫＩＣが８．３〜Ｂ、５ ＭＰａＡとやや低い以
外は同様な結果が得られた。この場合。
Ｙ２Ｏ３を表に示した量よりも多量に使用するとよい。
また、実施例魔２の焼結体のＸ線回折強度チャート、Ｔ
ＥＭ写真および粒界相から取ったＥＤＳスペクトルを第
１図〜第３図に示す。これらの図によれば、得られた焼
結体は、β−８１３Ｎ４が主体で他にイツトリアライト
、立方晶Ｚ ｒ ０２が含まれ（第１図）１粒界にイツ
トリアライト結晶が析出している（第２図、第３図）こ
とがわかる。なお、第２図において黒色部分がイツトリ
アライト結晶であり、概算的に云えば５ ｖｏ１％程度
含まれている。
ＥＭ写真および粒界相から取ったＥＤＳスペクトルを第
１図〜第３図に示す。これらの図によれば、得られた焼
結体は、β−８１３Ｎ４が主体で他にイツトリアライト
、立方晶Ｚ ｒ ０２が含まれ（第１図）１粒界にイツ
トリアライト結晶が析出している（第２図、第３図）こ
とがわかる。なお、第２図において黒色部分がイツトリ
アライト結晶であり、概算的に云えば５ ｖｏ１％程度
含まれている。
４点曲げ強度（σｂ ｉ、 ）および靭性値の測定法は
次の通り。
次の通り。
■４点曲げ強度（σｂ４） ： ＪＩＳ Ｒ１６０１
幅４ｍｍ（±０．１＋ｕＩｌ）、厚み３ｍｍＣ±Ｏ１Ｊ
ｍｍ）＋ 長さ約４０１の矩形試験片に対し、上スパン
１０ｍｍ、下スパン３０■、クロスヘツド速度０．５Ｉ
ｌａ＋／ｗｉｎで４点曲げ強度を測定した。
幅４ｍｍ（±０．１＋ｕＩｌ）、厚み３ｍｍＣ±Ｏ１Ｊ
ｍｍ）＋ 長さ約４０１の矩形試験片に対し、上スパン
１０ｍｍ、下スパン３０■、クロスヘツド速度０．５Ｉ
ｌａ＋／ｗｉｎで４点曲げ強度を測定した。
■ＫＩＣ値： Ｉ Ｍ （Ｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ
ｍ１ｃｒｏｆｒａｃｔｌｏｎ）法荷重２０ ｋｇでビッ
カース圧子を試料表面に押し込み、そのクラック長さ（
、圧痕の対角線長さの１／２であるａ、硬度Ｈｖを用い
、新涼の式により算出した。
ｍ１ｃｒｏｆｒａｃｔｌｏｎ）法荷重２０ ｋｇでビッ
カース圧子を試料表面に押し込み、そのクラック長さ（
、圧痕の対角線長さの１／２であるａ、硬度Ｈｖを用い
、新涼の式により算出した。
（実施例２）
第２表に示す組成の混合粉末を準備し。
黒鉛型を用いて１７００℃３０ＭＰａの圧力で３時間ホ
ットプレスをして焼結体を得た。実施例１と同様２本発
明の焼結体は優れた特性を示し、特にＺ ｒ Ｏ２添加
のもの（Ｎｏ、１２，１３）の特性が優れている。
ットプレスをして焼結体を得た。実施例１と同様２本発
明の焼結体は優れた特性を示し、特にＺ ｒ Ｏ２添加
のもの（Ｎｏ、１２，１３）の特性が優れている。
（実施例３）
第３表に示す組成の混合粉末を準備し、 Ｎｏ。
２１．２２．２４は金型プレス後、１０気圧のＮ２雰囲
気中１８００℃２時間焼成し、Ｎα２３．２５は黒鉛型
で１７００℃３０ＭＰａの圧力でホットプレスして焼結
体を得た。
気中１８００℃２時間焼成し、Ｎα２３．２５は黒鉛型
で１７００℃３０ＭＰａの圧力でホットプレスして焼結
体を得た。
クリープ速度は真空中１３５０℃にて１００ＭＰａの応
力を４点曲げで印加した時の値を測定し、酸化増量は１
３５０℃で １００時間保持後のＩＣ−当りの値を求め
た。ここで、Ｎｏ、２４のみ酸化増量が著しく大きいた
め１２００℃にて酸化を行った。イツトリアライトを含
む本発明の焼結体は耐クリープ性、耐酸化性に極めて優
れていることがわかる。なお、 Ｎｏ、２５は添加した
Ｚ ｒ Ｏ２の一部がＺｒの酸窒化物で残っており、耐
クリープ性はよいが、耐酸化性が低下している。
力を４点曲げで印加した時の値を測定し、酸化増量は１
３５０℃で １００時間保持後のＩＣ−当りの値を求め
た。ここで、Ｎｏ、２４のみ酸化増量が著しく大きいた
め１２００℃にて酸化を行った。イツトリアライトを含
む本発明の焼結体は耐クリープ性、耐酸化性に極めて優
れていることがわかる。なお、 Ｎｏ、２５は添加した
Ｚ ｒ Ｏ２の一部がＺｒの酸窒化物で残っており、耐
クリープ性はよいが、耐酸化性が低下している。
第１図は本発明の焼結体（実施例Ｎｏ、 ２ ）のＸ線
回折強度チャート。 第２図は上記焼結体のＴＥＭ写真、そして第３図は上記
焼結体の粒界相から取ったＥＤＳスペクトル。 を表わす。 出願人 株式会社豊田中央研究所 代理人 弁理士 加 藤 朝 道 （他１名） □２θ 第 ２ 図 図面の浄書 ゛、 ０．３μ− 図面の浄書 第３図 ＝Ｘ線エネルギー（ｋｅｙ） 手続ネ甫正！（方式） ％式％ １ 事件の表示 昭和６１年特許願第２８５８７４号 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （３８０）株式会社豊田中央研究所４
代理人 住所 〒１０５東京都港区西新橋１丁目１２呑８
号５？ｉ１ｉ正命令の日付 昭和６２年２月４日（
発送口：昭和６２年２月２４日） ６ 補正の対象 （１）明細書の図面の簡単な
説明の欄（２）図面 ７ 補正の内容 （１）明細書第１４頁第４行のｒＴＥＭ写真」の後に、
「（結晶の構造を示したもの）」を挿入する。 （２）同第１４頁第６行の「スペクトル」の後に。 「（エネルギー分散型のＸ線スペクトル）を示す図」を
挿入する。 （３）同頁第７行の「を表わす。」の後に改行して次文
を挿入する： 「 第３図中、左よりＳｉ、Ｚｒ （Ｌ）、Ｙ。 Ｚｒのピークであって、（Ｌ）はＸ線のＬ線に係るもの
、他はすべてに線に係るものを示す。」（４）第１図及
び第３図を夫々別紙の通り濃厚な黒色で鮮明に描いたも
のに補正する。 手 続 有口 正 書（方式） ％式％ １ 事件の表示 昭和６１年特許願第２８５８７４号 （昭和６１年１２月２日出願） ２ 発明の名称 窒化けい素質焼結体及び製造方法 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （３６０）株式会社豊田中央研究所４ 代理
人 住所 〒１０５東京都港区西新Ｆｉｔ丁目１２番８
号′５ 補正命令の日付 昭和６３年５月１１日 （昭和６３年５月３１日発送）
回折強度チャート。 第２図は上記焼結体のＴＥＭ写真、そして第３図は上記
焼結体の粒界相から取ったＥＤＳスペクトル。 を表わす。 出願人 株式会社豊田中央研究所 代理人 弁理士 加 藤 朝 道 （他１名） □２θ 第 ２ 図 図面の浄書 ゛、 ０．３μ− 図面の浄書 第３図 ＝Ｘ線エネルギー（ｋｅｙ） 手続ネ甫正！（方式） ％式％ １ 事件の表示 昭和６１年特許願第２８５８７４号 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （３８０）株式会社豊田中央研究所４
代理人 住所 〒１０５東京都港区西新橋１丁目１２呑８
号５？ｉ１ｉ正命令の日付 昭和６２年２月４日（
発送口：昭和６２年２月２４日） ６ 補正の対象 （１）明細書の図面の簡単な
説明の欄（２）図面 ７ 補正の内容 （１）明細書第１４頁第４行のｒＴＥＭ写真」の後に、
「（結晶の構造を示したもの）」を挿入する。 （２）同第１４頁第６行の「スペクトル」の後に。 「（エネルギー分散型のＸ線スペクトル）を示す図」を
挿入する。 （３）同頁第７行の「を表わす。」の後に改行して次文
を挿入する： 「 第３図中、左よりＳｉ、Ｚｒ （Ｌ）、Ｙ。 Ｚｒのピークであって、（Ｌ）はＸ線のＬ線に係るもの
、他はすべてに線に係るものを示す。」（４）第１図及
び第３図を夫々別紙の通り濃厚な黒色で鮮明に描いたも
のに補正する。 手 続 有口 正 書（方式） ％式％ １ 事件の表示 昭和６１年特許願第２８５８７４号 （昭和６１年１２月２日出願） ２ 発明の名称 窒化けい素質焼結体及び製造方法 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （３６０）株式会社豊田中央研究所４ 代理
人 住所 〒１０５東京都港区西新Ｆｉｔ丁目１２番８
号′５ 補正命令の日付 昭和６３年５月１１日 （昭和６３年５月３１日発送）
Claims (3)
- （１）Ｍ＿ｘＹ＿６＿−＿ｘＳｉ＿６Ｏ＿２＿１で表わ
されるイットリアライト構造の結晶相が粒界に存在する
ことを特徴とする窒化けい素質焼結体。 （但し，Ｍは I ａ，IIａ，IIIｂ族元素および遷移金属
元素からなる群より選ばれた元素の少なくとも１種を示
し， ｘは０または６未満の正数を示す） - （２）ＭがＺｒである特許請求の範囲第１項記載の焼結
体。 - （３）窒化けい素粉末にＹ＿２Ｏ＿３粉末１〜２０ｗｔ
％およびＭの酸化物粉末０．５〜２０ｗｔ％を添加して
なる混合粉末を成形，焼結することにより，Ｍ＿ｘＹ＿
６＿−＿ｘＳｉ＿６Ｏ＿２＿１で表わされるイットリア
ライト構造の結晶相が粒界に存在する窒化けい素質焼結
体を得ることを特徴とする窒化けい素質焼結体の製造方
法。 （但し，Ｍは I ａ，IIａ，IIIｂ族元素および遷移金属
元素からなる群より選ばれた元素の少なくとも１種を示
し， ｘは０または６未満の正数を示す）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP86285874A JPH0193469A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 窒化けい素質焼結体及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP86285874A JPH0193469A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 窒化けい素質焼結体及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0193469A true JPH0193469A (ja) | 1989-04-12 |
Family
ID=17697150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP86285874A Pending JPH0193469A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 窒化けい素質焼結体及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0193469A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03130874U (ja) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | ||
| WO1994027929A1 (en) * | 1993-05-20 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Porous ceramic and process for producing the same |
-
1986
- 1986-12-02 JP JP86285874A patent/JPH0193469A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03130874U (ja) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | ||
| WO1994027929A1 (en) * | 1993-05-20 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Porous ceramic and process for producing the same |
| US5618765A (en) * | 1993-05-20 | 1997-04-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Ceramics porous body and method of preparing the same |
| US5695700A (en) * | 1993-05-20 | 1997-12-09 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of preparing a ceramic porous body |
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